KR20000001611A - 반사형 액정표시 장치의 형성방법 - Google Patents

반사형 액정표시 장치의 형성방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반사형 액정 표시 장치의 형성방법을 개시한다.
개시된 본 발명은 하부 기판상에 적어도 게이트 절연막을 포함하는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 박막 트랜지스터가 형성된 하부 기판상에 유기 절연막을 도포하는 단계와, 상기 박막 트랜지스터의 소정 부분이 노출되도록 유기 절연막의 소정 부분을 제거하여, 콘택홀을 형성하는 단계와, 상기 유기 절연막 표면에 레진막을 도포하는 단계와, 상기 레진막 상부에 스페이서를 산포하는 단계와, 상기 스페이서를 레진막 표면에 고착시키는 단계와, 상기 스페이서가 산포된 레진막 표면에 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

반사형 액정 표시 장치의 형성방법.
본 발명은 반사형 액정 표시 장치의 형성방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 반사형 액정 표시 장치의 반사면에 돌기를 형성하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반사형 LCD는 별도의 광원이 요구되지 않고, 자연광을 이용한다.
이러한 반사형 LCD는 상부 기판으로부터 자연광이 입사되면, 화소 전극을 통하여, 다시 빛이 반사되어지는데, 이때, 액정 분자들의 배열 상태에 따라서, 빛이 흡수되거나, 통과된다.
종래의 반사형 액정 표시 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 하부 기판(1,5)이 서로 대향되도록 배치되어 있다. 하부 기판(1) 상부의 적소에는 공지의 기술로 형성된 박막 트랜지스터(TFT)가 구비되고, 박막 트랜지스터(TFT)가 구비된 하부 기판(1)상에 유기 절연막(2)이 형성된다. 유기 절연막(2)에는 박막 트랜지스터(TFT)의 소정 부분 즉, 소오스 전극을 노출시키기 위하여, 콘택홀이 형성되고, 콘택홀을 통하여, 노출된 박막 트랜지스터(TFT)와 콘택되도록 유기 절연막(2) 상부에 화소 전극(3)이 형성된다.
이때, 반사형 액정 표시 장치에서 화소 전극(3)은 계면 반사 특성이 우수한 알루미늄 금속막이 이용된다. 화소 전극(3)을 불투명한 금속막으로 형성하여도, 반사의 역할만 하므로, 액정 표시 장치의 개구율과는 상관없다.
상부 기판(5)의 내측면에는 박막 트랜지스터(TFT)와 대응하는 부분에 블랙 매트릭스(6)가 형성되고, 블랙 매트릭스(6)의 양측에는 색화소(7)가 형성된다. 블랙 매트릭스(6)와 색화소(7) 상부의 표면에 공통 전극(8)이 형성된다.
그리고, 도면에는 도시되지 않았지만, 상, 하 기판(1,5)의 내측면 표면에는 수평 배향막이 각각 설치되어 있으며, 상하 수평 배향막은 서로 크로스되는 방향으로 러빙되어 있다.
상하 기판(1,5) 사이에는 액정층(9)이 개재된다. 여기서, 이 액정층(9)내에는 네마틱 액정 분자(9a)와 입사된 광을 선택적으로 흡수, 차단하는 염색제(9b)가 포함된다. 이때, 염색제(9b)는 공지된 바와 같이, 빛이 염색제(9b)의 장축을 지날때는 빛이 흡수되고, 단축을 지날때는 빛이 투과된다.
여기서, 종래의 반사형 액정 표시 장치에서는 빛의 반사각을 개선하고자, 유기 절연막(2)표면에 인위적으로 토폴로지를 형성한다. 여기서, 토폴로지를 형성하는 방법은, 유기 절연막(3) 표면에 포토레지스트막을 형성한다음, 홀로그래피 방식등으로 식각처리하여, 토폴로지를 형성하였다. 이와같이, 유기 절연막(2) 표면에 토폴로지를 형성하게 되면, 화소 전극(3) 또한 토폴로지를 갖게되어, 입사된 빛이 더 큰 반사각으로 반사된다.
상기와 같은 종래의 반사형 액정 표시 장치는, 반사각을 개선시키기 위하여, 화소 전극(3)의 표면에 인위적인 토폴로지를 부여하였다.
그러나, 종래와 같이, 토폴로지를 부여하기 위하여는 포토레지스트막을 피복하고, 홀로그래피 방식으로 노광을 실시한다음, 패터닝 공정을 실시하여야 하므로, 제조 공정이 복잡하다.
이로 인하여, 제조 비용이 상승하게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은, 단순한 공정으로 화소 전극 표면에 토폴로지를 부여할 수 있는 반사형 액정 표시 장치의 형성방법을 제공하는 것이다.
도 1은 종래의 반사형 액정 표시 장치의 단면도.
도 2a 내지 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 형성방법을 설명하기 위한 단면도.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
11 : 하부 기판 12 : 박막 트랜지스터
13 : 게이트 절연막 14 : 유기 절연막
15 : 콘택홀 16 : 레진막
17 : 스페이서 18 : 알루미늄 금속막
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 하부 기판상에 적어도 게이트 절연막을 포함하는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 박막 트랜지스터가 형성된 하부 기판상에 유기 절연막을 도포하는 단계와, 상기 박막 트랜지스터의 소정 부분이 노출되도록 유기 절연막의 소정 부분을 제거하여, 콘택홀을 형성하는 단계와, 상기 유기 절연막 표면에 레진막을 도포하는 단계와, 상기 레진막 상부에 스페이서를 산포하는 단계와, 상기 스페이서를 레진막 표면에 고착시키는 단계와, 상기 스페이서가 산포된 레진막 표면에 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 반사형 액정 표시 장치에서 화소 전극을 형성하는 공정시, 화소 전극이 형성되어질 표면에 스페이서를 산포한후 고착시켜서, 화소 전극이 형성될 표면에 돌기를 형성한다. 이에따라, 화소 전극이 상기 돌기 형태로 형성되므로, 포토리소그라피 공정없이도 반사형 액정 표시 장치에서 반사 돌기를 형성한다.
(실시예)
이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.
첨부한 도면 도 2a 및 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 형성방법을 설명하기 위한 단면도이다.
본 실시예에서는 하부 기판 구조에 대하여만 설명하고, 상부 기판은 종래와 동일하다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 하부 기판(11) 상에 공지의 방식으로 게이트 절연막(13)을 포함하는 박막 트랜지스터(12)를 형성한다. 이어, 박막 트랜지스터(12)가 형성된 하부 기판(11) 상부에 유기 절연막(14)을 형성한다. 유기 절연막(14)으로는 아크릴 수지가 이용될 수 있다. 그리고나서, 박막 트랜지스터(12)의 드레인 전극 부분이 노출되도록 유기 절연막(14)의 소정 부분을 제거하여, 콘택홀(15)을 형성한다.
그후, 유기 절연막(14) 표면에 UV(ultraviolet)에 의하여 고착되는 레진막(16)을 도포한다. 그후, 이 레진막(16) 상부에 비교적 가격이 저렴한 스페이서(17)을 산포한다. 이때, 스페이서(17)는 볼형상으로서, 레진 또는 플라스틱등으로 이루어진다. 이어서, 결과물 상부에 UV선을 조사한다. 그러면, UV선에 의하여, 상기 레진막(16)이 경화되므로, 스페이서(17)가 레진막(16) 표면에 고착된다.
그후, 결과물 상부에 화소 전극으로서 작용하는 알루미늄 금속막(18)이 증착된다. 상기 알루미늄 금속막(18)은 피복 특성이 우수하므로, 하부 토폴로지와 동일한 토폴로지를 갖도록 피복되어진다. 따라서, 도 2b에 도시된 바와같이, 별도의 포토리소그라피 공정없이도, 알루미늄 금속막(18) 표면에 반사 돌기가 형성된다.
그후, 도면에는 도시되지 않았지만, 알루미늄 금속막(18)을 패터닝하여, 액정 표시 장치의 화소 전극을 형성한다.
이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명에 의하면, 반사형 액정 표시 장치에서 화소 전극을 형성하는 공정시, 화소 전극이 형성되어질 표면에 스페이서를 산포한후 고착시켜서, 화소 전극이 형성될 표면에 돌기를 형성한다. 이에따라, 화소 전극이 상기 돌기 형태로 형성되므로, 포토리소그라피 공정없이도 반사형 액정 표시 장치에서 반사 돌기를 형성한다.
따라서, 공정이 단순화되어, 제조 비용이 감축된다.
기타, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.

Claims (2)

  1. 하부 기판상에 적어도 게이트 절연막을 포함하는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계;
    상기 박막 트랜지스터가 형성된 하부 기판상에 유기 절연막을 도포하는 단계;
    상기 박막 트랜지스터의 소정 부분이 노출되도록 유기 절연막의 소정 부분을 제거하여, 콘택홀을 형성하는 단계;
    상기 유기 절연막 표면에 레진막을 도포하는 단계;
    상기 레진막 상부에 스페이서를 산포하는 단계;
    상기 스페이서를 레진막 표면에 고착시키는 단계; 및
    상기 스페이서가 산포된 레진막 표면에 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사형 액정 표시 장치의 형성방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 스페이서를 고착시키는 단계는, 상기 레진막에 UV선을 조사하여, 스페이서를 레진막에 고착시키는 것을 특징으로 하는 반사형 액정 표시 장치의 형성방법.
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