KR100227851B1 - 웨이퍼 이송 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 본 발명에서는 보조 고정바디의 사방 모서리에 보조 고정바디의 수평상태를 조절함으로써, 보조 고정바디에 지지된 보조 트위저가 메인 트위저들과 규칙적인 간격을 유지할 수 있도록 유도하는 수평 조절 스크류들을 배치하고, 또한, 수평조절 스크류들의 내측 중앙에 수평조절 스크류에 의헤 보조 고정바디의 수평상태 조절이 완료되는 경우, 보조 고정바디를 몸체에 고정하는 고정 스크류들이 배치한다.
이러한 본 발명에서는 일정한 두께를 갖는 철판 대신, 수평조절 스크류를 이용하여, 보조 트위저와 메인 트위저들 사이의 간격을 조절함으로써, 점더 미세한 간격조절을 달성할 수 있으며, 결국, 웨이퍼가 보트에 정확히 장착되는 효과를 획득할 수 있다. 또한, 본 발명에서는 종래의 철판보다, 그 핸들링이 휠씬 용이한 스크류를 이용하여 각 트위저들 사이의 간격을 조절함으로써, 전체적인 트위저 사이의 간격 조절 시간을 대폭 저감시킬 수 있다.
Description
제1도는 종래의 기술에 따른 웨이퍼 이송 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 정면도.
제2도는 종래의 기술에 따른 웨이퍼 이송 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.
제3도는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 정면도.
제4도는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.
제5도는 제3도의 A부분을 확대 절단한 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 보조 트위저 블록 2 : 메인 트위저 블록
3 : 몸체 4 : 보조 고정바디
5a : 보조 트위저(Tweezer) 5b : 메인 트위저
6 : 아암(Arm) 7, 11, 20 : 고정 스크류
9 : 철판 10 : 메인 고정바디
21 : 수평조절 스크류 30 : 나사홈부
본 발명은 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 이송 장치의 트위저(Tweezer)의 간격을 원활하게 조절할 수 있도록 한 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.
확산 공정에 있어서, 웨이퍼를 보트로 이송하는 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼를 이송시키는 트위저 블록과, 상기 트위저 블록을 지지하는 몸체로 이루어져 있다.
제1도 및 제2도는 종래의 기술에 따른 웨이퍼 이송 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 도면으로써, 이에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 이송 장치의 몸체(3)에는 메인 트위저 블록(2)과, 보조 트위저 블록(1)이 고정 설치되어 있다.
이때, 메인 트위저 블록(2)은 복수매의 메인 트위저들(5b)을 지지하는 메인 고정바디(10)와, 이 메인 고정바디(10)를 몸체(3)에 고정시키는 고정 스크류(11)의 조합으로 이루어지며, 보조 트위저 블록(1)은 상술한 메인 트위저들(5b)과 평행한 예컨대, 1매의 보조 트위저(5a)를 지지하는 아암(6)과, 이 아암(6)을 지지하는 보조 고정바디(4)와, 이 보조 고정바디(4)를 몸체(3)에 고정시키는 고정 스크류(7)의 조합으로 이루어진다.
여기서, 보조 고정바디(4)의 저부에는 일정 두께의 철판(9)이 개재되는데, 이 철판(9)은 보조 고정바디(4)의 수평상태를 조절함으로써, 이 보조 고정바디(4)에 지지된 보조 트위저(5a)가 메인 트위저들(5b)과 규칙적인 간격을 유지할 수 있도록 하는 역할을 수행한다.
상기와 같이 구성된 웨이퍼 이송 장치의 각 트위저 사이의 간격 조정 과정을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 웨이퍼 이송 장치의 몸체(3)에 매인 트위저 블록(2)을 고정 스크류(11)로 고정한 다음, 상기 메인 트위저 블록(2)의 메인 트위저들(5b)과, 보조 트위저 블록(1)의 보조 트위저(5a)가 평행하게 되도록 보조 트위저 블록(1)을 위치시킨다.
이어서, 상기 메인 트위저 블록(2)의 최 하단에 장착된 메인 트위저(5b)와 상기 보조 트위저 블록(1)에 장착된 보조 트위저(5a) 사이의 간격이 상기 메인 트위저 블록(2)에 장착된 각 메인 트위저들(5b) 사이의 간격과 동일하게 되도록 보조 고정바디(4)의 저부에 철판(9)을 겹쳐 넣거나 빼낸다. 이 경우, 교체되는 철판(9)은 자신의 형상을 유지하기 위하여 항상 일정 폭 이상의 두께를 유지하게 된다.
계속해서, 상기 보조 트위저 블록(1)의 보조 고정바디(4)에 형성된 고정 스크류(7)를 이용하여, 상기 보조 트위저 블록(1)을 웨이퍼 이송 장치의 몸체(3)에 고정시킨다.
이때, 메인 트위저들과 보조 트위저 사이의 간격이 일정하지 않게 되면, 웨이퍼 이송 장치의 각 트위저들에 적재된 웨이퍼(미도시)를 보트(미도시)에 장착할 때, 보트의 슬롯 사이의 간격과 트위저 사이의 간격에 차이가 발생하여 웨이퍼(미도시)가 보트(미도시)에 정확히 장착되지 않게 되는 문제점이 발생할 수 있다.
따라서, 종래의 생산라인에서는 메인 트위저들(5b)과 보조 트위저(5a) 사이의 간격을 조절하는데 많은 노력을 기울이고 있다.
한편, 상술한 공정을 진행하다 보면, 메인 트위저들(5b)과 보조 트위저(5a) 사이의 간격을 보통의 경우 보다, 매우 미세하게 조절할 필요성이 빈번히 제기되게 된다.
그런데, 상술한 바와 같이, 철판(9)은 항상 일정 폭 이상의 두께를 유지하고 있고, 이 두께를 줄이는데에는 어느 정도의 한계가 있기 때문에, 종래의 철판(9)을 이용하는 방법으로는 메인 트위저들(5b)과 보조 트위저(5a) 사이의 간격을 미세하게 조절하기가 매우 어려워진다. 이 경우, 종래의 생산라인에서는 메인 트위저들(5b)과 보조 트위저(5a) 사이의 간격을 미세하게 조절하지 못함으로써, 웨이퍼가 보트에 정확하게 장착되지 못하는 심각한 문제점을 감수하여야만 한다.
특히, 상술한 철판(9)은 얇은 조각형상으로 이루어져, 손으로 잡기가 매우 불편하기 때문에, 작업자는 이 철판(9)을 원활하게 핸들링할 수 없게 되며, 그 결과, 철판(9)의 신속한 교체를 달성할 수 없게 된다. 그 결과, 종래의 생산라인에서는 전체적인 트위저 간격 조절 시간이 과다하게 소비되는 문제점을 감수하여야만 한다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 보조 트위저 블록의 보조 고정바디에 별도의 수평조절 스크류를 설치함으로써, 각 트위저 사이의 간격이 종래에 비해, 보다 원활하게 조절될 수 있도록 하는데 주요 목적이 있다.
이러한 본 발명은 소정 간격 이격된 다수매의 메인 트위저들과 상기 메인 트위저들을 장치의 몸체에 고정하는 메인 고정바디로 이루어진 메인 트위저 블록과; 상기 메인 트위저 블록의 인접부에 배치되며, 1매의 보조 트위저와 상기 보조 트위저를 지지하는 아암과 상기 아암을 상기 몸체에 고정하는 보조 고정바디로 이루어진 보조 트위저 블록을 포함하며, 상기 보조 고정바디의 사방 모서리에는 외력에 의해 조여지거나 풀려져 상기 보조 고정바디의 수평상태를 조절함으로써, 상기 보조 고정바디에 지지된 상기 보조 트위저가 상기 메인 트위저들과 규칙적인 간격을 유지할 수 있도록 유도하는 수평조절 스크류들이 배치되고, 상기 수평조절 스크류들의 내측 중앙에는 상기 수평조절 스크류에 의해 상기 보조 고정바디의 수평상태 조절이 완료되는 경우, 외력에 의해 조여지거나 풀려져 상기 보조 고정바디를 상기 몸체에 고정하는 고정 스크류들이 배치되는 것을 특징으로 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
제3도 및 제4도는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치를 개략적으로 나타낸 정면도와 사시도이다
이에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 몸체(3)에는 메인 트위저 블록(2)과, 보조 트위저 블록(1)이 고정되어 있다.
이때, 메인 트위저 블록(2)은 복수매의 메인 트위저들(5b)을 지지하는 메인 고정바디(10)와, 이 메인 고정바디(10)를 몸체(3)에 고정시키는 고정 스크류(11)의 조합으로 이루어지며, 보조 트위저 블록(1)은 상술한 메인 트위저들(5b)과 평행한 보조 트위저들(5a)을 지지하는 아암(6)과 이 아암(6)을 몸체(3)에 고정시키는 보조 고정바디(4)의 조합으로 이루어진다.
여기서, 제4도에 도시된 바와 같이, 보조 고정바디(4)의 사방 모서리에는 외력에 의해 조여지거나 풀려져 보조 고정바디(4)의 수평상태를 조절함으로써, 보조 고정바디(4)에 지지된 보조 트위저(5a)가 메인 트위저들(5b)과 규칙적인 간격을 유지할 수 있도록 유도하는 수평조절 스크류들(21)이 배치된다.
또한, 상술한 수평조절 스크튜들(21)의 내측 중앙에는 수평조절 스크류들(21)에 의해 보조 고정바디(4)의 수평상태 조절이 완료되는 경우, 외력에 의해 조여지거나 풀려져 보조 고정바디(4)를 상기 몸체(3)에 고정하는 고정 스크류들(20)이 배치된다.
이러한 수평조절 스크류들(21) 및 고정 스크류들(20)은 제5도에 도시된 바와 같이, 보조 고정바디(4)에 형성된 나사홈부(30)에 견고하게 끼워진 구조를 이룬다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 트위저 간격 조정 과정을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 생산라인에서는 웨이퍼 이송 장치의 몸체(3)에 메인 트위저 블록(2)을 고정 스크류(11)로 고정한 다음, 상기 메인 트위저(5b)와 보조 트위저(5b)가 평행하게 되도록 보조 트위저 블록(1)을 위치시킨다.
이어서, 생산라인에서는 예컨대, 렌치를 이용하여, 수평조절 스크류들(21)의 헤드를 차례로 풀거나 조임으로써, 보조 고정바디(4)의 수평상태를 조절한다. 이 경우, 보조 고정바디(4)에 지지된 보조 트위저(5a)는 보조 고정바디(4)의 수평조절에 영향을 받아, 메인 트위저 블록(2)의 최 하단에 정착된 메인 트위저(5b)와 일정 간격, 예컨대, "메인 트위저 블록(2)에 장착된 각 메인 트위저들(5b) 사이의 간격과 동일한 간격"을 유지하게 된다.
이러한 보조 고정바디(4)의 수평조절 작업이 진행될 때, 생산라인에서는 수평조절 스크류들(21)을 대각선 방향으로 번갈아 가며 조절함으로써, 좀더 정교한 수평조절 작업이 이루어질 수 있도록 한다.
계속해서, 생산라인에서는 상술한 렌치를 이용하여, 고정 스크류들(20)의 헤드를 차례로 풀거나 조임으로써, 보조 트위저 블록(1)을 웨이퍼 이송장치와 몸체에 고정시킨다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에서는 일정한 두께를 갖는 철판 대신, 수평 조절 스크류를 이용하여, 보조 트위저와 메인 트위저들 사이의 간격을 조절함으로써, 좀더 미세한 간격조절을 달성할 수 있으며, 결국, 웨이퍼가 보트에 정확히 장착되는 효과를 획득할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 종래의 철판 보다, 그 핸들링이 휠씬 용이한 스크류를 이용하여 각 트위저들 사이의 간격을 조절함으로써, 전체적인 트위저 사이의 간격 조절 시간을 대폭 저감시킬 수 있다.
Claims (1)
- 소정 간격 이격된 다수매의 메인 트위저들과 상기 메인 트위저들을 장치의 몸체에 고정하는 메인 고정바디로 이루어진 메인 트위저 블록과; 상기 메인 트위저 블록의 인접부에 배치되며, 1매의 보조 트위저와 상기 보조 트위저를 지지하는 아암과 상기 아암을 상기 몸체에 고정하는 보조 고정바디로 이루어진 보조 트위저 블록을 포함하며, 상기 보조 고정바디의 사방 모서리에는 외력에 의해 조여지거나 풀려져 상기 보조 고정바디의 수평상태를 조절함으로써, 상기 보조 고정바디에 지지된 상기 보조 트위저가 상기 메인 트위저들과 규칙적인 간격을 유지할 수 있도록 유도하는 수평조절 스크류들이 배치되고, 상기 수평조절 스크류들의 내측 중앙에는 상기 수평조절 스크류에 의해 상기 보조 고정바디의 수평상태 조절이 완료되는 경우, 외력에 의해 조여지거나 풀려져 상기 보조 고정바디의 상기 몸체에 고정하는 고정 스크류들이 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960015240A KR100227851B1 (ko) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 웨이퍼 이송 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960015240A KR100227851B1 (ko) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 웨이퍼 이송 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970077444A KR970077444A (ko) | 1997-12-12 |
| KR100227851B1 true KR100227851B1 (ko) | 1999-11-01 |
Family
ID=19458178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1019960015240A KR100227851B1 (ko) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 웨이퍼 이송 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100227851B1 (ko) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR920003417A (ko) * | 1990-07-31 | 1992-02-29 | 제임스 조셉 드롱 | 반도체 웨이퍼상에 집적회로 구조물을 형성시키는데 사용되는 vhf/uhf(초고주파/극초단파) 플라즈마 방법 |
| JPH0521581A (ja) * | 1991-07-15 | 1993-01-29 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置 |
-
1996
- 1996-05-09 KR KR1019960015240A patent/KR100227851B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR920003417A (ko) * | 1990-07-31 | 1992-02-29 | 제임스 조셉 드롱 | 반도체 웨이퍼상에 집적회로 구조물을 형성시키는데 사용되는 vhf/uhf(초고주파/극초단파) 플라즈마 방법 |
| JPH0521581A (ja) * | 1991-07-15 | 1993-01-29 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970077444A (ko) | 1997-12-12 |
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