KR100228441B1 - 피복와이어의 와이어 본딩 툴의 청정방법 - Google Patents

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가즈마사 사사쿠라
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후지야마 겐지
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Abstract

[과제]
본딩 툴의 청정을 위해 신규인 장치를 필요로 하지 않고, 또한 안전성에도 우수하다.
[해결수단]
본딩 툴(2)의 선단부로부터 피복와이어(1)가 돌출 않고 있는 상태로, 본딩 툴(1)의 선단부를 한쌍의 방전전극(3,4)의 사이에 위치시키어, 한편의 방전전극(3)을 양극에, 다른쪽의 방전전극(4)를 음극에 접속하여 방전시키어, 본딩 툴(2)의 선단부에 부착한 부착물을 제거한다.

Description

피복와이어의 와이어 본딩 툴의 청정방법
제1도는 본 발명의 피복와이어의 와이어 본딩 툴의 청정방법의 1실시예를 나타내는 블럭도이다.
제2도는 본 발명의 피복와이어의 와이어 본딩 툴의 청정방법의 다른 실시예를 게시하는 블럭도이다.
제3도는 피복와이어의 와이어 방전전극의 일예를 나타내는 블럭도이다.
제4도는 피복와이어의 와이어 본딩 툴의 다른 예를 게시하는 블럭도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 피복와이어 2 : 본딩 툴
3,4,5,6 : 방전전극 7 : 방전전원회로장치
[발명의 속하는 기술분야]
본 발명은, 피복와이어의 와이어 본딩 툴의 청정방법에 관한다.
[종래의 기술]
피복와이어의 와이어 본딩방법에 있어서는, 본딩 툴의 선단으로부터 신장한 피복와이어의 제2본딩예정부위의 피복을 제거하는 공정이 있다. 종래, 피복, 와이어의 피복제거방법으로서, 예컨대 일본국 특개평 4-222410호 공보를 들 수 있다. 이 방법을 제3도 및 제4도에 의해 설명한다. 피복와이어(1)는, 도전체인 심선(1a)와, 이것을 덮는 전기 절연성을 가지는 고분자수지로 이루어지는 피복(1b)와로 구성되어 있고, 본딩 툴(2)에 끼워 통하여져 있다. 이 본딩 툴(2)의 선단부로부터 신장한 피복와이어(1)의 제2본딩 예정 부위의 피복(1b)를 방전전극(3,4) 또는 (5,6)에 의해서 제거한다.
제3도에 나타내는 한쌍의 방전전극(3,4)은, 피복와이어(1)에 직교하는 평면을 경계로 대향하고 있고, 상기 평면위치에있어서 방전전극(3)의 방전개시부(3s) 및 방전전극(4)의 방전개시부(4s)가 최단 거리를 두고 대치하고 있다. 한편의 방전전극(4)의 표면에는, 피복와이어(1)측에 원하는 치수만큼 돌출한 전기절연체(4a)가 설치된다. 제4도에 나타내는 한쌍의 방전전극(5,6)도 피복와이어(1)에 직교하는 평면을 경계로 대향하여, 전극본체(5a,6a)의 상하면에 전기절연체(5b,5c 및 6b,6c)가 설치된다.
방전전원회로장치(7)는, 방전개시전압발생부(7a), 방전지속전압발생부(7b)의 고전압발생부와, 전류검출부(7c), 스위치(7d)(제3도) 또는 스위치(7e)(제4도)과, 이들을 제어하는 제어부(7f)를 포함하고 있다.
심선(1a)의 후단부는, 전류검출부(7c)를 통해 방전개시전압발생부(7a), 방전지속전압발생부(7b)의 각각의 양극에 접속되어 있다. 제3도에 나타내는 한편의 방전전극(3)은, 스위치(7d)를 통해 방전개시전압발생부(7a), 방전지속전압발생부(7b)의 각각의 양극에 접속되어 있다. 다른쪽의 방전전극(4)은, 방전개시전압발생부(7a), 방전지속전압발생부(7b)의 각각의 음극에 접속되어 있다. 또한 스위치(7d)를 닫음(ON으로 하는)것에 따라 피복와이어(1)의 심선(7a)와 방전전극(3)이 동전위가 되도록 구성되어 있다.
제4도에 나타내는 스위치(7e)는, 제3도의 스위치(7d)와 작용이 다르다. 즉, 스위치(7e)는, 방전개시전압발생부(7a), 방전지속전압발생부(7b)의 양극 및 음극에 각각 접속되는 접점(P1 및 P2)을 구비하고 있다. 한편의 방전전극(5)의 접속이, 피복와이어(1)의 심선(1a)와 같은 양극측(접점P1), 및 다른쪽의 방전전극(6)과 같은 음극측(접점P2)에, 수시로 임의로 절환이 가능해지고 있다.
우선 제3도의 경우의 피복와이어(1)의 피복(1b)의 제거방법을 간단히 설명한다. 제어부(7f)는, 스위치(7d)를 닫고, 방전전극(3)을 심선(1a)와 같이 양극에 접속하여, 방전개시전압발생부(7a)를 작동시킨다. 방전개시전압발생부(7a)에서 방전전극(3과 4)의 사이에 고전압(예컨대3500V)가 인가되어, 방전개시부(3s와 4s)의 사이로 방전이 개시되고, 방전개시부(3s 와 4s) 양단의 전압은 약500V 정도까지 자연강하한다.
제어부(7f)는, 방전전극(3 및 4)의 방전개시부(3s와 4s)사이의 전압강하의 검출신호에 따라서, 방전개시전압발생부(7a)에서 방전지속전압발생부(7b)로 절환한다. 이것에 의해, 방전지속전압발생부(7b)에서 일정시간 방전전극(3과 4)의 사이에 고전압이 인가된다. 더욱 두번째 방전을 개시시키도록, 제어부(7f)는, 방전개시전압발생부(7a) 및 방전지속전압발생부(7b)를 계속해서 기동한다. 이 일련의 방전을 반복발생시킨다.
이것에 의해, 피복와이어(1)의 피복(1b)의 일부가 박리하여, 심선(1a)의 노출부가 형성되고, 그 후의 방전에 의해서 노출부의 범위를 방전전극(4)의 상부의 전기절연체(4)의 위치까지 행할 수 있다.
다음에 제4도의 경우의 피복와이어(1)의 피복(1b)의 제거방법은 간단히 설명한다. 방전의 제어는, 상기 제3도 경우에 준하여 행한다. 최초의 방전의 개시에 있어서, 스위치(7e)는, 접점(P1)측에 접속되어, 방전전극(5)은 심선(1a)와 같은 양극에 접속되어 동전위로 되어 있다. 이 방전에 의해서 방전전극(5와 6)와의 사이에 방전이 행하여진다. 이 방전중에 피복(1b)에 노출부가 형성되면, 절연파괴에 의해서 방전은, 심선(1a)와 방전전극(6)과의 사이라도 행할 수 있게 된다. 그리고, 전류검출부(7c)에 의한 상기 절연파괴의 검출을 계기로, 제어부(7f)는 스위치(7e)를 접점(P2)측으로 절환하여, 방전전극(5)을 방전전극(6)과 같은 음극의 동전위가 되도록 접속한다. 이것에 의해, 심선(1a)와 방전전극(5 및 6)과의 사이의 방전에 의해, 심선(1a)의, 노출부의 길이를 제어한다.
이와 같이, 피복와이어(1)의 피복(1b)는 방전전극(3,4) 또는 (5,6)에 의한 방전에 의하는 열에너지에 의해서 열분해하여 제거된다. 이때에 열분해한 피복(1b)가 비산하여 본딩 툴(2)을 오염시킨다. 본딩 툴(2)이 오염하면, 본딩 툴의 막힘이 발생하여, 와이어 본딩의 신뢰성 및 생상성이 저하한다. 종래, 피복와이어의 와이어 본딩 툴의 청정방법으로서, 예컨대 특개평 5-190589호 공보에 도시한 것처럼, 본딩 툴의 선단부에 화염을 투사 또는 고온풍을 내뿜어, 본딩 툴의 선단부에 부착하여 부착물을 제거하는 것이 알려지고 있다.
[발명이 해결하고져 하는 과제]
상기 종래 기술은, 본딩 툴의 청정을 위한 화염장치 또는 고온발생장치를 필요로 한다. 또한 화염으로 청정하는 경우는, 가연가스등의 화기를 사용하기 때문에, 안전성에 문제가 있다.
본 발명의 과제는 본딩 툴의 청정을 위해 새로운 장치를 필요로 하지 않고, 또한 안전성에도 우수한 피복와이어의 와이어 본딩 툴의 청정방법을 제공하는 것에 있다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 수단은, 피복와이어의 피복을 제거하기 위한 대향하는 한쌍의 방전전극을 사용하여, 본딩 툴의 선단부로부터 피복와이어가 돌출않고 있는 상태로, 본딩 툴의 선단부를 상기 한쌍의 방전전극 사이에 위치시키어, 한편의 방전전극을 양극에, 다른쪽의 방전전극을 음극에 접속하여 방전시키어, 본팅 툴의 선단부에 부착한 부착물을 제거하는 것을 특징으로 한다.
[발명의 실시의 형태]
피복의 제거를 위해 사용하는 한쌍의 방전전극 및 그 방전전극에 고전압을 인가하는 방전전원회로장치를 사용하여 본딩 툴의 청정을 한다. 피복와이어를 본딩 툴로부터 해체하거나, 또는 피복와이어가 본딩 툴의 선단부로부터 돌출않고 있는 상태에 있어서, 피복제거용의 한쌍의 방전전극 사이에 본딩 툴의 선단부를 위치시키어, 또한 한쌍의 방전전극을 본딩 툴의 양측방으로부터 비접촉의 상태로 끼우게 한다. 그리고, 한편의 방전전극을 양극, 다른쪽의 방전전극을 음극에 방전시킨다. 이 방전 열에 의해서 본딩 툴의 선단부에 부착한 수지 오염은 열분해하여 승화하여, 본딩 툴의 선단부는 청정된다. 이와 같이 기존의 장치로 본딩 툴을 청정할 수 있기 때문에, 설비비가 상승하는 것도 없다. 또한 가연가스등을 사용하지 않기 때문에, 안전성에 있어서도 우수하다.
[실시예]
이하, 본 발명의 하나의 실시예를 제1도 및 제2도에 의해 설명한다. 제1도는 제3도에 나타내는 피복와이어의 와이어 본딩장치로 본딩 툴의 청정을 하는 경우를 나타내고, 제2도는 제4도에 나타내는 피복와이어의 와이어 본딩장치로 본딩 툴의 청정을 하는 경우를 나타낸다. 그래서, 제2도 및 제4도의 같은 부재는 동일부호를 붙이고 그 설명은 생략한다. 피복와이어(1)를 본딩 툴(2)로부터 해체하거나, 또는 피복와이어(1)를 본딩 툴(2)의 선단부로부터 돌출않고 인상한 상태로 한다. 이 상태로 제1도 및 제2도에 도시한 것처럼, 한쌍의 방전전극(3,4) 또는 (5,6) 사이에 본딩 툴(2)의 선단부를 위치시키어, 또한 한쌍의 방전전극(3,4) 또는 (5,6)을 본딩 툴(2)의 양측방으로부터 비접촉의 상태로 끼우게 한다.
그래서, 툴 청정버턴을 누르면, 제1도의 경우는 제어부(7f)에서의 신호에 의해서 스위치(7d)가 닫히고, 한편의 방전전극(3)은 양극이 된다. 다음에 제어부(7f)는 방전개시전압발생부(7a)를 작동시킨다. 다른쪽의 방전전극(4)은 음극에 접속되어 있기 때문에, 방전개시전압발생부(7a)에서 방전전극(3과 4)의 사이에 고전압(예컨대3500V)가 인가되어, 방전개시부(3s와 4s)의 사이에 방전이 개시되어, 방전개시부(3s와 4s)의 양단의 전압은 약500V정도까지 자연강하하다.
제어부(7f)는, 방전전극(3 및 4)의 방전개시부(3s와 4s)의 사이의 전압강하의 검출신호에 따라서, 방전개시전압발생부(7a)에서 방전지속전압발생부(7b)로 절환한다. 이것에 의해, 방전지속전압발생부(7b)에서 일정시간 방전전극(3와 4)의 사이에 점선의 화살표로 도시한 것처럼 고전압이 인가된다. 더욱 두번째 방전을 개시시키도록, 제어부(7f)는, 방전개시 전압발생부(7a)및 방전지속 전압발생부(7b)를 계속해서 기동한다. 이 일련의 방전을 반복발생시킨다. 이것에 의해, 본딩 툴(2)의 선단부에 부착한 수지 오염은 열분해하여 승화하여, 본딩 툴(2)의 선단부에 청정된다.
제2도의 경우는, 제어부(7f)에서의 신호에 의해서 스위치(7e)는 접점(P1) 측에 접속된다. 즉, 한편의 방전전극(5)은 양극, 다른쪽의 방전전극(6)은 음극이 된다. 다음에 상기의 경우와 동일하게, 제어부(7f)는 방전개시 전압발생부(7a)를 작동시킨다. 다른쪽의 방전전극(6)은 음극에 접속되어 있기 때문에, 방전개시 전압발생부(7a)에서 방전전극(5와 6)의 사이에 점선의 화살표로 도시한 것처럼 고전압이 인가되어, 방전전극(5와 6)의 사이에 방전이 개시되어, 전압은 자연강하하다.
제어부(7f)는, 방전전극(5와 6)사이의 전압강하의 검출신호에 따라서, 방전개시전압발생부(7a)에서 방전지속 전압발생부(7b)로 절환한다. 이것에 의해, 방전지속 전압발생부(7b)에서 일정시간 방전전극(5와 6)의 사이에 고전압이 인가된다. 더욱 두번째 방전을 개시시키도록, 제어부(7f)는, 방전개시전압발생부(7a) 및 방전지속전압발생부(7b)를 계속해서 기동한다. 이 일련의 방전을 반복발생시킨다.
이것에 의해, 본딩 툴(2)의 선단부에 부착한 수지 오염은 열분해하여 승화하여, 본딩 툴(2)의 선단부는 청정된다.
[발명의 효과]
본 발명에 의하여, 피복와이어의 피복을 제거하기 위한 대향하는 한쌍의 방전전극을 사용하여, 본딩 툴의 선단부로부터 피복와이어가 돌출않고 있는 상태로, 본딩 툴의 선단부를 상기 한쌍의 방전전극사이에 위치시키어, 한편의 방전전극을 양극에 다른쪽 방전전극을 음극에 접속하여 방전시키어, 본딩 툴의 선단부에 부착한 부착물을 제거하기 때문에, 본딩 툴의 청정을 위해 새로운 장치를 필요로 하지 않고, 또한 안전성에도 우수하다.

Claims (1)

  1. 피복와이어의 피복을 제거하기 위한 대향하는 한쌍의 방전전극을 사용하여, 본딩 툴의 선단부로부터 피복와이어가 돌출않고 있는 상태로, 본딩 톨의 선단부를 상기 한쌍의 방전전극 사이에 위치시키고, 한편의 방전전극을 양극에, 다른쪽의 방전전극을 음극에 접속하여 방전시키어, 본딩 툴의 선단부에 부착한 부착물을 제거하는 것을 특징으로 하는 피복와이어의 와이어 본딩 툴의 청정방법.
KR1019960046427A 1995-11-24 1996-10-17 피복와이어의 와이어 본딩 툴의 청정방법 KR100228441B1 (ko)

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