KR100294982B1 - 깨끗한입자분급기 - Google Patents

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Abstract

기체에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카와 같은 깨끗한 입자를 분리하는 방법과 장치는 각각에 배출구가 있는 상부(14)와 하부(15)를 보유하는 용기(12)에 소정의 속도로 입자 현탁액(10)을 주입하는 것을 포함한다. 주입된 입자 현탁액은 용기내에 소정의 각으로 기울어져 배치된 집진판으로 향한다. 집진판(20)은 집진판과 충돌한 후에 입자 현탁액이 용기내에서 균일하게 분포하도록 기울어져 있다. 깨끗한 입자는 용기의 상부로 상승하고 잔여의 깨끗한 입자와 오염입자는 용기의 하부로 침강한다. 깨끗한 입자와 오염입자와 잔여의 깨끗한 입자는 각각 상부 배출구(16)와 하부 배출구(17)를 통해 배출된다.

Description

[발명의 명칭]
깨끗한 입자 분급기
[기술분야]
본 발명은 기체속에 현탁된 오염입자로부터 깨끗한 입자를 분리하는 개량된 방법과 장치에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법에 관한 것이다.
많은 산업제조공정에서는 공급재료나 생성물과 같은 미립자로 이루어진 재료를 사용한다. 일반적으로, 용액비, 혼합작용, 분리, 광특성, 매끄러움, 먼지를 조절하기 위한 입자크기분류에 관한 명세서가 있다. 직경이 45.0미크론(325메쉬) 미만인 입자를 보유하는 재료는 고무, 도료, 접착제, 페인트, 밀폐제를 포함하는 합성물의 물리적 특성을 개선하기 위하여 필터 또는 보강제로서 사용되어진다. 특히, 직경이 약 1.0~45.0미크론인 공칭입자를 보유하는 재료가 이러한 방식에 사용되어진다. 이러한 재료들의 예로서 제한되는 것은 아니지만 증발 실리카, 석출된 실리카, 증발 알루미나, 산화아연증기, 카아본 블랙 등이 포함된다.
입자크기 분류를 제어하기 위하여 몇가지 방법들이 개발되어 왔다. 예를 들어, 미립자를 보유하는 재료를 입자크기 또는 밀도에 기초하여 분리하는 공기 분급기, 유동층, 로터리 분급기가 알려져 있다. 기체류의 혼합물로부터 미립자로 이루어진 재료를 분리하는 몇가지 다른 방법이 있는데 미국 특허 4,125,456는 카아본 블랙으로부터 그릿을 분리하는 것이며, 미국 특허 2,561,396은 다른 크기를 보유하는 입자의 혼합물을 분리하는 것이며, 미국 특허 1,146,624는 같은 비중을 보유하는 정련되지 않은 깨끗한 입자류를 분리하는 것이고, 미국 특허 4,299,694는 석탄연소 직접감소공정에서 유출된 폐기물로부터 깨끗한 숯을 분리하는 것이다. 이러한 종래기술은 일반적으로 입자의 혼합물을 위로 흐르는 공기류속으로 넣으므로써 가벼운 입자를 위로 올리고 무거운 입자는 중력에 의해 떨러져 호퍼로 들어가도록 한 것이다. 미국 특허 1,660,682은 공기가 미립자로 이루어진 혼합물을 체임버(chamber)로 분사하므로써 무거운 입자로부터 먼지같은 입자가 분리되며 가벼운 입자는 공기팽창에 의해 공기분사의 직경로로 운반된다. 다른 방법으로는 차단장치 또는 집진판을 이용하여 기체흐름에서 입자를 편향시키는 것이 개발되어 왔다. 예를 들어, 미국 특허 3,865,242는 유체흐름속에 있는 밀도가 다른 미립자로 이루어진 물질을 분급하는 장치에 관한 것이다. 그 장치는 입자가 농축된 덕트방식의 구부러진 부분과 기체성분의 경로를 가로지르는 입자를 편향시키도록 작동되는 구부러진 부분의 아래에 배치된 차단장치를 포함한다. 유사한 장치로 미국 특허 2,968,400에 명시된 것이 있는데, 비중이 다른 가루로 된 재료의 분리기는 회전가능하게 고정된 차단장치 뿐만 아니라 연속적인 공기류 방식을 이용하였다. 미국 특허 3,426,893에는 기체로 운반된 미립자로 이루어진 고체물질의 성분을 분급하고 분리하는 또 다른 장치와 방법이 명시되어 있는데 고체물질의 혼합물은 연속적으로 움직이는 기체류속으로 운반되고 체임버의 배열을 따라 팽창지역으로 이동하므로써 깨끗한 입자가 분리되어 복잡한 장치를 사용할 필요가 없다.
그러나 특수한 공급재료나 생성물에 대하여 바람직한 입자의 크기를 정확하게 선택할 수 있는 보편적인 장치는 없으며 높은 오염수준, 높은 고체손실, 높은 선택 비용, 분급기 작동의 어려움 등과 같은 문제점이 있었다. 이들 문제들은 깨끗한 입자의 분리가 요구될 때 복합적으로 나타난다.
앞에서 말한 바와 같이, 입경이 약 45.0미크론 미만인 재료로는 증발 실리카가 있다. 다양한 성분의 물리적 특성을 개선하기 위하여 부가적으로 사용되는 것으로 잘 알려친 증발 실리카는 입경이 1.0~45.0미크론이고 벌크밀도가 10.01bs/ft3인 깨끗한 이산화규소로 구성되어 있다.
그러므로 기체에 현탁된 오염입자로부터 깨끗한 입자를 분리하는 개선된 방법을 개발하는 것이 바람직하다. 더욱 상세하게는 묽은 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법을 개발하는 것이 바람직하다.
그러므로 본 발명의 목적은 기체에 현탁된 오염입자로부터 깨끗한 입자를 분리하는 개선된 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 묽은 기체류에 현탁된 오염입자로부터 공칭입경이 1.0~45.0미크론인 증발 실리카를 분리하는 방법을 제공하는 것이다.
[발명의 개시]
본 발명에 의하면, 기체에 현탁된 오염물질로부터 깨끗한 입자를 분리하는 방법을 제공하는 것이다. 그 방법은 입자 현탁액을 소정의 속도로 배출구가 있는 상부와 하부를 보유하는 용기에 넣는 것을 포함한다. 그리고 입자 현탁액은 소정의 각도로 용기안에 배치된 집진판으로 향한다. 집진판의 각은 집진판과 충돌한 후 입자 현탁액이 균입하게 분포되도록 정한다. 깨끗한 입자는 용기의 상부로 상승하고 잔여의 깨끗한 입자는 각각 상부와 하부의 배출구를 통해 배출된다.
기체에 현탁된 오염입자로부터 깨끗한 입자를 분리하는 방식은 입자 현탁액을 소정의 속도로 용기에 보내는 수단이 포함된다. 용기는 상부와 하부를 보유하며 각각 배출구를 보유하고 있다. 집진판은 용기내에 소정의 각도로 배치시키므로써 집진판과 충돌한 후에 용기내에 입자 현탁액이 균일하게 분포되도록 한다. 마지막으로, 그 방식은 깨끗한 입자, 오염입자와 잔여의 깨끗한 입자를 배출하는 수단이 포함된다.
예를 들어, 본 발명의 방법은 묽거나 진한 기체류에 현탁된 오염입자로부터 공칭입경이 1.0~45.0인 증발 실리카를 분리하는데 사용되어질 수 있다. 그 발명은 기체류를 소정의 속도로 각각 배출구가 있는 상부와 하부를 보유하는 용기내에 넣는다. 기체는 용기의 증심축에 대하여 0。 ~ 90。 의 각으로 기울어져 배치된 집진판으로 향한다. 집진판의 각은 집진판과 충돌한 후 기체가 균일하게 분리되도록 정한다. 충돌 후에 증발 실리카는 용기의 상부로 상승하고 잔여의 증발 실리카와 오염입자는 용기의 하부에 침강한다. 기체류속도는 용기내의 전체 벌크기체 속도가 약 5.0~20.0ft/min가 되도록 알려진 방법으로 적용한다. 증발실리카, 오염입자와 잔여의 증발 실리카는 각각 상부와 하부의 배출구를 통해 배출된다.
[도면의 간단한 설명]
상기한 목적과 이점은 다음의 도면에 의해 더욱 상세히 이해될 수 있을 것이다.
제1도는 본 발명에 이용된 용기와 집진판의 가공흐름도.
제2도는 본 발명에 이용된 다른 집진판을 나타내는 도면.
제3도는 본 발명의 전체 가공흐름도.
[발명을 실시하기 위한 최선의 형태]
본 발명은 기체에 현탁된 오염입자로부터 깨끗한 입자를 분리하는 방법에 관한 것이다.
제1도에 의하면, 본 발명의 방법은 입구(13)를 통해 입자 현탁액(10)을 용기(12)에 넣는 것을 포함한다. 용기(12)는 원통형상이며 상부(14)와 대략 60° 로 기울어진 경사벽으로 이루어진 원추형의 하부(15)를 보유한다. 상부와 하부는 각각 배출구(16), (17)를 보유한다. 집진판(20)은 용기(12)내에 입자의 크기와 입자 현탁액(10)의 흐름비에 의해 결정되는 소정의 각도로 기울어져 배치되어 있다.
집진판(20)의 각은 집진판과 충돌한 후 입자 현탁액(10)이 균일하게 분포되도록 정한다. 집진판(20)은 종래의 수단에 의해 판막대(22)에 부착되어 있다. 판막대(22)는 용기(12)의 입구(13)로부터 집진판(20)의 거리를 조절한다.
입자 현탁액(10)은 집진판(20)과 충돌하여 용기(12)내에 균입하게 분포된다. 깨끗한 입자는 상부(14)로 상승한다. 오염입자와 잔여의 깨끗한 입자는 용기(12)의 하부(15)에 침강한다. 깨끗한 입자류(30)는 모으거나 가공하기 위해 상부 배출구(16)를 통해 배출되는 반면에, 오염입자와 잔여의 깨끗한 입자류(32)는 제거 또는 분리하기 위하여 하부 배출구(17)를 통해 배출된다.
입자 현탁액(10)은 기체속에 깨끗한 입자와 오염입자의 혼합으로 구성되어 있다. 깨끗한 입자의 입경은 대략 45.0미크론 미만이다(325메쉬). 추가적으로, 깨끗한 입자는 101bs/ft3미만의 벌크밀도를 보유한다. 일반적으로 오염입자는 큰 입자, 정련되지 않은 밀집된 입자, 반응 부산물, 과공정된 재료 및 반응하지 않은 원료로 구성되어 있다. 오염입자는 때때로 그릿이라 불리우며, 깨끗한 입자보다 큰 입자크기와 벌크밀도를 보유한다. 기체에 현탁된 오염입자로부터 분리된 깨끗한 입자의 예로서는 특별히 제한되는 것은 아니지만 증발 실리카, 석출된 실리카, 증발 알루미나, 산화아연증기, 카아본 블랙이 있다.
입자 현탁액(10)은 묽거나 진한 기체류로 운반되고 기체류는 분리하고자 하는 깨끗한 입자의 타입과 특수한 응용에 의존하는 5.0ft/min보다 큰 속도를 보유한 다. 질소 또는 공기 등의 비반응 기체는 깨끗한 입자와 오염입자의 운반기체로서 사용된다. 특히 공기는 저렴하고 편리하기 때문에 운반기체로 많이 사용된다. 입자 현탁액(10)이 반응기, 다른 제조공정용기, 저장탱크(도면표시 않음)로부터 용기(12)로 직접 운반된다. 종래의 방법은 팬, 송풍기, 펌프, 벤추리, 압축된 기체를 이용하는 공기운반시스템을 이용하여 입자 현탁액(10)을 만들고 운반하는데 이용되어졌다. 잘 알려진 종래의 방법은 입자 현탁액(10)의 깨끗한 입자와 오염입자를 용기(12)로 전송할 때 바람직한 전송비와 유동성을 달성하기 위해서 종래의 기술에 의해 제어되고 적용되어 왔다. 제조, 포장, 처리를 하도록 깨끗한 입자와 오염입자를 용기(12)로부터 꺼내기 위하여 비슷한 입자전송방법이 오염입자와 잔여의 깨끗한 입자류 뿐만 아니라 깨끗한 입자류(30)에 이용된다.
본 발명은 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는데 특히 효과적이다.
CAB-O-SIL상표 증발 실리카(캐보트 코오포레이션의 등록된 상표)와 같은 증발실리카는 수소와 산소의 불꽃에서 사염화실리콘의 가수분해에 의해 생성된다. 연소과정에서 실리카의 용해한 구는 공칭평균입경이 0.007~0.027미크론이 되도록 형성된다. 일차 입자인 용해한 구들은 가지가 나 있고 3차원인 사슬모양의 집합체를 형성하기 위하여 서로 충돌하고 결합한다. 집합체가 실리카의 결합온도(약 1710℃) 이하로 떨어지기 때문에 충돌은 가역적이고 기계적으로 엉키거나 덩어리가 된다. 덩어리가 된 증발 실리카는 45.0미크론 미만의 공칭입경과 5.01bs/ft3미만의 벌크밀도를 보유한다. 증발 실리카는 상기한 생산공정 중에 그 표면에 흡착된 염화수소를 제거하기 위하여 하소공정을 한다. 하소공정 후에 증발 실리카와 오염물질을 공기에 현탁시키고 용기(12)로 주입시킨다.
증발 실리카 입자 현탁액에 있는 오염입자는 유리와 도기류 증발 실리카 입자뿐만 아니라 금속조각, 과공정재료, 섬유, 산화금속과 같은 비실리카 오염입자와 실리카를 포함한다. 하소 배출류(입자 현탁액(10))에서 오염입자는 0~800PPM이며, 평균 50PPM이다. 종래의 침강속도산출은 주어진 속도에서 모아지기 쉬운 가장 작은 입자크기를 측정하는데 이용되어진다. 이미 알려진 바와 같이, 오염입자의 크기와 벌크밀도는 45.0미크론과 101bs/ft3보다 크므로 좀더 작은 입자와 가벼운 입자에는 부적합하다.
입자 현탁액(10)은 소정의 속도로 용기(12)로 운반된다. 가장 낮은 흐름비는 증발 실리카를 유체로 만들기에 충분해야 하며 실리카의 크기와 타입, 작동조건은 변화시킬 수 있다. 가장 높은 흐름비는 실리카의 깨끗한 입자의 크기와 타입과 오염입자에 달려있다. 특히 용기내에서 벌크기체를 달성하기 위해서 입자 현탁액(10)의 속도는 대략 5.0~20.0ft/min이 좋다. 벌크기체속도는 용기(12)의 단면적으로 나누어진 ft3/min에서 입자 현탁액(10)의 전체 기체의 흐름이다. 더욱 바람직하게는 용기내의 벌크기체속도는 약 9.0~14.0ft/min이다.
입자 현탁액(10)이 입구(13)를 통해 용기(12)로 들어가 집진판(20)으로 향한다. 집진판(20)과 충돌한 후 입자 현탁액(10)이 용기(12)내에서 균일하게 분포된다. 무겁고 정련되지 않은 오염입자는 깨끗하고 저밀도인 증발 실리카보다 빠른 침강속도를 나타내며 하부(15)에 침강한다. 증발 실리카는 운반기체에 의해 상부(14)로 상승하고 상부 배출구(16)를 통해 배출되어 깨끗한 입자류(30)를 형성한다. 깨끗한 입자류(30)는 0~25PPM의 오염입자를 포함하며 평균 5PPM정도이다. 동시에 적은 양의 잔여의 증발 실리카와 오염입자는 하부 배출구(17)를 통해 배출되어 오염물질과 잔여입자류(32)를 형성한다.
집진판(20)은 입자 현탁액(10)이 집진판(20)의 큰 부분과 충돌하도록 용기(12)의 중심축에 대하여 0。 ~ 90。 의 각만큼 기울어져 용기내에 배치되어 있다. 평면 형상의 집진판(20)은 입구(13)의 단면직경과 들어오는 입자 현탁액(10)보다 크다. 집진판(20)은 용기(12)내에 판막대(22)에 고정되어 있고 판막대는 용기의 외부에 있는 입구(13)로부터 판(20)과의 거리를 오퍼레이터가 조정하도록 되어있다. 용기(20)내에 판(20)을 장착하는 또 다른 방법은 특별히 제한되는 것은 아니지만 조정할 수 있거나 고정된 브래이스 또는 용접이 있다.
제1도와 제2도에 의하면, 집진판(20)은 용기(12)내에 다양한 위치에 배치되어 있다. 상기한 바와 같이, 집진판(20)은 용기(12)내에 소정의 각도로 배치되어 있으며, 상기한 각은 들어오는 입자 현탁액(10)의 흐름비와 입자크기에 따라 결정된다. 제1도는 용기(12)의 증심축에 대하여 0。 로 기울어져 있고 판막대(22)에 부착되어 있는 수직의 집진판(20)을 나타낸다. 입자 현탁액(10)은 집진판(20)에 수직으로 들어가고, 상기한 집진판은 입자 현탁액(10)을 용기(12)내에서 균일하게 분포시킨다(도면표시하지 않음).
제2(a)도는 집진판(20)의 다른 배치를 나타내는 것이다. 집진판(20)은 들어오는 입자 현탁액(10)이 하부(15)로 향하도록 입구(13) 위에 있는 용기(12)의 벽에 아래쪽을 향하여 부착되어 있고, 입자 현탁액은 무겁고 정련이 되지 않은 오염입자가 침강하기 전에 불균일하게 분포된다.
제2(b)도는 용기(12)에 입자 현탁액을 넣는 다른 방법과 집진판(20)의 다른 배치를 나타내는 것이다. 도수로 또는 튜브(26)는 입자 현탁액(10)을 수평적으로 위치한 집진판(20)으로 향하도록 하는데 사용된다. 상기한 바와 같이, 집진판(20)은 종래에 알려진 방법으로 용기(12)내에 장착된다. 입자 현탁액은 집진판(20)과 충돌한 후에 하부(15)에 균일하게 분포하게 된다.
제3도는 본 발명의 또 다른 실시예를 나타내었다. 상기한 바와 같이 생산된 오염입자와 잔여의 깨끗한 입자(32)는 분급기(40)로 들어가서 용기(12)에 오염입자와 함께 침강되어 있던 증발 실리카와 같은 깨끗한 입자가 오염입자와 분리된다. 분급기(40)는 비기계식 또는 기계식 분급기가 있다. 사이클론 분리기와 같은 비기계식 분급기는 장착, 작동, 유지 등에 비용이 적게 들기 때문에 바람직하다. 알려진 바와 같이, 사이클론 분리기는 입자가 있는 기체를 원통형 또는 원추형의 체임버에 접선방향으로 넣으므로써 작동한다. 무겁고 정련되지 않은 오염입자는 하부 배출구를 통하여 배출되고 증발 실리카와 같은 가볍고 깨끗한 입자는 상부 배출구를 통하여 배출된다.
제3도에 나타낸 바와 같이, 잔여의 깨끗한 입자류(42)는 입자 현탁액(10)과 함께 입구(13)를 통해 용기(12)로 되돌아간다. 상기한 바와 같이, 잔여의 깨끗한 입자류(42)가 집진판(20)에 충돌하므로써 용기내의 모든 공정이 반복된다. 그 입자들은 용기(12)내에서 균일하게 분포되며 오염입자는 침강하여 하부 배출구(17)를 통하여 배출되고 깨끗한 입자는 상승하여 상부 배출구(16)를 통하여 배출된다. 오염물질 배출류(44)는 중앙의 하부 배출구를 통해 분급기에 남게 되고 처리류(48)에 의해 처리되기 전에 축적되는 저장탱크(46)로 들어간다.
상기한 바와 같이, 본 발명은 기체속의 오염입자로부터 깨끗한 입자를 분리하기 위한 개선된 방법을 설명한 것이다. 이동부분이 없는 시스템을 이용하여 들어오는 속도와 오염레벨의 변화에 대하여 민감하지 않고 값이 싸고 효과적인 오염물질 제거공정을 제공하는 것이다. 마지막으로 본 발명은 종래의 분급기에 비해 작동의 유연성, 저압력강하, 낮은 고형물, 즉, 깨끗한 입자, 손실이 허용된다.
본 발명의 실시예를 상세히 설명하였지만 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변경, 수정이 가능하다.

Claims (17)

  1. 기체류에 현탁된, 입경을 가지고 상기한 증발 실리카보다 큰 벌크밀도를 보유한 오염입자로부터, 45.0미크론 미만의 공칭입경과 10.01bs/ft3미만(160kg/m3)의 벌크밀도를 보유한 증발 실리카를 분리하는 방법에 있어서, (a) 각각에 배출구(16),(17)가 있는 상부(14)와 하부(15)를 보유하는 용기(12)에, 증발 실리카가 상기한 용기(12)내에서 5.0∼20.0ft/min(즉, 1.5∼6.0m/min)의 벌크속도로 흐르도록 하기에 충분한 소정의 속도로 입자 현탁액(10)을 주입하는 단계와, (b)상기한 입자 현탁액(10)이 상기한 용기(12) 내에 소정의 각으로 기울어져 배치된 집진판(20)으로 향하도록 하고, 상기한 각이 상기한 입자 현탁액(10)이 상기한 집진판(20)과 충돌 후에 용기내에서 균일하게 분포되도록 설정되는 단계와, (c) 상기한 증발 실리카가 상부(14)로 상승하고 상기한 오염입자와 잔여의 증발 실리카가 하부(15)로 침강하는 단계와, (d) 상기한 증발 실리카(30)가 상부 배출구(16)를 통해 배출되는 단계와, (e) 상기한 오염입자와 잔여의 증발 실리카(32)가 상기한 하부 배출구(17)를 통해 배출되는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발실리카를 분리하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, (a) 상기한 용기(12)에 오염입자(44)와 함께 침강된 잔여의 증발 실리카(42)를 분리하기 위하여 상기한 오염입자와 잔여의 증발 실리카(32)를 분급기(40)에 주입하는 단계와, (b) 상기한 잔여의 증발 실리카(42)를 상기한 용기(12)로 재순환시키는 단계와, (c) 상기한 오염입자(44)를 배출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기한 분급기(4)가 로터리 분급기인 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기한 증발 실리카가 1.0∼45.0미크론의 공칭입경을 보유하는 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기한 증발 실리카가 5.01bs/ft3(80kg/m3)미만의 벌크밀도를 보유하는 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기한 증발 실리카와 상기한 오염입자가 묽은 기체류에 현탁되어 있는 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발실리카를 분리하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기한 증발 실리카와 상기한 오염입자가 진한 기체류에 현탁되어 있는 것을 특징으로 하는 기체에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기한 용기(12) 내에서의 벌크밀도가 9.0∼14.0ft/min(2.7∼4.3m/min)인 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기한 집진판(20)이 상기한 용기(12)의 중심축에 대하여 0∼90°의 각 만큼 기울어져 용기(12) 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
  10. 기체류에 현탁된, 입경을 가지고 상기한 증발 실리카보다 큰 벌크밀도를 보유한 오염입자로부터, 45.0미크론 미만의 공칭입경과 10.01bs/ft3(160kg/m3)미만의 벌크밀도를 보유한 증발 실리카를 분리하는 장치에 있어서, (a) 각각에 배출구(16),(17)가 있는 상부(14)와 하부(15)를 보유하는 용기(12)에, 증발 실리카가 상기한 용기(12)내에서 5.0∼20.0ft/min(즉, 1.5∼6.0m/min)의 벌크속도로 흐르도록 하기에 충분한 소정의 속도로 상기한 입자 현탁액을 이송시키는 수단과; (b) 상기한 입자 현탁액이 상기한 집진판(20)과 충돌 후에 용기내에서 균일하게 분포되도록, 상기한 용기(12)의 중심축에 대해 0°내지 90°의 각으로 기울어져 용기 내에 배치된 집진판(20)과; (c) 상기한 증발 실리카(30)를 상부 배출구(16)를 통해 배출시키는 수단과; (d) 상기한 오염입자와 잔여의 증발 실리카(32)를 상기한 하부 배출구(17)를 통해 배출시키는 수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발실리카를 분리하는 장치.
  11. 제10항에 있어서, 제1배출구와 제2배출구를 보유하고 있는 분급기(40)와; 상기한 오염입자와 잔여의 증발 실리카 입자가 상기한 분급기로 향하도록 하는 수단과; 상기한 잔여의 깨끗한 입자를 상기한 용기(12)로 재순환하는 수단과; 상기한 오염입자를 배출하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기한 분급기가 로터리 분급기인 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 장치.
  13. 제9항에 있어서, 증발 실리카 입구(13)로부터 집진판(20)과의 거리가 조절가능한 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
  14. 제9항에 있어서, 상기한 집진판(20)의 크기가 증발 실리카 입구(13)와 들어오는 입자 현탁액(10)의 단면직경보다 큰 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
  15. 제1항에 있어서, 상기한 집진판(20)이 평면인 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
  16. 제1항에 있어서, 상기한 입자 현탁액(10)이 집진판(20)에 대해 수평하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
  17. 제1항에 있어서, 상기한 입자 현탁액(10)이 집진판(20)에 대해 수직하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 기체류에 현탁된 오염입자로부터 증발 실리카를 분리하는 방법.
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