KR100323629B1 - 액화 압축 가스의 초고순도 전달 시스템용 조절 배기 시스템 - Google Patents

액화 압축 가스의 초고순도 전달 시스템용 조절 배기 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 비극저온 액체 생성물을 포함하는 저장 용기에서 전달된 초고순도 기상 생성물 중에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시키는 조절 배기 시스템 및 상기 저장 용기로부터 상기 생성물을 전달하는 방법과 시스템에 관한 것이다. 조절 배기 시스템은 저장 용기에 부착된 배기관로와 이 배기관로 중의 응축기를 포함한다. 냉각 유닛과 같은 냉각제 공급원과 응축기 사이에는 냉매(예를 들어, 냉각제)가 이동된다. 휘발성 불순물을 감소시키는 방법은 3 단계를 포함한다. 제1 단계는 기상 증기의 일부를 기상 증기 공간에서 응축기로 배기시키는 것이다. 제2 단계는 응축기 중에 존재하는 배기된 기상 증기를 액체 생성물의 비점보다는 낮고 휘발성 불순물의 비점보다는 높은 온도로 냉각시키는 것이다. 그 결과, 배기된 기상 증기의 제1 부분은 응축되고 제2 부분은 응축되지 않는다. 마지막 단계는 배기된 기상 증기의 제2 부분을 응축기로부터 배기시키는 것이다.

Description

액화 압축 가스의 초고순도 전달 시스템용 조절 배기 시스템{CONTROL VENT SYSTEM FOR ULTRA-HIGH PURITY DELIVERY SYSTEM FOR LIQUEFIED COMPRESSED GASES}
본 발명은 특히 반도체 가공에 이용되는 초고순도 가스의 저장 및 전달에 이용되는 방법과 시스템에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 비극저온 액체 생성물을 포함하는 저장 용기에서 전달된 초고순도 기체 생성물 중에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시키는 조절 배기 시스템 및 상기 저장 용기로부터 상기 생성물을 전달하는 방법과 시스템에 관한 것이다.
본 발명은 본 명세서에 참고로서 인용되는 미국 특허 제5,644,921호(이하, '921호 특허라고 부름)에 개시된 방법 및 장치에 대한 개량 발명이다. '921호 특허는 암모니아(NH3)와 같은 초고순도 비극저온 액화 압축 가스를 저장하고, 이 액화 가스로부터 기화된 기체 생성물을 반도체 가공 과정에 사용하기 위해 전달하는 방법 및 장치를 개시하고 있다.
반도체 제조자는 반도체 장치 제조시 발생 가능한 결함을 없애기 위하여 생산 공정시 고순도 가스와 화학 물질을 요구한다. 과거, 반도체 제조 설비는 실린더로 공급되는 전자 등급의 공정 가스를 사용하여왔다. 실린더는 약 40 리터의 액체 부피를 포함하는 것으로, 보통 구역 당 전술한 실린더를 1개 또는 2개 포함하는 가스 캐비넷에 장치되어 있다.
대안적으로, 액화 압축된 공정 가스를 대량으로 사용하는 사용자는 저장 용기로부터 액체 생성물을 펌핑한 후, 사용하기 전에 증기화해야 하는 유동 조건을 맞추어야 한다. 이 기법을 사용하면, 사용자는 공정 조건에 따라 전달 시스템을 가압할 수 있게 된다. 이 방법은 대량의 저순도물 사용자에게는 간단하지만, 반도체 제조업자와 같은 대량의 고순도물 사용자에게는 매우 복잡한 방법이다. 저장 용기의 액상으로 배출되는 화학 물질은 저장 용기의 기상으로 배출되는 화학 물질보다 금속 오염물과 오일 오염물의 함량이 실질적으로 많다. 즉, 배출되는 액체를 증기화하는 경우, 유동류는 사용 지점의 증기류까지 불순물을 운반한다. 결과적으로, 종래의 고순도물 사용자는 오염물을 제거하기 위하여 정제 수단에 의존해야 하였다.
'921호 특허에 개시된 시스템은 비극저온 액화 압축 가스(예를 들어, NH3)를 전달 압력을 변화시키지 않으면서 높은 유속으로 대량 전달원으로부터 기상 배출시키기 위한 것이다. 이와 같은 기상 배출 시스템은 비휘발성 불순물(예를 들어, 오일 또는 금속)과 수분이 액상에 집중되기 때문에 보다 깨끗한 가스를 제공한다. 그러나, 대기와 같은 경량의 불순물은 실린더, 드럼 또는 탱크 어디에서나 액화 압축 가스의 액상과 기상 사이에 존재한다. 일반적으로, 경량 불순물의 농도는 액체 중에서보다 헤드스페이스 중에서 더 높고, 헤드스페이스에서 가스가 제거되면 더 많은 불순물이 헤드스페이스로 이동된다.
따라서, 휘발성 불순물을 감소시키기 위하여 압축 액체의 상부에 존재하는 헤드스페이스를 직접 배기시키는 방법은 일반적인 관행이다. 그러나, 이 방법은 일반적으로 휘발성 불순물을 감소시키기 위하여 가스 실린더의 15 내지 20 %를 배기시키기 때문에 생성물의 손실이 상당하다.
결과적으로, 비극저온 액체 생성물을 포함하는 저장 용기로부터 초고순도의 기상 생성물을 전달할 수 있는 보다 비용 경제적인 방법이 요구되어 왔다. 또한, 저장 용기로부터 전달된 초고순도 기상 생성물 중에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시킬 수 있는 개선된 저장 용기도 필요하였다.
또, 생성물의 손실을 최소화하고 보다 고순도의 생성물을 제공하는 방법 및 시스템도 요구되었다.
불순물 제거 비용을 저감시키는 기상 생성물의 전달 방법도 필요하였다.
또한, 조작상 안전하고, 경제적인 대량 공급원 및 전달 시스템을 사용하여 반도체 제조 공정에 초고순도 가스를 전달하는 개선된 방법 및 시스템도 필요하였다.
본 발명은 기상 생성물 중에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시키기 위한 조절 배기 시스템을 사용하여 초고순도 기상 생성물을 저장 및 전달하는 방법 및 시스템에 관한 것이다. 본 발명은 모든 액화 가스, 예컨대 NH3, HF, SiHCl3, SiH2Cl2, C4F8, C3F8, Cl2, C2F6, N2O 등에 이용 가능한데, 이에 국한되는 것은 아니다.
조절 배기 시스템은 비극저온 생성물을 포함하고 액체 생성물 상에 기상 증기 공간이 있는 저장 용기로부터 전달된 초고순도의 기상 생성물 중에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시킨다. 제1 태양으로서, 조절 배기 시스템은 저장 용기에 부착된 배기관과 이 배기관 중의 응축기를 포함한다.
바람직한 제1 태양으로서, 응축기는 셸 앤 튜브형(원통 다관식; shell and tub) 열교환기이고, 이 응축기와 냉각제 공급원, 예컨대 냉매 유닛 사이에는 냉각제(예를 들어, 냉매)가 전달된다.
또한, 본 발명은 전술한 조절 배기 시스템을 가진 저장 용기에 관한 것이다. 전술한 바와 같이 조절 배기 시스템의 배기관로는 저장 용기에 부착되고 응축기는 배기관로에 배치되어 있다.
본 발명의 제2 태양은, 비극저온 액체 생성물을 포함하고, 이 액체 생성물 위에 기상 증기 공간이 있는 저장 용기 중에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시키는 방법에 관한 것이다. 이 방법은 3 단계를 포함한다. 제1 단계는 기상 증기 공간에서 부터 응축기로 기상 증기 일부를 배기시키는 것이다. 제2 단계는 응축기 중에 존재하는 배기된 기상 증기를 액체 생성물의 비점 이하 내지 휘발성 불순물의 비점 이상의 온도로 냉각시키는 것이다. 결과적으로, 배기된 기상 증기의 제1 부분은 응축되고 배기된 기상 증기의 제2 부분은 응축되지 않는다. 마지막 단계는 응축기로부터 배기된 기상 증기의 제2 부분을 배기시키는 것이다.
제3 태양으로서, 휘발성 불순물을 감소시키는 방법은 추가의 2 단계를 더 포함한다. 추가의 제1 단계는 배기된 기상 증기의 응축된 제1 부분을 저장 용기로 복귀시키는 것이다. 추가의 제2 단계는 전술한 제2 태양에 기재된 3 단계를 반복하는 것이다.
제4 태양으로서, 비극저온 액체 생성물과, 이 액체 생성물 위의 기상 증기 공간에 있는 휘발성 불순물 함유의 기상 증기를 포함하는 저장 용기로부터 초고순도의 기상 생성물을 전달하는 방법을 제공한다. 이 방법은 다음과 같은 복수의 단계, 즉 (a) 기상 증기 중에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시키는 단계와, (b) 저장 용기 중에 존재하는 기상 증기 공간으로 부터 기상 생성물을 회수하는 단계와, (c) 회수된 기상 생성물을 주위 열 보다 높은 열원으로 가열시키는 단계와, (d) 회수되어 가열된 기상 생성물을 액체 생성물과 열 교환 관계 하에 통과시키는 단계와, (e) 필요에 따라 단계 (b) 내지 (d)를 지속하여 액체 생성물을 기화시킴으로써 저장 용기 내부의 기상 증기 압력을 유지시키는 단계와, (f) 기상 생성물을 액체상 생성물과 열교환 관계 하에 통과시킨 후 저장 용기로부터 기상 생성물을 회수하는 단계를 포함한다.
바람직한 태양으로서, 기상 증기 중에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시키는 단계[즉, 단계(a)]는 다음과 같은 복수의 부단계, 즉 (a) 기상 증기 공간 유래의 기상 증기 일부를 응축기로 배기시키는 단계, (b) 응축기 중의 기상 증기를 액체 생성물의 비점 이하 내지 휘발성 불순물의 비점 이상의 온도로 냉각시켜, 배기된 기상 증기의 제1 부분은 응축시키고 제2 부분은 응축시키지 않는 단계, (c) 배기된 기상 증기의 제2 부분을 응축기로부터 배기시키는 단계, (d) 배기된 기상 증기의 응축된 제1 부분을 저장 용기로 복귀시키는 단계, 및 (d) 부단계 (a) 내지 (d)를 반복하는 단계를 포함한다. 일반적으로, 부단계 (c)에서 응축기로부터 배기된 기상 증기의 제2 부분은 기상 생성물을 약 10% 미만으로 포함할 것이다.
제5 태양은, 제4 태양에서와 같이 기상 생성물을 전달하는 방법이되, 추가 단계를 포함하는 방법에 관한 것이다. 추가 단계는 기상 생성물을 필요로 하지 않는 기간 동안에도 저장 용기로부터 기상 생성물을 회수하고(또는) 기상 증기 공간으로부터 기상 증기를 배기시켜 기상 증기 공간의 압력을 유지시키는 것이다.
제6 태양은 비극저온 액체 생성물과 이 액체 생성물 위의 기상 증기 공간에 존재하는 휘발성 불순물 함유 기상 증기를 포함하는 저장 용기로부터 고초순도의 기상 생성물을 전달하는 시스템에 관한 것이다. 이 전달 시스템은 다음과 같은 구성 부재, 즉 (a) 휘발성 불순물을 감소시키기 위한 조절 배기 시스템, (b) 저장 용기로부터 기상 생성물을 회수하는 수단, (c) 회수된 기상 생성물을 주위 열 보다 높은 열원으로 가열하는 가열기, (d) 회수되어 가열된 기상 생성물과 액체 생성물간에 열을 교환하는 열 교환 수단, (e) 기상 생성물을 액체 생성물과 열 교환 관계하에 통과시킨 후 저장 용기로부터 기상 생성물을 회수하는 수단, 및 (f) 생성물의 전달 및/또는 사용의 필요성에 관계없이 저장 용기 중에 존재하는 가압된 기상 생성물을 유지하기 위한 압력 유지 수단을 포함한다.
제7 태양은 기상 생성물이 필요하지 않은 기간 동안에는 저장 용기로부터 기상 생성물을 회수하고(또는) 기상 증기 공간으로부터 기상 증기를 배기시켜 기상 증기 공간의 압력을 유지시키는 수단을 포함한다.
전달 시스템의 바람직한 태양에서 조절 배기 시스템은 저장 용기에 부착된 배기관로와 이 배기관로 중의 응축기를 포함한다. 냉각제(예, 냉매)는 응축기와 냉각제원, 예컨대 냉매 단위 간에 전달된다.
본 발명의 또 다른 태양은 1개 이상의 트랜스필(transfill) 실린더에 인접해 있는 1개 이상의 열교환기와 냉각제원(예, 냉매 단위) 간에 냉각제를 전달하는 제2의 전달 수단을 포함하는 전달 시스템이다.
도 1은 본 발명을 예시하는 개략적인 대표도이다.
본 발명은 순도 조건의 엄중도 증가와 직경이 보다 큰 가공 웨이퍼(wafer)로 인하여 초고순도 화학물질을 점차 보다 다량으로 필요로 하는 반도체 제조 설비에 사용하기 위한 초고순도 공정 가스를 대량으로 전달하는 방법을 제공한다. 초고순도 가스는 일반적으로 오염물, 예컨대 알루미늄, 붕소, 철, 니켈, 은 등과 같은 금속을 1 부피ppb(part per billion) 이하 포함하는 것이다. 본 발명에 따라 전달될 수 있는 공정 가스로는 NH3, HF, SiHCl3, SiH2Cl2, C4F8, C3F8, Cl2, C2F6, N2O 등을 포함하며, 이것에 국한되는 것은 아니다.
본 발명은 주위 환경에서 이용가능한 열 보다 과량의 열을 제공하는 외부 가열기를 사용하여 기상 생성물로 기화될 수 있는 비극저온 액체 생성물에 관한 것이다[-90 ℉(-67.78℃) 이하에서 액화하는 극저온 액체는 단지 주위 열을 가하여 허용되는 전달 압력에 이르게 하면 기화될 수 있다]. 허용되는 전달 압력은 최종 사용자가 요구하는 각 생성물마다 다르다. 암모니아(NH3)인 경우에는 50 psig(바람직하게는 75 psig, 가장 바람직하게는 100 psig)의 전달 압력이 요구된다.
도 1을 참조로 하면, 시스템(100)은 당해 기술 분야에 공지된 랙, 크래들 또는 다른 지지체(도시 안됨) 상에 지지될 수 있는 저장 용기(12)를 포함한다. 액체 생성물은 충전 도관(도시 안됨)을 통해 저장 용기로 도입된다. 이 도관에서 저장 용기로의 유동은 1개 이상의 밸브를 통해 조절한다(도시 안됨).
각종 밸브, 압력 표시 제어기, 압력 조절 밸브, 배기 도관, 배기 시스템 및 배기구(도시 안됨)는 당해 기술 분야에 공지되어 있고 '921 특허 공보에 개시되어 있는 것으로, 시스템(100) 중의 유체의 흐름과 압력을 조절하고 저장 용기(12)와 회수 시스템의 과부압을 방지하는데 사용된다. 예컨대, 배기 도관(도시 안됨) 및 배기 시스템(도시 안됨)은 저장 용기의 과부압을 방지하기 위하여 시스템에 포함되고, 안전 구제 밸브(도시 안됨)는 회수 시스템의 과부압을 방지하기 위하여 포함될 수 있다.
저장 용기(12)는 회수된 증기를 다른 도관(46)으로 전달하고, 결국에 회수된 증기를 가열기(48)로 전달하는 증기 회수관로 또는 도관(34)을 포함한다. 가열기는 주위 조건에서 이용가능한 것보다 과량의 열을 제공한다. 그 예로는, 주위 조건 보다 과량의 열을 제공할 수 있는 전기 가열기, 연료 연소형 가열기 또는 기타 다른형태의 가열기(인접 공정에서 유입되는 열 포함)를 포함한다.
가열기(48) 유래의 증기는 도관(50)을 통해 열교환기(52)(예컨대, '921호 특허 공보에 개시된 것과 같은 복수 통과형 열교환기) 중으로 통과한다. 이 증기는 열교환기(52)로부터 도관(54)으로 전달되는데, 즉 저장 용기(12)로부터 배출되어 화살표(58)로 표시한 사용 지점까지 공정 가스류가 전달된다.
열교환기(52)를 통해 순환하는 증기에 의하여 액체조(22) 중의 액체 생성물이 가열되면 저장 용기(12)의 기상 증기 공간(62)인 액체조의 표면 위로 초고순도의 증기가 계속 발생할 것이다. 이와 같이 하면 저장 용기 중에 일정 압력을 유지할 수 있다. 제1 압력 표시 조절기(도시 안됨)에 의해 증기 공간에 소정의 압력이 나타나면, 가열기(48)는 꺼져 저장 용기의 과부압이 방지된다. 압력 표시 조절기를 통해 저장 용기 내부의 압력이 소정의 압력 제한 이상으로 초과되었음이 나타나지 않는 한, 가열기는 계속적으로 공정 가스를 가열하고, 이 공정 가스는 저장 용기로부터 도관(54)을 통해 사용 지점(58)까지 배출된다.
또한, 공정 가스류는 도관(98)을 통해 트랜스필 실린더 또는 용기(89)로 전달되는데, 트랜스필 실린더로 전달되기 전에 열교환기(86)를 통해 통과한다. 이 트랜스필 실린더는 냉각 단위(84)로부터 열교환기(86)를 거쳐 도관(90)으로 유동하는 냉각제에 의해 냉각되며, 냉매는 실린더(89) 주위 또는 실린더(89)에 인접해 있는 열교환기(88)로 전달된다. 실린더를 냉각한 후, 냉각제는 열교환기(88)로부터 도관(92)을 통해 냉매 단위로 복귀된다. 하기 기술되는 바와 같이, 냉매는 냉각 단위(84)와 응축기(82)간에도 전달된다.
배기 도관(64)은 저장 용기(12) 중의 기상 증기 공간(62)과 연결되어 있다. 이 배기 도관 또는 배기관로(64)는 기상 증기 공간에서 응축기(82)로 기상 증기를 배기시키기 위하여 저장 용기에 부착되어 있다. 배기관로(64)에 장착된 응축기는 저장 용기 중의 기상 증기에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시키기 위한 조절 배기 시스템을 제공한다. 조절 배기 시스템은 저장 용기로부터 대량 전달을 개시하기에 앞서 일정 시간 동안(예, 5 내지 8 시간) 가동시켜 휘발성 불순물을 감소시켜야 한다.
또한, 조절 배기 시스템은 냉각제원(84)을 포함하고 응축기(82)와 냉각제원 간에 냉각제를 전달하는 전달 수단(94, 96)을 포함한다. 바람직한 태양으로서, 냉각제는 냉매 단위(84)로부터 도관(94)을 통해 응축기(82)로 제공되는 냉매이다. 이 냉매는 도관(96)을 통해 냉매 단위로 복귀된다.
냉각제는 극저온 유체 또는 비점이 매우 낮은 플루오로탄소일 수 있다. 예컨대, 냉각제는 대기압에서 비점이 -115.9℉(-82.17℃)인 프레온-23(CHF3)일 수 있다. 기타 Freon-11 또는 프레온-12와 같은 냉매도 사용될 수 있다.
바람직한 태양으로서, 응축기(82)는 셸 앤 튜브형(원통 다관식) 열교환기이다.
기상 증기가 응축기(82)로 배기되면, 기상 증기는 액체 생성물의 비점 이하 내지 휘발성 불순물의 비점 이상의 온도로 냉각된다. 그 결과, 배기된 기상 증기의 일부는 응축되고 도관(64)을 통해 저장 용기(12)로 복귀된다. 나머지 일부는 응축기(82)로부터 배기 도관(72)을 통해 저감(abatment) 시스템(70)(도시 안됨)으로 배기된다. 배기된 일부는 통상 약 10% 이하의 기상 생성물을 포함할 것이다. 저감 시스템은 배기된 가스를 안전하게 폐기하기 위한 세정 시스템이나 기타 다른 시스템 또는 용기를 포함할 수 있다.
여러 밸브(도시 안됨)가 연결되어 있는 배기 도관(64), 가열기(48), 도관(50), 열교환기(52) 및 도관(54)과, 제2의 압력 표시 조절기(도시 안됨) 및 부가 도관(도시 안됨)은 '921호 특허에 개시된 것과 유사한 압력 유지 시스템을 제공한다.
1가지 시험으로서, 일련의 염소 실린더를 본 발명의 조절 배기를 사용하여 정제하였고, 이 때 응축기(82)의 온도는 14 ℉(-10℃)로 유지시켰다. 정제하지 않은 표준 실린더에 존재하는 일반적인 불순물 농도는 다음과 같았다.
정제하지 않은 일반 실린더 분석
실린더 번호 H2ppm O2ppm N2ppm CO2ppm
328214 134 2 63 41
04129 3 100 50 50
328016 25 100 50 25
배기 처리 5 내지 8 시간 후, 하기 생산 시험 결과를 통해 알 수 있듯이 거의 모든 휘발성 불순물이 제거되었다.
실린더 번호 초기 중량(㎏) 배기된 생성물(㎏) 배기 시간(시)
578573 25 1.3 5.73
539280 25 1.2 5.83
424921 25.1 1.1 5.85
419868 25.4 1.8 5.98
539784 25.2 2.5 6.28
19815 19.8 2.0 6.2
19859 19.8 1.8 5.93
64200 19.8 1.9 6.12
배기 처리 5 내지 8 시간 후 불순물(H2, O2, N2및 CO2)의 농도는 다음과 같았다.
정제된 대기
실린더 번호 실린더 용량(물 리터) H2ppm O2ppm N2ppm CO2ppm
578573 47'K' 사이즈 0 21 21 0
539280 47'K' 사이즈 0 2 6 0
424921 47'K' 사이즈 0 2 6 0
419868 47'K' 사이즈 0 1 8 0
539784 47'K' 사이즈 0 2.5 7 0
19815 16'C' 사이즈 0 8 19 0
19859 16'C' 사이즈 0 4 21 0
64200 16'C' 사이즈 0 10 23 0
이와 유사한 결과가 모든 비극저온 액화 가스로부터 얻어질 것이다. 따라서, 저장 용기(12)로부터 대량 전달을 개시하기 전에, 휘발성 불순물을 감소시키기 위해서는 적당한 시간 동안(5 내지 8 시간) 조절 배기 시스템을 가동시켜야 한다.
본 발명에 기재된 방법 및 장치는 고순도 압축 액화 가스의 사용자에게 여러 가지 측면에서 유리하다. 첫째, 본 발명을 통해 초고순도 가스를 대량으로 전달할 수 있으므로, 많은 실린더와 가스 캐비넷을 유지해야 할 필요가 없는 바, 부품(예, 밸브, 조절기, 기구, 이음쇠 등)의 수를 최소화하고, 각종 실린더 마다의 변화를 없애 설치 비용, 생산 비용 및 작업 노동 비용을 감소시킨다. 또한, 본 발명은 정제기가 필요 없어 설치 비용을 더욱 줄일 수 있다. 둘째, 액체를 기화시킨 후, 용기의 증기 공간으로 액체를 재주입하는 종래의 압력 보강 회로와 달리, 본 발명은 항시 증기 공간과 액체 공간을 분리 유지한다. 이와 같은 분리를 통해 증기 공간 중의 불순물 농도를 액체 공간 중의 농도보다 지속적으로 낮게 유지할 수 있다. 세째, 공정 가스가 열교환 매체로서 사용되므로, 기타 다른 열교환 유체가 사용되는 경우와 마찬가지로 열교환 튜브와 관련된 기계적 문제가 생성물의 순도를 저하시키지는 않는다.
또한, 저감 시스템(70)의 작업량과 저감 시스템을 통한 생성물의 손실은 본 발명이 사용되는 경우 비교적 낮다. 공지의 전달 시스템에서는 저감 시스템을 통한 생성물의 손실량이 30% 이상인 것이 보통이지만 본 발명을 사용한 전달 시스템의 경우에는 통상 10% 미만이 일반적이다.
이상 본 발명의 다양한 태양을 설명하였다. 하지만, 이것의 다양한 변형과 수정이 첨부되는 특허청구범위의 영역 내에서 이루어질 수 있다는 것은 자명한 것이다.

Claims (19)

  1. 비극저온 액체 생성물과 이 액체 생성물 위에 기상 증기 공간을 포함하는 저장 용기로부터 전달된 초고순도 기상 생성물 중에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시키기 위한 조절 배기 시스템으로서,
    상기 기상 증기 공간으로부터 기상 증기를 배기시키기 위한 저장 용기에 부착된 배기관로 및
    이 배기관로 중에 배치된 응축기
    를 포함하는 조절 배기 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 냉각제원 및 응축기와 냉각제원 사이에서 냉각제를 전달하는 전달 수단을 더 포함하는 조절 배기 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 냉각제는 냉매인 것인 조절 배기 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 응축기가 셸 앤 튜브형(원통 다관식) 열교환기인 것인 조절 배기 시스템.
  5. (a) 기상 증기 공간으로부터 기상 증기 일부를 응축기로 배기시키는 단계,
    (b) 배기된 기상 증기를 응축기 중에서 액체 생성물의 비점보다는 낮고 휘발성 불순물의 비점보다는 높은 온도로 냉각시켜, 배기된 기상 증기의 제1 부분은 응축시키고 배기된 기상 증기의 제2 부분은 응축시키지 않는 단계,
    (c) 응축기로부터 배기된 기상 증기의 제2 부분을 배기시키는 단계
    를 포함하는, 비극저온 액체 생성물과 이 액체 생성물 위의 기상 증기 공간을 포함하는 저장 용기 중의 기상 증기에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시키는 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    (d) 배기된 기상 증기 중 응축된 제1 부분을 저장 용기로 반송시키는 단계 및
    (e) 단계 (a) 내지 (d)를 반복하는 단계
    를 더 포함하는 휘발성 불순물을 감소시키는 방법.
  7. (a) 기상 증기 중의 휘발성 불순물을 감소시키는 단계,
    (b) 저장 용기 중의 기상 증기 공간으로부터 기상 생성물을 회수하는 단계,
    (c) 회수된 기상 생성물을 주위 열보다 높은 열원으로 가열하는 단계,
    (d) 가열된 회수된 기상 생성물을 액체 생성물과 열교환 관계하에 통과시키는 단계,
    (e) 필요에 따라 단계 (b) 내지 (d)를 지속하여 저장 용기 내부의 기상 증기 압력이 유지되도록 액체 생성물을 기화시키는 단계 및
    (f) 기상 생성물을 액체 생성물과 열교환 관계하에 통과시킨 후 저장 용기로부터 기상 생성물을 회수하는 단계
    를 포함하는, 비극저온 액체 생성물과 이 액체 생성물 위의 기상 증기 공간에 있는 휘발성 불순물 함유 기상 증기를 포함하는 저장 용기로부터 초고순도의 기상 생성물을 전달하는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 기상 증기 중의 휘발성 불순물을 감소시키는 단계는,
    (a) 기상 증기 공간으로부터 기상 증기 일부를 응축기로 배기시키는 하위 단계,
    (b) 배기된 기상 증기를 응축기 중에서 액체 생성물의 비점보다는 낮고 휘발성 불순물의 비점보다는 높은 온도로 냉각시켜 배기된 기상 증기의 제1 부분은 응축시키고 배기된 기상 증기의 제2 부분은 응축시키지 않는 하위 단계,
    (c) 배기된 기상 증기의 제2 부분을 응축기로부터 배기시키는 하위 단계,
    (d) 배기된 기상 증기 중 응축된 제1 부분을 저장 용기로 반송시키는 하위 단계 및
    (e) 상기 하위 단계 (a) 내지 (d)를 반복하는 하위 단계
    를 포함하는 것인 기상 생성물을 전달하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 저장 용기로부터 기상 생성물을 회수하여 기상 증기 공간의 압력을 유지시키는 단계 또는 기상 생성물이 요구되지 않는 기간 동안에는 증기 공간으로부터 기상 증기를 배기시키는 단계를 더 포함하는 것인 기상 생성물을 전달하는 방법.
  10. 휘발성 불순물을 감소시키기 위한 조절 배기 시스템,
    저장 용기로부터 기상 생성물을 회수하는 수단,
    회수된 기상 생성물을 주위 열보다 높은 열원으로 가열하기 위한 가열기,
    가열 배출된 기상 생성물과 액체 생성물 사이의 열을 교환하기 위한 열교환 수단,
    기상 생성물이 액체 생성물과 열교환 관계하에 통과되도록 저장 용기로부터 기상 생성물을 배출시키는 수단 및
    생성물 전달 또는 사용에 관계 없이 저장 용기 중에 있는 가압된 기상 생성물을 유지하기 위한 압력 유지 수단
    을 포함하는, 비극저온 액체 생성물과 이 액체 생성물 위의 기상 증기 공간에 있는 휘발성 불순물 함유 기상 증기를 포함하는 저장 용기로부터 초고순도의 기상 생성물을 전달하는 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 저장 용기로부터 기상 생성물을 배출시키고(또는) 기상 생성물이 요구되지 않는 기간 동안에는 기상 증기 공간으로부터 기상 증기를 배기시켜 기상 증기 공간의 압력을 유지시키는 수단을 더 포함하는 것인 기상 생성물을 전달하는 시스템.
  12. 제10항에 있어서, 휘발성 불순물을 감소시키기 위한 조절 배기 시스템은,
    상기 기상 증기 공간으로부터 기상 증기를 배기시키기 위한 저장 용기에 부착된 배기관 및
    이 배기관 중에 배치된 응축기
    를 포함하는 것인 기상 생성물을 전달하는 시스템.
  13. 제12항에 있어서, 냉각제원 및, 응축기와 냉각제원 사이에서 냉각제를 전달하는 전달 수단을 더 포함하는 것인 기상 생성물을 전달하는 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 1개 이상의 트랜스필 실린더에 인접한 1개 이상의 열교환기와 냉각제원 사이에서 냉매를 전달하기 위한 제2의 전달 수단을 더 포함하는 것인 기상 생성물을 전달하는 시스템.
  15. 비극저온 액체 생성물과 이 액체 생성물 위의 기상 증기 공간에 있는 가압하의 기상 생성물을 포함하게 만들어진 저장 용기,
    이 저장 용기로부터 기상 생성물을 회수하는 수단,
    회수된 기상 생성물을 주위 열 보다 높은 열원으로 가열하는 가열 수단,
    회수되어 가열된 기상 생성물과 액체 생성물간에 열을 교환하는 열교환 수단,
    기상 생성물을 액체 생성물과 열 교환 후 사용 지점까지 전달하는 수단,
    생성물의 전달 또는 사용의 필요성에 관계 없이 저장 용기 중에서 가압된 기상 생성물을 유지하기 위한 압력 유지 수단 및
    기상 생성물의 전달 또는 사용의 필요성에 관계 없이 회수된 기상 생성물을 배기시키는 수단
    을 포함하는 초고순도의 기상 생성물을 전달하는 시스템으로서,
    상기 기상 증기 공간으로부터 기상 증기를 배기시키기 위한 저장 용기에 부착된 배기관 및
    이 배기관 중에 배치된 응축기
    를 포함하는 것인 기상 생성물을 전달하는 시스템.
  16. 제1항 또는 제10항에 있어서, 액체 생성물은 NH3, HF, SiHCl3, SiH2Cl2, C4F8, C3F8, Cl2, C2F6및 N2O로 구성된 군 중에서 선택되는 것인 시스템.
  17. 제5항 또는 제7항에 있어서, 액체 생성물은 NH3, HF, SiHCl3, SiH2Cl2, C4F8, C3F8, Cl2, C2F6및 N2O로 구성된 군 중에서 선택되는 것인 방법.
  18. 비극저온 액체 생성물과 이 액체 생성물 위에 기상 증기 공간을 포함하는 저장 용기로서,
    이 저장 용기는 이 용기로부터 전달된 초고순도 기상 생성물에 있는 휘발성 불순물을 감소시키기 위한 조절 배기 시스템을 구비하고, 이 조절 배기 시스템은 기상 증기 공간으로부터 기상 증기를 배기시키기 위한 저장 용기에 부착된 배기관 및 이 배기관 중에 배치된 응축기를 포함하는 것인 저장 용기.
  19. 제8항에 있어서, 응축기로부터 배기된 기상 증기의 제2 부분은 10 % 미만의 기상 생성물을 포함하는 것인 기상 생성물을 전달하는 방법.
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