KR100814806B1 - 스페이서 제조 방법 및 이 스페이서를 갖는 평판 표시 소자 - Google Patents

스페이서 제조 방법 및 이 스페이서를 갖는 평판 표시 소자 Download PDF

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Abstract

위치 설정 및 설치 작업이 용이하며 고종횡비를 갖는 스페이서를 제조하는 방법과 상기 스페이서를 갖는 평판 표시 소자에 관한 것으로, 본 발명의 스페이서 제조 방법은, 적어도 두개 이상의 감광성 유리에 원하는 형태의 마스크 패턴을 각각 형성하는 단계와; 노광 램프를 이용하여 상기 감광성 유리들을 각각 노광하는 단계와; 상기 마스크 패턴을 제거한 후 상기 감광성 유리를 복층으로 정렬 배치하는 단계와; 상기 감광성 유리를 가열 및 가압하여 열확산 접합하는 단계와; 상기 감광성 유리를 소성하여 노광 부위와 비노광 부위간의 조직적인 차이를 발생시키는 결정화 단계와; 상기 감광성 유리를 선택적으로 제거하는 단계;를 포함한다.
FED, 전계, 스페이서, 감광, 열확산,

Description

스페이서 제조 방법 및 이 스페이서를 갖는 평판 표시 소자{METHOD FOR FABRICATING SPACER AND FLAT PANEL DISPLAY WITH THE SPACER}
도 1은 종래 기술에 따른 스페이서의 단면도.
도 2는 전자현미경을 이용하여 도 1의 스페이서를 촬영한 사진.
도 3은 본 발명에 따른 스페이서 제조 방법의 블록도.
도 4는 도 3의 패턴 형성 단계를 나타내는 평면도.
도 5는 도 3의 노광 단계를 나타내는 측면도.
도 6은 도 3의 정렬 단계를 나타내는 측면도.
도 7은 도 3의 열확산 접합 단계와 결정화 단계에서의 온도 프로파일을 나타내는 도면.
도 8a 내지 8f는 도 3의 제조 방법에 의해 제조된 스페이서의 다양한 실시예를 나타내는 사시도.
도 9은 도 3의 제조 방법에 의해 제조된 스페이서를 갖는 전계 방출 표시 소자의 단면도.
본 발명은 스페이서 제조 방법 및 이 스페이서를 갖는 평판 표시 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 위치 설정 및 설치 작업이 용이하며 고종횡비를 갖는 스페이서를 제조하는 방법과 상기 스페이서를 갖는 평판 표시 소자에 관한 것이다.
일반적으로 평판 표시 소자(FPD; Flat Panel Display device)는 큰 부피와 고전압을 필요로 하는 음극선관과는 달리, 두께가 얇고 저전압으로 구동되는 실질적으로 평탄한 표시 소자를 통칭하는바, 이러한 평판 표시 소자로는 전계 방출 표시 소자(FED; Field Emission Display)와 형광 표시관(VFD; Vacuum Fluorescent Display), 액정 표시 소자(LCD: Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시 소자(PDP: Plasma Display Panel) 등이 있다.
이러한 평판 표시 소자는 종류에 따라 세부적인 구조가 상이하지만 통상적으로는 서로 마주보도록 설치되는 한쌍의 기판으로 이루어지며 내부가 고진공으로 유지되는 진공용기와, 진공용기의 내부에 배치되는 스페이서를 구비한다.
상기 스페이서는 진공용기를 고진공으로 밀봉할 때 기판들이 용기 내외부의 압력차로 인해 용기 내측으로 변형되거나 또는 파손되는 것을 방지하는 한편, 양 기판을 일정한 간격으로 유지함으로써 발광 위치에 따른 휘도 불균일성을 억제하는 작용을 하는 것으로, 초기에는, 패터닝된 스크린 마스크(screen mask)를 기판과 함께 인쇄기에 고정하고, 스퀴이즈나 고무 로울러를 이용하여 스크린 마스크의 메쉬 홀(mesh hole)을 통해 페이스트(paste)를 기판으로 밀어내어 인쇄하는 스크린 인쇄법을 이용하여 상기 스페이서를 제조하였다.
그런데, 상기 스크린 인쇄법은 인쇄 작업의 특성상 스페이서의 고정세화 및 고종횡비에 한계가 있는 문제점이 있다. 여기에서, 상기 종횡비는 스페이서의 폭에 대한 높이의 비를 의미한다. 이에 따라, 근래에는 감광성 유리로 스페이서를 제조함으로써 상기한 문제점을 해결하고자 하는 노력이 행해지고 있다.
대한민국 공개특허공보 제2000-65199호에는 감광성 유리를 이용하여 전계 방출 표시 소자용 스페이서를 제조하는 방법의 일례가 개시되어 있다.
상기 대한민국 특허는 일정 두께(스페이서의 높이에 해당한다)의 감광성 유리 상측에 마스크를 배치하고, 자외선을 조사하여 상기 감광성 유리를 선택적으로 노광시키며, 고온 열처리(소성)를 통해 노광된 부분을 결정화시킨 후, 상기 결정화된 부분을 에칭에 의해 제거함으로써 스페이서를 제조하였다.
이때, 상기 스페이서는 사각 기둥 또는 원기둥 형태나 십자 형태, 또는 막대(rib) 형태 등으로 형성된다.
이 외에도, 대한민국 공개특허공보 제2000-46663호에는 감광성 유리를 이용하여 플라즈마 표시 소자(PDP)의 격벽을 제조하는 방법의 일례가 개시되어 있다.
그런데, 상기한 선행 특허들에 의해 제조된 스페이서는 다음과 같은 문제점을 내포하고 있다.
첫째, 감광성 유리를 노광할 때, 상기 노광이 충분한 시간동안 이루어지지 않는 경우에는 고온 열처리(소성) 작업시 노광 반대면의 결정화가 노광면의 결정화에 비해 적게 이루어지게 된다.
따라서, 1.2mm 두께의 감광성 유리를 노광한 후 에칭하여 사각 기둥 형태의 스페이서를 제조할 때에는, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 노광 램프(미도시)가 배치된 면(102)이 반대면(104)에 비해 대략 3배 정도 빠르게 에칭이 되므로 스페이서(106)의 종횡비(스페이서의 폭에 대한 높이의 비)를 증가시키는 것이 용이하지 않고, 반대면(104)의 경우 패턴이 정확하게 형성되지 않는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해서는 노광을 충분한 시간동안 실시해야 하는데, 감광성 유리의 경우 두께가 두배가 되면 노광 시간을 두배로 증가해야 하는 것이 아니라 대략 6배 이상 노광을 해야 감광이 적절하게 이루어지게 되므로, 제조에 소요되는 작업 시간이 증가되는 문제점이 발생된다.
둘째, 종래의 스페이서들은 상하측이 동일한 단면 형상으로 이루어지므로, 양 기판의 내면에 형성되는 전극 또는 형광체의 구조가 동일하지 않음을 감안할 때 상기 스페이서의 배치 위치를 설정하는 것이 용이하지 않다.
특히, 캐소드 기판에는 스트라이프 형태의 전극이 제공되는 반면 애노드 기판에는 도트(dot) 타입의 형광막이 제공되는 전계 방출 표시 소자의 경우에는 상하측이 동일한 단면 형상을 갖는 종래의 스페이서를 비발광 영역에 효과적으로 배치하는 것이 용이하지 않다.
셋째, 스페이서의 제작에 있어 고려되어야 할 설치의 용이성 측면에서 보면, 종래의 사각 기둥 형태나 십자 형태의 경우에는 설치는 용이하지만 설치해야 할 스페이서의 갯수가 많아 설치 작업에 장시간이 소요되고, 막대(rib) 형태는 설치해야 할 스페이서의 갯수가 기둥 형태나 십자 형태에 비해 적어 설치 작업에 따른 소요 시간이 단축되지만 스페이서를 고정하기 위해 유효 화면 외측에 다양한 형태의 그 리퍼(gripper)를 만들어 스페이서를 고정해야 하는 문제점이 있다.
이에, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 위치 설정 및 설치 작업이 용이한 고종횡비의 스페이서를 제조하는 스페이서 제조 방법 및 이 방법에 의해 제조된 스페이서를 갖는 평판 표시 소자를 제공함을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,
적어도 두개 이상의 감광성 유리를 준비하여, 각각의 감광성 유리에 원하는 형태의 마스크 패턴을 각각 형성하는 패턴 형성 단계와;
노광 램프를 이용하여 상기 감광성 유리들을 각각 노광하는 노광 단계와;
상기 마스크 패턴을 제거한 후 상기 감광성 유리를 복층으로 정렬 배치하는 정렬 단계와;
상기 감광성 유리를 가열 및 가압하여 열확산 접합하는 열확산 접합 단계와;
상기 감광성 유리를 소성하여 노광 부위와 비노광 부위간의 조직적인 차이를 발생시키는 결정화 단계와;
상기 감광성 유리를 선택적으로 제거하여 다층 구조의 스페이서를 제조하는 선택적 제거 단계;
를 포함하는 스페이서 제조 방법을 제공한다.
상기한 방법에 의하면 한개의 감광성 유리를 노광 및 에칭하여 스페이서를 형성하는 종래의 경우에 비해 고종횡비의 스페이서를 제조할 수 있으며, 스페이서 제조에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 스페이서는 2개의 감광성 유리를 이용하여 하층 및 상층의 2층 구조를 갖도록 형성할 수 있는데, 이때, 상기 2층 구조의 스페이서는 상하층이 동일한 단면 구조를 갖도록 형성하거나, 서로 다른 단면 구조를 갖도록 형성할 수도 있다.
상기에서, 상하층이 서로 다른 단면 구조를 갖도록 형성하는 경우, 하층의 스페이서는 십자 형태의 단면 형상을 갖도록 형성하고, 상층의 스페이서는 사각 기둥 또는 원기둥 형태의 단면 형상을 갖도록 형성할 수 있다.
이로써, 애노드 및 캐소드 기판 내부의 전극 및 형광체 구조가 상이한 평판 표시 소자, 특히 전계 방출 표시 소자의 경우에도 스페이서의 위치를 용이하게 설정할 수 있다.
그리고, 상기한 2층 구조 스페이서를 막대형 스페이서에 의해 일체로 연결하면, 복수개의 스페이서를 동시에 설치하는 것이 가능하므로, 스페이서 설치를 작업 시간을 단축할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 노광 단계에서는 노광 부위가 에칭에 의해 제거되는 형태의 노광 램프, 예를 들면 자외선 램프를 노광 램프로 사용할 수 있으며, 패턴 형성 단계에서는 2개의 감광성 유리를 정렬하기 위한 정렬 마크를 마스크 패턴과 동시에 형성할 수 있다.
그리고, 상기 열확산 접합 단계는 각각의 감광성 유리를 대략 500℃의 온도에서 200g/cm2의 가압력으로 가압하는 것으로 이루어질 수 있으며, 상기 결정화 단 계는 각각의 감광성 유리를 대략 600℃의 온도에서 대략 1시간 동안 소성하는 것으로 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명은 상기한 방법에 의해 제조된 스페이서를 갖는 평판 표시 소자를 제공하는데, 본 발명의 스페이서는 특히 전계 방출 표시 소자에 유용하게 사용할 수 있다.
일례로, 본 발명의 제조 방법에 의해 제조된 스페이서를 갖는 전계 방출 표시 소자는, 일정한 간격을 두고 대향 배치되는 애노드 및 캐소드 기판과; 상기 캐소드 기판에 제공되는 라인 형상의 캐소드 전극과; 상기 캐소드 전극의 표면에 제공되며, 전계 형성시 전자를 방출하는 복수의 에미터와; 상기 애노드 기판에 제공되는 라인 형상의 애노드 전극과; 상기 에미터에서 방출된 전자가 충돌되어 발광함으로써 소정의 화상을 구현하도록 상기 애노드 전극의 표면에 제공되는 형광체와; 적어도 2개 이상의 감광성 유리가 적층된 다층 구조로 이루어지며, 상기 애노드 및 캐소드 기판을 일정 간격으로 유지하는 스페이서;를 포함하여 이루어진다.
이하, 첨부도면을 참조로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 3은 본 발명의 스페이서 제조 방법을 나타내는 블록도를 도시한 것이다.
도시한 바와 같이 본 발명의 스페이서 제조 방법은, 적어도 두개 이상의 감광성 유리를 준비하여, 각각의 감광성 유리에 원하는 형태의 마스크 패턴을 각각 형성하는 패턴 형성 단계(ST10)와, 노광 램프를 이용하여 상기 감광성 유리들을 각각 노광하는 노광 단계(ST20)와, 상기 마스크 패턴을 제거한 후 상기 감광성 유리를 복층으로 정렬 배치하는 정렬 단계(ST30)와, 상기 감광성 유리를 가열 및 가압 하여 열확산 접합하는 열확산 접합 단계(ST40)와, 상기 감광성 유리를 소성하여 노광 부위와 비노광 부위간의 조직적인 차이를 발생시키는 결정화 단계(ST50)와, 상기 감광성 유리를 선택적으로 제거하여 다층 구조의 스페이서를 제조하는 선택적 제거 단계(ST60)를 포함한다.
이를 도 4 내지 도 7을 참조로 상세히 설명하면, 본 발명의 스페이서를 제조하기 위해 먼저 도 4에 도시한 바와 같이 일정 두께의 감광성 유리를 복수개 준비한다. 이하에서는 설명의 간략화를 위해 2개의 감광성 유리(10,12)를 사용하여 스페이서를 제조하는 방법을 설명한다.
상기 감광성 유리(10,12)는 공지의 것으로, 대략 75중량%의 SiO2와, 대략 7중량%의 LiO2, 대략 3중량%의 K2O, 대략 3중량%의 Al2O3, 대략 0.1중량%의 Ag2O, 및 대략 0.02중량%의 CeO2를 포함하는 조성으로 이루어지는바, 본 발명은 상기한 감광성 유리의 조성과는 무관하므로, 상기 조성 이외의 다른 조성을 포함하는 감광성 유리도 사용이 가능하다.
상기한 감광성 유리(10,12)를 도시하지 않은 테이블 위에 인접 배치하고, 감광성 유리(10,12)의 상면에 마스크 패턴(14,16)을 형성한다.
이때, 상기 마스크 패턴(14,16)은 크롬 박막에 의해 형성할 수 있는데, 도 4의 좌측에 있는 감광성 유리(10)에는 십자형상의 마스크 패턴(14)을 복수개 형성하고, 우측에 있는 감광성 유리(12)에는 일자 형상의 마스크 패턴(16)을 복수개 형성한다.
그리고, 상기 마스크 패턴(14,16)을 형성할 때에는 마스크 패턴(14,16)의 외측으로 감광성 유리(10,12)의 모서리 부분에 얼라인 마크(18,20)를 각각 형성한다.
마스크 패턴(14,16)과 얼라인 마크(18,20)를 형성한 후에는 도 5에 도시한 바와 같이 노광 램프를 이용하여 감광성 유리(10,12)를 노광한다. 이때, 상기 노광 램프로는 수은 램프(미도시) 또는 280 내지 320nm 범위내의 파장을 갖는 자외선 램프(22)를 사용할 수 있는데, 본 실시예에서는 자외선 램프(22)를 사용하는 경우를 예로 들어 설명한다. 상기 자외선 램프(22)를 이용한 노광 작업은 실온에서 행해진다.
상기와 같이 자외선 램프(22)를 이용하여 감광성 유리(10,12)를 노광한 후에는 얼라인 마크(18,20)를 제외한 마스크 패턴(14,16)을 에칭에 의해 제거하고, 도 6에 도시한 바와 같이 상기 얼라인 마크(18,20)를 이용하여 두개의 감광성 유리(10,12)를 정렬 배치한다.
이때, 각각의 감광성 유리(10,12)는 상기 마스크 패턴(14,16)이 형성되었던 노광면이 서로 마주보도록 적층한다.
이후, 도시하지 않은 열처리 장치를 이용하여 열확산 접합 및 결정화 단계를 실시하는데, 이 때에는 도 6에 도시한 온도 프로파일에 따라 실시한다.
즉, 정렬된 2개의 감광성 유리(10,12)를 도시하지 않은 열처리 장치의 내부에 배치하고, 상기 열처리 장치(미도시)의 내부 온도를 승온시키는데, 열처리 장치의 내부 온도가 대략 500℃에 도달하면 이 온도를 대략 2시간동안 유지하면서 200g/cm2의 압력으로 2개의 감광성 유리(10,12)를 열확산 접합한다.
이후, 감광성 유리(10,12)의 결정화 온도인 대략 600℃의 온도까지 열처리 장치의 내부 온도를 승온시킨 후 이 온도를 대략 1시간동안 유지하여 감광성 유리(10,12)를 소성한다.
상기 소성 단계(ST50)가 완료되면 감광성 유리(10,12)의 노광 부위가 결정화 되어 비노광 부위와 조직의 차이가 발생되는바, 이후에는 불산(HF) 용액을 이용하여 노광 부위, 즉 결정화된 부분을 에칭시켜 이 부분을 제거한다.
도 8은 본 발명의 제조 방법에 의해 형성 가능한 다층 구조 스페이서(24)의 다양한 실시예들을 도시한 것으로, 도 8a 내지 도 8d는 하층(24')을 십자형 기둥으로 형성하는 한편, 상층(24")의 스페이서를 일자형, 원기둥형, 작은 단면적의 사각 기둥형, 큰 단면적의 사각 기둥형으로 각각 형성한 것이다.
여기에서, 미설명 도면부호 26은 상층과 하층의 접합면이다.
그리고, 도 8e는 하층(24') 및 상층(24")을 모두 일자형으로 형성한 것인데, 본 실시예의 스페이서를 참조하면 스페이서(24)의 종횡비가 점선으로 도시한 종래의 스페이서(106)에 비해 크게 증가한 것을 알 수 있다. 이는, 종래의 스페이서(106)와 동일한 높이의 스페이서(24)를 제조하는 경우, 본 발명의 스페이서(24)는 상층(24") 및 하층(24')이 각각 종래 스페이서(106) 높이의 1/2에 해당하므로, 감광성 유리(10,12)의 노광면과 노광 반대면간의 노광 정도가 거의 동일하게 이루어지기 때문이다.
또한, 도 8f는 하층(24')를 십자형으로 형성하는 한편 상층(24")을 일자형으로 형성하고, 상층(24") 위쪽으로 막대(rib)형 스페이서 부재(24'")를 열확산 접합하여 형성한 것으로, 전체적으로는 3층(24',24",24'")의 구조를 가지며, 한개의 막대형 스페이서 부재(24'")가 복수개의 2층 구조 스페이서(24)와 일체로 접합된다.
따라서, 본 실시예의 스페이서는 스페이서 설치 작업에 따른 소요 시간을 효과적으로 단축할 수 있다.
상기한 제조 방법에 의해 제조된 스페이서는 전계 방출 표시 소자(FED)와 플라즈마 표시 소자(PDP) 등의 평판 표시 소자(FPD)에 적용이 가능하다.
도 9는 본 발명의 제조 방법에 의해 제조된 스페이서를 갖는 3극관 구조의 전계 방출 표시 소자를 도시한 것으로, 전계 방출 표시 소자는 캐소드 기판(28) 및 애노드 기판(30)과, 캐소드 기판(28)의 일면에 제공되는 라인 형태의 캐소드 전극(32)과, 절연층(34)을 사이에 두고 캐소드 전극(32)과 수직으로 교차 형성되는 라인 형태의 게이트 전극(36)과, 애노드 기판(30)의 일면에 캐소드 전극(32)과 동일한 방향으로 제공되는 라인 형태의 애노드 전극(38)을 포함한다.
상기 캐소드 전극(32)과 게이트 전극(36)이 교차하는 화소 영역에는 게이트 전극(36)과 절연층(34)을 관통하는 복수(대략 수백개)의 홈이 형성되고, 각 홈의 내부로 캐소드 전극(32)에는 카본나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube) 등의 카본 계열 물질로 이루어진 면 타입의 에미터(40)가 제공된다.
여기에서, 상기 면 타입의 에미터(40) 대신에 몰리브덴과 같은 전자 방출 물질로 이루어진 스핀트 타입의 에미터를 제공할 수도 있다.
그리고, 에미터(40)에 대향하는 위치의 애노드 전극(38) 표면에는 에미터(40)에서 방출된 전자가 충돌할 때 발광하는 형광층(42)이 제공되고, 형광층(42)의 사이사이로 애노드 전극(38)의 표면에는 고진공으로 밀봉되는 양 기판(28,30)을 지지하기 위한 스페이서(24)의 일단부가 지지된다.
여기에서, 상기 스페이서(24)는 본 발명의 제조 방법에 의해 제조된 다층 구조의 스페이서로서, 하층(24')은 십자형으로 이루어지고 상층(24")은 일자형으로 이루어진 도 8a의 스페이서이다.
물론, 상기 스페이서 대신에 도 8b 내지 도 8f의 스페이서중 어느 하나를 사용해도 무방하다.
그리고, 스페이서(24)의 다른 단부는 게이트 전극(36)에 지지된다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 상층 및 하층의 다층 구조로 스페이서를 제조함으로써 고종횡비를 달성할 수 있으며, 스페이서 제조 시간을 단축할 수 있고, 상하층의 스페이서 부재를 기판의 내면에 형성되는 전극 또는 형광체의 형태를 감안하여 다양하게 설계할 수 있으므로, 스페이서의 위치 설정을 용이하게 할 수 있다.
특히, 캐소드 기판에는 스트라이프 형태의 전극이 제공되는 반면 애노드 기판에는 도트(dot) 타입의 형광막이 제공되는 전계 방출 표시 소자의 경우에는 스페이서를 비발광 영역에 효과적으로 배치하는 것이 가능하다.
또한, 막대형 스페이서 부재를 이용하여 복수개의 다층 구조 스페이서를 일체로 연결하는 경우에는 한번의 설치 작업으로도 복수개의 스페이서를 설치할 수 있으므로, 실질적으로 스페이서의 설치 작업에 따른 소요 시간의 단축이 가능하다.
그리고, 상기한 스페이서를 갖는 평판 표시 소자는 소자의 제조 시간을 단축할 수 있고, 스페이서 설치 공간의 축소로 인해 미세 화소의 형성이 가능하여 고해상도의 소자를 제조할 수 있는 등의 효과가 있다.

Claims (19)

  1. 적어도 두개 이상의 감광성 유리를 준비하여, 각각의 감광성 유리에 원하는 형태의 마스크 패턴을 각각 형성하는 패턴 형성 단계와;
    노광 램프를 이용하여 상기 감광성 유리들을 각각 노광하는 노광 단계와;
    상기 마스크 패턴을 제거한 후 상기 감광성 유리를 복층으로 정렬 배치하는 정렬 단계와;
    상기 감광성 유리를 가열 및 가압하여 열확산 접합하는 열확산 접합 단계와;
    상기 감광성 유리를 소성하여 노광 부위와 비노광 부위간의 조직적인 차이를 발생시키는 결정화 단계와;
    상기 감광성 유리를 선택적으로 제거하여 다층 구조의 스페이서를 제조하는 선택적 제거 단계;
    를 포함하는 스페이서 제조 방법.
  2. 제 1항에 있어서, 2개의 감광성 유리를 이용하여 하층 및 상층의 2층 구조를 갖는 스페이서를 제조하는 것을 특징으로 하는 스페이서 제조 방법.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 상층 및 상기 하층의 단면 구조를 서로 다르게 형성하는 것을 특징으로 하는 스페이서 제조 방법.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 하층은 십자 형태의 단면 형상을 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 스페이서 제조 방법.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 상층은 사각 기둥 또는 원기둥 형태의 단면 형상을 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 스페이서 제조 방법.
  6. 제 5항에 있어서, 복수의 2층 구조 스페이서를 막대형 스페이서에 의해 일체로 연결하는 것을 특징으로 하는 스페이서 제조 방법.
  7. 제 2항에 있어서, 상기 상층 및 상기 하층의 단면 구조를 동일하게 형성하는 것을 특징으로 하는 스페이서 제조 방법.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 노광 단계에서는 노광에 의해 결정화된 부위가 에칭에 의해 제거되는 자외선 램프를 사용하는 것을 특징으로 하는 스페이서 제조 방법.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 패턴 형성 단계에서는 각각의 감광성 유리에 정렬 마크를 제공하는 것을 특징으로 하는 스페이서 제조 방법.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 열확산 접합 단계에서는 각각의 감광성 유리를 500℃의 온도로 2시간 동안 가열하면서 200g/cm2의 가압력으로 가압하는 것을 특징으로 하는 스페이서 제조 방법.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 결정화 단계에서는 각각의 감광성 유리를 결정화 온도인 600℃의 온도로 1시간 동안 가열 소성하는 것을 특징으로 하는 스페이서 제조 방법.
  12. 제 1항 내지 제 11항중 어느 한 항에 기재된 스페이서 제조 방법에 의해 제조된 스페이서를 갖는 평판 표시 소자.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 평판 표시 소자는,
    일정한 간격을 두고 대향 배치되는 애노드 및 캐소드 기판과;
    상기 캐소드 기판에 제공되는 라인 형상의 캐소드 전극과;
    상기 캐소드 전극의 표면에 제공되며, 전계 형성시 전자를 방출하는 복수의 에미터와;
    상기 애노드 기판에 제공되는 라인 형상의 애노드 전극과;
    상기 에미터에서 방출된 전자가 충돌되어 발광함으로써 소정의 화상을 구현하도록 상기 애노드 전극의 표면에 제공되는 형광체와;
    적어도 2개 이상의 감광성 유리가 적층된 다층 구조로 이루어지며, 상기 애 노드 및 캐소드 기판을 일정 간격으로 유지하는 스페이서;
    를 포함하여 이루어지는 전계 방출 표시 소자인 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 스페이서가 하층 및 상층의 2층 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 상층 및 상기 하층의 단면 구조가 서로 다른 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 하층은 십자 형태의 단면 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 상층은 사각 기둥 또는 원기둥 형태의 단면 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자.
  18. 제 14항에 있어서, 복수의 2층 구조 스페이서가 막대형 스페이서에 의해 일체로 연결되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자.
  19. 제 14항에 있어서, 상기 상층 및 상기 하층의 단면 구조가 동일한 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자.
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