KR100288024B1 - 대전 방지 현미경 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 대전방지 현미경에 관한 것으로, 정전하에 의해 손상되기 쉬운 부품을 검사하기 위해 사용되는 정전하를 축적되기 쉬운 플라스틱 부재에 연결되는 도전성 부재를 가지고, 이것은 정전하가 상기 도전성부재를 통하여 재빨리 일소되는 정전하인 플라스틱 부재로 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

대전방지 현미경
본 발명은 현미경에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 정전하를 일소할 수 있는 플라스틱 부품을 가진 현미경에 관한 것이다.
1987년 9월 1일자 특허된 미합중국 특허 제 4,690,519 호에 개시된 바와 같은 일반적인 입체 현미경 및 미합중국 특허 제 4,573,771 호에 개시된 바와 같은 복합 현미경이 반도체 부품의 제조 및 검사시에 사용된다. 이러한 현미경의 초기 모델은 광학소자부분을 제외하고는 금속으로 제조되었으나, 산업의 발달은 이러한 현미경에서 일반적으로 사용되는 많은 부품을 플라스틱으로 대체했다. 이러한 부품의 대표적인 예는 포커스 손잡이, 줌 손잡이, 접안경 조정링 및 몸체용 커버뿐만 아니라 쌍안 어셈블리용 커버 등이며, 이 모든 것들이 현재는 플라스틱을 사용해서 제조된다. 그러나, 다양한 제조자들에 의해, 심지어는 단일 제조자들의 경우에서도 여러가지 상이한 플라스틱이 사용되고 있지만, 이러한 플라스틱들은 정전하를 일소할 수 있는 이점이 결여되어 정전하에 노출되는 결과 반도체 장치 및 그의 부품들이 영구적으로 손상되거나 사용할 수 없게 될 위험을 초래한다. 반도체 장치 및 그의 부품들은 예컨대, 검사를 위한 현미경 스테이지 상에 배치될 때에 이러한 전하에 노출된다. 여기에서 사용되는 현미경이라는 용어는 복합 현미경이나 입체 현미경의 스탠드 및 포커스 메카니즘을 포함한다.
1986년 10월 21일자 미합중국 특허 제 4,618,222 호는 현미경과 검사되는 대을 지지하기 위한 스테이지 사이에 배치되는 보호 커버에 관하여 기술한다. 상기 특허는 정전하에 의한 부품들의 손상을 방지하기 위해서 플라스틱에 적용되는 대전방지 필름의 필요성에 관하여 기술한다. 또한 상기 필름은 접지된다.
본 발명은 정전하를 축적하기 쉬운 적어도 하나의 플라스틱 부재를 가진 대전방지 현미경에 관한 것으로, 상기 플라스틱 부재는 정전하 일소 플라스틱(static charge dissipative plastic)으로 제조된다. 바람직하게는 상기 플라스틱은 15%의 상대 습도(rh)환경에서 10초 내에 5000 볼트의 전하를 0 볼트로 일소한다. 상기 전하는 접지된 현미경의 하나 이상의 금속 부품을 통해 일소된다.
다양한 플라스틱 재료가 정전하를 일소할 수 있다. 이러한 재료들은 일반적으로 도전성 중합체와의 배합물 뿐만 아니라 탄소 또는 탄소섬유 또는 분말 금속과 같은 도전성 충전제(filler)를 사용하여 형성된다. 금속 또는 탄소와 같은 도전성 충전제를 가진 플라스틱은 널리 공지되어 있어서 더 설명할 필요가 없지만, 정전하를 일소하는 성질을 갖도록 도전성 중합체를 사용하는 플라스틱은 상대적으로 신규하다. 정전하 일소성을 가진 중합체로서 하나의 예는 B. F. Goodrich Company로부터 입수가 가능한 Stat-Rite정전하 일소 중합체(static dissipative polymer)로 알려진 그룹이며 이것은 아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌(acrylonitrile-butadiene-styrene, ABS), 폴리카보네이트(ploycarbonate), 폴리스티렌(polystyrene) 및 개질된 폴리페닐렌 산화물 중합체(polyphenylene oxide polymer)와 함께 사용하기에 적합하다. 정전하 일소 혼합물인 Electrafil그룹은 Stat-Rite중합체를 사용하여 정전하를 일소하는 정전하 축적물질의 한 예이다. 정전하 일소 열가소성 물질인 ElectrafilABS 계열이 2267 West Mill Road, Evansville, Indiana에 위치한 DSM Engineering Plastics사로부터 입수 가능하다. 이러한 플라스틱들은 정전하의 축적에 저항할 뿐만 아니라 축적된 전하를 빠르게 일소하는 부가적인 이점을 가진다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대해 설명한다.
미합중국 특허 제 4,690,519 호에 기술되는 것과 유사한 입체 현미경의 줌 조정 손잡이(zoom control knob), 접안경 조정링(eyepiece focusing ring), 몸체 커버(body cover) 및 쌍안 커버(binocular cover) 및 미합중국 특허 제 4,729,646 호에 기술되는 것과 유사한 스탠드의 조정 손잡이(focusing knob)가 DSM Engineering Plastics사로부터 얻어지는 ElectrafilABS-1200/SD 플라스틱을 사용해서 사출 성형된다. 이러한 현미경의 플라스틱 부재들은 연방 시험 표준(Federal Test Standard) 101℃ 방법 46(Method 46)을 사용할 때, 15% 상대습도에서 2초이내에 5000 볼트에서 0볼트로 되는 정전하 감쇠속도를 가진다. 상기 조정 손잡이 상에 축적되는 전하는 금속 조정 샤프트를 통하여 접지된 금속 스탠드로 일소된다. 몸체 커버상에 축적되는 전하는 현미경을 지지하는 접지된 금속 스탠드로 직접 일소된다.
쌍안 커버 및 접안경 조정링 상에 축적되는 전하는 금속 현미경 프레임 및 몸체 커버를 통하여 접지된 금속 스탠드로 일소된다.

Claims (3)

  1. 정전하에 손상되기 쉬운 부품을 검사하기 위해 사용되는 현미경에 있어서, 상기 현미경은 접지된 전도성 금속 현미경 스탠드; 상기 현미경 스탠드에 의해 지지되는 현미경 몸체 커버; 상기 몸체 커버에 연결된 전도성 금속 현미경 프레임; 상기 현미경 프레임에 연결된 금속 줌 조정 샤프트; 상기 현미경 몸체 커버에 연결된 현미경 상부 커버; 상기 줌 조정 샤프트에 연결된 줌 조정 손잡이; 상기 현미경 프레임에 연결되고, 접안경 조정링을 구비한 적어도 하나의 금속 접안경 튜브를 포함하고, 상기 몸체 커버, 상부 커버, 줌 조정 손잡이 및 접안경 조정링 중 적어도 하나는 정전하 비일소성 중합체(static non-dissipating polymer)와 정전하 일소성 중합체(static dissipating polymer)를 필수적 구성요소로 하여 사출 성형된 플라스틱 부품이고, 상기 플라스틱 부품으로 유입되는 정전하가 빠르게 접지된 곳으로 일소되는 것을 특징으로 하는 현미경.
  2. 제1항에 있어서, 상기 정전하 비일소성 중합체는 ABS 중합체(ABS polymer)이고, 그 안에 상기 정전하 일소성 중합체가 분산되어 있는 것을 특징으로 하는 현미경.
  3. 제1항에 있어서, 상기 플라스틱 부품이 상대습도 15%에서 10초 이내에 5000볼트에서 0볼트로 되는 정전하 감쇠속도를 가지는 것을 특징으로 하는 현미경.
KR1019960702134A 1994-01-12 1994-12-05 대전 방지 현미경 KR100288024B1 (ko)

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