KR100260333B1 - 전계방출표시소자용 스페이서의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전계방출표시소자용 스페이서의 제조방법에 관한 것으로, 특히 스페이서의 높이를 크게하여 상하판에 고전계가 걸릴 수 있도록 하여 발광효율이 우수한 고에너지용 형광체를 사용할 수 있고, 휘도와 스페이서폭을 줄여 단위면적당 대용량 디스플레이 소자를 만들 수 있는 전계방출표시소자용 스페이서의 제조방법에 관한 것으로, 상판 포토센서티브글래스(2a)를 중앙부분에 노광 및 식각 공정을 이용하여 가로스트라이프형 홀(4a)을 제조하는 단계와, 하판 포토센서티브글래스(2b)를 중앙부분에 노광 및 식각 공정을 이용하여 세로스트라이프형 홀(4b)을 제조하는 단계와, 가로스트라이프형 홀(4a)이 형성된 상판 포토센서티브글래스(2a)와 세로스트라이프형 홀(4b)이 형성된 하판 포토센서티브글래스(2b)를 서로 수직교차하는 방향으로 부착하는 단계와, 그리고 상기 겹쳐진 상판 포토센서티브글래스(2a)와 하판 포토센서티브글래스(2b)를 에지부분을 절단하는 공정으로 이루어져 있다.

Description

전계방출표시소자용 스페이서의 제조방법

본 발명은 전계방출표시소자용 스페이서의 제조방법에 관한 것으로, 특히 스페이서의 높이를 크게하여 상하판에 고전계가 걸릴 수 있도록 하여 발광효율이 우수한 고에너지용 형광체를 사용할 수 있고, 스페이서폭을 줄여 단위면적당 대용량 디스플레이 소자를 만들 수 있는 전계방출표시소자용 스페이서의 제조방법에 관한 것이다.

최근에는 초고집적 반도체 제조기술과 초고진공 기술이 급속히 발달함에 따라 새로운 형태인 마이크론 크기의 삼극진공관 소자의 연구가 활기를 띠고 있으며,이러한 소자를 디스플레이에 응용하여 CRT 와 LCD 의 장점만을 가진 새로운 평판 디스플레이를 개발하는데 주목하고 있다.

전계방출표시소자는 평판디스플레이의 일종으로서, 전자를 방출하는 팁형 또는 웨지(Wedge)형의 캐소드와 형광체가 도포된 애노드를 구성하고, 다수의 마이크로 팁으로부터 전자방출을 유도하여, 발생된 전자를 투명전도막이 형성된 애노드의 형광체에 충돌시키므로써, 형광체가 자극을 받아 형광체의 최외각 전자들이 여기되고, 천이되는 과정에서 발생된 빛을 이용하여 원하는 화상표시를 나타내도록 구성하고 있다.

그중에서도 전계방출표시소자의 고진공시에 압축응력으로 인해 기판이 파괴되거나 혹은 휘어지는 것을 방지하기 위해 형성되는 스페이서는, 투명전극과 형광층이 형성된 상판과 캐소드 어레이 및 게이트 전극이 형성된 하판을 100 마이크로 내지 300 마이크로 미터의 간격으로 유지시키는 역할을 하는 구조체이다.

상기 스페이서를 형성하는 종래의 기술로서는 캐소드 어레이와 게이트 전극이 형성되어 있는 하판상에 스페이서용 물질을 균일하게 도포하고 이를 패턴닝하는 사진식각법과, 소정의 두께를 갖는 구형의 스페이서를 산포하는 방법등으로 제작된 스페이서를 하판에 배열한후, 상판을 하판과 부착시키는 방법이 검토되어 왔다.

상술한 종래의 기술에 있어서, 사진식각법이 미세한 스페이서를 제조하는데 많은 장점을 가지고 있어 널리 이용되고 있으나, 스페이서재로 형성된 물질상에 감광막패턴을 형성하여, 스페이서재를 패터닝하고 잔존하는 감광막 패턴을 제거하여야 하는 등의 공정과정을 거쳐야 하므로 공정이 매우 복잡한 단점이 있었다.

그리고, 스페이서 형성을 위해 스페이서용 미세입자를 기판상에 뿌리는 경우 스페이서용 미세입자를 선택적으로 위치시킬 수 없으므로 캐소드팁을 손상시키는 등의 문제가 있었다.

상기 하판상에 직접 스페이서를 형성하지 않고 개별공정으로 스페이서를 제조하여 캐소드 어레이와 게이트 전극이 형성된 하판에 배열되는 방법의 경우에 있어서도 스페이서를 정확한 위치에 정렬 고정시키기는 어렵다.

또한 종래의 방법으로 인쇄법을 이용하더라도 스페이서의 모양이 점의 형태를 이루기 때문에 그형상이 불균일하게 되고 인쇄작업을 수행하기도 어려울 뿐만 아니라, 정밀성과 안정성에도 좋지 않은 문제점이 있었다.

더욱이 종래의 전계방출표시소자용 스페이서는 상판과 하판의 간격이 150∼2000㎛ 가 되게 끔 유지해 주어야 하는 것으로 인쇄법이라든지, 스페이서용 미세 입자를 기판위에 뿌리는 기술이라든지, 아니면 스페이서용 물질을 기판위에 적정 높이만큼 전면에 형성한 후 이를 에칭하는 방법등은 각각의 큰 문제점들을 가지고 있는 것으로, 인쇄법의 경우는 고밀도이고 정밀한 스페이서 형성이 어렵다.

그리고 스페이서용 미세입자를 기판위에 뿌려서 하는 기술의 경우도 마찬가지로 고밀도가 어려울 뿐만 아니라, 이를 페널 전체에 뿌리는 경우에는 캐소드 팁들을 손상시키는 문제가 있으며, 스페이서용 물질을 기판위에 적정높이 만큼 전면을 형성한 후 에칭하는 경우에는 고밀도는 가능하나 물질선정과 공정프로세스가 어려운 단점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 창안된 것으로, 본 발명의 목적은 스페이서의 높이를 크게하고 상하판에 고전계가 걸릴 수 있도록 하여 발광효율이 우수한 고에너지용 형광체를 사용할 수 있고, 휘도를 증가시키고 스페이서 폭을 줄여 단위면적당 대용량 디스플레이 소자를 만들 수 있는 전계방출표시소자용 스페이서의 제조방법을 제공함에 있다.

도 1a , 도 1b 는 본 발명의 포토센서티브글래스에 스트라이프형 홀이 형성된 것을 나타내는 도면이고,

도 2a 는 도 1a , 도 1b 를 서로 수직교차하는 방향으로 부착한 것을 나타낸 도면이고,

도 2b 는 도 2a의 측면도이고, 도 3 은 도 2a 의 포토센서티브글래스의 외측을 잘라낸 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2a : 상판 포토센서티브글래스 2b : 하판 포토센서티브글래스

4a : 가로스트라이프형 홀 4b : 세로스트라이프형 홀

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 전계방출표시소자용 스페이서의 제조방법은, 상판 포토센서티브글래스를 중앙부분에 노광 및 식각 공정을 이용하여 가로스트라이프형 홀을 제조하는 단계와, 하판 포토센서티브글래스를 중앙부분에 노광 및 식각 공정을 이용하여 세로스트라이프형 홀을 제조하는 단계와, 가로스트라이프형 홀이 형성된 상판 포토센서티브글래스와 세로스트라이프형 홀이 형성된 하판 포토센서티브글래스를 서로 수직교차하는 방향으로 부착하는 단계와, 상기 겹쳐진 상판 포토센서티브글래스와 하판 포토센서티브글래스를 에지부분을 절단하는 공정으로 이루어지도록 구성한 특징이 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 전계방출표시소자용 스페이서의 제조방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 1a , 도 1b 는 본 발명의 포토센서티브글래스에 스트라이프형 홀이 형성된 것을 나타내는 도면이고, 도 2a 는 도 1a , 도 1b 를 서로 수직교차하는 방향으로 부착한 것을 나타낸 도면이고, 도 2b 는 도 2a의 측면도이고, 도 3 은 도 2a 의 포토센서티브글래스의 외측을 잘라낸 도면이다.

상판 포토센서티브글래스(2a)를 중앙부분에 노광 및 식각 공정을 이용하여 가로스트라이프형 홀(4a)을 제조하고, 그 다음에 하판 포토센서티브글래스(2b)를 중앙부분에 노광 및 식각 공정을 이용하여 세로스트라이프형 홀(4b)을 제조한다.(도1a, 도1b)

가로스트라이프형 홀(4a)이 형성된 상판 포토센서티브글래스(2a)와 세로스트라이프형 홀(4b)이 형성된 하판 포토센서티브글래스(2b) 서로 수직교차하는 방향으로 부착하고(도2a,도2b), 그리고 상기 겹쳐진 상판 포토센서티브글래스(2a)와 하판 포토센서티브글래스(2b)의 에지부분을 절단하는 공정으로 이루어진다.(도3)

따라서, 상기와 같이 구성된 본 발명의 스페이서의 제조방법에 의해 스페이서의 높이를 크게하여 상하판에 고전계가 걸릴 수 있도록 하여 발광효율이 우수한 고에너지용 형광체를 사용할 수 있고, 휘도를 증가시키고 스페이서 폭을 줄여 단위면적당 대용량 디스플레이 소자를 만들 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 상판 포토센서티브글래스(2a)를 중앙부분에 노광 및 식각 공정을 이용하여 가로스트라이프형 홀(4a)을 제조하는 단계와,

   하판 포토센서티브글래스(2b)를 중앙부분에 노광 및 식각 공정을 이용하여 세로스트라이프형 홀(4b)을 제조하는 단계와,

   가로스트라이프형 홀(4a)이 형성된 상판 포토센서티브글래스(2a)와 세로스트라이프형 홀(4b)이 형성된 하판 포토센서티브글래스(2b) 서로 수직교차하는 방향으로 부착하는 단계와,

   그리고 상기 겹쳐진 상판 포토센서티브글래스(2a)와 하판 포토센서티브글래스(2b)의 에지부분을 절단하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로하는 전계방출표시소자용 스페이서의 제조방법.

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