KR100313007B1 - Apparatus for Transferring Test Tray in Handler Cooling Chamber - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 111
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000003556 assay Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
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Abstract
본 발명은 핸들러의 냉각챔버에서의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로, 특히, 핸들러의 냉각챔버에서 테스트가 완료된 테스트 트레이를 이송시 이송시간을 단축할 수 있는 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다. 본 발명은 트레이의 하부와 맞닿아 미끄럼 이동할 수 있도록 상면에 평행하게 트레이 레일이 형성된 베이스와; 상기 베이스의 좌우측 상면에 설치된 다수의 브라켓과; 상기 양측에 설치된 브라켓에 일측부가 고정되어 공급되는 트레이를 받고 이송시키기 위한 트레이 클램핑 유닛과; 상기 트레이 클램핑 유닛에 의해 이송되는 트레이를 중간단계에서 받아서 연속적으로 이송시키는 미들 클램핑 유닛으로 구성된다.The present invention relates to a test tray transfer apparatus in a cooling chamber of a handler, and more particularly, to a test tray transfer apparatus capable of shortening a transfer time when transferring a test tray in which a test is completed in a cooling chamber of a handler. The present invention includes a base having a tray rail formed parallel to the upper surface so as to slide in contact with the lower portion of the tray; A plurality of brackets installed on left and right upper surfaces of the base; A tray clamping unit for receiving and transporting a tray to which one side is fixedly supplied to brackets installed at both sides; It consists of a middle clamping unit for receiving the tray conveyed by the tray clamping unit in the intermediate step and continuously conveying.
Description
본 발명은 핸들러의 냉각챔버에서의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로, 특히, 핸들러의 냉각챔버에서 테스트가 완료된 테스트 트레이를 이송시 이송시간을 단축할 수 있는 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a test tray transfer apparatus in a cooling chamber of a handler, and more particularly, to a test tray transfer apparatus capable of shortening a transfer time when transferring a test tray in which a test is completed in a cooling chamber of a handler.
일반적으로 대량으로 생산되는 반도체 소자는 제품을 출하하기 전에 그 반도체 소자가 가지고 있는 성능을 테스트하고, 그 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하게 된다. 이때, 상기 반도체 소자를 분류하기 위해 사용하는 장비가 핸들러(handler)이다.In general, semiconductor devices produced in large quantities are tested for performance of the semiconductor devices before they are shipped out, and classified according to the test results. At this time, the equipment used to classify the semiconductor device is a handler.
핸들러는 크게 가열챔버, 테스트 사이트 그리고 냉각챔버로 구성되어 있고, 반도체 소자를 공급하거나 배출하기 위한 로딩/언로딩 유닛과, 반도체 소자를 테스트할 수 있는 위치에 공급하는 로봇 어세이와, 다수의 반도체 소자를 테스트할 수 있도록 적재하는 테스트 트레이 등으로 구성되어 있다.The handler is largely composed of a heating chamber, a test site and a cooling chamber, and includes a loading / unloading unit for supplying or discharging a semiconductor device, a robot assay for supplying a semiconductor device to a test location, and a plurality of semiconductors. It consists of a test tray that is loaded to test the device.
상기 가열챔버, 테스트 사이트 그리고 냉각챔버에서는 상기 테스트 트레이에 적재된 반도체 소자의 특성을 테스트하기 위해 테스트 트레이를 이송하는 장치가 각각 설치되어 있다.In the heating chamber, the test site, and the cooling chamber, a device for transporting a test tray for testing the characteristics of the semiconductor devices loaded on the test tray is provided.
우선, 다수의 반도체 소자가 소팅 적재된 테스트 트레이를 가열챔버내로 공급시키고, 일정시간, 일정온도로 가열한 후, 상기 테스트 사이트로 이송하여 반도체 소자의 특성을 테스트한다.First, a test tray in which a plurality of semiconductor devices are sorted and loaded is supplied into a heating chamber, heated at a constant temperature for a predetermined time, and then transferred to the test site to test characteristics of the semiconductor device.
그리고, 상기 테스트 사이트에서 테스트가 완료된 테스트 트레이는 소정의 위치에 장착된 상태에서 상기 테스트 사이트에서 그 하부에 설치되어 있는 냉각챔버로 이동이 이루어진다.In addition, the test tray, which has been tested at the test site, is moved to a cooling chamber installed at a lower portion of the test site while being mounted at a predetermined position.
이때, 테스트 트레이는 상기 테스트 사이트에서 냉각챔버의 앞쪽에 자유낙하되고, 냉각챔버로 공급된 테스트 트레이는 테스트 트레이 이송장치에 의해 수평이동되어 냉각챔버의 뒤쪽으로 이동이 이루어지며, 상기 뒤쪽으로 이동된 테스트 트레이는 테스트 트레이 이송장치에 의해 상부로 밀어 올려져서 배출된다.At this time, the test tray is freely dropped in front of the cooling chamber at the test site, the test tray supplied to the cooling chamber is horizontally moved by the test tray feeder to be moved to the rear of the cooling chamber, and moved to the rear. The test tray is pushed upward by the test tray feeder and discharged.
좀 더 구체적으로 설명하면, 도 1에서 보여주는 바와 같이 핸들러의 챔버(100)는 가열챔버(102), 테스트 사이트(test site)(103) 및 냉각챔버(104)로 구성된다. 가열챔버(102)는 테스트될 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이를 테스트 온도 조건으로 가열하며, 가열된 테스트 트레이는 테스트 사이트(test site)(103)로 수직 하강되고 이 후 테스트 트레이에 장착된 반도체 소자는 테스트가 실시된다In more detail, as shown in FIG. 1, the chamber 100 of the handler includes a heating chamber 102, a test site 103, and a cooling chamber 104. The heating chamber 102 heats the test tray on which the semiconductor device to be tested is mounted under test temperature conditions, and the heated test tray is lowered vertically to the test site 103 and then mounted on the test tray. Test is conducted
테스트가 완료된 반도체 소자를 분류 적재하기 전 테스트 조건의 온도로 가열된 반도체 소자를 상온으로 냉각시킨다. 테스트가 완료된 가열된 반도체 소자를 상온으로 냉각시키기 위해 테스트 트레이를 냉각챔버(104)로 이동시킨다. 테스트 트레이는 냉각챔버(104)로 세워진 상태에서 냉각챔버(104)로 이동되며, 이동된 테스트 트레이는 냉각된 후 상온으로 배출된다.The semiconductor device heated to the temperature of the test condition is cooled to room temperature before classifying and loading the tested semiconductor device. The test tray is moved to the cooling chamber 104 to cool the completed heated semiconductor device to room temperature. The test tray is moved to the cooling chamber 104 in a standing state with the cooling chamber 104, and the moved test tray is cooled and discharged to room temperature.
상기와 같이 반도체 소자들의 테스트가 완료되어 냉각챔버에서 배출되면 또 다른 반도체 소자들이 소팅 적재된 테스트 트레이가 가열챔버를 통해서 테스트 사이트로 연속적인 공급이 이루어진다.When the testing of the semiconductor devices is completed and discharged from the cooling chamber as described above, a test tray in which other semiconductor devices are sorted and stacked is continuously supplied to the test site through the heating chamber.
그러나, 테스트 사이트에서 테스트를 끝낸 반도체 소자들이 적재된 테스트 트레이는 냉각챔버로 즉시 이동이 이루어지지 않는다.However, the test tray loaded with the semiconductor devices tested at the test site is not immediately moved to the cooling chamber.
왜냐하면, 냉각챔버에 공급된 테스트 트레이를 이동시키는 테스트 트레이 이송장치가 테스트 사이트로부터 테스트 트레이를 공급받은 후, 테스트 트레이를 수평이동시켜 상부로 올리기 위한 일련의 과정이 모두 끝난 후에야 비로서 테스트 사이트에서 냉각챔버로 공급이 이루어지기 때문이다.Because the test tray feeder that moves the test tray supplied to the cooling chamber receives the test tray from the test site, and then cools down at the test site only after a series of processes for horizontally moving the test tray and raising it to the top. This is because the supply is made to the chamber.
그러므로, 상기와 같은 종래의 테스트 트레이 이송장치는 테스트 트레이를 미리 공급한 경우에도 전공정에서 테스트가 이루어진 테스트 트레이 외에 다른 테스트 트레이를 요구하는 경우 이미 테스트가 이루어져 냉각챔버에 공급된 테스트 트레이를 배출한 후 다시 공급해야 하는 문제점이 발생하게 된다.Therefore, the conventional test tray feeder as described above has already been tested and discharged the test tray supplied to the cooling chamber when the test tray requires another test tray in addition to the test tray tested in the previous step even when the test tray is supplied in advance. The problem that needs to be supplied again occurs.
따라서, 위에서 살펴본 바와 같이 테스트가 완료된 반도체 소자의 분류 적재시간이 지연되고, 그로 인하여 반도체 소자의 테스트 시간이 증가되어 전체적으로는 핸들러의 테스트 작업효율이 저하되며 생산성이 떨어지는 문제점이 발생하게 되었다.Therefore, as described above, the class loading time of the tested semiconductor device is delayed, and as a result, the test time of the semiconductor device is increased, thereby reducing the test work efficiency of the handler as a whole and lowering productivity.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 핸들러의 테스트 사이트에서 반도체 소자의 테스트가 완료된 후, 냉각챔버에 공급된 테스트 트레이의 이송시간을 빠르게 하여 테스트 작업시간을 단축시킬 수 있는 테스트 트레이 이송장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention has been made to solve such a problem in the prior art, and after the testing of the semiconductor device at the test site of the handler is completed, the transfer time of the test tray supplied to the cooling chamber can be shortened to reduce the test work time It is an object to provide a test tray feeder.
본 발명의 다른 목적은 냉각챔버에서의 테스트 트레이의 이송시간을 효율적으로 관리함으로써 반도체 소자의 제품 생산성을 높이는 데 있다.Another object of the present invention is to increase the productivity of the semiconductor device by efficiently managing the transfer time of the test tray in the cooling chamber.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 냉각챔버내에서의 테스트 트레이의 위치를 정확하게 제어함으로써 장치의 수명을 연장하고 장비의 신뢰성을 향상시키기 위한 것을 그 목적으로 한다.Still another object of the present invention is to extend the life of the apparatus and to improve the reliability of the equipment by precisely controlling the position of the test tray in the cooling chamber.
도 1은 본 발명의 핸들러의 구성을 나타낸 단면도,1 is a cross-sectional view showing the configuration of a handler of the present invention;
도 2는 본 발명에 의한 핸들러 냉각챔버에서의 테스트 트레이의 이송장치를 보여주는 사시도,Figure 2 is a perspective view showing a transfer device of the test tray in the handler cooling chamber according to the present invention,
도 3은 본 발명에 의한 핸들러 냉각챔버에서의 테스트 트레이의 트레이 클램핑 유닛을 보여주는 사시도,3 is a perspective view showing a tray clamping unit of a test tray in a handler cooling chamber according to the present invention;
도 4는 본 발명에 의한 핸들러 냉각챔버에서의 테스트 트레이의 미들 클램핑 유닛을 보여주는 사시도이다.4 is a perspective view showing the middle clamping unit of the test tray in the handler cooling chamber according to the present invention.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 ****** Explanation of symbols on main parts of drawing ***
10 : 베이스 12,13 : 브라켓10: base 12,13: bracket
14 : LM 레일 16 : LM 블록14: LM rail 16: LM block
18 : 트레이 레일 20,21 : 센서18: tray rail 20, 21: sensor
22 : 업소버 24 : 위치제어센서22: absorber 24: position control sensor
26 : 제 1실린더 28 : 제 2실린더26: first cylinder 28: second cylinder
30 : 가이드 로드 32 : 제 3실린더30: guide rod 32: third cylinder
34 : 샤프트 36 : 트레이 핑거34: shaft 36: tray finger
38 : 트레이 미들 핑거 40 : 제 1리미트 스위치38: middle tray finger 40: first limit switch
41 : 제 2리미트 스위치 42 : 미들블록41: second limit switch 42: middle block
44 : 제 4실린더 46,47 : 실린더 로드44: fourth cylinder 46,47: cylinder rod
48 : 가이드 50 : 블록48: Guide 50: Block
52 : 센서브라켓 54 : 센서52: sensor bracket 54: sensor
56 : 슬라이드 58 : 스위치 블록56: Slide 58: Switch Block
60 : 고정홈 106 : 트레이 클램핑 유닛60: fixing groove 106: tray clamping unit
108 : 미들 클램핑 유닛108: middle clamping unit
본 발명의 핸들러의 냉각챔버에서의 테스트 트레이 이송장치는 트레이의 하부와 맞닿아 미끄럼 이동할 수 있도록 상면에 평행하게 트레이 레일이 형성된 베이스와; 상기 베이스의 좌우측 상면에 설치된 다수의 브라켓과; 상기 양측에 설치된 브라켓에 일측부가 고정되어 공급되는 트레이를 받고 이송시키기 위한 트레이 클램핑 유닛과; 상기 트레이 클램핑 유닛에 의해 이송되는 트레이를 중간단계에서 받아서 연속적으로 이송시키는 미들 클램핑 유닛으로 구성되는 것을 특징으로 한다.The test tray feeder in the cooling chamber of the handler of the present invention includes a base having a tray rail formed parallel to an upper surface thereof so as to slide in contact with a lower portion of the tray; A plurality of brackets installed on left and right upper surfaces of the base; A tray clamping unit for receiving and transporting a tray to which one side is fixedly supplied to brackets installed at both sides; And a middle clamping unit which receives the tray conveyed by the tray clamping unit in an intermediate step and continuously conveys the tray.
상기 트레이 클램핑 유닛은 상기 브라켓에 고정되어 전후로 동작하는 실린더 로드를 구비한 제 1실린더와; 상기 실린더 로드의 전부에 일측이 고정된 가이드와; 상기 가이드의 타측에 고정된 블록과; 상기 블록의 상부에 브라켓에 의해 고정된 제 4실린더와; 상기 제 4실린더의 전부에 고정되어 전후로 이동하며 이송된 트레이를 잡아주는 트레이 핑거로 구성되는 것을 특징으로 한다.The tray clamping unit includes a first cylinder having a cylinder rod fixed to the bracket and operating back and forth; A guide having one side fixed to all of the cylinder rods; A block fixed to the other side of the guide; A fourth cylinder fixed to the upper portion of the block by a bracket; It is characterized by consisting of a tray finger that is fixed to the entirety of the fourth cylinder to move back and forth to hold the conveyed tray.
또한, 상기 트레이 핑거는 그 전부에 트레이가 삽입되는 세로방향으로 긴 고정홈을 구비한다.In addition, the tray finger has a longitudinally long fixing groove into which the tray is inserted.
상기 트레이 클램핑 유닛은 상기 블록의 일측부에 고정되는 센서 브라켓과; 상기 센서 브라켓에 고정되어 트레이의 도착 유무를 판단하기 위한 센서를 구비하는 것을 특징으로 한다.The tray clamping unit includes a sensor bracket fixed to one side of the block; It is fixed to the sensor bracket characterized in that it comprises a sensor for determining the arrival of the tray.
상기 미들 클램핑 유닛은 미들 블록과; 상기 미들 블록의 중간부에 삽입 설치되고 실린더 로드를 구비한 제 3실린더와; 상기 제 3실린더의 상하부에 각각 삽입 설치되는 가이드 로드와; 상기 제 3실린더에 구비된 실린더 로드의 전부에 고정되어 전후로 이동되는 트레이 미들 핑거로 구성되는 것을 특징으로 한다.The middle clamping unit includes a middle block; A third cylinder inserted into an intermediate portion of the middle block and having a cylinder rod; Guide rods inserted and installed in upper and lower portions of the third cylinder, respectively; And a tray middle finger which is fixed to all of the cylinder rods provided in the third cylinder and moved back and forth.
상기 미들 클램핑 유닛은 상기 트레이 미들 핑거의 상부에 설치된 스위치 블록과; 상기 스위치 블록에 고정되어 트레이의 이송 유무를 판단하기 위한 제 2 리미트 스위치가 구비되는 것을 특징으로 한다.The middle clamping unit may include a switch block installed on an upper portion of the tray middle finger; The second limit switch is fixed to the switch block for determining whether the tray is transferred.
상기 미들 클램핑 유닛은 상기 미들 블록의 전면부에 설치된 스위치 블록과; 상기 스위치 블록의 상부에 고정되어 트레이의 위치를 파악하기 위한 제 1리미트 스위치가 구비되는 것을 특징으로 한다.The middle clamping unit may include a switch block installed at a front portion of the middle block; It is fixed to the upper portion of the switch block, characterized in that provided with a first limit switch for determining the position of the tray.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 테스트 트레이의 이송이 빠르게 진행되므로 모듈의 테스팅 작업이 원할하고 빠르게 이루어지게 되므로 작업 효율이 향상되는 효과가 있다.As described above, in the present invention, since the transfer of the test tray proceeds quickly, the testing of the module is performed smoothly and quickly, thereby improving work efficiency.
또한, 테스트 트레이의 이송시 트레이의 위치제어가 센서에 의해 정확하게 이루어지고 그로 인하여 장비의 수명이 연장되고 신뢰성이 향상되는 효과를 가져온다.In addition, when the test tray is transferred, the position control of the tray is precisely performed by the sensor, thereby extending the life of the equipment and improving the reliability.
(실시예)(Example)
도 2는 본 발명에 의한 핸들러 냉각챔버에서의 테스트 트레이의 이송장치를 보여주는 사시도이고, 도 3은 본 발명에 의한 핸들러 냉각챔버에서의 테스트 트레이의 트레이 클램핑 유닛을 보여주는 사시도이며, 도 4는 본 발명에 의한 핸들러 냉각챔버에서의 테스트 트레이의 미들 클램핑 유닛을 보여주는 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing the transfer tray of the test tray in the handler cooling chamber according to the present invention, Figure 3 is a perspective view showing the tray clamping unit of the test tray in the handler cooling chamber according to the present invention, Figure 4 is a present invention Is a perspective view showing a middle clamping unit of a test tray in a handler cooling chamber.
본 발명의 테스트 트레이 이송장치는 트레이(104)의 하부와 맞닿아 미끄럼 이동할 수 있도록 상면에 평행하게 트레이 레일(18)이 형성된 베이스(10)와; 상기 베이스(10)의 좌우측 상면에 설치된 다수의 브라켓(12)과; 상기 양측에 설치된 브라켓(12)에 일측부가 고정되어 공급되는 트레이(104)를 받고 이송시키기 위한 트레이 클램핑 유닛(106)과; 상기 트레이 클램핑 유닛(106)에 의해 이송되는 트레이(104)를 중간단계에서 받아서 연속적으로 이송시키는 미들 클램핑 유닛(108)으로 구성된다.The test tray feeder of the present invention includes a base 10 having a tray rail 18 formed in parallel with an upper surface thereof so as to be in contact with a lower portion of the tray 104 and sliding; A plurality of brackets 12 installed on left and right upper surfaces of the base 10; A tray clamping unit (106) for receiving and conveying a tray (104) on which one side is fixedly supplied to the brackets (12) installed on both sides; It consists of a middle clamping unit 108 for receiving the tray 104 conveyed by the tray clamping unit 106 in an intermediate step and continuously conveying.
이경우, 상기 트레이 클램핑 유닛(106)은 상기 브라켓(12)에 고정되어 전후로 동작하는 실린더 로드(46)를 구비한 제 1실린더(26)와; 상기 실린더 로드(46)의 전부에 일측이 고정된 가이드(48)와; 상기 가이드(48)의 타측에 고정된 블록(50)과; 상기 블록(50)의 상부에 브라켓(12)에 의해 고정된 제 4실린더(44)와; 상기 제 4실린더(44)의 전부에 고정되어 전후로 이동하며 이송된 트레이(104)를 잡아주는 트레이 핑거(36)로 구성되며, 상기 트레이 핑거(36)는 그 전부에 트레이(104)가 삽입되는 세로방향으로 긴 고정홈(60)을 구비한다.In this case, the tray clamping unit 106 includes: a first cylinder 26 having a cylinder rod 46 fixed to the bracket 12 and operating back and forth; A guide 48 having one side fixed to all of the cylinder rods 46; A block 50 fixed to the other side of the guide 48; A fourth cylinder (44) fixed to the upper portion of the block (50) by a bracket (12); It is composed of a tray finger 36 is fixed to the entirety of the fourth cylinder 44, and moves back and forth to hold the transported tray 104, the tray finger 36 is inserted into the tray 104 It has a longitudinal fixing groove 60 in the longitudinal direction.
또한 상기 트레이 클램핑 유닛(106)은 상기 블록(50)의 일측부에 고정되는 센서 브라켓(52)과; 상기 센서 브라켓(52)에 고정되어 트레이(104)의 도착 유무를 판단하기 위한 센서(54)를 구비한다.In addition, the tray clamping unit 106 includes a sensor bracket (52) fixed to one side of the block (50); The sensor 54 is fixed to the sensor bracket 52 to determine whether the tray 104 has arrived.
그리고, 상기 미들 클램핑 유닛(108)은 미들 블록(42)과; 상기 미들 블록(42)의 중간부에 삽입 설치되고 실린더 로드(47)를 구비한 제 3실린더(32)와; 상기 제 3실린더(32)의 상하부에 각각 삽입 설치되는 가이드 로드(30)와; 상기 제 3실린더(32)에 구비된 실린더 로드(47)의 전부에 고정되어 전후로 이동되는 트레이 미들 핑거(38)로 구성된다.In addition, the middle clamping unit (108) comprises a middle block (42); A third cylinder 32 inserted into an intermediate portion of the middle block 42 and having a cylinder rod 47; Guide rods 30 inserted into upper and lower portions of the third cylinder 32; It consists of a tray middle finger 38 is fixed to all of the cylinder rod 47 provided in the third cylinder 32 and moved back and forth.
또한, 상기 미들 클램핑 유닛(108)은 상기 트레이 미들 핑거(38)의 상부에 설치된 스위치 블록(58)과; 상기 스위치 블록(58)에 고정되어 트레이(104)의 이송 유무를 판단하기 위한 제 2 리미트 스위치(41)와; 상기 미들 블록(42)의 전면부에 설치된 스위치 블록(58)과; 상기 스위치 블록(58)의 상부에 고정되어 트레이(104)의 위치를 파악하기 위한 제 1리미트 스위치(40)를 포함한다.In addition, the middle clamping unit (108) includes a switch block (58) provided on the upper side of the tray middle finger (38); A second limit switch 41 fixed to the switch block 58 to determine whether the tray 104 is transferred; A switch block (58) provided at the front portion of the middle block (42); It is fixed to the upper portion of the switch block 58 includes a first limit switch 40 for determining the position of the tray 104.
계속해서, 본 발명의 냉각챔버에서의 테스트 트레이 이송장치의 구성및 작용을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Subsequently, the configuration and operation of the test tray feeder in the cooling chamber of the present invention will be described in more detail.
우선, 냉각챔버의 저면을 형성하는 플레이트 형식의 베이스(10)의 상면에 평행하게 한 쌍의 트레이 레일(18)이 이격되어 형성되어 있고, 상기 트레이 레일(18)의 바깥쪽으로는 LM 레일(14)이 설치되어 있으며, 상기 LM 레일(14)의 상부에는 상기 LM 레일(14)을 따라 앞뒤로 미끄럼 이동할 수 있도록 LM 블록(16)이 설치되어 있다.First, a pair of tray rails 18 are spaced apart from each other in parallel to the upper surface of the plate-shaped base 10 forming the bottom surface of the cooling chamber, and the LM rails 14 are disposed outside the tray rails 18. ) Is installed, and the LM block 16 is installed on the LM rail 14 so as to slide back and forth along the LM rail 14.
그리고, 상기 LM 블록(16)에는 한 쌍의 트레이 클램핑 유닛(106)이 좌우로 이동할 수 있도록 설치되어 테스트 사이트로부터 이송된 초기 트레이(104)와 최종 트레이(104)를 잡아서 수평으로 이송할 수 있도록 일측부에 설치되어 있고, 상기 트레이 클램핑 유닛(106)에 의해 이송된 트레이(104)를 중간단계에서 잡기 위한 미들 클램핑 유닛(108)이 상기 트레이 클램핑 유닛(106)의 사이에 설치되어 있다.In addition, a pair of tray clamping units 106 are installed in the LM block 16 so as to move left and right, so that the initial tray 104 and the final tray 104 transferred from the test site can be grabbed and transported horizontally. A middle clamping unit 108 is installed between one side of the tray clamping unit 106 and a middle clamping unit 108 for holding the tray 104 transferred by the tray clamping unit 106 in an intermediate step.
이때, 상기 한 쌍의 트레이 클램핑 유닛(106)의 바깥쪽으로는 다수의 브라켓(12)에 의해 고정된 실린더 로드(46)를 구비한 제 1실린더(26)와, 상기 다수의 브라켓(13)에 의해 고정된 제 2실린더(28)가 설치되어 상기 트레이 클램핑 유닛(106)을 각각 전후로 이동시키게 된다. 한편, 상기와 같이 구성된 트레이 클램핑 유닛(106)은 이송된 트레이(104)를 좌우측에서 각각 고정하고 중간단계로 이송시키기 위해 상기 트레이(104)에 양측부에 각각 설치되어 있다.At this time, the outer side of the pair of tray clamping unit 106 to the first cylinder 26 having a cylinder rod 46 fixed by a plurality of brackets 12 and the plurality of brackets 13 The second cylinder 28 fixed by the above is installed to move the tray clamping unit 106 back and forth, respectively. On the other hand, the tray clamping unit 106 configured as described above are respectively installed on both sides of the tray 104 in order to fix the transported tray 104 in the left and right sides, and to transfer in the intermediate step.
또한, 상기 초기 트레이(104)가 테스트 사이트로부터 이송될 때, 그 수직한 하부에서 상기 트레이(104)의 높이를 판단함과 동시에 트레이(104)가 공급되었는지 안되었는지의 유무를 판단하기 위한 센서(20)를 베이스(10)의 상부면 전후에 각각 설치한다.In addition, when the initial tray 104 is transferred from the test site, a sensor for determining whether the tray 104 is supplied or not while determining the height of the tray 104 at the vertical lower portion thereof ( 20) are installed before and after the upper surface of the base 10, respectively.
계속해서, 냉각챔버로 공급되는 초기 트레이(104) 및 최종 트레이(104)를 잡아주고 이송하기 위한 트레이 클램핑 유닛(106)의 구조를 좀 더 상세히 살펴보면, 상기 베이스(10)의 상면에 고정된 브라켓(12)에 실린더 로드(46)를 구비한 제 1실린더(26)가 삽입 고정되고, 상기 실린더 로드(46)의 전부에 가이드(48)가 설치 고정되어 있으며, 상기 제 1실린더(26)의 전후 동작에 의해 상기 실린더 로드(46)에 설치된 가이드(48)가 전후로 움직이게 된다.Subsequently, the structure of the tray clamping unit 106 for holding and transporting the initial tray 104 and the final tray 104 supplied to the cooling chamber will be described in more detail. The bracket fixed to the upper surface of the base 10 will be described. The first cylinder 26 having the cylinder rod 46 is inserted into and fixed to the 12, and the guide 48 is fixed to the whole of the cylinder rod 46. The guide 48 installed in the cylinder rod 46 moves back and forth by the front and rear motion.
이때, 상기 가이드(48)에는 블록(50)이 고정되어 있고, 상기 블록(50)의 하부에는 LM 레일(14)을 따라 미끄럼이동하는 LM 블록(16)이 고정됨과 동시에 그 상부에 고정된 브라켓(12)에는 제 4실린더(44)가 고정되어 있고, 그 전부에는 트레이 핑거(36)가 고정되어 제 4실린더(44)에 의해 앞뒤로 움직이며 트레이(104)를 잡아주게 된다.At this time, the block 50 is fixed to the guide 48, the lower portion of the block 50, the LM block 16 which is slid along the LM rail 14 is fixed and at the same time a bracket fixed to the upper The fourth cylinder 44 is fixed to 12, and the tray finger 36 is fixed to all of them, and is moved back and forth by the fourth cylinder 44 to hold the tray 104.
또한, 상기 블록(50)의 전부에는 센서(54)가 고정되어 있는 센서 브라켓(52)이 고정되어 있고, 상기 센서(54)는 트레이(104)의 유무를 확인하게 된다.In addition, a sensor bracket 52 to which the sensor 54 is fixed is fixed to all of the blocks 50, and the sensor 54 confirms the presence or absence of the tray 104.
이때, 상기 트레이(104)를 좌우측에서 잡아주는 트레이 핑거(36)는 일측은 제 4실린더(44)에 고정되고 타측의 전부에는 세로방향의 긴 고정홈(60)이 형성되어 있으며 상기 고정홈(60)에 트레이(104)가 세로 방향으로 끼워져서 삽입된다.At this time, the tray finger 36 for holding the tray 104 in the left and right sides is fixed to the fourth cylinder 44 on one side and the long fixing groove 60 in the longitudinal direction is formed on the other side and the fixing groove ( 60 is inserted into the tray 104 in the longitudinal direction.
또한, 상기 트레이 클램핑 유닛(106)에 의해 이송되는 트레이(104)는 중간단계에서 미들 클램피 유닛(108)에 의해 잡혀서 일정시간 멈추게 된다. 이는 최종 트레이(104)가 트레이 클램핑 유닛(106)에 의해 위로 올라가는 시간동안 정지를 시키기 때문이다.In addition, the tray 104 transported by the tray clamping unit 106 is caught by the middle clamping unit 108 in the intermediate stage and stopped for a predetermined time. This is because the last tray 104 stops for a time that is raised by the tray clamping unit 106.
도 4에 도시된 바와 같이, 미도시된 몸체에 고정되는 미들블록(42)의 중간부에 실린더 로드(37)를 구비한 제 3실린더(32)가 삽입 설치되어 있고, 그 상하부에는 가이드 로드(30)가 각각 설치되어 있으며, 상기 실린더 로드(47)의 전부에는 트레이 미들 핑거(38)가 고정되어 상기 제 3실린더(32)의 전후 동작에 의해 트레이(104)를 잡을 수 있도록 직선 운동한다. 그리고 상기 트레이 미들 핑거(38)에는 상기 트레이 핑거(36)와 마찬가지로 세로방향의 고정홈(60)이 길게 형성되어 트레이(104)가 삽입되고 양쪽에서 잡아서 이동할 수 있도록 대칭된 한 쌍의 미들 클램핑 유닛(108)이 설치된다.As shown in FIG. 4, a third cylinder 32 having a cylinder rod 37 is inserted into an intermediate portion of the middle block 42 fixed to the body, which is not shown. 30 are respectively provided, and the tray middle finger 38 is fixed to all of the cylinder rods 47 so as to linearly move to grasp the tray 104 by the front and rear operation of the third cylinder 32. In addition, the tray middle finger 38 has a longitudinal fixing groove 60 formed long in the same manner as the tray finger 36 so that the tray 104 is inserted, and a pair of symmetrical middle clamping units can be grasped and moved from both sides. 108 is installed.
이때, 상기 미들블록(42)의 전부면에는 스위치 블록(58)이 설치되고, 그 상부에 제 1리미트 스위치(40)가 설치되면, 상기 가이드 로드(30)의 전단부와 트레이 미들 핑거(38)의 후단부사이에 개재된 스위치 블록(58)을 설치하고 그 상부에 제 2 리미트 스위치(47)를 설치하여 트레이(104)이 유무를 확인한다.At this time, when the switch block 58 is installed on the entire surface of the middle block 42, and the first limit switch 40 is installed on the upper surface, the front end of the guide rod 30 and the tray middle finger 38 A switch block 58 interposed between the rear ends of the c) is installed, and a second limit switch 47 is installed on the upper portion thereof to check whether the tray 104 is present.
상기와 같이 구성된 본 발명의 냉각챔버에서의 테스트 트레이 이송장치의 동작을 설명하여 보면, 테스트 트레이(104)에 담겨진 소자들이 테스트 사이트(103)에 테스트가 이루어지고 난 후, 상기 테스트 사이트(103)로부터 하강하여 냉각챔버로 이동이 이루어진다.Referring to the operation of the test tray feeder in the cooling chamber of the present invention configured as described above, after the elements contained in the test tray 104 is tested at the test site 103, the test site 103 It descends from and moves to the cooling chamber.
이때, 상부에서 하부로 내려오는 테스트 트레이(104)는 상기 베이스(10)에 설치된 센서(20)에 의해 감지되고, 일정한 높이에 이르게 되면, 상기 트레이 클램핑 유닛(106)의 트레이 핑거(36)가 제 4실린더(44)에 의해서 이동하며 테스트 트레이(104)의 좌우에서 잡게 된다.In this case, the test tray 104 descending from the top to the bottom is sensed by the sensor 20 installed in the base 10, and when it reaches a predetermined height, the tray finger 36 of the tray clamping unit 106 is It is moved by the fourth cylinder 44 and is held at the left and right sides of the test tray 104.
이후, 상기 트레이 클램핑 유닛(106)의 제 1실린더(26)가 동작하여 트레이 핑거(36)에 의해 잡혀 있는 테스트 트레이(104)를 당기게 되면, 테스트 트레이(104)는 중간단계에 위치하게 된다.Thereafter, when the first cylinder 26 of the tray clamping unit 106 is operated to pull the test tray 104 held by the tray finger 36, the test tray 104 is positioned at an intermediate stage.
상기와 같이 테스트 트레이(104)가 중간단계로 이송되면, 미들 클램핑 유닛(108)에 구비된 트레이 미들 핑거(38)가 테스트 트레이(104)를 좌우에서 클램핑하고, 전단계에서 잡고 있던 트레이 클램핑 유닛(106)은 상기 제 1실린더(26)가 밀어줌으로써 원래의 초기 트레이가 공급되는 위치로 복귀하게 된다.When the test tray 104 is transferred to the intermediate stage as described above, the tray middle finger 38 provided in the middle clamping unit 108 clamps the test tray 104 from side to side, and the tray clamping unit held in the previous step ( 106 is returned to the position where the original initial tray is supplied by pushing the first cylinder 26.
이어서, 상기 미들 클램핑 유닛(108)에 의해 고정된 테스트 트레이는 그 후부에 설치되어 있는 또 다른 트레이 클램핑 유닛(106)이 제 2실린더(28)의 전진 운동에 의해 미들 클램핑 유닛(108)이 잡고 있는 테스트 트레이(104)의 위치까지 이동하고 제 4실린더(44)의 전진동작에 의해 상기 테스트 트레이(104)를 좌우에서 클램핑한다. 이와 동시에 상기 미들 클램핑 유닛(108)은 테스트 트레이(104)를 놓게 되고 상기 테스트 트레이(104)를 잡고 있는 트레이 클램핑 유닛(106)의 제 2실린더(28)가 후진하여 상기 테스트 트레이(104)를 배출할 수 있는 최종 위치로 이송하게 된다.Subsequently, the test tray fixed by the middle clamping unit 108 is held by the middle clamping unit 108 by the forward movement of the second cylinder 28 by another tray clamping unit 106 installed at the rear thereof. The test tray 104 is clamped from side to side by moving to the position of the test tray 104 which is present and moving forward of the fourth cylinder 44. At the same time, the middle clamping unit 108 puts the test tray 104 and the second cylinder 28 of the tray clamping unit 106 holding the test tray 104 is moved backward to open the test tray 104. It will be transported to the final position where it can be discharged.
한편, 상기 테스트 트레이(104)가 미들 클램핑 유닛(108)에 의해 이동되는 중에도 상기 테스트 사이트에서 테스트를 마친 테스트 트레이(104)는 하강하여 연속적으로 이동할 수 있도록 위치하게 된다.Meanwhile, even when the test tray 104 is moved by the middle clamping unit 108, the test tray 104 which has been tested at the test site is lowered and positioned to move continuously.
이와 같이 냉각챔버에서 테스트 트레이(104) 이송시 단계별로 연속적으로 이송시킴으로써 테스트 트레이(104)의 이송시간을 줄일 수 있어 반도체 소자의 테스트 시간을 단축하게 된다. 즉, 테스트 트레이(101)를 클램핑한 상태에서 크레이 클램핑 유닛과 미들 클램핑 유닛의 연속적인 동작에 의해 테스트 트레이를 쉬지 않고 연속적으로 배출시킬 수 있게 된다.As such, the transfer time of the test tray 104 may be reduced by continuously transferring the test tray 104 in the cooling chamber in stages, thereby reducing the test time of the semiconductor device. That is, the test tray can be continuously discharged without rest by continuous operation of the cray clamping unit and the middle clamping unit in the clamping state of the test tray 101.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 테스트 트레이의 이송이 빠르게 진행되므로 모듈의 테스팅 작업이 원할하고 빠르게 이루어지게 되므로 작업 효율이 향상되는 효과가 있다.As described above, in the present invention, since the transfer of the test tray proceeds quickly, the testing of the module is performed smoothly and quickly, thereby improving work efficiency.
또한, 테스트 트레이의 이송시 트레이의 위치제어가 센서에 의해 정확하게 이루어지고 그로 인하여 장비의 수명이 연장되고 신뢰성이 향상되는 효과를 가져온다.In addition, when the test tray is transferred, the position control of the tray is precisely performed by the sensor, thereby extending the life of the equipment and improving the reliability.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990013463A KR100313007B1 (en) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | Apparatus for Transferring Test Tray in Handler Cooling Chamber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990013463A KR100313007B1 (en) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | Apparatus for Transferring Test Tray in Handler Cooling Chamber |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000066390A KR20000066390A (en) | 2000-11-15 |
| KR100313007B1 true KR100313007B1 (en) | 2001-11-03 |
Family
ID=19580341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019990013463A KR100313007B1 (en) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | Apparatus for Transferring Test Tray in Handler Cooling Chamber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100313007B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100482371B1 (en) * | 2002-10-28 | 2005-04-14 | 삼성전자주식회사 | test system of integrated circuit and method thereof |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100367994B1 (en) * | 2001-03-28 | 2003-01-14 | 미래산업 주식회사 | Apparatus for carrying tray for handler |
| KR20040016734A (en) * | 2002-08-19 | 2004-02-25 | 주식회사 실리콘 테크 | Handler system for testing a semiconductor device |
| KR100906614B1 (en) * | 2007-06-15 | 2009-07-10 | (주)테크윙 | Test handler |
| KR100941674B1 (en) | 2008-01-29 | 2010-02-12 | (주)테크윙 | Carrier board transference system for the handler in order to support testing an electric device and method of carrier board transference in the chamber of the handler in order to support testing an electric device |
-
1999
- 1999-04-16 KR KR1019990013463A patent/KR100313007B1/en not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100482371B1 (en) * | 2002-10-28 | 2005-04-14 | 삼성전자주식회사 | test system of integrated circuit and method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20000066390A (en) | 2000-11-15 |
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| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
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|
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Payment date: 20130930 Year of fee payment: 13 |
|
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