KR100234339B1 - 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치 - Google Patents

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Abstract

모니터용 광검출기 일체형 광출력장치가 개시되어 있다.
이 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치는 기판과, 이 기판상에 집적되어 입사광을 수광하는 모니터용 광검출수단과, 광검출수단상에 순차로 적층된 제1반사기층, 활성층, 제2반사기층을 포함하여 적층 방향으로 광을 출사하는 표면광 레이저와, 제1반사기층과 마주하는 광검출수단상의 일부와 제2반사기층상에 각각 형성된 제1 및 제2전극을 구비한 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치에 있어서, 광검출수단은 표면광 레이저의 하면으로 출사되는 광을 수광할 수 있도록 순차로 적층 형성된 제1 및 제2모니터용 광검출기와, 제1모니터용 광검출기의 노출된 상면과 기판의 하면에 각각 형성된 제3 및 제4전극과, 제2모니터용 광검출기의 하부층상의 노출면에 형성된 제5전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 표면광 레이저에서 출사되는 광량의 변화를 알 수 있으므로 출사되는 광량을 일정하게 유지하도록 효과적으로 제어할 수 있다.

Description

모니터용 광검출기 일체형 광출력장치{Surface emitting laser with integrated photodetector for power stabilization}
본 발명은 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치에 관한 것으로서, 상세하게는 자발방출광은 배제하고 유도방출광만을 모니터 함으로써 모니터 효율 및 광출력 특성이 개선된 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치에 관한 것이다.
일반적으로 모서리 발광 레이저와 표면광 레이저(SEL:Surface Emitting Laser)를 포함한 반도체 레이저는 소형 광출력장치로 각광받고 있다. 이 반도체 레이저의 출사 광량은 일정하게 유지되어야 하며, 이를 위하여 모니터용 광검출기를 채용한다.
상기 표면광 레이저는 모서리 발광 레이저와는 달리 반도체 물질층의 적층 방향에 대해 수직방향으로 광을 출사하므로, 단일 기판상에 복수개의 표면광 레이저를 집적할 수 있다. 또한, 상기 표면광 레이저는 빔의 모양이 원형에 가깝고, 밝기분포가 가우시안이므로 출사광의 형상 보정을 위한 광학계가 불필요하다. 따라서 전자계산기, 음향 영상 기기, 레이저 프린터, 레이저 스캐너, 의료장비 및 통신 분야 등 광응용 분야에서 널리 이용될 수 있다.
그러나, 이 표면광 레이저는 광 출사면 중 일면이 기판상에 결합되어 있으므로, 모니터용 광검출기를 설치하기가 용이하지 않다.
도 1은 종래의 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치의 일 형태에 따른 개략적인 단면도이다. 이 도면을 참조하여 그 구조와 동작원리를 설명하면 다음과 같다.
도시된 바와 같이, 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치는 기판(11)과, 상기 기판(11)상에 집적된 표면광 레이저(50)와, 상기 기판(11)과 상기 표면광 레이저(50) 사이에 적층된 모니터용 광검출기(20)와, 상기 표면광 레이저(50)의 구동을 위한 제1전극(40) 및 제2전극(70)으로 구성된다. 또한, 상기 모니터용 광검출기(20)에서 검출된 신호를 출력하기 위한 제3전극(10)이 상기 기판(11)의 하면에 더 구비된다.
상기 기판(11)은 갈륨-비소와 같은 반도체 물질에 n형 또는 p형 불순물을 도핑하여 사용하거나 불순물을 함유하지 않는 진성반도체 물질을 사용한다.
상기 표면광 레이저(50)는 광을 발생시키는 활성층(53)과, 상기 활성층(53)의 상하부 각각에 반도체 화합물을 교대로 적층하여 만들어져 상기 활성층(53)에서 발생한 광을 공진 시키는 제1반사기층(51) 및 제2반사기층(57)과, 상기 활성층(53)의 중앙부(53a)를 제외한 영역에 주입 형성된 고저항부(55)와, 광이 출사되도록 상기 제2반사기층(57)의 상부에 형성된 윈도우(59)로 이루어진다. 상기 모니터용 광검출기(20)는 통상의 광검출기로 역방향 바이어스 전압을 인가하거나 전압을 인가하지 않는다.
제1 및 제2전극(40)(70)에 순방향 바이어스를 걸어주면 전류는 상기 고저항부(55)에 의해 상기 활성층(53)의 중앙부(53a)쪽으로 가이드 되어 흐르고, 상기 활성층(53)에서 전자와 정공의 결합에 의하여 광이 발생하게 된다. 상기 발생된 광중에서 제1반사기층(51)과 제2반사기층(57)의 공진 조건에 맞는 파장의 광만이 살아남는다. 상기 살아남은 광은 상기 활성층(53)에서 파장과 위상이 같은 광을 유도 방출함으로써 증폭된다. 이와 같이 발생된 유도방출광 즉 레이저광은 상기 제1 및 제2반사기층(51)(57)을 투과하여 상기 표면광 레이저(50)의 상하면으로 출사된다.
상기 표면광 레이저(50)는 상기한 유도방출광 뿐만 아니라 자발적으로 발생된 자발방출광도 사방으로 출사한다.
상기 모니터용 광검출기(20)는 서로 다른 형을 갖는 한 쌍의 불순물반도체 물질층(21)(23)과, 이 불순물반도체 물질층(21)(23) 사이에 위치된 진성반도체 물질층(22)을 포함하며, 상기 표면광 레이저(50)의 하면으로 출사된 광을 흡수하여 흡수된 광량에 비례하는 전기신호를 출력한다.
이와 같이 구비된 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치는 상기 표면광 레이저(50)의 상면으로 출사되는 광은 그 본래의 목적으로 사용되고, 그 하면으로 출사되는 광은 모니터용 광검출기(20)에서 검출되어 이 전기신호를 상기 표면광 레이저(50)의 전원에 피드백함으로써 상기 광출력장치의 광출력을 일정하게 유지하도록 제어하는데 쓰인다.
여기서 상기 모니터용 광검출기(20)에서 수광된 광은 유도방출광 뿐만 아니라 자발방출광을 포함하고, 두 광량이 서로 비슷하므로, 상기 모니터용 광검출기(20)의 검출신호로 상기 표면광 레이저(50)에서 출사되는 광량의 정밀 제어가 곤란하다.
본 발명은 상기한 바와 같은 단점을 극복하기 위하여 안출된 것으로, 모니터용 광검출기에서 수광되는 자발방출광을 상쇄하여, 표면광 레이저에서 출사되는 광량을 정밀 제어할 수 있도록 된 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치의 개략적인 단면도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치의 개략적인 단면도.
도 3은 도 2의 모니터용 광검출기에 역방향 바이어스 전압이 인가되지 않는 경우의 등가회로를 개략적으로 나타낸 회로도.
도 4는 본 발명에 따른 차동증폭기의 두 입력단에 각각 증폭기가 더 구비된 경우를 개략적으로 나타낸 부분 회로도.
도 5는 도 2의 모니터용 광검출기에 역방향 바이어스 전압이 인가되는 경우의 등가회로를 개략적으로 나타낸 회로도.
도 6은 역방향 바이어스 전압이 인가되는 경우 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치의 물성을 보인 개략적인 단면도.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
11,111...기판 150,550...표면광 레이저
120,520...제2모니터용 광검출기 130,530...제1모니터용 광검출기
280...차동증폭기
상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치는 기판과; 상기 기판상에 집적되어 입사광을 수광하는 모니터용 광검출수단과; 상기 광검출수단상에 순차로 적층된 제1반사기층, 활성층, 제2반사기층을 포함하여 적층 방향으로 광을 출사하는 표면광 레이저와; 상기 제1반사기층과 마주하는 상기 광검출수단상의 일부와 상기 제2반사기층상에 각각 형성된 제1 및 제2전극;을 구비한 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치에 있어서, 상기 광검출수단은 상기 표면광 레이저의 하면으로 출사되는 광을 수광할 수 있도록 순차로 적층 형성된 제1 및 제2모니터용 광검출기와; 상기 제1모니터용 광검출기의 노출된 상면과 상기 기판의 하면에 각각 형성된 제3 및 제4전극과; 상기 제2모니터용 광검출기의 하부층상의 노출면에 형성된 제5전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도시된 바와 같이, 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치는 기판(111)과, 상기 기판(111)상에 순차로 적층 형성된 제1 및 제2모니터용 광검출기(120)(130)와, 상기 제2모니터용 광검출기(130)상에 적층 형성된 표면광 레이저(150)와, 상기 표면광 레이저(150)에 순방향 바이어스 전압을 인가하기 위한 제1 및 제2전극(140)(170)과, 상기 제1모니터용 광검출기(120)에서 검출되는 전기신호를 출력하기 위한 제3 및 제4전극(110)(125)과, 상기 제2모니터용 광검출기에서 검출되는 전기신호를 출력하기 위한 제5전극(135)을 포함한다.
상기 기판(111)은 갈륨-비소 등의 반도체 물질에 n형 또는 p형 불순물을 도핑하여 사용하거나 불순물을 함유하지 않는 진성반도체 물질을 사용한다.
상기 표면광 레이저(150)는 하면으로부터 순차로 적층 형성된 제1반사기층(151), 광을 발생시키는 활성층(153) 및 제2반사기층(157)으로 구성되며, 상기 제2반사기층(157) 상부에는 광이 출사되는 윈도우(159)가 형성된다.
상기 제1 및 제2반사기층(151)(157)은 서로 다른 형의 불순물 반도체 화합물, 예를 들면와, 또는와를 교대로 적층하여 형성된다. 이 두 반사기층(151)(157)은 상기 제1 및 제2전극(140)(170)에서 인가되는 순방향 바이어스에 의해 상기 표면광 레이저(150)에 전자와 정공을 제공하며, 반사에 의해 상기 표면광 레이저(150)에서 발생된 광을 공진 시킨다. 상기 두 반사기층(151)(157)은 입사광의 거의 대부분을 반사시키고, 소정 파장의 광을 출사시키도록 고반사율을 가지며, 이 반사율은 적층된 반도체 화합물의 페어수에 의해 결정된다. 여기에서, 상기 제1반사기층(151)은 상기 제2반사기층(157)보다 큰 반사율을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.
상기 활성층(153)은 진성반도체물질을 단일 및 다중 양자-우물 구조 또는 슈퍼래티스(super lattice) 구조로 적층하여 형성된다. 상기 활성층(153)은 상기 제1 및 제2전극(140)(170)에 인가되는 순방향 바이어스 전압에 의해 상기 두 반사기층(151)(157)에서 제공된 전자와 정공의 결합에 의해 빛을 방출한다. 이때 상기 활성층(153)의 중앙부(153a)로 인가 전류의 흐름을 안내할 수 있도록, 상기 활성층(153)의 중앙부(153a)를 제외한 영역에 주입 형성된 고저항부(155)가 더 구비된다.
상기한 바와 같이 구성된 표면광 레이저(150)는 제1 및 제2전극(140)(170)을 통해 인가되는 전압에 의해 상하면으로 광을 출사한다. 이때 유도방출광 뿐만 아니라, 자발방출광도 함께 출사된다.
상기 제1 및 제2모니터용 광검출기(120)(130) 각각은 순차로 적층 형성된 제1반도체물질층(121)(131), 진성반도체물질층(122)(132), 제2반도체물질층(123)(133)을 포함하는 PIN형 포토 다이오드이다. 여기서 상기 제1반도체물질층(121)(131)과 제2반도체물질층(123)(133)은 서로 다른 형의 불순물로 도핑된 층이다.
상기 표면광 레이저(150)의 하면으로 출사되는 유도방출광과 자발방출광은 상기 제1 및 제2모니터용 광검출기(120)(130) 각각에 수광된다. 즉, 상기 표면광 레이저(150)의 하면으로 출사된 광의 일부는 제2모니터용 광검출기(130)에서 수광되고 나머지는 투과되어, 상기 제1모니터용 광검출기(120)에서 수광된다. 수광된 자발방출광과 유도방출광의 광량을 살펴볼 때, 자발방출광은 제1모니터용 광검출기(120)와 제2모니터용 광검출기(130)에서 비슷하게 수광되는 반면, 유도방출광은 거의 대부분이 제2모니터용 광검출기(130)에서 수광된다.
상기 제1전극(140)은 상기 제2모니터용 광검출기(130)의 제2반도체물질층(133)상의 노출부에 형성되며, 상기 표면광 레이저(150)와 상기 제2모니터용 광검출기(130)의 공통전극으로 사용된다. 상기 제2전극(170)은 상기 제2반사기층(157)상의 상기 윈도우(159)를 제외한 전 영역에 형성된다. 제3전극(110)은 상기 기판(111)의 하부에 위치되어 상기 제1모니터용 광검출기(120)에서 검출된 전기신호를 출력하고, 상기 제4전극(125)은 상기 제1모니터용 광검출기(120)의 제2반도체물질층(123)상의 노출부에 위치되어 상기 제1모니터용 광검출기의 역방향 바이어스 전압 입력단으로 이용된다. 상기 제5전극(135)은 상기 제2모니터용 광검출기(130)의 제1반도체물질층(131)상의 노출부에 위치되며, 상기 제2모니터용 광검출기(130)에서 검출된 전기신호를 출력한다.
도 3은 도 2의 모니터용 광검출기에 역방향 바이어스 전압이 인가되지 않는 경우의 등가회로를 개략적으로 나타낸 회로도로 이를 참조하여 상기 제1 및 제2모니터용 광검출기(120)(130)에 역방향 바이어스 전압이 인가되지 않는 경우의 실시예를 설명한다.
상기 표면광 레이저(150)에는 상기 제2전극(170)으로 순방향 바이어스가 인가되고, 상기 제1전극(140)은 상기 표면광 레이저(150)와 상기 제2모니터용 광검출기(130)의 공통 접지, 상기 제4전극(125)은 상기 제1모니터용 광검출기(120)의 공통 접지가 된다. 상기 제1모니터용 광검출기(120)의 검출신호는 상기 제3전극(110)으로 출력되고, 상기 제2모니터용 광검출기(130)의 검출신호는 상기 제5전극(135)으로 출력된다.
이 출력된 두 전기신호(110)(135)는 상기 차동증폭기(280)의 두 입력단에 각각 입력된다. 상기 차동증폭기(280)는 두 입력단을 통해 입력된 전기신호를 차동 및 증폭 출력한다. 이때, 자발방출광에 의한 전기 신호는 두 모니터용 광검출기(120)(130)에서 수광된 광량이 비슷하므로 소거되고, 유도방출광은 두 모니터용 광검출기(120)(130)에서 수광된 광량이 서로 다르므로, 광량 차이에 비례하는 전기신호가 증폭되어 출력(290)된다.
또한, 상기 제1모니터용 광검출기(120)와 제2모니터용 광검출기(130)에서 검출되는 자발방출광의 광량이 다른 경우에는 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2모니터용 광검출기(120)(130)의 출력(110)(135)과 상기 차동증폭기(280)의 두 입력단(410)(435) 사이 각각에 두 개의 증폭기(280a)(280b)를 더 구비하여, 자발방출광의 증폭률을 각각 조절하면서 증폭하면, 상기 차동증폭기(280)의 두 입력단(410)(435) 각각에 입력되는 자발방출광에 의한 전기신호는 같게 되어, 자발방출광은 효과적으로 제거되고, 유도방출광량의 차이에 비례하는 전기신호가 출력(490)된다.
도 5는 도 2의 모니터용 광검출기에 역방향 바이어스 전압이 인가되는 경우의 등가회로를 개략적으로 나타낸 회로도이고, 도 6은 역방향 바이어스 전압이 인가된 경우 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치의 물성을 보인 개략적인 단면도이다. 이를 참조하여 상기 제1 및 제2모니터용 광검출기(120)(130)에 역방향 바이어스 전압이 인가되는 경우의 실시예를 설명한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1전극(140)으로 상기 표면광 레이저(150)에는 순방향 바이어스가 인가되고, 상기 제2모니터용 광검출기(130)에는 역방향 바이어스 전압이 인가된다. 또한, 상기 제1모니터용 광검출기(120)에는 상기 제4전극(125)으로 역방향 바이어스 전압이 인가된다. 상기 제2전극(170)은 상기 표면광 레이저(150)의 공통접지이다. 상기 제1모니터용 광검출기(120)의 검출신호는 상기 제1전극(110)으로 출력되고, 상기 제2모니터용 광검출기(130)의 검출신호는 상기 제5전극(135)으로 출력된다.
이 출력된 두 전기신호(110)(135)는 상기 차동증폭기(280)의 두 입력단에 각각 입력되어 차동 및 증폭되므로, 도 3을 참조하여 설명한바와 같이, 자발방출광은 소거되고 유도방출광량 차이에 비례하는 전기신호가 출력(290)된다.
또한, 상기 제1모니터용 광검출기(120)와 제2모니터용 광검출기(130)에서 검출되는 자발방출광의 광량이 다른 경우에는 도 4를 참조하여 설명한 바와 같이 모니터용 광검출기(120)(130)의 출력과 차동증폭기(280)의 입력단(410)(435) 사이에 적어도 하나의 증폭기(도 4의 (280a)(280b))를 더 구비함으로써, 자발방출광을 효과적으로 제거할 수 있다.
상기한 역방향 바이어스 전압이 인가되는 경우에 도 6에 도시된 바와 같이, 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치는 기판(111)과, 상기 기판(111)상에 순차로 적층 형성된 제1 및 제2모니터용 광검출기(520)(530)와, 상기 제2모니터용 광검출기(530)상에 적층 형성된 표면광 레이저(550)와, 상기 표면광 레이저(550)에 순방향 바이어스 전압을 인가하기 위한 제1 및 제2전극(140)(170)과, 상기 제1모니터용 광검출기(520)에서 검출되는 전기신호를 출력하기 위한 제3 및 제4전극(110)(125)과, 상기 제2모니터용 광검출기에서 검출되는 전기신호를 출력하기 위한 제5전극(135)으로 구성된다.
상기 제1모니터용 광검출기(520)는 상기 기판(111)상에 p형 제1반도체물질층(521), 제1진성반도체물질층(522), n형 제1반도체물질층(523)순으로 적층 형성되고, 상기 n형 제1반도체물질층(523)상의 일부분이 노출되게 형성된다.
상기 제2모니터용 광검출기(530)는 상기 제1모니터용 광검출기(520)상에 p형 제2반도체물질층(531), 제2진성반도체물질층(532), n형 제2반도체물질층(533)순으로 적층 형성되고, 상기 p형 및 n형 제2반도체물질층(531)(533)상의 일부분이 노출되게 형성된다.
상기 표면광 레이저(550)는 상기 제2모니터용 광검출기(530)상에 p형 반도체물질층으로 된 제1반사기층(551)과, 진성반도체 물질층으로 된 활성층(553)과, n형 반도체물질층으로 된 제2반사기층(557)과, 광이 출사되도록 상기 제2반사기층(557) 상에 형성된 윈도우(159)로 구성된다. 또한 상기 활성층(553)의 중앙부(553a)로 인가 전류의 흐름을 안내할 수 있도록, 상기 활성층(553)의 중앙부(553a)를 제외한 영역에 주입 형성된 고저항부(555)가 더 구비될 수 있다.
상기 제1전극(140)은 상기 n형 제2반도체물질층(533)상의 노출 부분에 형성되고, 상기 제2전극(150)은 상기 윈도우(159)를 제외한 상기 제2반사기층(557)상에 형성된다. 상기 제3전극(110)은 상기 기판(111)의 하면에 형성되며, 상기 제4전극(125)은 상기 n형 제2반도체물질층(523)상의 노출부분에 형성되고, 상기 제5전극(135)은 상기 p형 제2반도체물질층(531)상의 노출부분에 형성된다.
상기 제1 및 제2전극(140)(170)으로 상기 표면광 레이저(550)에 순방향 바이어스가 인가되고, 상기 제3 및 제4전극(110)(125)으로 상기 제1모니터용 광검출기(520)에 역방향 바이어스 전압이 인가되며, 상기 제1 및 제5전극(140)(135)으로 상기 제2모니터용 광검출기(530)에 역방향 바이어스 전압이 인가된다.
이와 같이 구비된 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치는 상기 활성층(553)에서 전자와 정공의 결합에 의해 광이 발생된다. 이 광은 상기 표면광 레이저(550)의 상하면으로 출사되는 유도방출광과, 사방으로 출사되는 자발방출광을 포함한다.
상기 표면광 레이저(550)의 하면으로 출사된 유도방출광과 자발방출광은 상기 제1 및 제2모니터용 광검출기(520)(530)에서 수광된다. 상기 제1 및 제2모니터용 광검출기(520)(530)에서 검출된 전기신호는 각각 상기 제3 및 제5전극(110)(135)으로 출력된다.
상기 제3 및 제5전극(110)(135)으로 출력된 전기신호는 상기한 바와 같이 차동 및 증폭되어, 자발방출광은 소거되고 유도방출광량에 비례하는 전기신호가 출력된다.
따라서 표면광 레이저(150)(550)의 하면으로 출사되는 유도방출광의 광량은 그 상면으로 출사되는 광량에 비례하므로, 상기 광검출수단에 의해 검출되는 광량으로부터 상기 윈도우(159)를 통하여 출사되는 광량의 변화를 알아낼 수 있다. 또한 이 검출된 광량에서 얻어진 신호를 피드백하여 표면광 레이저(150)(550)에 인가해 주는 전류를 조절함으로써 상기 윈도우(159)를 통하여 출사되는 표면광 레이저(150)(550)의 광량을 조절할 수 있다.
따라서 본 발명에 따른 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치는 두 모니터용 광검출기를 채용하여, 수광된 자발방출광을 소거함으로서, 윈도우를 통해 출사되는 광량에 비례하는 유도방출광을 모니터할 수 있으므로, 출사광량을 효과적으로 제어할 수 있다. 또한 표면광 레이저와 모니터용 광검출기를 일체형으로 형성함에 의해 그 구조를 간단하게 할 수 있다.

Claims (6)

  1. 기판과; 상기 기판상에 집적되어 입사광을 수광하는 모니터용 광검출수단과; 상기 광검출수단상에 순차로 적층된 제1반사기층, 활성층, 제2반사기층을 포함하여 적층 방향으로 광을 출사하는 표면광 레이저와; 상기 제1반사기층과 마주하는 상기 광검출수단상의 일부와 상기 제2반사기층상에 각각 형성된 제1 및 제2전극;을 구비한 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치에 있어서,
    상기 광검출수단은 상기 표면광 레이저의 하면으로 출사되는 광을 수광할 수 있도록 상기 기판상에 순차로 적층 형성된 제1 및 제2모니터용 광검출기와; 상기 제1모니터용 광검출기의 노출된 상면과 상기 기판의 하면에 각각 형성된 제3 및 제4전극과; 상기 제2모니터용 광검출기의 하부층상의 노출면에 형성된 제5전극;을 포함하며,
    상기 표면광 레이저에서 그 하면으로 출사된 유도방출광은 대부분 제2모니터용 광검출기에서 흡수되고, 상기 표면광 레이저에서 그 하면으로 출사된 자발광출광은 상기 제1 및 제2모니터용 광검출기에서 검출되는 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1전극은 상기 표면광 레이저와 상기 제2모니터용 광검출기의 공통전극으로 사용되는 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2모니터용 광검출기 각각은 순차로 적층 형성된 제1반도체물질층, 진성반도체물질층, 제2반도체물질층을 포함하며 상기 제1반도체물질층과 제2반도체물질층은 서로 다른 형의 불순물로 도핑된 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 모니터용 광검출기의 검출신호를 두 입력으로 하는 차동증폭기를 더 포함하여 상기 표면광 레이저에서 출사된 광중 자발방출광에 대응되는 전기신호는 소거하고, 유도방출광에 비례하는 전기신호를 증폭하여 출력하도록 된 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 차동증폭기의 두 입력단 각각에 입력되는 자발방출광에 대응되는 전기신호가 일치하도록 상기 제1 및 제2모니터용 광검출기와 상기 차동증폭기의 두입력단 사이에 적어도 하나의 증폭기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치.
  6. 기판과;
    상기 기판상에 p형 제1반도체물질층, 제1진성반도체물질층, n형 제1반도체물질층순으로 적층되며, 상기 n형 제1반도체물질층상의 일부분이 노출된 제1모니터용 광검출기와;
    상기 제1모니터용 광검출기상에 p형 제2반도체물질층, 제2진성반도체물질층, n형 제2반도체물질층순으로 적층되며 상기 p형 및 n형 제2반도체물질층상의 일부분이 노출된 제2모니터용 광검출기와;
    상기 제2모니터용 광검출기상에 p형 반도체물질층으로 된 제1반사기층과, 진성반도체 물질층으로 된 활성층과, n형 반도체물질층으로 된 제2반사기층 순으로 적층되고 상기 제2반사기층상에 광이 출사되는 윈도우가 형성된 표면광 레이저와;
    상기 n형 제2반도체물질층상의 노출부분과 상기 윈도우를 제외한 제2반사기층상에 각각 형성된 제1 및 제2전극과;
    상기 기판의 하면에 형성된 제3전극과;
    상기 n형 제1반도체물질층상의 노출부분에 형성된 제4전극과;
    상기 p형 제2반도체물질층상의 노출부분에 형성된 제5전극;을 포함하고,
    상기 제1 및 제2전극으로 상기 표면광 레이저에 순방향 바이어스가 인가되고, 상기 제3 및 제4전극으로 상기 제1모니터용 광검출기에 역방향 바이어스 전압이 인가되고, 상기 제1 및 제5전극으로 상기 제2모니터용 광검출기에 역방향 바이어스 전압이 인가되며,
    상기 제3전극으로 제1모니터용 광검출기의 검출신호가 출력되고, 상기 제5전극으로 상기 제2모니터용 광검출기의 검출신호가 출력되는 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기 일체형 광출력장치.
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