KR100346353B1 - 광흡수 스펙트럼 측정방법 및 그 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 측정신호에 포함된 노이즈를 제거하여 S/N을 좋게 함으로써, 레이저 분광의 고감도화를 도모할 수 있는 광흡수 스펙트럼 측정방법 및 그 장치를 제공한다. 이를 위해, 본 발명의 방법은, 레이저 광원을 이용하여 측정한 흡수 스펙트럼의 푸리에(Fourier) 변환을 행하는 단계와, 푸리에 변환을 행한 신호에 대해, 푸리에 공간에서 주기적 진동성분에 기인하는 신호와 분자흡수 스펙트럼에 기인하는 신호를 분해 동정(同定)하는 단계와, 주기적 진동성분에 기인하는 푸리에 성분을 푸리에 공간에서 제거하는 단계와, 주기적 진동성분을 제거한 신호를 푸리에 역변환하여 실공간에서의 흡수 스펙트럼을 재현하는 단계를 가진다.

Description

광흡수 스펙트럼 측정방법 및 그 장치{Light absorption spectrum measuring method and apparatus thereof}

본 발명은 광흡수 스펙트럼 측정방법 및 그 장치에 관한 것으로, 특히 레이저 분광을 이용하여 광흡수 스펙트럼을 측정하는 광흡수 스펙트럼 측정방법 및 그 장치에 관한 것이다.

최근, 의료진단, 환경계측, 식품검사, 가스 중 불순물(예를 들면 질소중이나 염화수소 중의 수분)의 분광분석, 반도체 재료가스의 누설검지 모니터, 반도체 프로세스 장치 내부의 가스의 농도감시 등에서 근적외(近赤外) 영역의 레이저 분광기술이 응용되고 있다. 레이저 분광기술을 간단히 설명하면 이하와 같다.

즉, 일정 강도의 레이저광을 피측정 대상인 원자나 분자에 조사하여 파장에 따른 레이저광의 투과율을 측정함으로써, 피측정 대상인 원자나 분자의 종류를 특정하는 것이다.

일반적으로 레이저 분광기술에서는 고감도화가 과제의 하나이다.

레이저 분광법에서는 광원으로서 레이저광원이 이용되고 있는데, 레이저 분광법은 측정광의 강도가 레이저를 광원으로 하지 않는 다른 분광방법에 비해 매우 큰 것이 장점이다. 이에 따라 높은 검출감도를 가지고 있다는 것이 알려져 있다.

그러나, 종래의 레이저 분광법에서는 광원인 레이저광의 코히어런트 길이(coherent length)가 길기 때문에 광의 간섭이 발생하기 쉽다. 그 결과, 레이저 분광 측정을 행하면 측정신호에는 광의 간섭을 야기시키는 많은 주기적 진동이 간섭 노이즈로 나타난다.

그 원인은 광측정 시스템에 이용되는 각종 광학부품, 예를 들면 렌즈, 반사경, 광 아이소레이터(isolator), 편광자 등의 표면으로부터의 미약한 반사광이 존재하는 데 있다.

따라서, 종래에는 미약한 흡수 스펙트럼의 측정을 행할 때에는, 측정 셀(cell) 내부의 분자의 흡수 스펙트럼이 간섭 노이즈에 파묻혀 버려 정확히 측정할 수 없는 문제가 있었다. 그 결과, 예를 들면 질소 중의 수분을 예로 설명하면 레이저 분광의 단위 셀 길이당 이론 검출 하한은 5ppb/m로 계산된다. 그러나, 비교적 용이하게 실현가능한 검출감도는 50ppb/m정도로 제한되어 있는 것이 현 실정이다.

이상과 같이 종래의 레이저 분광 시스템에서는, 광간섭 노이즈 등의 영향에 의해 불순물의 흡수신호가 노이스 신호에 파묻혀 버려 레이저 분광의 고감도의 성능이 충분히 발휘될 수 없기 때문에, 레이저 분광의 고감도화에 큰 문제가 되고 있다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 측정신호에 포함된 노이즈를 제거하여 S/N을 좋게 함으로써, 레이저 분광의 고감도화를 도모할 수 있는 광흡수 스펙트럼 측정방법 및 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 의한 광흡수 스펙트럼 측정장치의 전체 구성을 나타낸 블록도이다.

도 2는 측정가스의 측정결과의 일예를 나타낸 도면이다.

도 3은 본 실시형태의 광흡수 스펙트럼 측정방법을 상세히 설명하기 위한 파형의 일예를 나타낸 도면이다.

도 4는 질소 내의 염화수소의 농도를 측정한 결과를 나타낸 도면이다.

도 5는 염화수소가 도입되지 않은 경우의 측정결과를 푸리에 변환한 경우의 실부와 허부를 나타낸 도면이다.

도 6은 염화수소의 농도가 1ppm인 경우의 측정신호에 대해 푸리에 변환을 행하여 소정의 주파수 성분을 제거한 것이다.

도 7은 농도 1ppm의 염화수소를 도입한 경우에 얻어진 측정결과에 대해, 상술한 함수 g(x) 및 h(x)의 주파수 │2πν│> 25의 성분을 제거한 후, 합성된 신호를 도시한 도면이다.

(부호의 설명)

10 : DFB의 레이저 광원(레이저 광원) 14 : 샘플 가스 셀

16 : 적외선 검출기 20 : 컴퓨터

22 : 함수 발생기 24 : 레이저 구동장치

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 의한 광흡수 스펙트럼 측정방법은, 레이저 광원을 이용하여 측정한 흡수 스펙트럼의 푸리에(Fourier) 변환을 행하는 단계와, 상기 푸리에 변환을 행한 신호에 대해 푸리에 공간에서 주기적 진동성분에 기인하는 신호와 분자 흡수 스펙트럼에 기인하는 신호를 분해 동정(同定;분류하여 결정함)하는 단계와, 상기 주기적 진동성분에 기인하는 푸리에 성분을 푸리에 공간에서 제거하는 단계와, 상기 주기적 진동성분을 제거한 신호를 푸리에 역변환하여 실공간에서의 흡수 스펙트럼을 재현하는 단계를 가지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 의한 광흡수 스펙트럼 측정방법은, 상기 푸리에 변환을 행하는 단계가 상기 측정한 흡수 스펙트럼의 피크(peak) 위치를 대칭축으로 한 우함수(even function)와 기함수(odd function)로 표현하는 단계와, 상기 우함수 및 상기 기함수 각각의 푸리에 변환을 행하는 단계를 가지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 의한 광흡수 스펙트럼 측정방법은, 재현된 상기 실공간에서의 흡수 스펙트럼의 피크 강도에 근거하여 농도를 정량(定量)하는 단계를 더 가지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 의한 광흡수 스펙트럼 측정장치는, 상기 광흡수 스펙트럼 측정방법을 이용하여 주기적 진동성분에 기인하는 푸리에 성분을 제거한 흡수 스펙트럼을 얻는 것을 특징으로 한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시형태에 의한 광흡수 스펙트럼 측정방법 및 그 장치에 대해서 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 의한 광흡수 스펙트럼 측정장치의 전체 구성을 나타낸 블록도이다.

도 1에서, 10은 적외 반도체 DFB(Distributed Feed-Back) 레이저 광원이고, 단일 종모드(縱 mode)의 적외광을 방사한다. 12는 DFB 레이저 광원(10)의 방사면에 배치되어, 방사된 적외광을 평행광으로 변환하는 조준렌즈(collimate lens)이다. 14는 샘플 가스 셀이고, 적외광을 입사하는 입사창(14a) 및 방사하는 방사창(14b)을 가지고 있다. 측정을 행하는 가스는 관(15a, 15b)을 통해 샘플 가스 셀(14) 내로 도입 및 배출된다.

16은 샘플 가스 셀(14)의 방사창(14b)측에 배치된 적외선 검출기이고, 입사하는 적외선의 강도를 검출한다. 적외선 검출기(16)에서 검출된 적외선 강도는 전기신호로 변환되어 고정 주파수 증폭기(lock-in amplifier)(18)에 입력된다. 고정 주파수 증폭기(18)에서는 적외선 검출기(16)로부터의 신호를 처리하여 이차 미분신호만을 출력하고, 이 이차 미분신호는 컴퓨터(20) 내부에 디지탈 신호로 변환되어 도입된다.

컴퓨터(20)는 후술하는 바와 같이 DFB 레이저 광원(10)의 발진파장을 제어함과 동시에, 본 발명의 일 실시형태에 의한 광흡수 스펙트럼 측정방법을 이용하여 검출신호 중에서 노이즈 신호를 제거한다.

22는 함수 발생기(function generator)이고, 컴퓨터(20)로부터 출력되는 제어신호에 근거하여 시간적으로 변화하는 스위프(sweep) 신호를 출력한다. 또, 레이저 구동장치(24)는 DFB 레이저 광원의 동작온도와 구동전류를 제어함과 동시에, 함수 발생기(22)로부터 출력된 스위프 신호에 근거하여 동작온도 또는 구동전류를 변화시킴으로써 DFB 레이저광원의 발진파장을 연속적으로 스위프한다.

상기 구성에서 전체의 동작을 개략적으로 설명하면, 먼저 샘플 가스 셀(14)내에 측정 가스를 도입한다. 이어서, 컴퓨터(20)를 동작시키면 컴퓨터(20)는 제어신호를 출력하여 함수 발생기(22)에 대해 스위프 신호를 출력하도록 한다. 레이저 구동장치(24)는 함수 발생기(22)로부터 출력되는 스위프 신호에 따라 DFB 레이저 광원(10)의 동작온도 또는 구동전류를 변화시켜 DFB 레이저 광원(10)의 발진파장을 연속적으로 변화시킨다.

DFB 레이저 광원(10)으로부터 방사되는 레이저 광은 조준렌즈(12)에 의해 평행광으로 변환되어 입사창(14a)으로부터 샘플 가스 셀(14) 내에 입사하고 샘플 가스 셀(14) 내를 통과하여 방사창(14b)으로부터 방사되어 적외선 검출기(16)에서 그 강도가 검출된다.

여기에서, 레이저 광은 샘플 가스 셀(14) 내를 통과할 때에 샘플 가스 셀(14) 내부에 도입된 측정 가스의 흡수파장과 일치하는 경우에 강하게 흡수되고, 그 이외의 파장에서는 흡수가 약하다. 따라서, DFB 레이저 광원(10)으로부터 방사되는 레이저광의 파장이 측정 가스의 흡수파장과 일치하는 경우에 적외선 검출기(16)에서 검출되는 레이저광의 강도는 약하게 되어 검출신호도 약하게 된다.

적외선 검출기(16)로부터 출력되는 검출신호는 고정 주파수 증폭기(18)를 통해 컴퓨터(20) 내에 디지털화되어 도입된다.

컴퓨터(20) 내에 도입된 신호는 본 발명의 일 실시형태에 의한 광흡수 스펙트럼 측정방법을 이용하여 노이즈 성분이 제거되는 처리가 행해진다.

다음에, 본 발명의 일 실시형태에 의한 광흡수 스펙트럼 측정방법 및 그 장치에 대해서 상세히 설명한다.

도 2는 측정가스의 측정결과의 일예를 나타내는 도면이다.

도 2에서 가로축은 측정파장이고 세로축은 강도이다. 도 2에 나타낸 바와 같이 파장이 변화하면 광로 중에 있는 광학부품의 반사에 의해 광간섭 조건이 변화하여 프린지(fringe) 노이즈가 발생한다. 이와 같이 코히어런트 길이가 긴 레이저광을 광원으로 이용하면, 특히 미소 신호의 경우에 신호성분(흡수신호인지 노이즈인지)의 판정이 곤란해져 감지감도가 제한됨과 동시에 신뢰성이 떨어진다.

또, 샘플 가스 셀(14) 내의 측정가스의 종류는 후술하는 바와 같이 흡수파장에 의하여 특정할 수 있지만, 도 2에 나타낸 바와 같이 그 농도는 강도에 의해 구할 수 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 피크값의 양측의 극소치와 피크값의 차를 a, b로 하면 강도는 (a + b)/2를 구함으로써 얻어지고, 이 식에 의해 얻어진 강도에 근거하여 가스의 농도를 얻을 수 있다.

노이즈 성분이 큰 경우에는 도 2에 나타낸 바와 같이 명료한 피크값이 나타나지 않고 노이즈에 파묻혀 버린다.

본 실시형태에서는 노이즈성분을 제거하기 위해 검출된 신호에 대해 이산(離散) 푸리에 변환을 실시하여, 스펙트럼 공간에서 노이즈 성분을 신호로부터 제거하는 처리를 행하여 노이즈 성분이 작은 신호를 재현한다.

이를 위해, 본 실시형태에서는 노이즈 제거시에 행하는 방법으로서 (1) 직접법 및 (2) 합성법을 검토한다.

(1) 직접법

도 3은 본 실시형태의 광흡수 스펙트럼 측정방법을 상세히 설명하기 위한 파형의 일예를 도시한 도면이다.

도 3에 도시한 바와 같은 파형을 함수로 표현하면 비대칭인 실수함수 f(x)로 표현된다. 주기적으로 변화하는 부분에는 sin 함수 또는 cos 함수의 성분이 포함되어 있다.

또, 기울기에는 선형함수 ax + b의 성분이 포함되어 있다.

표 1은 푸리에 변환이 실시되는 실함수와 푸리에 변환을 실시한 함수의 대응을 나타낸 대조표이다. 또, 푸리에 변환이 실시되는 실함수를 f(x)로 나타내고, 푸리에 변환을 실시한 함수를 F(ν)로 나타낸다. 즉, 실함수 f(x)에 대해 푸리에 변환을 실시하면 함수 F(ν)가 되고, 함수 F(ν)에 대해 푸리에 역변환을 행하면 실함수 f(x)가 된다.

표 1 중에서 나타낸 헤르미트(Hermite)성이란 실부가 우함수이고 허부가 기함수인 것이다. 따라서, 신호 f(x)의 푸리에 변환 F(ν)은 실부와 허부를 포함하는 헤르미트성 함수이다.

도 3에 도시한 바와 같이, 파장축의 원점을 피크값이 나타나는 파장에 설정하면 이상적인 경우에는 흡수신호가 대칭으로 되지만, 가스의 흡수 라인의 형상 및 반도체 레이저의 출력변화(전류의 변화에 따른 것)와 잔류 AM 변조에 의하여 흡수신호가 비대칭이 되는 경우도 있으므로, 노이즈를 제거하는 흡수신호 푸리에 변환 Fs(ν)도 복수가 될 가능성도 있다. 또, 파장축에 직교하고 원점을 통과하는 축을 이하 y축이라 한다.

따라서, 푸리에 변환 F(ν)의 허부를 제거함으로써, sin함수와 선형함수(ax)의 성분을 제거할 수도 있지만, 흡수신호의 성분을 잃게 될 가능성도 있다고 생각된다.

그러나, 흡수신호가 비대칭성이어도 푸리에 변환의 허부가 작은 경우에, 그 허부를 생략해도 큰 오차가 발생하지 않는다. 또 노이즈 신호의 푸리에 변환과의 비교에 의해 흡수신호의 비대칭에 따라 발생한 허부를 발견할 수 있다. 따라서, 완전히 흡수신호를 재현하는 것이 가능하다.

(2) 합성법

다음에, 합성법에 대해서 설명한다.

앞서 언급한 직접법에서는 허부의 발생에 의해 데이터 처리 프로세스가 약간 복잡해지게 된다. 따라서 우함수의 푸리에 변환이 유효한 수법이다.

도 3에 도시한 바와 같이, 원점을 중심으로 하여 신호 함수 f(x)를 이하의 수학식 1에 나타낸 두 개의 함수 f₁(x)와 f₂(x)로 표현할 수 있다.

도 3 중의 y축을 대칭축으로 하여 각각 f₁(x)과 f₂(x)의 경상(鏡像)을 취함으로써, 수학식 2에 표현한 함수 g(x)와 h(x)를 구성한다.

이 함수 g(x) 및 h(x)는 각각 우함수이다.

원함수인 f(x)는 함수 g(h)와 함수 h(x)의 조합으로 재현할 수 있다.

g(x) 및 h(x)의 푸리에 변환을 행한 후, 스펙트럼 공간에서 노이즈 성분을 제거하는 처리를 행한다.

또, 역푸리에 변환에 의해 노이즈가 적은 함수 g′(x)와 h′(x)를 재현한다.

마지막으로 수학식 3에 표현한 f₁′(x)와 f₂′(x)에 의해 흡수신호를 합성한다.

푸리에 변환의 중첩의 원리에 의하여 상기의 함수합성처리를 정확하게 설명할 수 있다.

(실시예)

다음에, 본 발명의 실시형태에 의한 광흡수 스펙트럼 측정방법 및 그 장치를 이용하여 실제로 측정을 행한 실시예에 대해서 설명한다.

본 실시예에서는 도 1에 도시한 장치를 이용하여 샘플 가스 셀(14) 내에 질소를 도입함과 동시에, 염화수소를 도입하여 질소내의 염화수소의 농도를 측정했다.

도 4는 질소 내의 염화수소의 농도를 측정한 결과를 나타낸 도면으로, (a)는 염화수소가 도입되지 않은 경우의 측정결과이고, (b)는 염화수소가 1ppm의 농도로 도입된 경우의 측정결과이고, (c)는 염화수소가 10ppm의 농도로 도입된 경우의 측정결과이고, (d)는 염화수소가 100ppm의 농도로 도입된 경우의 측정결과이다.

도 4 중에서, 가로축은 반도체 레이저의 파장에 상당하고 세로축은 측정된 이차 미분신호의 강도를 나타낸다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 염화수소가 도입되지 않은 경우에도 프린지 노이즈에 의한 주기적인 변화 및 불규칙한 노이즈 성분이 포함되어 있다.

또, 염화수소의 농도가 1ppm인 경우에 노이즈 신호의 영향에 의해 흡수신호가 노이즈 신호에 파묻혀 흡수강도를 파악할 수 없게 된다(도 4(b) 참조). 이들의 데이터를 기초로 하여 데이터를 처리한다.

(1) 직접법

도 5는 염화수소가 도입되지 않은 경우의 측정결과를 푸리에 변환한 경우의 실부와 허부를 나타낸 도면이다.

실부와 허부 모두 주파수 2πν=±40 근방에 큰 성분이 포함되어 있다. 이것은 주파수가 높은 sin 성분과 cos 성분(델타 함수)에 의한 것이라고 생각된다.

또 주파수가 높은 푸리에 성분은 고차 sin 성분과 cos 성분에 의한 것이다. 주파수가 낮은 푸리에 성분은 잔잔한 성분에 의한 것이다.

도 6은 염화수소의 농도가 1ppm인 경우의 측정신호에 대해 푸리에 변환을 행하여 소정의 주파수 성분을 제거한 것이다.

여기에서, 도 6(a)는 주파수 성분 │2πν│= 25 ∼ 50을 제거한 것이고, (b)는 주파수 성분 │2πν│= 25 ∼ 125를 제거한 것이고, (c)는 주파수 성분 │2πν│> 25를 제거한 것이다. 또, 도 6(d)는 주파수 성분 │2πν│> 25을 제거함과 동시에 허부의 성분을 제거한 것이다.

도 6(a)∼(c)를 참조하면, 높은 주파수 성분을 가지는 푸리에 성분을 제거함으로써 노이즈가 작아져 흡수신호가 명확해졌다. 또 허부의 성분을 제거하면 재현된 신호가 대칭이 되어 선형함수의 성분도 제거되었다.

종래의 이동평균법에서 처리된 데이터(도 6(c) 중 부호 AV가 붙여진 곡선으로 나타내고 있다)와 비교하여, 도 6(c)에 나타낸 파형은 이동평균법에서의 파형과 잘 일치하여 오차를 발생시키지 않았다.

그러나, 도 6(d)에서는 파형이 약간 변화했다. 이것은 허부의 성분을 제거함으로써 흡수신호의 성분도 제거된 것이라고 여겨진다.

이상에서 측정결과를 처리할 때에는 허부의 데이터를 처리하는 것에 특히 주의를 기울일 필요가 있다.

(2) 합성법

도 7은 농도 1ppm의 염화수소를 도입한 경우에 얻어진 측정결과에 대해, 상술한 함수 g(x) 및 h(x)의 주파수 │2πν│> 25의 성분을 제거한 후, 합성된 신호를 나타낸 도면이다. 함수 g(x)와 h(x)가 우함수이므로 푸리에 변환의 허부는 영(0)이 된다.

도 7에 나타낸 신호는 합성된 신호가 직접법으로 얻어진 도 6(b)의 결과와 마찬가지였다.

이상의 결과에 의하면, 레이저 분광에서도 가장 중요한 문제가 되는 프린지 노이즈를 본 실시형태에 나타낸 푸리에 처리방법에 의해 해결할 수 있다. 이 프린지 노이즈는 시스템에 따라 다르므로 커트(cut)하는 주파수 성분도 달라진다. 또, 시스템에서 반드시 프린지 노이즈를 최소로 할 필요도 없어 광로의 조정이 간단해진다. 무반사 코팅이나 브루스터 각(Brewster's angle) 등의 샘플 가스 셀의 창 구조에의 엄격한 요구가 완화된다.

이상 본 발명의 일 실시형태에 대해서 설명했다. 상기의 실시형태에서는 이차 미분신호를 이용한 측정방법에 대해서 설명했지만, 흡수신호는 이차 미분신호, 일차 미분신호에 상관없이 본 발명의 흡수 스펙트럼의 측정을 행할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 푸리에 공간에서 주기적 진동성분에 기인하는 신호만을 제거하도록 했기 때문에, 원신호의 정보를 거의 잃지 않고 주기적 간섭성분만을 효과적으로 제거할 수 있는 효과가 있다.

또, 종래법에서는 레이저 출력을 증가시키면 신호강도가 증가하는 효과와 광간섭 성분이 증가하는 효과가 동시에 발생하기 때문에 신호와 노이즈의 비율(S/N 비)이 최대가 되는 최적 레이저 출력이 비교적 낮아졌다. 따라서, 레이저법의 장점인 광원의 휘도가 높다는 이점을 충분히 활용할 수 없었다.

본 발명에 의하면 광간섭 프린지를 효과적으로 제거할 수 있기 때문에 측정광 파워를 크게 할 수 있고, 그 결과에 의해 고감도의 계측을 가능하게 할 수 있다는 효과가 있다.

또, 종래의 방법에서는 반도체 제조장치 등에 레이저 모니터를 설치하는 경우에, 광도입창은 광축에 대해 브루스터 각으로 설정할 수 없는 경우가 많았다. 이 때문에 큰 광간섭이 발생하여 검출감도를 향상시킬 수 없었다.

본 발명에 의하면 브루스터 창을 이용하지 않으므로 고감도의 계측이 가능하게 되는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 레이저 광원을 이용하여 측정한 흡수 스펙트럼의 푸리에 변환을 행하는 단계와,

   상기 푸리에 변환을 행한 신호에 대해, 푸리에 공간에서 주기적 진동성분에 기인하는 신호와 분자흡수 스펙트럼에 기인하는 신호를 분해 동정하는 단계와,

   상기 주기적 진동성분에 기인하는 푸리에 성분을 푸리에 공간에서 제거하는 단계와,

   상기 주기적 진동성분을 제거한 신호를 푸리에 역변환하여 실공간에서의 흡수 스펙트럼을 재현하는 단계를 가지는 것을 특징으로 하는 광흡수 스펙트럼 측정방법.
2. 제 1항에 있어서, 상기 푸리에 변환을 행하는 단계는,

   상기 측정한 흡수 스펙트럼의 피크 위치를 대칭축으로 한 우함수와 기함수로 표현하는 단계와,

   상기 우함수 및 상기 기함수 각각의 푸리에 변환을 행하는 단계를 가지는 것을 특징으로 하는 광흡수 스펙트럼 측정방법.
3. 제 1항에 있어서, 재현된 상기 실공간에서의 흡수 스펙트럼의 피크 강도에 근거하여 농도를 정량하는 단계를 더 가지는 것을 특징으로 하는 광흡수 스펙트럼측정방법.
4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 기재한 광흡수 스펙트럼 측정방법을 이용하여 주기적 진동성분에 기인하는 푸리에 성분을 제거한 흡수 스펙트럼을 얻는 것을 특징으로 하는 광흡수 스펙트럼 측정장치.