KR100275796B1 - 광학기구와 광학기구용 회절소자 - Google Patents

광학기구와 광학기구용 회절소자 Download PDF

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Abstract

광학장치는, 회절구성요소(25)가 장치의 초점 또는 상면(3)에 위치되고 그리고 회절구성요소(25)는 장치의 관측위치에 다수의 출사동배열(6)을 만들기에 효적이며, 이에의해 장치에 확대된 출사동을 형성하는 것으로 표현된다.

Description

광학기구와 광학기구용 회절소자
본 발명은 광학기구와 광학기구용 회절소자에 관한 것으로, 특히 물체의 상기 관측자에 의하여 관측될 수 있는 출사동공(出射瞳孔)을 갖는 광학기구에 관한 것이다.
종래의 광학기구는 그 출사동공의 크기가 비교적 작다. 따라서 관측자가 이 기구로부터의 상(像)을 정확히 보거나 또는 기구로부터의 빛을 받아들이기 위하여 관측자는 자신의 눈의 입사동공을 광학기구의 출사동공에 정확히 정렬시키는 것이 필요하다.
만약 확대된 출사동공을 갖는 광학기구를 제공함으로서 관측자 눈의 입사동공을 광학기구의 출사동공에 정확히 정렬시킬 필요가 없도록 한다면 유리할 것이다. 이와 같은 경우 관측자는 자신의 동공을 확대된 출사동공의 어느 위치에 놓아도 자유로운 상의 관측 또는 광학기구로부터의 수광(受光)이 가능할 것이다. 그러나, 종래 광학기구의 출사동공의 크기는 기구의 조리개수와 기구의 전체배율의 함수에 의하여 결정되어 출사동공의 크기는 고정되고 비교적 작다.
본 발명의 한 관점에 따라서, 관측자에 의하여 출사동공에서 관측될 광학상(光學像)을 형성하기 위한 수단을 포함하는 기구가 상기 광학상이 관측자에 의하여 관측될 수 있는 상기 다수의 출사동공의 어레이(array)로 구성되는 확대형 출사동공을 형성하는 수단을 포함한다.
다수의 출사동공의 어레이를 형성하는 수단은 광학기구의 중간 초점면 또는 상면(像面)에 배치되는 회절수단으로 구성되는 것이 좋다.
확대형 출사동공을 형성하기 위한 수단은 다수의 회절부소자(回折副素子)의 어레이를 포함하는 회절소자로 구성될 수 있다.
회절소자는 광학기구의 다른 광학소자의 표면에 형성되거나 이에 일체로 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따라서, 본 발명의 광학기구는 물체가 놓이는 평면, 즉 물면(物面)에 놓인 물체의 상면(像面)에 중간상을 형성하기 위한 대물렌즈, 대물렌즈 구경의 관측위치에서 출사 동공의 상을 형성하고 상기 출사동공에서 상기 중간상의 확대상을 형성하는 접안렌즈와, 관측위치에서 상기 다수의 출사동공의 어레이를 구성토록 상기 상면에 배치되는 회절소자를 포함한다.
본 발명의 제 3 관점에 따라서, 본 발명의 광학기구는 대물렌즈, 대물렌즈에서 구경의 상을 포함하는 중간출사동공을 형성하는 제 1 렌즈, 상기 중간출사동공과 상기 대물렌즈 및 상기 제 1 렌즈에 의하여 형성된 상을 관측위치로 중계하기 위한 광학시야시스템(optical field system)과, 상기 관측위치에서 상기 광학시야시스템에 의하여 이에 중계된 상기 다수의 중간출사동공의 어레이를 형성하도록 상기 광학시야시스템의 상면에 배치되는 회절소자를 포함한다.
본 발명의 제 4 관점에 따라서, 본 발명은 다수의 출사동공의 어레이를 구성토록 광학기구에 사용하기 위한 회절소자를 포함한다.
본 발명을 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
제1도는 회절소자가 사용되는 현미경의 광학소자를 보인 설명도.
제2도는 제1도의 현미경에 구성되는 출사동공 어레이를 보인 설명도.
제3도는 투과성 회절소자를 이용한 투사현미경의 광학소자를 보인 설명도.
제4도는 반사성 회절소자를 이용한 다른 형태의 투사현미경을 보인 설명도.
제5도는 광학소자상의 회절소자어레이를 보인 설명도.
제6도는 제5도의 6-6선 단면도.
제7도는 제5도의 7-7선 단면도.
제8도와 제9도는 광학소자상의 다른 구조의 회절소자어레이를 각각 보인 제6도와 제7도에 상응하는 단면도.
제10도는 조합형 프레넬렌즈계와 회절소자어레이로 구성되는 광학소자를 보인 설명도.
제11도와 제12도는 각각 제10도의 11-11 선 및 12-12 선 단면도.
제13도는 조합형 프레넬렌즈계와 회절소자어레이를 이용한 투사현미경의 광학소자를 보인 설명도.
제1도에서, 현미경은 대물렌즈(1)와 접안렌즈(2)를 포함한다. 대물렌즈는 물면(4)에 놓인 물체의 초첨면 또는 상면(3)에서 물체의 중간상을 만들며, 잘 알려진 바와 같이, 관측자의 눈을 현미경의 출사동공(5)에 정렬시켰을 때 물체의 중간상, 즉 물체의 확대상이 관측될 수 있다. 출사동공(5)은 대물렌즈(1)의 구경의 상이다. 본 발명에 따른 현미경에 있어서, 현미경의 중간 초점면 또는 상면(3)에 투과성 회절소자가 배치된다. 회절소자는 이러한 현미경에 회절소자가 없는 경우 형성될 수 있는 출사동공(5)에 각각 상당하는 출사동공(7)의 어레이(6)(제2도)를 구성하는 효과가 있다. 출사동공의 어레이(6)를 구성토록 회절소자의 설계를 적당히 선택함으로서 이러한 출사동공 어레이는 인접한 출사동공(5, 7)이 간격을 두거나 접촉되게 배열될 수 있다.
만약 요구되는 경우 대물렌즈의 구경은 조리개(8)에 의하여 한정될 수 있다. 조리개(8)는 원형일 수 있으며 이에 따라 출사동공도 원형이 된다. 그러나, 대물렌즈의 구경은 원형이 아닌 형상일 수 있으며 예를 들어 직사각형, 정사각형 또는 육각형일 수 있다. 따라서, 출사동공(5, 7)은 요구된 경우 어레이의 출사동공이 이들 사이에 간극을 두거나 중복되지 않고 서로 인접되게 배치되거나 출사동공이 간격을 두거나 약간만 중첩되게 배치될 수 있는 형상으로 이루어진다. 그러나, 출사동공사이의 배치상태는 출사동공의 어레이가 관측자의 눈에는 단일의 연속한 확대출사동공으로 보이도록 선택된다. 어레이에서 출사동공의 간격이 너무 넓으면 어레이는 관측자에게 연속된 확대출사동공으로 보이지 않아 기구의 조리개수와 이에 따른 해상력의 손실을 가져온다.
제3도는 대물렌즈(10), 투사접안렌즈(11)와 시야렌즈(12)(13)를 포함하는 투사현미경을 보이고 있다. 이러한 투사현미경의 구성에 있어서 투사접안렌즈는 중간면(15)에 중간출사동공을 형성토록 대물렌즈(10) 또는 조리개(14)의 구경을 상으로 맺게 한다. 시야렌즈(12)(13)는 중간면(15)의 중간출사동공의 상을 관측자의 관측위치의 최종 출사동공(16)으로 중계한다. 대물렌즈(10)와 투사접안렌즈(11)는 물면(18)에 놓인 물체의 상을 시야렌즈(12)(13) 중간의 면(17)에 형성한다. 투과성회절소자(25)가 관측위치에서 최종적으로 확대된 출사동공(16)을 형성토록 중간면(15)에서 중간출사동공의 상의 어레이를 형성하기 위하여 면(17)에 배치된다.
제4도는 제1도에서 보인 현미경과 제3도에서 보인 투사현미경에서와 같이 투과성 회절소자에서 상을 형성하는 대신에 상이 반사성 회절소자(20)에서 형성되는 투사현미경의 다른 실시형태를 보인 것이다. 단일의 시야렌즈(21)와 반사소자(22)가 거울(24)을 통하여 관측자의 눈(23)에 관측되는 상을 형성토록 제공된다. 시야렌즈(21)와 평면경 형태인 반사소자(22) 대신에 오목형의 부분구면반사소자(部分球面反射素子)가 사용될 수 있다. 회절소자(25)가 반사소자(22)의 표면에 인접하여 제공된다. 회절소자(25)는 별개의 요소이거나 반사소자(22)와 일체로 형성되고 반사소자(22)의 반사면에 형성될 수 있다. 회절소자가 오목형 반사소자와 일체로 형성되고 반사소자의 부분구면의 오목면에 형성되어 회절소자가 반사소자의 곡면형상을 갖도록 할 수 있다.
제2도에서 보인 바와 같이, 출사동공의 2 차원 어레이가 연속적으로 확대된 출사동공을 형성토록 구성되는 반면에, 어떤 목적을 위하여 서는 출사동공의 1 차원의 확대만으로도 충분하며, 이 경우에 있어서 회절소자가 출사동공의 선형어레이를 구성토록 형성되고 출사동공이 간격을 두거나 인접하여 접촉하게됨을 알 수 있다.
이와 같이 본 발명은 광학기구의 중간상면에 배치될 때 시야렌즈 또는 반사경시스템과 함께 사용된 반사성 또는 굴절성 회절수단에 의하여 관측자 눈의 관측위치에서 출사동공의 어레이 또는 중간출사동공의 상의 어레이를 형성하는 광학요소를 포함하는 광학기구를 제공한다.
제5도, 제6도 및 제7도에서, 한 형태의 회절소자(25)가 회절부소자(27)의 어레이를 갖는 면(26)으로 구성되며, 시야렌즈와 반사소자 시스템에 관련하여 이들 회절부소자의 크기는 관측위치에 형성되는 인접한 동공상(瞳孔像)의 간격을 결정한다. 각 회절 부소자의 단면과 형태는 각 동공상의 상대적인 광에너지레벨을 결정한다. 회절소자(25)는 그 면(26)에 다수의 제 1 평행요구(28)(제6도)를 가지며 제 1 평행요구(28)사이의 공통의 평행한 제 1 엣지(edge)(29)는 제 1 회절격자로서 작용한다. 또한 회절소자(25)는 그 면(26)에 제 1 평행요구(28)에 수직으로 연장된 다수의 제 2 평행요구(30)(제7도)를 가지며 인접한 제 2 평행요구(30) 사이의 공통의 평행한 제 2 엣지(31)가 제 1 회절격자의 방향과 수직인 방향을 갖는 제 2 회절격자로서 작용한다. 인접한 공통의 제 1 엣지(29)의 간격, 즉 피치는 제 1 방향에서 출사동공의 간격을 결정하고 인접한 공통의 제 2 엣지(31)의 간격 또는 피치는 제 1 방향에 수직인 제 2 방향에서 출사동공의 간격을 결정한다. 전형적으로 엣지(29)(31)의 피치는 80 - 160 미크론의 범위이다. 요구(28)(30)의 벽의 각도와 형태는 다수의 출사동공에 대한 빛의 분산을 결정하며 요구의 벽은 다수의 출사동공에 대한 빛의 균일한 분산이 이루어지도록 형성한다. 제6도와 제7도에서 보인 바와 같이 요구가 엣지 사이에 홈을 형성하도록 회절격자를 형성하는 엣지(29)(31)가 면(26)의 최상부에 놓이도록 면(26)에 요구를 형성하는 대신에, 회절소자가 반대형상이 되도록 형성하여 회절선이 이러한 소자에 형성된 요구의 가장 깊은 부분에 의하여 형성되게 할 수 있다.
제 1 및 제 2 회절격자를 형성하는 엣지 또는 라인의 간격은 동일하며, 필요한 경우 일측 회절격자의 엣지 또는 라인의 간격은 타측 회절격자의 엣지 또는 라인의 간격보다 클 수 있다. 또한 일측 회절격자의 모든 요구의 단면형태는 동일할 수 있으며, 필요한 경우 인접한 요구에 대해 각 요구 또는 일부의 요구의 단면형태는 출사동공에 대한 빛의 요구된 분산이 이루어지도록 달라질 수 있다.
시야렌즈(12)(13)가 상을 투사하도록 제공되는 제3도에서 보인 현미경의 구조와, 거울과 시야렌즈(21)가 상을 투사하도록 제공되는 제4도에서 보인 현미경의 구조에서 시야렌즈는 적어도 상면과 같은 크기를 갖는 것이 필요하다. 이는 기구의 제조비용이 많이 들고 무게가 많이 나가는 결점을 제공하며 넓은 시야가 요구될 때 이는 요구된 크기의 시야렌즈를 제작할 수 없도록 한다. 이들 결점을 극복하기 위하여 프레넬렌즈(fresnel lens)가 굴절성 시야렌즈 대신에 사용될 수 있다. 제10도에는 프레넬렌즈와 회절소자가 일체의 광학소자(32)로 제작된 것을 보이고 있다. 통상적으로 원형의 프레넬렌즈는 조합되어 광학적으로 굴절렌즈와 유사하게 작용하는 다수의 동심원상 프리즘 링(prismatic rings)으로 구성된다. 그러나, 본 발명에 있어서는 통상적인 원형 프레넬렌즈를 구성하는 대신에 원형 프레넬렌즈의 요구된 광학특성이 상호 수직인 두 개의 원통형 프레넬렌즈에 의하여 제공된다. 제 1 원통형 프레넬렌즈는 평행선(34)으로 한정된 제 1 패턴의 평행프리즘스트립(33)으로서 형성되고 제 2 원통형 프레넬렌즈는 평행선(36)으로 한정된 제 2 패턴의 평행프리즘스트립(35)으로서 형성된다. 제 1 패턴의 평행프리즘스트립(33)은 제 2 패턴의 평행프리즘스트립(35)에 수직으로 연장되어 이들 스트립으로 형성되는 제 1 및 제 2 원통형 프레넬렌즈는 서로 수직이다. 제 1 및 제 2 원통형 프레넬렌즈는 조합되어 광학적으로 통상적인 원형 렌즈로서 작용한다. 이미 언급된 바와 같이, 상호 수직인 두셋트의 평행선의 패턴은 출사동공의 어레이를 형성하는데 이용되고 마찬가지로 제 1 및 제 2 프레넬렌즈를 형성하는 평행선의 패턴은 출사동공의 어레이를 형성하는데 이용된다. 프레넬렌즈를 구성하는 프리즘스트립의 표면은 통상적인 프레넬렌즈와 다르게 수정된다. 통상적인 프레넬렌즈에 있어서, 각 링 또는 스트립의 표면은 링의 방사상 방향으로 또는 스트립에 대하여 이 스트립의 횡단방향으로 선형인 것에 대하여, 본 발명에 있어서는 제 1 및 제 2 프레넬렌즈의 패턴의 의하여 형성된 출사동공 어레이의 출사동공에 대하여 빛에너지의 균일한 분산이 이루어지도록 하기 위하여 스트립(33)(35)의 경사면(37)(38)이 제11도와 제12도에서 보인 바와 같이 만곡된다. 이들 스트립의 경사면은 볼록형 또는 오목형일 수 있다. 이와 같이 각 스트립은 제11도와 제12도에서 보인 바와 같이 오목형의 경사면(37)(38)을 갖거나 또는 볼록형 경사면을 가질 수 있으며, 이러한 경사면의 곡률은 출사동공 어레이에 대한 요구된 빛에너지의 균일한 분산이 이루어질 수 있도록 선택될 수 있다.
제13도는 제3도와 유사하게 투사현미경을 보인 것이나 단일의 광학소자(32)가 다수의 출사동공 어레이를 형성토록 시야렌즈(12)(13)(제3도)와 회절소자(25)(제3도)의 기능을 수행한다. 이러한 소자는 경량이서 경제적으로 제작될 수 있다.
기재의 공통표면에 제 1 및 제 2 원통형 프레넬렌즈를 형성하는 것이 좋으나 필요한 경우 제 1 및 제 2 원통형 프레넬렌즈는 현미경에서 서로 평행하게 연장된 상이한 면에 형성될 수 있다. 예를들어 한 렌즈의 패턴은 기재의 일측면에 형성되고 다른 렌즈의 패턴은 기재의 타측면에 형성될 수 있다. 기재의 표면에 형성된 렌즈의 패턴은 제5도 - 제9도의 패턴에 관련하여 이미 언급된 바와 같은 방법과는 반대패턴일 수 있다.
통상적으로 회절소자는 광학기구의 다른 광학소자에 대하여 고정적인 것으로 예상된다. 그러나, 어떤 경우에 있어서는 예를들어 회절소자의 평면에 수직인 축선을 중심으로 하여, 또는 오목형 부분구면 소자의 경우 회절소자의 중심축선을 중심으로 하여 회절소자를 회전시킴으로서 광학기구의 다른 광학소자에 대하여 회절소자를 이동시키는 것이 바람직하다. 이러한 회전은 전동모터와 이 모터로부터 회절소자로의 구동전달장치를 제공함으로서 이루어질 수 있다.
지금까지 본 발명은 현미경에 대하여 설명되었으나 본 발명은 현미경에만 국한되는 것은 아니며 다른 광학기구 또는 장치의 확대형 출사동공을 형성하는데 이용될 수 있다.
상기 언급된 바와 같이 회절소자(25)는 별개의 요소이거나 또는 광학장치의 렌즈 또는 거울과 같은 다른 광학소자와 일체로 형성될 수 있다. 회절소자가 렌즈 또는 거울과 같은 다른 광학소자와 일체로 형성될 때 회절격자를 구성하는 요구와 라인은 이들 다른 광학소자의 표면에 형성된다. 이는 광학소자의 표면에 물질의 층을 도층하고 도층된 층에 요구를 컷팅 또는 다른 방법으로 형성하여 이루어질 수 있다.
명세서에서는 렌즈, 거울 또는 기타 광학소자가 설명되었으나 이러한 소자는 단일 광학소자 또는 소자의 조합으로 구성되는 복합 광학소자로 구성될 수 있다.

Claims (29)

  1. 출사동공(5)에서 관측자에 의하여 관측될 광학상을 형성하기 위한 대물렌즈(1)와 접안렌즈(2)를 포함하는 광학기구에 있어서, 상기 광학상이 관측자에 의하여 관측될 수 있는 상기 다수의 출사동공(5, 7)의 어레이(6)로 구성되는 확대된 출사동공을 형성하기 위한 수단으로서 회절소자(25)가 구성되어 있음을 특징으로 하는 광학기구.
  2. 제1항에 있어서, 다수의 출사동공의 어레이를 형성하기 위한 회절소자(25, 32)가 광학기구의 상면에 배치된 회절수단으로 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  3. 제1항에 있어서, 확대된 출사동공을 형성하기 위한 회절소자(25, 32)가 간격을 둔 출사동공의 어레이(6)를 형성토록 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  4. 제2항에 있어서, 확대된 출사동공을 형성하기 위한 회절소자(25, 32)가 간격을 둔 출사동공의 어레이(6)를 형성토록 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  5. 제1항에 있어서, 확대된 출사동공을 형성하기 위한 회절소자(23, 32)가 출사동공이 인접하고 중첩되지 않으며 인접한 출사동공 사이에 간극이 없는 출사동공의 어레이(6)를 형성토록 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  6. 제2항에 있어서, 확대된 출사동공을 형성하기 위한 회절소자(25, 32)가 출사동공이 인접하고 중첩되지 않으며 인접한 출사동공 사이에 간극이 없는 출사동공의 어레이(6)를 형성토록 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  7. 상기 항 중 어느 한 항에 있어서, 확대된 출사동공을 형성하기 위한 회절소자(25, 32)가 확대된 출사동공을 출사동공의 2 차원 어레이(6)로서 형성하도록 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 확대된 출사동공을 형성하기 위한 회절소자(25, 32)가 확대된 출사동공을 출사동공의 선형 어레이로서 형성하도록 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  9. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 확대된 출사동공을 형성하기 위한 회절소자(25)가 두스의 회절부소자(27)의 어레이를 포함하는 회절소자로 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  10. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 확대된 출사동공을 형성하기 위한 회절소자(25)가 반사소자(22)의 표면에 형성된 회절소자로 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  11. 물면에 놓인 물체의 상면에 중간상을 형성하기 위한 대물렌즈(10)와, 대물렌즈의 조리개(8)의 출사동공상을 관측위치에서 형성하고 상기 출사동공에서 상기 중간상의 확대된 상을 형성하기 위한 접안 렌즈(2)를 포함하는 광학기구에 있어서, 상기 상면에 상기 다수의 출사동공의 어레이(6)를 구성토록 회절소자(25)가 배치됨을 특징으로 하는 광학기구.
  12. 대물렌즈(10), 대물렌즈의 조리개(14)의 상을 포함하는 중간출사동공을 형성하는 제 1 렌즈(11)와, 상기 중간출사동공과 상기 대물렌즈 및 상기 제 1 렌즈에 의하여 형성된 상을 관측위치인 최종출사동공(16)으로 중계하는 광학시야시스템(12, 13)을 포함하는 광학기구에 있어서, 상기 관측위치에서 상기 광학시야시스템에 의하여 중계된 상기 다수의 중간출사동공의 어레이(6)를 구성토록 상기 광학시야시스템의 상면(17)에 회절소자(25)가 배치됨을 특징으로 하는 광학기구.
  13. 제12항에 있어서, 상기 광학시야시스템이 시야렌즈(12, 13)의 조합으로 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  14. 제11항, 제12항 또는 제13항에 있어서, 회절소자(25)가 그 표면에 다수의 제 1 평행요구(28, 33)와 다수의 제 2 평행요구(30, 35)가 형성된 기재로 구성되고, 상기 제 1 평행요구의 인접한 엣지(29, 34)가 일치하여 제 1 회절격자의 제 1 평행선을 형성하며, 상기 제 2 평행요구의 인접한 엣지(31, 36)가 일치하여 제 2 회절격자의 제 2 평행선을 형성하고, 상기 제 1 및 제 2 평행선이 상호 수직임을 특징으로 하는 광학기구.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 평행요구(28, 31 ; 33, 35)의 벽을 구성하는 경사면(37, 38)이 출사동공 어레이(6)의 출사동공에 대하여 빛에너지를 균일하게 분배하는 단면형태를 가짐을 특징으로 하는 광학기구.
  16. 제14항에 있어서, 제 1 평행요구(33)와 제 1 평행선(34)이 제 1 원통형 프레넬렌즈를 형성하고 제 2 평행요구(35)와 제 2 평행선(36)이 상기 제 1 프레넬렌즈에 수직인 제 2 원통형 프레넬렌즈를 형성함을 특징으로 하는 광학기구.
  17. 제15항에 있어서, 제 1 평행요구(33)와 제 1 평행선(34)이 제 1 원통형 프레넬렌즈를 형성하고 제 2 평행요구(35)와 제 2 평행선(36)이 상기 제 1 프레넬렌즈에 수직인 제 2 원통형 프레넬렌즈를 형성함을 특징으로 하는 광학기구.
  18. 제12항에 있어서, 광학시야시스템이 시야렌즈(21)와 반사소자(22)의 조합으로 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  19. 제12항에 있어서, 광학시야시스템이 오목형 반사소자로 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  20. 제16항에 있어서, 회절소자(25)가 반사소자(22)의 표면에 일체로 형성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  21. 제18항에 있어서, 회절소자(25)가 반사소자(22)의 표면에 일체로 형성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  22. 제19항에 있어서, 회절소자(25)가 반사소자(22)의 표면에 일체로 형성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  23. 제11항, 제12항 또는 제13항에 있어서, 회절소자(25)가 다수의 회절부소자(27)의 어레이로 구성됨을 특징으로 하는 광학기구.
  24. 광학기구용 회절소자에 있어서, 이 회절소자(25)가 확대된 출사동공을 형성하기 위하여 다수의 출사동공(5, 7)의 어레이(6)를 구성토록 광학기구에 사용됨을 특징으로 하는 광학기구용 회절소자.
  25. 제24항에 있어서, 회절소자(25)가 회절부소자(27)의 어레이로 구성됨을 특징으로 하는 광학기구용 회절소자.
  26. 광학기구용 회절소자에 있어서, 회절소자가 그 표면에 다수의 제 1 평행요구(28, 33)와 다수의 제 2 평행요구(30, 35)가 형성된 기재로 구성되고, 상기 제 1 평행요구의 인접한 엣지가 일치하여 제 1 회절격자의 제 1 평행선(29, 34)을 형성하며, 상기 제 2 평행요구의 인접한 엣지가 일치하여 제 2 회절격자의 제 2 평행선(31, 36)을 형성하고, 상기 제 1 및 제 2 평행선이 상호 수직임을 특징으로 하는 광학기구용 회절소자.
  27. 제26항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 평행요구(28, 31 ; 33, 35)의 벽이 출사동공 어레이(6)의 출사동공(5, 7)에 대하여 빛에너지를 균일하게 분배하는 단면형태를 가짐을 특징으로 하는 광학기구용 회절소자.
  28. 제14항에 있어서, 제 1 평행요구(33)와 제 1 평행선(34)이 제 1 원통형 프레넬렌즈를 형성하고 제 2 평행요구(35)와 제 2 평행선(36)이 상기 제 1 프레넬렌즈에 수직인 제 2 원통형 프레넬렌즈를 형성함을 특징으로 하는 광학기구용 회절소자.
  29. 제15항에 있어서, 제 1 평행요구(33)와 제 1 평행선(34)이 제 1 원통형 프레넬렌즈를 형성하고 제 2 평행요구(35)와 제 2 평행선(36)이 상기 제 1 프레넬렌즈에 수직인 제 2 원통형 프레넬렌즈를 형성함을 특징으로 하는 광학기구용 회절소자.
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