KR100300045B1 - Semiconductor high speed package inspecting socket - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 하이스피드 패키지(HIGH SPEED PACKAGE) 검사용 소켓(SOCKET)에 관한 것으로, 특히 디유티 보드(DUT BOARD)의 패드를 손상시키지 않도록 하는데 적합한 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a socket for semiconductor high speed package inspection, and more particularly, to a socket for semiconductor high speed package inspection suitable for preventing damage to a pad of a DUT board.
일반적인 패키지는 스피드가 50 MHz이하이나, 램버스 디램과 같은 패키지들은 500 MHz이상의 하이스피드를 갖는 패키지로서 주파수가 상당히 높으며, 이와 같은 고주파를 갖는 패키지를 검사하기 위한 존 스택 소켓(JTI SOCKET)이 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.A typical package has a speed of 50 MHz or less, but packages such as Rambus DRAMs have a high speed of 500 MHz or more, and the frequency is considerably high. A zone stack socket (JTI SOCKET) for inspecting a package having such a high frequency is illustrated in FIG. It is shown in the bar, briefly described as follows.
도 1은 종래 존 스택 소켓의 구성을 보인 평면도이고, 도 2는 종래 존 스택 소켓으로 패키지를 검사하는 상태를 개략적으로 보인 단면도로서, 도시된 바와 같이, 사각틀체상의 소켓 하우징(HOUSING)(1) 상면 가장자리에 다수개의 장공(2)이 형성되어 있고, 그 장공(2)들이 관통되도록 각각 높이가 다른 2개의 고무줄(3)(3')이 설치되어 있으며, 그 2개의 고무줄(3)(3')에 상,하단부가 끼워지도록 "S"형의 컨택트 핀(CONTACT PIN)(4)들이 설치되어 있다.1 is a plan view showing the configuration of a conventional zone stack socket, Figure 2 is a schematic cross-sectional view showing a state of inspecting a package with a conventional zone stack socket, as shown, the socket housing (HOUSING) 1 of the rectangular frame body A plurality of long holes 2 are formed at the upper edge, and two rubber bands 3 and 3 ', each having a different height, are installed to penetrate the long holes 2, and the two rubber bands 3 and 3 ')' Contact pins (CONTACT PINs) 4 are provided to fit the upper and lower ends thereof.
상기와 같이 구성되어 있는 존 스택 소켓을 이용하여 패키지의 검사가 이루어지는 동작을 도 2를 참고하여 설명하면 다음과 같다.An operation of inspecting a package using a zone stack socket configured as described above will be described with reference to FIG. 2.
상기와 같이 구성된 존 스택 소켓(5)을 핸들러(HANDLER)의 디유티 보드(6) 상면에 설치하고, 네스트(NEST)(7)를 이용하여 진공흡착한 패키지(8)를 소켓(5)의 상면에안착시키면서 네스트(7)를 이용하여 하방향으로 패키지(8)를 누른다.The zone stack socket 5 configured as described above is installed on the upper surface of the deity board 6 of the handler HANDLER, and the package 8, which is vacuum-adsorbed using the nest 7, is installed in the socket 5. The package 8 is pressed downward using the nest 7 while seated on the upper surface.
상기와 같이 패키지(8)를 누르면 패키지(8)의 리드(8a)들은 컨택트 핀(4)들의 상면에 각각 접촉되며 하측으로 컨택트 핀(4)들을 누르고, 컨택트 핀(4)들의 하단부는 화살표방향으로 미끄러지며 디유티 보드(6)의 패드(6a)들 상면에 접촉된다.When the package 8 is pressed as described above, the leads 8a of the package 8 are in contact with the upper surfaces of the contact pins 4, respectively, and press the contact pins 4 downward, and the lower ends of the contact pins 4 are in the direction of the arrow. And contact the upper surfaces of the pads 6a of the deity board 6.
상기와 같은 상태에서 패키지의 전기적인 특성검사가 이루어지며, 검사를 마친다음에서 네스트(7)로 패키지(8)를 이동시켜서 검사를 완료한다.In this state, the electrical characteristics of the package are inspected, and after the inspection is completed, the inspection is completed by moving the package 8 to the nest 7.
그러나, 상기와 같이 구성되어 있는 종래 존 스택 소켓(5)은 패키지(8)의 안착시 컨택트 핀(4)의 하단부가 디유티 보드(6)의 패드(6a) 상면을 화살표방향으로 회전과 동시에 미끄러지며 접촉되기 때문에 패드(6a)를 쉽게 손상시켜서 디유티 보드(6) 전체를 교체하여야 하는 문제점이 있었고, 장기간 반복사용하여 컨택트 핀(4)들의 마모가 발생된 경우에 작은 크기의 컨택트 핀(4)들을 작업자가 일일이 소켓(5)의 장공(2)에서 빼내고 교체하여야 하므로 교체시간이 많이 소요될뿐만아니라 번거로운 문제점이 있었다.However, in the conventional zone stack socket 5 constructed as described above, the lower end of the contact pin 4 at the time of mounting of the package 8 simultaneously rotates the upper surface of the pad 6a of the deity board 6 in the direction of the arrow. Since the pad 6a is easily damaged due to the sliding contact, the entirety of the deity board 6 needs to be replaced. In the case where the contact pins 4 are worn out over a long period of time, a small contact pin ( 4) Since the workers have to pull out and replace the socket 2 of the socket 5 one by one, it takes not only a lot of replacement time but also hassle.
본 발명의 주목적은 상기와 같은 여러 문제점을 갖지 않는 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a socket for inspecting a semiconductor high speed package which does not have various problems as described above.
본 발명의 다른 목적은 컨택트 핀의 접촉에 의하여 디유티 보드의 패드가 쉽게 손상되는 것을 방지하도록 하는데 적합한 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓을 제공함에 있다.It is another object of the present invention to provide a socket for inspecting semiconductor high speed packages suitable for preventing the pad of the deity board from being easily damaged by the contact of the contact pins.
본 발명의 또다른 목적은 마모된 컨택트 핀들의 교체를 용이하게 할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a socket for inspecting semiconductor high speed packages suitable for facilitating replacement of worn contact pins.
도 1은 종래 존 스택 소켓의 구성을 보인 평면도.1 is a plan view showing the configuration of a conventional zone stack socket.
도 2는 종래 존 스택 소켓으로 패키지를 검사하는 상태를 개략적으로 보인 단면도.Figure 2 is a schematic cross-sectional view showing a state of inspecting a package with a conventional zone stack socket.
도 3은 본 발명 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓의 구성을 보인 사시도.Figure 3 is a perspective view showing the configuration of the semiconductor high speed package inspection socket of the present invention.
도 4는 본 발명 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓의 구성을 보인 평면도.Figure 4 is a plan view showing the configuration of the socket for semiconductor high speed package inspection of the present invention.
도 5는 도 5의 A-A'를 절취하여 보인 단면도.5 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 5;
도 6은 본 발명 핀어셈블리의 구성을 보인 사시도.Figure 6 is a perspective view showing the configuration of the present invention pin assembly.
도 7은 본 발명 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓으로 패키지의 검사가 이루어지는 상태를 보인 단면도.Figure 7 is a cross-sectional view showing a state in which the package is inspected by the semiconductor high speed package inspection socket of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
11 : 소켓 하우징 11a : 안내벽11 socket housing 11a guide wall
12 : 핀어셈블리 13,13' : 완충부재12: pin assembly 13,13 ': buffer member
14 : 고정블럭 21 : 폴리마이드 테이프14: fixed block 21: polyamide tape
22 : 컨택트 핀 23 : 지지고무22: contact pin 23: support rubber
24,24' : 피난홈24,24 ': Evacuation Home
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 패키지를 안착시키기 위한 장방형의 소켓 하우징과, 그 소켓 하우징에 형성된 핀삽임공에 수직방향으로 삽입되어 검사시 상단부는 패키지의 리드에 접촉되도록 상부로 돌출되고 하단부는 디유티 보드의 패드에 접촉되도록 하부로 돌출되는 복수개의 컨택트 핀과, 그 컨택트 핀들을 밀착고정하기 위하여 핀 삽입공에 연통되게 형성된 블록 삽입공에 삽입고정되는 고정블럭을 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓이 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the rectangular socket housing for seating the package, and inserted into the pin insertion hole formed in the socket housing in a vertical direction, the upper end protrudes to the upper end to contact the lid of the package during inspection and the lower end And a plurality of contact pins protruding downward to contact the pad of the deity board, and a fixing block inserted into and fixed to the block insertion hole formed in communication with the pin insertion hole for tightly fixing the contact pins. A socket for inspecting a semiconductor high speed package is provided.
이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓을 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the semiconductor high speed package inspection socket of the present invention configured as described above will be described in more detail with reference to embodiments of the accompanying drawings.
도 3은 본 발명 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓의 구성을 보인 사시도이고,3 is a perspective view showing the configuration of a socket for inspecting a semiconductor high speed package according to the present invention;
도 4는 본 발명 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓의 구성을 보인 평면도이며,4 is a plan view showing the configuration of the semiconductor high speed package inspection socket of the present invention;
도 5는 도 5의 A-A'를 절취하여 보인 단면도이고, 도 6은 본 발명 핀어셈블리의 구성을 보인 사시도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 5, and FIG. 6 is a perspective view illustrating a configuration of the pin assembly of the present invention.
도시된 바와 같이, 본 발명 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓은 패키지를 안착시키기 위한 장방형의 소켓 하우징(11)과, 그 소켓 하우징(11)의 일측에 설치되어 패키지의 전기적인 신호를 전달하기 위한 핀어셈블리(12)와, 그 핀어셈블리(12)의 접속단자와 대응되는 부분에 설치되어 검사시 접속단자를 완충시키기 위한 완충부재(13)(13')와, 상기 소켓 하우징(11)에 착탈가능하게 설치되어 핀어셈블리(12)를 소켓 하우징(11)에 고정시키기 위한 고정블럭(14)으로 구성되어 있다.As shown, the semiconductor high speed package inspection socket of the present invention is a rectangular socket housing 11 for seating the package, and a pin for installing an electrical signal of the package is installed on one side of the socket housing 11 Attached to the assembly 12, a portion corresponding to the connection terminal of the pin assembly 12, the shock absorbing member (13) (13 ') for cushioning the connection terminal during inspection, and detachable to the socket housing (11) It is installed so that the pin assembly 12 is composed of a fixing block 14 for fixing to the socket housing (11).
상기 소켓 하우징(11)은 장방형의 몸체 주연상에 소정 높이의 안내벽(11a)이 형성되어 있어서, 패키지의 안착시 가이드 할 수 있도록 되어 있고, 일측에는 핀어셈블리(12)가 수직방향으로 삽입되는 핀삽입공(15)과 핀어셈블리(12)를 고정하기 위하여 고정블럭(14)이 삽입되는 블록 삽입공(16)이 연통되게 형성되어 있다.The socket housing 11 is formed with a guide wall 11a having a predetermined height on the periphery of the rectangular body, so that it can be guided when the package is seated, and on one side, a pin assembly 12 is inserted in a vertical direction. In order to fix the insertion hole 15 and the pin assembly 12, the block insertion hole 16 into which the fixing block 14 is inserted is formed in communication.
상기 핀 어셈블리(12)는 도 6에 도시된 바와 같이, 일정 두께와 폭을 갖는 폴리마이드 테이프(21)와, 그 폴리마이드 테이프(21)의 상.하단부로 돌출되도록 등간격으로 설치되는 "??"자형의 컨택트 핀(22)으로 구성되어 있다.As shown in FIG. 6, the pin assembly 12 has polyamide tape 21 having a predetermined thickness and width, and is installed at equal intervals so as to protrude to the upper and lower ends of the polyamide tape 21. And a contact pin 22 having a? &Quot; shape.
상기 완충부재(13)(13')는 상기 컨택트 핀(22)에 대응되도록 소켓 하우징(11) 고정되는 일정 길이를 갖는 탄성고무이다.The buffer members 13 and 13 ′ are elastic rubbers having a predetermined length fixed to the socket housing 11 so as to correspond to the contact pins 22.
상기 고정블럭(14)은 소켓 하우징(11)의 블록 삽입공(16)에 착,탈가능하게 설치되어 있으며, 일측에 폴리마이드 테이프(21)가 삽입되는 삽입홈(14a)이 형성되어 있다.The fixing block 14 is detachably installed in the block insertion hole 16 of the socket housing 11, and an insertion groove 14a into which the polyamide tape 21 is inserted is formed at one side thereof.
상기 소켓 하우징(11)의 상면 일정부분에는 패키지를 지지하기 위하여 일정길이로 설치된 지지고무(23)가 설치되어 있고, 그 지지고무(23)의 전,후측에는 검사시 패키지의 앤시 리드(NC LEAD)가 피난할 수 있는 피난홈(24)(24')이 일정깊이로 형성되어 있다.A certain portion of the upper surface of the socket housing 11 is provided with a support rubber 23 installed at a predetermined length to support the package, and the front and rear sides of the support rubber 23 have an NC lead of the package during inspection. Evacuation grooves (24, 24 ') that can evacuate are formed to a certain depth.
상기와 같이 구성되어 있는 본 발명 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓을 이용하여 패키지를 검사하는 동작을 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.An operation of inspecting a package using the semiconductor high speed package inspection socket of the present invention configured as described above will be described with reference to FIG. 7.
디유티 보드(25)의 상면에 본 발명의 소켓(S)를 설치하고, 검사하고자 하는패키지(26)를 네스트(27)를 이용하여 진공으로 파지하여, 소켓(S)의 상측으로 이동한다.The socket S of the present invention is installed on the upper surface of the de-utie board 25, and the package 26 to be inspected is gripped by vacuum using the nest 27, and then moved to the upper side of the socket S.
그런 다음, 상기 네스트(27)로 파지한 패키지(26)를 소켓(S)의 상면으로 하강시키면서 패키지(26)의 리드(26a)들이 컨택트 핀(22)의 상단부에 접촉되도록 하고, 이와 같이 컨택트 핀(22)이 패키지(26)의 리드(26a)에 의하여 눌릴때는 탄성고무 재질의 완충부재(13)(13')에 의하여 완충되게 되며, 패키지(26)의 몸체는 지지고무(23)에 의하여 지지되며, 패키지(26)의 앤시 리드(26b)들은 피난홈(24)에 피난하게 된다.Then, the lid 26a of the package 26 is brought into contact with the upper end of the contact pin 22 while lowering the package 26 held by the nest 27 to the upper surface of the socket S. When the pin 22 is pressed by the lead 26a of the package 26, the pin 22 is buffered by the elastic rubber buffer members 13 and 13 ', and the body of the package 26 is supported by the support rubber 23. Supported by the package, and the annular leads 26b of the package 26 evacuate to the evacuation groove 24.
상기와 같이 패키지(26)의 리드(26a)와 컨택트 핀(22)의 상단부가 접촉을 하고, 컨택트 핀(22)의 하단부와 디유티 보드(25)의 패드(25a)가 접촉된 상태에서 전기적인 신호를 인가하여 패키지(26)의 전기적인 특성검사를 실시한다.As described above, the lead 26a of the package 26 and the upper end of the contact pin 22 contact each other, and the lower end of the contact pin 22 and the pad 25a of the deity board 25 come into contact with each other. The electrical signal of the package 26 is tested by applying a specific signal.
전기적인 특성검사를 마친 다음에는 네스트(27)로 패키지(26)를 이송하여 패키지(26)의 검사를 완료하게 된다.After the electrical characteristic test is completed, the package 26 is transferred to the nest 27 to complete the inspection of the package 26.
그리고, 상기와 같은 패키지(26)의 검사를 장기간 반복사용 실시하면 컨택트 핀(22)이 마모되게 되는데, 이때 고정블럭(14)를 소켓 하우징(11)에서 해체하고, 핀어셈블리(12)를 제거한 다음, 새로운 핀어셈블리(12)를 고정블럭(14)의 삽입홈(14a)에 삽입되도록 소켓 하우징(11)에 설치하여 검사동작을 재개하게 된다.In addition, when the inspection of the package 26 is repeated for a long time, the contact pins 22 may be worn. At this time, the fixing block 14 is dismantled from the socket housing 11, and the pin assembly 12 is removed. Next, the new pin assembly 12 is installed in the socket housing 11 to be inserted into the insertion groove 14a of the fixing block 14 to resume the inspection operation.
상기와 같은 핀어셈블리(12)의 교체는 고정블럭(14)을 해체하고 다시 조립하는 것으로 간단하게 실시하게 된다.Replacement of the pin assembly 12 as described above is simply performed by disassembling and reassembling the fixed block 14.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명 반도체 하이스피드 패키지 검사용 소켓은 소켓 하우징에 고정블럭을 이용하여 핀어셈블리를 고정설치함으로써, 검사시 종래와 같이 컨택트 핀과의 접촉에 의하여 디유티 보드의 패드가 마모되는 것을 방지할 수 있을뿐아니라, 컨택트 핀의 교체시 고정블럭을 해체하고 핀어셈블리를 교체하는 것으로 간단히 교체할 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, the semiconductor high speed package inspection socket of the present invention is fixed to the pin assembly by using a fixed block in the socket housing, so that the pad of the DeUty board by contact with the contact pin as in the conventional inspection Not only can it prevent wear, but it is also possible to replace the pin by simply removing the fixing block and replacing the pin assembly.
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019980017534A KR100300045B1 (en) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Semiconductor high speed package inspecting socket |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019980017534A KR100300045B1 (en) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Semiconductor high speed package inspecting socket |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR19990085250A KR19990085250A (en) | 1999-12-06 |
KR100300045B1 true KR100300045B1 (en) | 2001-09-06 |
Family
ID=37528859
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019980017534A KR100300045B1 (en) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Semiconductor high speed package inspecting socket |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100300045B1 (en) |
-
1998
- 1998-05-15 KR KR1019980017534A patent/KR100300045B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR19990085250A (en) | 1999-12-06 |
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