KR100334021B1 - 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린과 그의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
인덱스 스트라이프의 접착력을 향상시킨 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린을 제공한다. 형광막 스크린은 패널의 내면에 일정한 간격을 두고 평행하게 형성되는 다수개의 녹, 청, 적 형광막 스트라이프와, 광 흡수 물질로 이루어지며 각각의 형광막 스트라이프 사이에 형성되는 블랙 매트릭스막과, 상기 블랙 매트릭스막 위에 임의의 간격으로 형성되는 인덱스 스트라이프와, 상기 블랙 매트릭스막과 인덱스 스트라이프 사이에 형성되어 이들의 계면 접착력을 향상시키는 접착막과, 상기 인덱스 스트라이프의 표면을 제외한 패널의 전면으로 형성되는 알루미늄 반사막을 포함한다. 상기 접착막은 알루미늄 반사막보다 두껍고 높은 밀도를 갖는 알루미늄 성분의 막으로서, 유기물질 소성으로 인한 미세한 간격 형성 없이 블랙 매트릭스막 및 인덱스 스트라이프와 직접 접촉하여 인덱스 스트라이프의 접착력을 향상시킨다.
Description
본 발명은 빔 인덱스 음극선관에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 인덱스 스트라이프의 접착력을 높이고 형광막 스크린의 제조 수율을 향상시킬 수 있도록 한 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린과 그의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 빔 인덱스 음극선관은 인덱스 신호에 의해 정확한 색 신호를 방출하여 원하는 색을 구현하도록 한 음극선관으로서, 일반 음극선관과 비교하여 섀도우 마스크 및 인너 실드가 없는 구성을 이룬다.
도 11은 일반적인 빔 인덱스 음극선관의 단면도이고, 도 12는 형광막 스크린의 확대 단면도이며, 도 13은 빔 인덱스 음극선관의 작동을 설명하기 위한 개략도이다.
도시하는 바와 같이, 빔 인덱스 음극선관은 전면 내측으로 형광막 스크린(1)이 형성된 튜브(3)와, 튜브(3)의 후방에 장착되며 전자빔(5)을 방출하는 전자총(7)과, 튜브(3)의 넥크부에 장착되며 전자빔(5)을 편향시키는 편향 요크(9)와, 인덱스 스트라이프(27)로부터 반사된 광 펄스를 감지하는 집광판(11) 및 포토디텍터(13)를 구비한다.
상기한 형광막 스크린(1)은 녹, 청, 적 형광막 스트라이프(21G, 21B, 21R)와 이들 형광막 스트라이프(21) 사이에 형성된 블랙 매트릭스막(23)과 더불어, 알루미늄 반사막(25) 위에 임의의 간격으로 형성되는 인덱스 스트라이프(27)를 포함한다.
이와 같은 구성에 따라, 상기 전자총(7)에서 전자빔(5)을 방출하면, 전자빔(5)은 인덱스 스트라이프(27)를 여기시켜 광 펄스를 생성하며, 이 광 펄스는 집광판(11)을 거쳐 포토디텍터(13)에서 검출되어 인덱스 신호로 전환된다. 상기 인덱스 신호는 인덱싱 회로(15)에서 색신호와 동기되어 정확한 칼라 신호를 방출, 원하는 색을 구현할 수 있도록 한다.
이와 같이 인덱스 신호 발생을 위하여 인덱스 스트라이프(27)를 포함하는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린(1)은 대게 다음과 같은 과정으로 제조된다.
먼저, 패널(3)을 세정하고, 공지의 포토리소그래피 공정을 이용하여 블랙 매트릭스막(23)을 형성한다. (도 14a 참고)
그리고 녹 형광체 슬러리를 패널(3) 전체에 도포하고, 부분 노광하여 녹 형광체 슬러리를 부분 경화시킨 다음, 경화되지 않은 나머지 슬러리를 현상, 제거하여 녹 형광막 스트라이프(21G)를 완성한다. (도 14b 참고) 상기한 녹 형광막 스트라이프(21G)와 동일한 과정을 거쳐 청 형광막 스트라이프(21B)와 적 형광막 스트라이프(21R)를 형성한다. (도 14c 참고)
그리고 블랙 매트릭스막(23)과 형광막 스트라이프(21) 위에 유기막(29)을 형성하고, 진공 상태에서 알루미늄을 증발 확산시켜 얇은 알루미늄 반사막(25)을 형성한다. (도 14d 참고)
다음으로, 얇은 알루미늄 반사막(25) 위로 보호막(31)을 형성하고, 보호막(31) 위로 형광체 슬러리를 도포한 다음, 부분 노광 및 에칭하여 일정한 간격으로 인덱스 스트라이프(27)를 형성한다. (도 14e 참고)
마지막으로, 상기한 패널(3)을 소성로에 투입하여 400℃ 이상의 고온에서 소성한다. 이러한 소성 과정을 통하여 유기막(29)과 보호막(31) 등과 같은 유기 물질이 분해되면서 최종 형광막 스크린(1)으로 완성된다. (도 14f 참고)
그러나 종래 기술에 의해 제조된 형광막 스크린(1)은, 유기 물질의 제거로 인하여 블랙 매트릭스막(23)과 알루미늄 반사막(25) 사이, 그리고 알루미늄 반사막(25)과 인덱스 스트라이프(27) 사이에 미세한 간격이 존재하여 이들 계면의 접착력이 우수하지 못한 실정이다.
따라서 튜브의 제조 공정 가운데 고온 배기 공정 등에서, 인덱스 스트라이프(27)가 부분적으로 이탈하는 경우가 발생할 수 있다. 이와 같이 인덱스스트라이프(27)가 부분적으로 이탈되면, 인덱스 신호의 처리 과정에서 오류를 일으켜 빔 인덱스 음극선관의 색재현 특성을 크게 저하시키게 된다.
따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 고안된 것으로서, 본 발명의 목적은 형광막 스크린을 구성하는 각 요소들 사이의 계면 접착력, 특히 인덱스 스트라이프의 접착력을 향상시켜 형광막 스크린의 제조 수율을 향상시킬 수 있도록 한 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린과 그의 제조 방법을 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명에 의한 빔 인덱스 음극선관용 형광막 스크린의 단면도.
도 2∼도 10은 본 발명에 의한 형광막 스크린의 제조 공정을 도시한 개략도.
도 11은 일반적인 빔 인덱스 음극선관의 단면도.
도 12는 종래 기술에 의한 빔 인덱스 음극선관용 형광막 스크린의 단면도.
도 13은 빔 인덱스 음극선관의 작동을 설명하기 위한 개략도.
도 14는 종래 기술에 의한 형광막 스크린의 제조 공정을 도시한 개략도.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,
패널의 내면에 일정한 간격을 두고 평행하게 형성되는 다수개의 녹, 청, 적 형광막 스트라이프와,
광 흡수 물질로 이루어지며 각각의 형광막 스트라이프 사이에 형성되는 블랙 매트릭스막과,
상기한 블랙 매트릭스막 위에 임의의 간격으로 형성되며, 전자총에서 방출된 전자빔에 의해 여기되는 인덱스 스트라이프와,
상기한 블랙 매트릭스막과 인덱스 스트라이프 사이에 형성되어 이들의 계면 접착력을 향상시키는 수단과,
상기한 인덱스 스트라이프의 표면을 제외한 패널의 전면으로 형성되는 알루미늄 반사막을 포함하는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린을 제공한다.
상기 수단은 유기물질 소성으로 인한 미세한 간격 형성 없이 블랙 매트릭스막 및 인덱스 스트라이프와 직접 접촉하며, 상기한 알루미늄 반사막보다 두껍고 높은 밀도로 구성된 알루미늄 성분의 접착막으로 이루어진다.
또한 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,
패널의 내표면에 블랙 매트릭스막을 형성하는 단계와,
패널의 내면 전체에 제 1알루미늄막을 형성하는 단계와,
상기 제 1알루미늄막을 부분적으로 에칭하여 접착막으로 패턴화하는 단계와,
상기 블랙 매트릭스막 사이에 각각의 녹, 청, 적 형광막 스트라이프를 형성하는 단계와,
상기 접착막 표면에 인덱스 스트라이프를 형성하는 단계와,
상기 인덱스 스트라이프 표면에 감광성 수지막을 형성하는 단계와,
패널의 내면 전체에 유기 보호막을 형성하는 단계와,
상기 유기 보호막 표면에 제 2알루미늄막을 형성하는 단계와,
상기 감광성 수지막 상부의 제 2알루미늄막을 선택적으로 제거하는 단계와,
패널을 소성하여 상기 감광성 수지막과 유기 보호막을 제거하는 단계를 포함하는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린 제조 방법을 제공한다.
이하, 첨부한 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 의한 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린을 나타낸 확대 단면도이다. 도시하는 바와 같이, 형광막 스크린(2)은 패널(4)의 내면에 일정한간격을 두고 평행하게 형성되는 다수개의 녹, 청, 적 형광막 스트라이프(6)와, 각각의 형광막 스트라이프(6) 사이에 형성되는 블랙 매트릭스막(8)과, 상기 블랙 매트릭스막(8) 위에 임의의 간격으로 형성되는 인덱스 스트라이프(10)를 포함한다.
상기한 형광막 스트라이프(6)는 전자빔 주사시 발광하여 그 빛을 패널(4) 외부로 방출시키며, 흑연 등과 같은 광 흡수 물질로 이루어진 블랙 매트릭스막(8)은 각각의 형광막 스트라이프(6)를 분리시켜 화면의 색순도와 콘트라스트를 향상시킨다.
그리고 상기한 인덱스 스트라이프(10)는 대게 하나의 블랙 매트릭스막(8)을 사이로 인접한 두개의 블랙 매트릭스막(8) 위에 순차적으로 형성되며, 전자총(도시하지 않음)에서 방출된 전자빔에 의해 여기되어 광 펄스를 생성한다. 상기 광 펄스는 인덱스 신호로 전환되어 정확한 색신호 방출을 유도한다.
이와 같이 인덱스 스트라이프(10)를 포함하는 형광막 스크린(2)은, 특히 인덱스 스트라이프(10)와 블랙 매트릭스막(8) 사이에 이들의 계면 접착력을 강화시키는 접착막(12)을 형성하며, 인덱스 스트라이프(10)의 표면을 제외한 패널(4)의 전면으로 알루미늄 반사막(14)을 형성하여 화면의 휘도를 향상시킨다.
상기한 접착막(12)은 두께가 얇고 낮은 밀도로 구성된 알루미늄 반사막(14)에 비해 보다 두껍고 높은 밀도로 형성되는 알루미늄 성분의 막으로서, 블랙 매트릭스막(8)과 접착막(12) 및 인덱스 스트라이프(10) 사이에는 유기 물질이 형성되지 않기 때문에, 유기 물질 소성으로 인한 미세한 간격이 존재하지 않는다.
이로서 상기한 접착막(12)에 의해 인덱스 스트라이프(10)와 블랙매트릭스막(8)의 접착력을 효과적으로 강화시킬 수 있다.
상기한 구성에 따라, 본 실시예에 의한 형광막 스크린(2)은 패널(4)에 대한 인덱스 스트라이프(10)의 접착력을 강화시킬 수 있으며, 접착막(12)의 형성으로 인덱스 스트라이프(10) 하부의 반사 효율을 증가시키고, 신호 대 노이즈 비율(S/N비)을 증가시켜 빔 인덱스 음극선관의 색재현 특성을 향상시키는 장점을 갖는다.
다음으로, 본 실시예에 의한 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린 제조 방법에 대하여 설명한다.
형광막 스크린(2)을 제조하기 위하여 먼저, 패널(4) 내면을 가성소다와 불산, 시수 및 순수 등으로 세정하여 패널(4) 내면의 이물질을 제거하고, 공지의 포토리소그래피 공정을 이용하여 패널(4) 내표면에 블랙 매트릭스막(8)을 형성한다. (도 2 참고)
그리고 상기 블랙 매트릭스막(8)이 형성된 패널(4) 내면 전체에 알루미늄을 높은 밀도로 스퍼터링하여 대략 5 ㎛의 두께가 되도록 제 1알루미늄막(16)을 형성한다. (도 3 참고)
상기한 제 1알루미늄막(16)은 스퍼터링 이외에 이-비임(e-beam) 증착법으로 형성될 수 있으며, 이-비임 증착법으로 제 1알루미늄막(16)을 형성할 경우 일반 알루미늄 반사막 증착때보다 이-비임 에너지를 대략 두배 내지 세배 증가시켜 상기한 두께와 밀도로 제 1알루미늄막(16)을 형성한다.
다음으로, 제 1알루미늄막(16)을 패턴화하여 접착막(12)을 형성한다. 접착막(12) 형성 과정은, 먼저 제 1알루미늄막(16) 표면 전체에 감광액을 도포하고 건조시켜 감광성 수지막(18)을 형성한다. (도 4a 참고) 그리고 패널(4) 상부에 노광용 마스크를 장착하고 이후 접착막이 될 제 1알루미늄막(16) 표면에 위치한 감광성 수지막(18a)만을 선택적으로 노광시켜 불용성으로 경화시킨 다음, 현상하여 경화되지 않은 감광성 수지막(18)을 제거한다. (도 4b 참고)
감광성 수지막(18)을 도시한 바와 같이 패턴화한 다음, 패널(4) 내부에 에칭 용액(점선으로 도시)을 분사하면 외부로 노출된 제 1알루미늄막(16)이 에칭되면서 패턴화된 감광성 수지막(18a) 하부로 접착막(12)이 형성된다. (도 4c, 도 4d 참고) 다음으로 패널(4)을 대략 450℃ 분위기의 소성로에 투입하여 접착막(12) 상부의 감광성 수지막(18a)을 제거한다. (도 4e 참고)
상기한 과정으로 접착막(12)을 형성한 다음, 패널(4)과 형광막 스트라이프(6)의 접착력 증대를 위하여 패널(4) 전체에 하도액을 도포하고 건조시킨다. 그리고 감광액과 녹 형광체가 조합된 녹 형광체 슬러리를 도포, 스핀 코팅, 건조, 부분 노광 및 현상의 과정을 통하여 녹 형광막 스트라이프(6G)를 완성하고, 녹 형광막 스트라이프(6G)와 동일한 과정을 거쳐 블랙 매트릭스막(8) 사이로 청 형광막 스트라이프(6B)와 적 형광막 스트라이프(6R)를 순차적으로 형성한다. (도 5 참고)
다음으로, 형광막 스트라이프(6)와 동일한 포토리소그래피 과정으로, 감광액과 형광체가 조합된 인덱스 슬러리를 도포하고 부분 노광 및 현상하여 접착막(12) 표면에 인덱스 스트라이프(10)를 형성한다. (도 6 참고)
상기한 과정으로 형성된 인덱스 스트라이프(10)는 접착막(12) 표면에 직접형성됨으로써 블랙 매트릭스막(8)과 접착막(12) 및 인덱스 스트라이프(10) 사이의 계면 접착력은 유기막 소성에 의한 미세 간격이 존재하는 경우보다 훨씬 우수해진다.
다음으로, 패널(4) 내면 전체에 걸쳐 감광액을 도포하고 스핀 코팅한 다음 건조하여 감광성 수지막(20)을 형성한다. (도 7a 참고) 그리고 인덱스 스트라이프(10) 노광때 사용하였던 노광용 마스크를 이용, 인덱스 스트라이프(10) 상부의 감광성 수지막(20a)만을 선택적으로 경화시키고, 저압 현상으로 경화되지 않은 감광성 수지막(20)을 제거한다. (도 7b 참고)
상기한 감광성 수지막(20)을 패턴화한 다음, 패널(4) 내면 전체에 걸쳐 유기 보호막(22)을 형성한다. (도 8 참고) 유기 보호막(22)은 필르밍막으로 이루어질 수 있으며, 필르밍막은 아크릴 에멀전, 순수, 옥살산암모늄, 글리세린, 과산화수소, 암모니아수 및 PVA 용액 등이 조합된 필르밍 용액을 고압 노즐로 패널 내면에 분사하고 스핀 코팅한 다음 건조하는 과정으로 형성된다.
상기한 유기 보호막(22)은 필르밍막 이외에, 톨루엔과 에틸 아세테이트 및 니트로 셀룰로오즈 등이 조합된 락커막으로 이루어질 수 있다.
이와 같이 필르밍막 또는 락커막으로 이루어지는 유기 보호막(22)은 형광체 사이의 구멍에 의한 이후 형성될 알루미늄 반사막의 요철 현상을 완화하여 알루미늄 반사막의 반사 효율을 향상시키는 역할을 한다.
상기와 같이 유기 보호막(22)을 형성한 다음, 알루미늄 반사막의 형성을 위하여 유기 보호막(22) 표면 전체에 알루미늄을 이-비임 증착하여 대략 1 ㎛ 두께가되도록 제 2알루미늄막(24)을 형성한다. (도 9 참고)
다음으로, 감광성 수지막(20a) 상부의 제 2알루미늄막(24)을 선택적으로 제거한다. 이와 같이 제 2알루미늄막(24)을 패턴화하는 과정은 패널(4) 내면 전체에 H2O2를 분사한 다음, 패널(4) 내면을 세정하는 과정으로 이루어진다.
즉, 패널(4) 내면 전체에 H2O2를 분사하면, 분사된 H2O2는 밀도가 낮은 제 2알루미늄막(24)과 유기 보호막(22) 내부로 확산되어 감광성 수지막(20a)과 반응한다. 상기한 H2O2와 감광성 수지막(20a)의 반응에 의해 감광성 수지막(20a) 상부의 제 2알루미늄막(24)과 유기 보호막(22)이 선택적으로 취약해진다. 이렇게 취약해진 제 2알루미늄막(24)과 유기 보호막(22)의 일부분을 세정 과정으로 제거하여 감광성 수지막(20a) 표면의 제 2알루미늄막(24)과 유기 보호막(22)을 선택적으로 제거한다. (도 10 참고)
이와 같은 과정으로 제 2알루미늄막(24)을 패턴화하여 알루미늄 반사막(14)을 형성하며, 상기 알루미늄 반사막(14)은 형광막 스크린(2)의 휘도를 향상시키고, 형광막(6)의 전위 강하를 방지하며, 이온 충격에 의해 형광막(6)이 타는 것을 방지하는 역할을 한다.
마지막으로, 대략 450℃ 분위기의 소성로에 패널(4)을 다시 투입하여 소성한다. 이러한 소성 과정에 의해 인덱스 스트라이프(10) 표면의 감광성 수지막(20a)과 제 2알루미늄막(24) 하부의 유기 보호막(22)을 제거하며, 이로서 도 1에 도시한 것과 같은 형광막 스크린(2)을 완성한다.
상기한 바와 같이 제조되는 본 실시예에 의한 형광막 스크린(2)은 다음과 같은 장점을 갖는다.
첫째, 패널(4)에 대한 인덱스 스트라이프(10)의 접착력을 강화시켜 현상 공정 및 고진공의 배기 공정에서도 인덱스 스트라이프(10)의 이탈을 효과적으로 방지할 수 있다. 이로서 형광막 스크린의 공정 수율과 빔 인덱스 음극선관의 구동 특성을 향상시킬 수 있다.
둘째, 인덱스 스트라이프(10)를 형성한 다음 알루미늄 반사막(14)을 형성함으로써 알루미늄 반사막(14)상에 인덱스 형광체가 잔류하는 것을 방지하여 잔광 현상에 의한 인덱스 신호의 노이즈 레벨을 낮출 수 있다.
셋째, 알루미늄 재질의 접착막(12) 형성으로 인하여 형광막 스크린(2) 전체의 반사율을 향상시켜 빔 인덱스 음극선관의 색재현 특성을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
이와 같이 본 발명에 의한 빔 인덱스 음극선관용 형광막 스크린 구조는 접착막의 형성으로 패널에 대한 인덱스 스트라이프의 접착력을 강화시켜 고압의 배기 공정에서도 인덱스 스트라이프의 이탈을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한 알루미늄 반사막 위에 인덱스 형광체가 잔류하는 것을 방지하고 형광막스크린 전체의 반사 효율을 향상시켜 빔 인덱스 음극선관의 구동 특성 및 색재현 특성을 향상시킬 수 있다.
Claims (12)
- 패널의 내면에 일정한 간격을 두고 평행하게 형성되는 다수개의 녹, 청, 적 형광막 스트라이프와;광 흡수 물질로 이루어지며 각각의 형광막 스트라이프 사이에 형성되는 블랙 매트릭스막과;상기한 블랙 매트릭스막 위에 임의의 간격으로 형성되며, 전자총에서 방출된 전자빔을 반사시키는 인덱스 스트라이프와;상기한 블랙 매트릭스막 및 인덱스 스트라이프와 직접 접촉하면서 상기한 블랙 매트릭스과 인덱스 스트라이프 사이에 위치하는 접착막; 및상기한 인덱스 스트라이프의 표면을 제외한 패널의 전면으로 형성되는 알루미늄 반사막을 포함하는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린.
- (삭제)
- 제 1항에 있어서, 상기 접착막은 알루미늄으로 이루어지는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린.
- 패널의 내표면에 블랙 매트릭스막을 형성하는 단계와;패널의 내면 전체에 제 1알루미늄막을 형성하는 단계와;상기 제 1알루미늄막을 부분적으로 에칭하여 접착막으로 패턴화하는 단계와;상기 블랙 매트릭스막 사이에 각각의 녹, 청, 적 형광막 스트라이프를 형성하는 단계와;상기 접착막 표면에 인덱스 스트라이프를 형성하는 단계와;상기 인덱스 스트라이프 표면에 감광성 수지막을 형성하는 단계와;패널의 내면 전체에 유기 보호막을 형성하는 단계와;상기 유기 보호막 표면에 제 2알루미늄막을 형성하는 단계와;상기 감광성 수지막 상부의 제 2알루미늄막을 선택적으로 제거하는 단계와;패널을 소성하여 상기 감광성 수지막과 유기 보호막을 제거하는 단계를 포함하는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린 제조 방법.
- 제 4항에 있어서, 상기 제 1알루미늄막을 형성하는 단계는알루미늄을 스퍼터링하는 것으로 이루어지는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린 제조 방법.
- 제 4항에 있어서, 상기 제 1알루미늄막을 형성하는 단계는알루미늄을 이-비임 증착하는 것으로 이루어지는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린 제조 방법.
- 제 4항에 있어서, 상기 접착막을 형성하는 단계는,제 1알루미늄막 표면에 감광성 수지막을 형성하는 단계와;부분 노광 후 고압 현상하여 접착막으로 형성될 제 1알루미늄막의 표면을 제외한 나머지 부분의 감광성 수지막을 선택적으로 제거하는 단계와;에칭 용액을 투입하여 외부로 노출된 제 1알루미늄막을 선택적으로 에칭하는 단계와;패널을 소성하여 감광성 수지막을 제거하는 단계로 이루어지는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린 제조 방법.
- 제 4항에 있어서, 상기 인덱스 스트라이프 표면에 감광성 수지막을 형성하는 단계는,패널 내면 전체에 감광성 수지막을 형성하는 단계와;부분 노광 후 저압 현상하여 인덱스 스트라이프의 표면을 제외한 나머지 부분의 감광성 수지막을 선택적으로 제거하는 단계로 이루어지는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린 제조 방법.
- (삭제)
- 제 4항에 있어서, 상기한 유기 보호막은 필르밍막으로 이루어지는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린 제조 방법.
- 제 4항에 있어서, 상기한 유기 보호막은 락커막으로 이루어지는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린 제조 방법.
- 제 4항에 있어서, 상기 감광성 수지막 상부의 제 2알루미늄막을 선택적으로 제거하는 단계는,패널 내면 전체에 H2O2를 분사하는 단계와;패널 내면을 세정하여 상기 H2O2와 감광성 수지막과의 반응으로 인하여 취약해진 감광성 수지막 상부의 제 2알루미늄막을 선택적으로 제거하는 단계로 이루어지는 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린 제조 방법.
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| KR1019990044388A KR100334021B1 (ko) | 1999-10-13 | 1999-10-13 | 빔 인덱스 음극선관의 형광막 스크린과 그의 제조방법 |
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