KR100234881B1 - 반도체 제조용품 건조기용 히터 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조 용품 건조기용 히터에 관한 것으로서, 특히 반도체 제조 공정에서 사용되는 각종 용품 및 치공구를 화학 약품이나 순수한 물 등으로 세정한 후 공기를 가열하여 그 열에 의하여 건조시키는 건조기 내의 공기를 가열하는 히터에 관한 것으로, 본체 상부에 받침대가 길이 방향으로 다수개 횡설되고, 상부가 개방된 수용부가 형성되고 상부로 적층된 세라믹 애자가 받침대 상부에 길이 반대 방향으로 다수개 병설되며, 본체의 일부는 커버에 의해 덮어지되; 상기 받침대 일측 상부에 지지대를 설치하여 애자에 의해 지지 고정되는 전원 공급봉이 축설되로 상기 전원 공급봉에 연결된 열선이 수용부를 통과하여 지그 재그 연결되며 체결 부재에 의해 상기 세라믹 애자가 고정됨을 특징으로 하는 반도체 제조 용품 건조기용 히터를 제공하여, 수명이 반영구적이고 세라믹 히터에 고장이 발생할 경우에는 손쉽게 수리할 수 있으며 건조시에 세정 효과를 그대로 유지할 수 있는 반도체 제조 용품 건조기용 히터에 관한 것이다.

Description

반도체 제조 용품 건조기용 히터

본 발명은 반도체 제조 용품 건조기용 히터에 관한 것으로서, 특히 반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼를 담는 캬세트와 같은 각종 용품 및 치공구를 화학약품이나 순수한 물 등으로 세정한 후 공기를 가열하여 그 열에 의하여 건조시키는 건조기 내의 공기를 가열하는 히터에 관한 것으로, 니크롬선과 같은 열선이 다수개가 병설된 세라믹 애자를 통과하게 하여 공기를 가열시키는 반도체 제조 용품 건조기용 히터에 관한 것이다.

반도체 제조 공정은 1천분의 수mm를 다루는 작업이므로 먼지가 가장 큰 적이다.

한 개의 먼지, 그것도 우리의 눈에 보이지 않는 지름 몇 마이크로(μ)의 먼지가 마스크나 실리콘 웨이퍼에 내려앉으면 치명적인 영향을 준다.

특히, 그 먼지가 미세한 회로가 연결되는 부분에 있었다면 그 반도체 칩은 먼지 하나로 불량품이 될 수 밖에 없어 제조 공정을 거치는 각 방은 무진실(無塵室)로 유지하고 사람도 공기 정화기에 의해 몸의 먼지를 제거하고 방진복(防塵服)이라는 먼지가 나지 않는 옷을 입고 제조 공정에 투입되게 된다.

따라서 반도체 제조 공정에 사용되는 각종 용품 및 치공구들도 청결을 유지하여 불량품의 원인이 되어서는 아니되므로 화학 약품이나 순수한 물 등으로 깨끗이 세정한 후 건조하여 제조 공정에 투입되고 이런 과정은 주기적으로 반복되어야 한다.

본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 용품 및 치공구들을 세정한 후 챔버내부에 투입하여 건조시키는 건조기에 사용되는 히터에 관한 것이다.

종래의 이러한 건조기용 히터는 용품 및 치공구가 투입되는 공간인 챔버 내의 측면 또는 저면에 빛을 발하면서 공기를 가열하는 할로겐 램프를 설치하거나 철판에 열선이 내설된 플레이트 히터를 설치하였다.

그러나 할로겐 램프를 이용하여 내부의 공기를 가열시키는 건조기는 할로겐 램프의 수명이 반영구적이지 못하여 잦은 교체를 하여야 하고 교체를 하여 주지 않으면 원하는 온도만큼 가열되지 못하고 또 원하는 온도까지 가열시키는 시간이 너무 긴 문제점이 있었다.

한편 플레이트 히터를 이용하여 챔버 내부의 공기를 가열시키는 건조기는 수명이 반영구적이기는 하나, 히터에 고장이 발생할 경우 수리하지 못하고 히터 자체를 모두 교체해야 하며 장시간 사용으로 철판에 형성된 파티클(particle)이 용품이나 치공구에 묻어 세정한 효과가 반감되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 제공하고자하는 목적을 열에 강하고 파티클이 없는 소재인 세라믹 애자를 다수개 병설하고 세라믹 애자에 형성된 수용부에 열선을 삽입하여 공기를 가열함으로써 수명이 반영구적고 히터에 고장이 발생할 경우에는 손쉽게 수리할 수 있으며 장시간 사용하여도 파티클이 형성되지 않아 건조시에 세정 효과를 그대로 유지할 수 있는 반도체 제조 용품 건조기용 히터에 관한 것이다.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 본체 상부에 받침대가 길이 방향으로 다수개 횡설되고, 상부가 개방된 수용부가 형성되고 상부로 적층된 세라믹 애자가 받침대 상부에 길이 반대 방향으로 다수개 병설되며, 본체의 일부는 커버에 의해 덮어지되; 상기 받침대 일측 상부에 지지대를 설치하여 애자에 의해 지지 고정되는 전원 공급봉이 축설되고, 상기 전원 공급봉에 연결된 열선이 수용부를 통과하여 지그재그 연결되며, 체결 부재에 의해 상기 세라믹 애자가 고정됨을 특징으로 하는 반도체 제조 용품 건조기용 히터를 제공하고자 한다.

제1도는 본 발명에 따른 히터의 평면도.

제2도는 본 발명에 따른 히터의 정면도.

제3도는 본 발명에 따른 히터의 우측면도.

제4도는 본 발명에 따른 히터의 설치예를 나타내는 도면.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

10 : 본체 12 : 받침대

14 : 지지대 16 : 열선

18 : 세라믹 애자 20 : 수용부

22 : 커버 24 : 애자

26 : 전원 공급봉 28 : 체결 부재

30 : 히터 40 : 모터

42 : 질소 가스 공급관 44 : 질소 가스 분출구

50 : 환풍팬 60 : 챔버

62 : 선반 64 : 프레임

66 : 돌출편 68 : 배기구

70 : 필터 80 : 도어

82 : 손잡이 100 : 건조기

이하 본 발명을 첨부된 도면 도 1 내지 도 3을 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 히터의 평면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 히터의 정면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 히터의 우측면도이다.

먼저 본 발명의 기본적인 구성을 살펴보면, 본체(10) 상부에 받침대(12)가 길이 방향으로 다수개 횡설되고, 상부가 개방된 수용부(20)가 형성되고 상부로 적층된 세라믹애자(18)가 받침대(12) 상부에 길이 반대 방향으로 다수개 병설되며, 본체(10)의 일부는 커버(22)에 의해 덮어지되; 상기 받침대(12) 일측 상부에 지지대(14)를 설치하여 애자(24)에 의해 지지 고정되는 전원 공급봉(26)이 축설되고, 상기 전원 공급봉(26)에 연결된 열선(16)이 수용부(20)를 통과하여 지그 재그 연결되며, 체결 부재(28)에 의해 상기 세라믹 애자(18)가 고정됨을 특징으로 하여 구성된다.

이하 본 발명을 좀 더 상세하게 설명하면 본 발명이 명확해질 것이다.

본체(10) 상부에는 일정한 간격을 두고 받침대(12)가 길이 방향으로 다수개 횡설되고, 상기 받침대(12) 상부에는 세라믹 애자(18)가 길이 반대 방향으로 병설된다.

이때 세라믹 애자(18)로 사용되는 재질의 세라믹(ceramic)은 열에 강하고 장시간 사용에도 파티클이 없는 소재이다.

세라믹 애자(18)에는 상부가 일부 개방된 수용부(20)가 형성되고 여러층으로 적층되어 체결 부재(28)에 의해 고정된다.

다수개의 세라믹 애자(18)가 병설된 받침대(12)의 일측 상부에는 지지대(14)가 받침대(12) 직각으로 설치된다.

지지대(14)에는 애자(24)에 의해 지지 고정되는 전원 공급봉(26)이 축설된다.

상기 전원 공급봉(26)에는 니크롬선과 같은 열선(16)이 연결되어 가열에 필요한 전원을 공급받고 열선(16)은 세라믹 애자(18)에 형성된 수용부(20)를 통과하여 지그 재그로 연결된 후 다른 전원 공급봉(26)에 연결된다.

열선(16)이 고장이 나면 열선(16)을 전원 공급봉(26)에서 떼어내어 열선(16)만 교체하면 간단히 해결되는 것이고, 또한 건조기의 용량이나 일정 온도까지 상승하는 상승 시간에 따라 전원 공급봉(26)에 공급되는 전원을 조절하면 되는 것이다.

본체(10)의 일부는 커버(22)에 의해 덮어져 열이 외부로 불필요하게 발산되는 것을 방지한다.

이하 첨부된 도면 도 4를 참고로 하여 본 발명에 따른 세라믹 히터(30)가 건조기(100)에 설치된 예를 설명한다.

도 4는 본 발명에 따른 히터의 설치예를 나타내는 도면이다.

챔버(60)의 위치보다 아래에 즉 건조기(100)의 하부에 모터(40)의 회전에 의해 같이 회전됨으로써 챔버(60) 내의 공기를 하부로 빨아 들여 강제적으로 순환시키는 환풍팬(50)이 내설된다.

상기 환풍팬(50)과 일정한 이격 거리를 두고 공기를 가열시키는 세라믹 히터(30)가 내설된다.

환풍팬(50)과 세라믹 히터(30) 사이에는 질소 가스를 공급하는 질소 가스 공급과(42)와 연통된 질소 가스 분출구(44)가 개재된다.

환풍팬(50)에 의해 하부로 이송된 공기는 질소 가스 분출구 (44)를 통해 유입된 질소 가스와 혼합하여 세라믹 히터(30)을 거쳐 가열된다.

챔버(60)의 외부 측면에는 필터(70)가 내설되어 세라믹 히터(30)를 거쳐 가열된 공기를 정화시킨다.

챔버(60) 내부로 유입된 공기는 챔버(60)에 투입된 용품이나 치공구를 거친 후 대부분의 공기는 환풍팬(50)에 의해 다시 하부로 이송되고 일부는 배기구(68)를 통해 외부로 배출된다.

미설명 부호 62는 선반, 64는 프레임, 66은 돌출편, 80은 도어, 82는 도어(80)의 손잡이이다.

세라믹 히터(30)를 건조기(100)에 설치하여 사용시에 세라믹 애자(18)에는 파티클이 없어서 챔버(60)에 투입되어 건조되는 용품이나 치공구의 세정 상태를 유지한 상태를 건조시킬 수 있는 것이다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 열에 강하고 파티클이 없는 소재인 세라믹 애자(18)를 다수개 병설하고 세라믹 애자(18)에 형성된 수용부(20)에 열선(16)을 삽입하여 공기를 가열함으로써 수명이 반영구적으로 세라믹 히터(30)에 고장이 발생할 경우에는 손쉽게 수리할 수 있으며 장시간 사용하여도 파티클이 형성되지 않아 건조시에 세정 효과를 그대로 유지할 수 있는 유용한 발명인 것이다.

Claims (1)

1. 본체(10) 상부에 받침대(12)가 길이 방향으로 다수개 횡설되고, 상부가 개방된 수용부(20)가 형성되고 상부로 적층된 세라믹 애자(18)가 받침대(12) 상부에 길이 반대 방향으로 다수개 병설되며, 본체(10)의 일부는 커버(22)에 의해 덮어지되; 상기 받침대(12) 일측 상부에 지지대(14)를 설치하여 애자(24)에 의해 지지 고정되는 전원 공급봉(26)이 축설되고, 상기 전원 공급봉(26)에 연결된 열선(16)이 수용부(20)을 통과하여 지그 재그 연결되며, 체결 부재(28)에 의해 상기 세라믹 애자(18)가 고정됨을 특징으로 하는 반도체 제조 용품 건조기용 히터.

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