KR100218247B1 - High voltage generator - Google Patents

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Abstract

본 발명은 칩내부전원전압보다 높은 고전압을 제공하기 위한 고전압 발생기에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 반도체 메모리 장치가 동작시 소정의 목적으로 고전압을 발생하기 위한 제1,2고전압 키커와, 상기 고전압을 감지하여 상기 고전압의 발생을 유지하게 하기 위한 제1,2제어펄스를 각기 제공하는 제1,2고전압 감지기와, 상기 제1,2고전압 감지기의 출력단자에 접속되어, 대기상태에서는 상기 제2고전압 키커만을 인에이블시키기 위한 제1펄스를 출력하고 활성화상태에서는 상기 제1,2고전압 키커를 인에이블시키기 위한 제2펄스를 출력하는 논리회로와; 상기 제1고전압 감지기의 출력단자와 상기 제1고전압 키커의 입력단자사이에 접속되어, 일정주기의 펄스를 출력하는 제1발진기와; 상기 논리회로의 출력단자와 상기 제2고전압 키커의 일력단자사이에 접속되어, 일정주기의 펄스를 출력하는 제2발진기를 구비함으로써, 레이아웃 면적의 한계를 극복하면서 활성화동작 모드엣 고전압 딥의 발생을 억제할 수 있다.The present invention relates to a high voltage generator for providing a high voltage higher than the chip internal power supply voltage. According to the present invention, each of the first and second high voltage kickers for generating a high voltage for a predetermined purpose during operation of the semiconductor memory device, and the first and second control pulses for sensing the high voltage to maintain the generation of the high voltage, respectively. A first pulse to enable only the second high voltage kicker in a standby state and connected to an output terminal of the first and second high voltage detectors; A logic circuit for outputting a second pulse for enabling the second high voltage kicker; A first oscillator connected between an output terminal of the first high voltage detector and an input terminal of the first high voltage kicker and outputting a pulse of a predetermined period; A second oscillator is connected between the output terminal of the logic circuit and the work terminal of the second high voltage kicker and outputs a pulse of a constant period, thereby generating a high voltage dip in the activation mode while overcoming the limitation of the layout area. It can be suppressed.

Description

고전압 발생기High voltage generator

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 특히 칩내부전원전압보다 높은 고전압을 제공하기 위한 고전압 발생기에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a high voltage generator for providing a high voltage higher than a chip internal power supply voltage.

통상의 DRAM에서는 데이타 저장을 위해 하나의 트랜지스터와 하나의 커패시터 구조의 쎌등을 집적하게 되는데, 여기서 사용되는 트랜지스터는 주로 엔모오스 트랜지스터를 사용하게 되고, 셀의 하이레벨의 데이타를 독출할때는 엔모오스 트랜지스터의 문턱전압(Threshold voltage) 하락을 극복하기 위해 어레이에 사용되는 전압레벨보다 높은 바이어스를 사용하게 된다. 물론 셀 뿐만아니라 주변회로에 사용되는 일부 엔모오스 트랜지스터들에도 주변회로의 전압레벨보다 높은 바이어스를 사용하는 곳도 있다.In general DRAM, one transistor and one capacitor structure are integrated to store data, and the transistor used here is mainly an EnMOS transistor, and when reading high-level data of a cell, To overcome the threshold voltage drop, a bias higher than the voltage level used in the array is used. Of course, not only the cell but also some NMOS transistors used in the peripheral circuit use a bias higher than the voltage level of the peripheral circuit.

이와 같이 일반적으로, 사용되는 전압 레벨 대비 높은 바이어스를 만들기 위해 사용하던 방식으로 로우어드레스신호 혹은 티티엘(TTL) 레벨의 클럭등의 활성화를 감지하여 소정시간 지연후에 인위적인 펌핑커패시터에 의한 브스팅동작으로 일정 구간동안만 높은 바이어스를 발생시켜 이용하는 방식과 파워-온 상태엣 부터 일정 주기의 발진기(Oscillator)에 의해 주기적으로 펌핑을 반복하여 일정 레벨의 DC 바이어스를 발생시켜 이를 필요시 전원으로 이용하여 셀등에 사용하는 방식이 있다. 후자의 경우에 발생되는 DC 바이어스를 VPP라 칭하고, 종래에 사용하던 고전압 발생기의 블럭 다이어그램을 제1도에 나타내었다.As such, in general, the low-address signal or the TTL-level clock is activated in a manner used to make a higher bias than the voltage level used, and a predetermined blasting operation is performed by an artificial pumping capacitor after a predetermined time delay. High bias is generated only during the interval and the pump is periodically repeated from the power-on state by the oscillator to generate a certain level of DC bias, which is used as a power source when needed. There is a way. The DC bias generated in the latter case is referred to as VPP, and a block diagram of a conventional high voltage generator is shown in FIG.

제1도는 종래 기술의 일실시예에 따라 구성된 고전압 발생기의 구체적인 회로도이다. 제1도를 참조하면, 고전압 발생기는 파워-온 시점부터 디바이스가 대기(Stand-By)상태로 있는 동안 VPP레벨을 감지하여 소정의 VPP 레벨을 발생, 유지하게끔 하는 대기상태용 고전압 감지기(101)가 있고, 펌핑에 필요한 캐패시터로 구성된 대시상태용 고전압 키커(Kickker, 103)와 DC 레벨 발생을 위해 주기적으로 상기 고전압 키커(103)를 구동하기 위한 대기상태용 발진기(102)등이 있다. 이러한 대기상태용 고전압 발생기는 대기전류(Stand_by current)를 감안하여 긴주기로 동작하게 되어 있어 활성화용 고전압 발생기 대비 펌핑 효율 측면에서 떨어진다.1 is a specific circuit diagram of a high voltage generator constructed in accordance with one embodiment of the prior art. Referring to FIG. 1, the high voltage generator detects the VPP level while the device is in the Stand-By state from the time of power-on to generate and maintain a predetermined VPP level. And a dashed high voltage kicker 103 composed of capacitors necessary for pumping and a standby oscillator 102 for driving the high voltage kicker 103 periodically to generate a DC level. The standby high voltage generator is operated in a long cycle in consideration of the standby current (Stand_by current), so the pumping efficiency is inferior to the active high voltage generator.

위에서 살펴본 고전압감지기(101)와, 발진기(102) 및 고전압키커(103)는 대기상태용과 활성화상태용으로 구분되어져 대기전류에 제한하였고, 활성화사이클에서는 큰 로딩(Loading)을 드라이브하는 용도로 사용될때 발생하는 차아지소모를 즉시 공급하기 위해 큰 펌핑 커패시터를 가진 활성화용 고전압 키커를 사용하게 된다. 또한, 활성화 사이클에서 VPP레벨이 필요이상의 레벨로 증폭되는 것을 방지하기 위해 활성화용 고전압 감지기를 사용하고, 롱(Long) 사이클에서 VPP 레벨 다운시 VPP 레벨의 보상을 위해 대기상태용 발진기(102) 대비 주기가 짧은 활성화용 발진기를 사용하게 된다. 활성화용 고전압 키커(103)는 로우어드레스신호를 입력으로하여 고전압 레벨VPP에 무관하게 로우어드레스신호 활성시나 프리차아지시 무조건 한번 구동하게 할수도 있다.The high voltage detector 101, the oscillator 102, and the high voltage kicker 103 described above are divided into standby and active states to limit the standby current, and when used for driving large loading in an activation cycle. In order to supply the resulting charge consumption immediately, an activation high voltage kicker with a large pumping capacitor is used. In addition, an activation high voltage detector is used to prevent the VPP level from being boosted to a level higher than necessary in the activation cycle, and compared to the standby oscillator 102 for compensation of the VPP level when the VPP level is down in the long cycle. A short cycle activation oscillator will be used. The activating high voltage kicker 103 may input the low address signal as an input so that it can be driven once when the low address signal is active or precharged regardless of the high voltage level VPP.

고전압 파워라인의 노이즈 발생은 워드라인과 같이 큰 로딩을 구동할 때 발생되는 차아지 소모에 의한 VPP 딥(Dip) 이 문제시 되며, 이의 신속한 복구는 쇼트 사이클로 디바이스가 동작할때 안정된 특성을 보장하기 위해 필요한 것이며, 이를 위해 활성화용 고전압 키커(103)내에 사용되는 펌핑 커패시터가 가능한한 클 수 밖에 없다. 그러나 펌핑 커패시터의 크기는 디바이스의 면적과 관련되어 어느 이상 크게 할 수는 없어 VPP 로딩의 최소화로 해결할 수 밖에 없다.Noise generation of high voltage power lines is a problem due to VPP dip caused by the charge consumption generated when driving large loads such as word lines, and its rapid recovery ensures stable characteristics when the device is operated in short cycles. For this purpose, the pumping capacitor used in the high voltage kicker 103 for activation is inevitably as large as possible. However, the size of the pumping capacitor can no longer be largely related to the area of the device, which is solved by minimizing VPP loading.

제2(a)도제2(c)도에는 제1도에 도시된 고전압 감지기(101)와 발진기(102) 및 고전압 키커(103)의 구체적인 회로도가 도시되어 있다.Second (a) degree FIG. 2 (c) shows a detailed circuit diagram of the high voltage detector 101, the oscillator 102 and the high voltage kicker 103 shown in FIG.

제2(a)도에는 고전압 감지기(101)이 도시되어 있다. 이 회로는 고전압 VPP을 입력으로 하여 퓨즈들 F1??F4의 커팅 혹은 트랜지스터들(201)(211)을 통해 전원전압을 통과시키는 방식에 의해 구동되는 회로이다.The high voltage detector 101 is shown in FIG. 2 (a). This circuit uses a high voltage VPP as input and cuts or transistors 201 of fuses F1 ?? F4. A circuit driven by a method of passing a power supply voltage through 211.

제2(b)도에는 발진기(102)가 도시되어 있으며, 이 발진기(102)는 상기 고전압 감지기(102)의 출력신호 φVPP를 입력으로 하여 일정주기의 펄스 VPPOSC를 출력하기 위한 것으로, 낸드게이트(213)와 인버어터들(214)(218),(223,224)과 트랜지스터들(219)(222)로 구성된다.An oscillator 102 is shown in FIG. 2 (b), and the oscillator 102 is for outputting a pulse VPPOSC of a predetermined period by inputting the output signal φVPP of the high voltage detector 102, and the NAND gate ( 213) and inverters 214 218, 223, 224 and transistors 219 222.

제2(c)도에는 고전압 키커(103)의 구체회로도가 도시되어 있으며, 이 고전압 키커(103)는 사이 VPPOSC를 입력으로 하여 차아지 펌핑동작에 의한 고전압 VPP를 제공하기 위한 것으로, 펄스를 발생하기 위한 인버어터(225,226)와 노아게이트(227) 및 낸드게이트(228)로 구성된 펄스발생기와, 상기 노아게이트(227)의 출력신호를 입력으로 하는 인버어터들(229,230),(234)(236)과 캐패시터들(231),(237) 및 트랜지스터들(232,233),(238,239)로 구성된 제1펌핑회로와, 상기 낸드게이트의 출력신호를 입력으로 하는 인버어터들(240)(242),(246)(248)과 캐패시터들(243),(249) 및 트랜지스터들(244,245),(250,251)로 구성된 제2펌핑회로로 구성된다.A detailed circuit diagram of the high voltage kicker 103 is shown in FIG. 2 (c). The high voltage kicker 103 inputs VPPOSC as an input to provide a high voltage VPP by a charge pumping operation. A pulse generator comprising inverters 225 and 226, a NOA gate 227, and a NAND gate 228, and inverters 229, 230 and 234 which use an output signal of the NOA gate 227 as an input. A first pumping circuit composed of 236, capacitors 231, 237, and transistors 232, 233, and 238, 239, and inverters 240 for inputting an output signal of the NAND gate. (242), (246) And a second pumping circuit composed of 248, capacitors 243, 249, and transistors 244, 245, and 250, 251.

따라서, 본 발명의 목적은 레이아웃 면적의 한계를 극복하면서 활성화동작 모드에서 고전압 딥의 발생을 억제할 수 있는 고전압 발생기를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a high voltage generator capable of suppressing the generation of a high voltage dip in an activation mode while overcoming the limitation of the layout area.

제1도는 종래 기술의 일실시예에 따라 구현된 고전압 발생기의 블럭도.1 is a block diagram of a high voltage generator implemented according to one embodiment of the prior art.

제2(a)도제2(c)도는 제1도에 도시된 블럭도의 구체적인 회로도.Second (a) degree FIG. 2 (c) is a detailed circuit diagram of the block diagram shown in FIG.

제3도는 본 발명의 실시예에 따라 구현된 고전압 발생기의 블럭도.3 is a block diagram of a high voltage generator implemented in accordance with an embodiment of the invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들의 상세한 설명이 첨부된 도면들을 참조하여 설명된다. 도면들중 동일한 구성요소 및 부분들은 가능한한 어느곳에서든지 동일한 부호들을 나타내고 있음을 유의하여야 한다.Hereinafter, the detailed description of the preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. It should be noted that like elements and parts in the figures represent the same numerals wherever possible.

제3도는 본 발명의 실시예에 따라 구현된 고전압 발생기의 블럭도이다.3 is a block diagram of a high voltage generator implemented in accordance with an embodiment of the invention.

제3도를 참조하면, 상기 반도체 메모리 장치가 동작시 소정의 목적 즉 프로그램 동작과 독출(Read)동작 및 기타 고전압을 사용하는 주변회로에 공급하기 위한 동작을 수행하기 위한 목적으로 고전압 VPP을 발생하기 위한 활성화 및 대기상태용 고전압 키커(303,306)와, 상기 고전압 VPP을 감지하여 이 고전압 VPP의 발생을 유지하게 하기 위한 제1,2제어펄스를 각기 제공하는 활성화 및 대기상태용 고전압 감지기(301,304)와, 상기 활성화 및 대기상태용 고전압 감지기(301,304)의 출력단자에 접속되어, 대기상태에서는 상기 대기상태용 고전압 키커(306)만을 인에이블시키기 위한 제1펄스를 출력하고 활성화상태에서는 상기 활성화 및 대기상태용 고전압 키커(303,306)를 인에이블시키기 위한 제2펄스를 출력하는 논리회로(307,308)와, 상기 활성화상태용 고전압 감지기(301)의 출력단자와 상기 활성화 상태용 고전압 키커(303)의 입력단자사이에 접속되어, 일정주기의 펄스를 출력하는 활성화 상태용 발진기(302)와, 상기 논리회로(307,308)의 출력단자와 상기 대기상태용 고전압 키커(306)의 입력단자사이에 접속되어, 일정주기의 펄스를 출력하는 대기상태용 발진기(305)로 구성된다.Referring to FIG. 3, the semiconductor memory device may generate a high voltage VPP during a predetermined operation, for example, to perform a program operation, a read operation, and an operation for supplying a peripheral circuit using a high voltage. Active and standby high voltage kickers 303 and 306, and active and standby high voltage detectors 301 and 304 respectively providing first and second control pulses for sensing the high voltage VPP and maintaining the generation of the high voltage VPP. Is connected to the output terminals of the high voltage detectors 301 and 304 for the activation and standby state, and outputs a first pulse for enabling only the high voltage kicker 306 for the standby state in the standby state, and the activation and standby state in the activated state. Logic circuits 307 and 308 for outputting second pulses for enabling the high voltage kickers 303 and 306, and the high voltage detector 301 for the activation state. An active state oscillator 302 connected between an output terminal and an input terminal of the high-voltage kicker 303 for an activation state and outputting a pulse of a predetermined period, and an output terminal of the logic circuits 307 and 308 for the standby state. It is comprised between the oscillator 305 for standby states connected between the input terminals of the high voltage kicker 306, and outputting a pulse of a fixed period.

본 발명에서는 활성화 사이클에서 로우에드레스신호에 의해서 또는 고전압 감지기(301,304)에 의해서 활성화 상태용 고전압 키커(303)가 펌핑동작을 할때, 대기상태용 고전압 키커(306)도 같이 구동하여 펌핑 효율을 향상시키도록 하기 위해 논리회로{노아게이트(307)과 인버어터(308)로 구성된 회로}를 이용하여 활성화 상태용 고전압 키커(303) 구동신호를 대기 상태용 고전압 키커(306)로도 입력되게 하였다.In the present invention, when the high voltage kicker 303 for the active state is pumped by the low address signal or by the high voltage detectors 301 and 304 in the activation cycle, the high voltage kicker 306 for the standby state is also driven to improve the pumping efficiency. In order to improve, the high voltage kicker 303 driving signal for the active state is also input to the high voltage kicker 306 for the standby state by using a logic circuit (a circuit composed of the noar gate 307 and the inverter 308).

파워-온 및 대기상태에서는 대기상태용 고전압 키커(306)만 동작하고, 활성화 사이클에서 VPP 차아지 소모시 예를 들면 워드라인 인에이블시에는 차아지 보충을 위해 활성화 상태용 고전압 키커(303)가 구동되어야 할때는 활성화 상태용 감지기(301) 및 발진기(302)의 출력신호가 활성화 상태용 고전압 키커(303)외에 대기상태용 고전압 키커(36)도 구동하여 실제 활성화 고전압 펌핑 캐패시턴스가 커지는 효과를 얻게되어 레이아웃 면적 측면에서 이득을 얻을 수 있다.In the power-on and standby states, only the standby high voltage kicker 306 operates, and when the VPP charge is consumed in the activation cycle, e.g., when the word line is enabled, the active high voltage kicker 303 is used to replenish the charge. When it is to be driven, the output signal of the active state detector 301 and the oscillator 302 also drives the high-state kicker 36 for standby in addition to the high-voltage kicker 303 for the active state to obtain the effect of increasing the actual active high voltage pumping capacitance. Benefits can be gained in terms of layout area.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 레이아웃 면적의 한계를 극복하면서 활성화동작 모드에서 고전압 딥의 발생을 억제할 수 있는 효과를 얻게 된다.As described above, according to the present invention, the effect of suppressing the generation of the high voltage dip in the activation operation mode is obtained while overcoming the limitation of the layout area.

Claims (3)

반도체 메모리 장치의 고전압 발생기에 있어서; 상기 반도체 메모리 장치의 동작시에 소정의 목적을 달성하기 위해 고전압을 발생시키는 제1,2고전압 키커와; 상기 고전압을 감지하고 상기 고전압의 발생을 유지시키기 위한 제1,2제어펄스를 각각 제공하는 제1,2고전압 감지기와; 상기 제1,2고전압 감지기의 출력단자에 접속되어, 대기상태에서는 상기 제2고전압 키커만을 인에이블시키기 위한 제1펄스를 출력하고 활성화상태에서는 상기 제1,2고전압 키커를 인에이블시키기 위한 제2펄스를 출력하는 논리회로와; 상기 제1고전압 감지기의 출력단자와 상기 제1고전압 키커의 입력단자사이에 접속되어 일정주기의 펄스를 출력하는 제1발진기와; 상기 논리회로의 출력단자와 상기 제2고전압 키커의 입력단자 사이에 접속되어 일정주기의 펄스를 출력하는 제2발진기를 구비함을 특징으로 하는 고전압 발생기.A high voltage generator of a semiconductor memory device; First and second high voltage kickers for generating a high voltage in order to achieve a predetermined purpose during operation of the semiconductor memory device; First and second high voltage detectors respectively sensing the high voltage and providing first and second control pulses for maintaining the generation of the high voltage; A second pulse connected to an output terminal of the first and second high voltage detectors to output a first pulse for enabling only the second high voltage kicker in a standby state, and to enable the first and second high voltage kickers in an activated state A logic circuit for outputting a pulse; A first oscillator connected between an output terminal of the first high voltage detector and an input terminal of the first high voltage kicker and outputting a pulse of a predetermined period; And a second oscillator connected between an output terminal of the logic circuit and an input terminal of the second high voltage kicker and outputting a pulse of a predetermined period. 제1항에 있어서, 상기 제1고전압 키커내의 펌핑 캐패시터의 용량은 상기 제2고전압 키커내의 펌핑 캐패시터의 용량보다 큼을 특징으로 하는 고전압 발생기.2. The high voltage generator of claim 1, wherein the capacity of the pumping capacitor in the first high voltage kicker is greater than the capacity of the pumping capacitor in the second high voltage kicker. 제1항에 있어서, 상기 논리회로는 상기 제1,2제어펄스를 입력으로 하는 노아게이트와, 상기 노아게이트의 출력신호를 입력으로 하는 인버어터로 구성됨을 특징으로 하는 고전압 발생기.The high voltage generator as claimed in claim 1, wherein the logic circuit comprises a noah gate having the first and second control pulses as an input and an inverter having the output signal of the noah gate as an input.
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