JPH1069796A - Semiconductor integrated circuit with high-speed test function - Google Patents

Semiconductor integrated circuit with high-speed test function

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JPH1069796A
JPH1069796A JP8229057A JP22905796A JPH1069796A JP H1069796 A JPH1069796 A JP H1069796A JP 8229057 A JP8229057 A JP 8229057A JP 22905796 A JP22905796 A JP 22905796A JP H1069796 A JPH1069796 A JP H1069796A
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JP
Japan
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power supply
supply voltage
circuit
test
semiconductor integrated
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JP8229057A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyuki Ishida
喜幸 石田
Masaya Kokubo
正哉 小久保
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】試験の信頼性を向上させる。 【解決手段】通常モードの場合には、転送ゲート41が
オン、転送ゲート42がオフになり、リングオシレータ
10で生成されたクロックが選択回路40で選択され、
インバータ50を介しポンピングパルスとしてチャージ
ポンプ回路20へ供給される。テストモードの場合に
は、転送ゲート41がオフ、転送ゲート42がオンにな
り、リングオシレータ30で生成されたクロックが選択
回路40で選択され、インバータ50を介しポンピング
パルスとしてチャージポンプ回路20へ供給される。テ
ストモードでのポンピングパルスは、通常モードでのそ
れよりも周波数が高いので、チャージポンプ回路20に
おいてより高速に電荷のポンピングが行われる。モード
に応じて、1つのリングオシレータのインバータ接続段
数を可変にしたり、チャージポンプ回路の容量を可変に
する構成であってもよい。
(57) [Summary] [Problem] To improve test reliability. In a normal mode, a transfer gate is turned on and a transfer gate is turned off, and a clock generated by a ring oscillator is selected by a selection circuit.
The charge is supplied to the charge pump circuit 20 as a pumping pulse via the inverter 50. In the test mode, the transfer gate 41 is turned off and the transfer gate 42 is turned on. The clock generated by the ring oscillator 30 is selected by the selection circuit 40 and supplied to the charge pump circuit 20 as a pumping pulse via the inverter 50. Is done. Since the frequency of the pumping pulse in the test mode is higher than that in the normal mode, the charge pump circuit 20 pumps the charge at a higher speed. The configuration may be such that the number of inverter connection stages of one ring oscillator is variable or the capacity of the charge pump circuit is variable depending on the mode.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高速試験機能付半
導体集積回路に関する。
The present invention relates to a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function.

【0002】[0002]

【従来の技術】パソコンの普及、そのOS及びプログラ
ムの肥大化に伴い、メモリの需要が増大し、メモリ単体
の大容量化も進んでいる。この大容量化に伴い、メモリ
単体を出荷前に試験する時間が増大している。図5は、
従来の高速試験機能付半導体集積回路の概略構成を示
す。この半導体集積回路は、内部昇圧回路とその他の回
路1とを備えており、回路1は、外部電源電圧Vccと
これを昇圧した内部電源電圧Vppとで動作する。内部
昇庄回路は、リングオシレータ10と、リングオシレー
タ10で生成されたクロックがポンピングパルスとして
供給されるチャージポンプ回路20とからなる。
2. Description of the Related Art With the spread of personal computers and the enlargement of operating systems and programs, demand for memories has increased, and the capacity of single memories has been increasing. With this increase in capacity, the time for testing a single memory before shipment has increased. FIG.
1 shows a schematic configuration of a conventional semiconductor integrated circuit with a high-speed test function. This semiconductor integrated circuit includes an internal booster circuit and another circuit 1. The circuit 1 operates with an external power supply voltage Vcc and an internal power supply voltage Vpp obtained by boosting the same. The internal rising circuit includes a ring oscillator 10 and a charge pump circuit 20 to which a clock generated by the ring oscillator 10 is supplied as a pumping pulse.

【0003】リングオシレータ10は、インバータ11
〜17が環状に接続されている。チャージポンプ回路2
0は、ポンピングキヤパシタ21と、レベルシフト用ダ
イオード22と、逆流防止用かつレベルシフト用のダイ
オード23と、ポンピングキヤパシタ21を切換接続す
るためのアナログ切換スイッチ24及び25とを備えて
いる。
The ring oscillator 10 includes an inverter 11
To 17 are connected in a ring shape. Charge pump circuit 2
Numeral 0 is provided with a pumping capacitor 21, a level shift diode 22, a diode 23 for backflow prevention and level shift, and analog changeover switches 24 and 25 for switching and connecting the pumping capacitor 21.

【0004】回路1がDRAMである場合の要部構成例
を図6に示す。この回路1は、行アドレスバッファレジ
スタ2の出力が、互いに異なるメモリセルアレイブロッ
クに対する行デコーダ3A及び3Bでデコードされる。
外部端子に供給されるモード信号TESTが低レベルの
通常モードでは、例えば行デコーダ3Aにより、ワード
ドライバ4AのpMOSトランジスタがオンにされてワ
ード線Wlに電圧Vppが供給され、ワード線Wlに接
続されたメモリセル5Aの転送ゲートが開かれ、メモリ
セル5Aに格納されたデータがビット線Blを通って読
み出される。
FIG. 6 shows an example of a configuration of a main part when the circuit 1 is a DRAM. In this circuit 1, the output of the row address buffer register 2 is decoded by row decoders 3A and 3B for different memory cell array blocks.
In the normal mode in which the mode signal TEST supplied to the external terminal is at the low level, the pMOS transistor of the word driver 4A is turned on by the row decoder 3A, for example, and the voltage Vpp is supplied to the word line Wl and connected to the word line Wl. The transfer gate of the memory cell 5A is opened, and the data stored in the memory cell 5A is read through the bit line Bl.

【0005】メモリセルの微細化により外部電源電圧は
例えば3.3Vと低い。読み出し電荷によるビット線の
電位上昇は僅かであり、メモリセルの転送ゲートでの電
位低下を小さくする必要がある。また、ワード線は、メ
タルより高抵抗のポリシリコンで形成され、ゲート容量
が多数接続されているので、動作が遅くなる。そこで、
ワード線駆動電圧Vppは5V程度にされる。
The external power supply voltage is as low as 3.3 V, for example, due to the miniaturization of memory cells. The potential rise of the bit line due to the read charge is slight, and it is necessary to reduce the potential drop at the transfer gate of the memory cell. Further, the word line is formed of polysilicon having a higher resistance than metal, and a large number of gate capacitances are connected, so that the operation becomes slow. Therefore,
Word line drive voltage Vpp is set to about 5V.

【0006】モード信号TESTが高レベルのテストモ
ードでは、試験時間短縮のために、例えばワードドライ
バ4Aとワードドライバ4BのpMOSトランジスタが
同時にオンになり、ワード線Wl及びW2に電圧Vpp
が供給され、ビット線Bl及びB2からそれぞれメモリ
セル5A及び5Bに格納されたデータが読み出される。
また、試験時間をさらに短縮するために、システムクロ
ック周期が許容範囲の最小値にされる。
In the test mode in which the mode signal TEST is at a high level, for example, the pMOS transistors of the word driver 4A and the word driver 4B are simultaneously turned on to reduce the test time, and the voltage Vpp is applied to the word lines W1 and W2.
Is supplied, and the data stored in the memory cells 5A and 5B are read from the bit lines B1 and B2, respectively.
Further, in order to further reduce the test time, the system clock cycle is set to a minimum value in an allowable range.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】テストモードにおい
て、上記のようにワード線を複数本同時選択し、さらに
システムクロック周期を最小値にするので、昇圧した電
圧Vppが低下してメモリセルのストレス低下を招き、
不良メモリセルを試験で検出できなくなる虞がある。
In the test mode, a plurality of word lines are simultaneously selected as described above and the system clock cycle is minimized, so that the boosted voltage Vpp decreases and the stress of the memory cells decreases. Invite
There is a possibility that the defective memory cell cannot be detected in the test.

【0008】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、試験の信頼性を向上させることができる高速試験機
能付半導体集積回路を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function capable of improving the reliability of a test in view of such problems.

【0009】[0009]

【課超を解決するための手段及びその作用効果】第1発
明では、外部電源電圧と該外部電源電圧を内部昇圧回路
で昇圧した内部電源電圧とで動作し、通常モードのとき
よりも高速に試験が行えるテストモードを備えた高速試
験機能付半導体集積回路において、該内部昇圧回路は、
第1クロックを生成する第1クロック生成回路と、該第
1クロックより周波数が高い第2クロックを生成する第
2クロック生成回路と、該通常モードのとき該第1クロ
ックを選択しポンピングパルスとして該チャージポンプ
ヘ供給し、該テストモードのとき該第2クロックを選択
しポンピングパルスとして該チャージポンプヘ供給する
選択回路と、該ポンピングパルスでポンピングキャパシ
タが充電され、充電された該ポンピングキャパシタの電
圧を所定電圧に加算して該内部電源電圧を生成するチャ
ージポンプ回路と、を有する。
[Means for Solving the Overload and Operation and Effect] According to the first invention, the device operates with an external power supply voltage and an internal power supply voltage obtained by boosting the external power supply voltage by an internal booster circuit, and operates at a higher speed than in the normal mode. In a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function having a test mode in which a test can be performed, the internal booster circuit includes:
A first clock generation circuit for generating a first clock, a second clock generation circuit for generating a second clock having a higher frequency than the first clock, and selecting the first clock in the normal mode to generate a pumping pulse. A selection circuit for supplying the charge pump to the charge pump, selecting the second clock in the test mode and supplying the same to the charge pump as a pumping pulse, and charging the pumping capacitor with the pumping pulse. A charge pump circuit that generates the internal power supply voltage by adding to a predetermined voltage.

【0010】この第1発明によれば、テストモードでの
ポンピングパルスが通常モードでのそれよりも周波数が
高いので、テストモードにおいて、チャージポンプ回路
で電荷のポンピングがより高速に行われ、内部電源電圧
の消費電流を充分に補償することが可能になり、これに
よりテストモードでの内部電源電圧の低下が防止され、
高速試験の信頼性が向上するという効果を奏する。
According to the first aspect of the invention, since the frequency of the pumping pulse in the test mode is higher than that in the normal mode, the charge pump is performed at a higher speed in the test mode by the charge pump circuit. It is possible to sufficiently compensate for the current consumption of the voltage, thereby preventing the internal power supply voltage from decreasing in the test mode,
This has the effect of improving the reliability of the high-speed test.

【0011】第2発明では、外部電源電圧と該外部電源
電圧を内部昇圧回路で昇圧した内部電源電圧とで動作
し、通常モードのときよりも高速に試験が行えるテスト
モードを備えた高速試験機能付半導体集積回路におい
て、該内部昇圧回路は、該通常モードのとき複数のイン
バータが環状に接続され、該テストモードのとき該複数
のインバータの一部が配線でバイパスされて該インバー
タの段数が減少され、クロックをポンピングパルスとし
て生成するリングオシレータと、該ポンピングパルスで
ポンピングキャパシタが充電され、充電された該ポンピ
ングキャパシタの電圧を所定電圧に加算して該内部電源
電圧を生成するチャージポンプ回路と、を有する。
According to the second aspect of the present invention, a high-speed test function having a test mode which operates at an external power supply voltage and an internal power supply voltage obtained by boosting the external power supply voltage by an internal booster circuit, and can perform a test faster than in a normal mode. In the integrated semiconductor integrated circuit, the internal booster circuit includes a plurality of inverters connected in a ring shape in the normal mode, and a part of the plurality of inverters is bypassed by wiring in the test mode to reduce the number of inverter stages. A ring oscillator that generates a clock as a pumping pulse, a pumping capacitor that is charged with the pumping pulse, and adds the charged voltage of the pumping capacitor to a predetermined voltage to generate the internal power supply voltage; Having.

【0012】この第2発明によれば、テストモードの場
合に、リングオシレータを構成する複数のインバータの
一部が配線でバイパスされて、通常モードの場合よりも
クロック周波数が高くなるので、上記第1発明の効果と
同一の効果が得られる。第3発明では、外部電源電圧と
該外部電源電圧を内部昇圧回路で昇圧した内部電源電圧
とで動作し、通常モードのときよりも高速に試験が行え
るテストモードを備えた高速試験機能付半導体集積回路
において、該内部昇圧回路は、クロックをポンピングパ
ルスとして生成するクロック生成回路と、容量が該通常
モードのとき第1値となり該テストモードのとき該第1
値より大きい第2値になるように切り換えられるポンピ
ングキャパシタを備え、該ポンピングパルスで該ポンピ
ングキヤパシタが充電され、充電された該ポンピングキ
ャパシタの電圧を所定電圧に加算して該内部電源電圧を
生成するチャージポンプ回路と、を有する。
According to the second aspect, in the test mode, a part of the plurality of inverters constituting the ring oscillator is bypassed by the wiring, and the clock frequency becomes higher than in the normal mode. The same effect as the effect of the first invention is obtained. According to the third aspect of the present invention, a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function is provided, which operates with an external power supply voltage and an internal power supply voltage obtained by boosting the external power supply voltage by an internal booster circuit, and is capable of performing a test faster than in the normal mode. In the circuit, the internal boosting circuit includes a clock generation circuit that generates a clock as a pumping pulse, and a first value when the capacitance is in the normal mode and the first value is in the test mode.
A pumping capacitor that is switched to a second value greater than a value, the pumping pulse charges the pumping capacitor, and adds the charged voltage of the pumping capacitor to a predetermined voltage to generate the internal power supply voltage And a charge pump circuit.

【0013】この第3発明によれば、テストモードの場
合にポンピングキヤパシタの容量が通常モードの場合よ
りも増加して、ポンピングパルス毎にポンピングキャパ
シタに充電される電荷量が増加し、チャージポンプ回路
の電流供給能力が増すので、上記第1発明の効果と同一
の効果が得られる。第4発明では、外部電源電圧と該外
部電源電圧を内部昇圧回路で昇圧した内部電源電圧とで
動作し、通常モードのときよりも高速に試験が行えるテ
ストモードを備えた高速試験機能付半導体集積回路にお
いて、該内部昇圧回路は、該通常モードのとき複数のイ
ンバータが環状に接続され、該テストモードのとき該複
数のインバータの一部が配線でバイパスされて該インバ
ータの段数が減少され、クロックをポンピングパルスと
して生成するリングオシレータと、容量が該通常モード
のとき第1値となり該テストモードのとき該第1値より
大きい第2値になるように切り換えられるポンピングキ
ャパシタを備え、該ポンピングパルスで該ポンピングキ
ャパシタが充電され、充電された該ポンピングキャパシ
タの電圧を所定電圧に加算して該内部電源電圧を生成す
るチャージポンプ回路と、を有する。
According to the third aspect of the invention, the capacity of the pumping capacitor is increased in the test mode as compared with the normal mode, and the amount of charge charged to the pumping capacitor is increased for each pumping pulse. Since the current supply capability of the circuit is increased, the same effects as those of the first invention can be obtained. According to the fourth aspect of the present invention, a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function is provided which operates with an external power supply voltage and an internal power supply voltage obtained by boosting the external power supply voltage by an internal booster circuit, and is capable of performing a test faster than in a normal mode. In the circuit, the internal booster circuit includes a plurality of inverters connected in a ring in the normal mode, a part of the plurality of inverters is bypassed by wiring in the test mode, the number of stages of the inverter is reduced, and As a pumping pulse, and a pumping capacitor whose capacitance is switched to a first value in the normal mode and to a second value larger than the first value in the test mode. The pumping capacitor is charged, and a voltage of the charged pumping capacitor is added to a predetermined voltage, and Having a charge pump circuit for generating a source voltage.

【0014】この第4発明によれば、テストモードにお
いて、リングオシレータから出力されるクロックの周波
数が通常モードの場合よりも増加しチャージポンプ回路
のポンピングキャパシタの容量が通常モードの場合より
も増加するので、上記第2発明又は第3発明の場合より
も内部電源電圧の電流補償能力が大きくなるという効果
を奏する。
According to the fourth aspect, in the test mode, the frequency of the clock output from the ring oscillator increases compared to the normal mode, and the capacity of the pumping capacitor of the charge pump circuit increases compared to the normal mode. Therefore, there is an effect that the current compensation capability of the internal power supply voltage is larger than in the case of the second or third invention.

【0015】第1〜4発明の第1態様では、上記高速試
験機能付半導体集積回路は半導体記憶装置であり、上記
テストモードのときに複数のワード線が同時に選択さ
れ、選択された該複数のワード線へ上記内部電源電圧が
ワードドライバを介して供給される。
In the first aspect of the first to fourth inventions, the semiconductor integrated circuit with a high-speed test function is a semiconductor memory device, and a plurality of word lines are simultaneously selected in the test mode. The internal power supply voltage is supplied to a word line via a word driver.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態を説明する。 [第1実施形態]図1は、本発明の第1実施形態の高速
試験機能付半導体集積回路の概略構成を示す。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. [First Embodiment] FIG. 1 shows a schematic configuration of a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function according to a first embodiment of the present invention.

【0017】この半導体集積回路は、図5と同様に、内
部昇圧回路とその他の回路1とを備えており、回路1は
外部電源電圧Vccとこれを昇圧した内部電源電圧Vp
pとで動作する。昇圧回路では、外部端子に供給される
モード信号TESTに応じて、リングオシレータ10の
出力とリングオシレータ30の出力との一方が、選択回
路40で選択され、インバータ50を介してチャージポ
ンプ回路20に供給される。リングオシレータ10は、
インバータ11〜17が環状に接続され、リングオシレ
ータ30は、インバータ31〜33が環状に接続されて
いる。リングオシレータ30の方がリングオシレータ1
0よりもインバータ接続段数が少ないので、リングオシ
レータ30で生成されるクロックの周波数は、リングオ
シレータ10のそれよりも高い。
This semiconductor integrated circuit includes an internal boosting circuit and another circuit 1 as in FIG. 5, and the circuit 1 includes an external power supply voltage Vcc and an internal power supply voltage Vp obtained by boosting the same.
Works with p. In the booster circuit, one of the output of the ring oscillator 10 and the output of the ring oscillator 30 is selected by the selection circuit 40 in response to the mode signal TEST supplied to the external terminal, and is supplied to the charge pump circuit 20 via the inverter 50. Supplied. The ring oscillator 10
Inverters 11 to 17 are connected in a ring shape, and ring oscillator 30 has inverters 31 to 33 connected in a ring shape. The ring oscillator 30 is the ring oscillator 1
Since the number of inverter connection stages is smaller than 0, the frequency of the clock generated by the ring oscillator 30 is higher than that of the ring oscillator 10.

【0018】選択回路40は、転送ゲート41及び42
の一端がそれぞれリングオシレータ10及び30の出力
端に接続され、転送ゲート41及び42の他端がインバ
ータ50の入力端に接続されている。転送ゲート41及
び42はいずれもnMOSトランジスタとpMOSトラ
ンジスタとが並列接続された構成であり、転送ゲート4
1のpMOSトランジスタのゲートと転送ゲート42の
nMOSトランジスタのゲートにはモード信号TEST
が供給され、転送ゲート41のnMOSトランジスタと
転送ゲート42のpMOSトランジスタのゲートにはモ
ード信号TESTをインバータ43で反転した信号が供
給される。
The selection circuit 40 includes transfer gates 41 and 42.
Are connected to the output terminals of the ring oscillators 10 and 30, respectively, and the other ends of the transfer gates 41 and 42 are connected to the input terminal of the inverter 50. Each of the transfer gates 41 and 42 has a configuration in which an nMOS transistor and a pMOS transistor are connected in parallel.
The mode signal TEST is applied to the gate of the pMOS transistor 1 and the gate of the nMOS transistor of the transfer gate 42.
Is supplied to the gate of the nMOS transistor of the transfer gate 41 and the gate of the pMOS transistor of the transfer gate 42. The signal obtained by inverting the mode signal TEST by the inverter 43 is supplied.

【0019】チャージポンプ回路20は図5のそれと同
一構成であり、アナログ切換スイッチ24にインバータ
50の出力が供給される。回路1は、例えば上述のよう
なDRAMであり、テストモードにおいて試験時間短縮
のために、内部電源電圧Vppで駆動されるワード線を
複数本同時選択し、さらにシステムクロック周期を許容
範囲の最小値にするので、内部電源電圧Vppの消費電
流が通常モードの場合よりも大きくなる。
The charge pump circuit 20 has the same configuration as that of FIG. 5, and the output of the inverter 50 is supplied to the analog changeover switch 24. The circuit 1 is, for example, a DRAM as described above. In the test mode, a plurality of word lines driven by the internal power supply voltage Vpp are simultaneously selected in order to reduce the test time, and the system clock cycle is set to a minimum allowable value. , The current consumption of the internal power supply voltage Vpp becomes larger than in the normal mode.

【0020】上記構成において、モード信号TESTが
低レベルで通常モードの場合には、転送ゲート41がオ
ン、転送ゲート42がオフになり、リングオシレータ1
0で生成されたクロックが選択回路40で選択され、イ
ンバータ50を介しポンピングパルスとしてチャージポ
ンプ回路20へ供給される。インバータ16の出力が低
レベルのき、アナログ切換スイッチ24及び25が図示
の状態になって、インバータ17の出力でポンピングキ
ャパシタ21が充電され、次にインバータ16が高レベ
ルに遷移すると、アナログ切換スイッチ24及び25が
切り換えられて、外部電源電圧Vccにポンピングキャ
パシタ21の端子間電圧が加算される。このような動作
が繰り返されて、電圧Vpp=2(Vcc−2Vth)
がチャージポンプ回路20で生成される。ここに、Vt
hはダイオードのしきい値である。例えばVcc=3.
3V、Vth=0.7Vであり、このときVpp=5.
2Vとなる。
In the above configuration, when the mode signal TEST is at a low level in the normal mode, the transfer gate 41 is turned on, the transfer gate 42 is turned off, and the ring oscillator 1 is turned off.
The clock generated at 0 is selected by the selection circuit 40 and supplied to the charge pump circuit 20 via the inverter 50 as a pumping pulse. When the output of the inverter 16 is at a low level, the analog changeover switches 24 and 25 are in the state shown in the figure, and the pumping capacitor 21 is charged with the output of the inverter 17. 24 and 25 are switched, and the voltage between the terminals of the pumping capacitor 21 is added to the external power supply voltage Vcc. Such an operation is repeated, and voltage Vpp = 2 (Vcc−2Vth)
Is generated by the charge pump circuit 20. Where Vt
h is the threshold value of the diode. For example, Vcc = 3.
3V, Vth = 0.7V, and at this time, Vpp = 5.
2V.

【0021】モード信号TESTが高レベルでテストモ
ードの場合には、転送ゲート41がオフ、転送ゲート4
2がオンになり、リングオシレータ30で生成されたク
ロックが選択回路40で選択され、インバータ50を介
しポンピングパルスとしてチャージポンプ回路20へ供
給される。テストモードでのポンピングパルスは、通常
モードでのそれよりも周波数が高いので、チャージポン
プ回路20においてより高速に電荷のポンピングが行わ
れ、電圧Vppについて、回路1で消費される電流を充
分に補償することが可能になり、これによりテストモー
ドでの電圧Vppの低下が防止され、高速試験の信頼性
が向上する。
When the mode signal TEST is at a high level in the test mode, the transfer gate 41 is turned off and the transfer gate 4 is turned off.
2 is turned on, the clock generated by the ring oscillator 30 is selected by the selection circuit 40, and is supplied to the charge pump circuit 20 as a pumping pulse via the inverter 50. Since the pumping pulse in the test mode has a higher frequency than that in the normal mode, the charge is pumped faster in the charge pump circuit 20, and the voltage Vpp sufficiently compensates for the current consumed in the circuit 1. Thus, the voltage Vpp in the test mode is prevented from lowering, and the reliability of the high-speed test is improved.

【0022】[第2実施形態]図2は、本発明の第2実
施形態の高速試験機能付半導体集積回路の概略構成を示
す。この昇圧回路では、リングオシレータ10Aが、第
1部10aと、第2部10bと、第3部10cと、選択
回路40Aとからなる。第1部10aは、インバータ1
1〜13が縦続接続されている。第2部10bは、イン
バータ14とインバータ15とが縦続接続され、インバ
ータ14にこれより小形のインバータ18が環状接続さ
れている。第3部10cは、インバータ16とインバー
タ17とが縦続接続されている。インバータ15の出力
端はインバータ16の入力端に接続され、インバータ1
7の出力端はインバータ11の入力端に接続されてい
る。
[Second Embodiment] FIG. 2 shows a schematic configuration of a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function according to a second embodiment of the present invention. In this booster circuit, the ring oscillator 10A includes a first unit 10a, a second unit 10b, a third unit 10c, and a selection circuit 40A. The first part 10a includes the inverter 1
1 to 13 are connected in cascade. In the second part 10b, an inverter 14 and an inverter 15 are cascade-connected, and a smaller inverter 18 is circularly connected to the inverter 14. In the third part 10c, the inverter 16 and the inverter 17 are connected in cascade. The output terminal of the inverter 15 is connected to the input terminal of the inverter 16 and the inverter 1
The output terminal of the inverter 7 is connected to the input terminal of the inverter 11.

【0023】選択回路40は、転送ゲート41がインバ
ータ13の出力端とインバータ14の入力端との間に接
続され、転送ゲート42がインバータ13の出力端とイ
ンバータ15の出力端との間に接続されている。転送ゲ
ート41及び42のオン/オフは、モード信号TEST
とこれをインバータ43で反転した信号とにより、図1
の場合と同様に制御される。
In the selection circuit 40, the transfer gate 41 is connected between the output terminal of the inverter 13 and the input terminal of the inverter 14, and the transfer gate 42 is connected between the output terminal of the inverter 13 and the output terminal of the inverter 15. Have been. The on / off of the transfer gates 41 and 42 is determined by the mode signal TEST
1 and a signal obtained by inverting the inverted signal by the inverter 43, FIG.
Is controlled in the same manner as in the case of

【0024】インバータ18は、転送ゲート41がオフ
のときにインバータ14の入力端が電位Vcc/2付近
でフローティング状態になってインバータ14に電源供
給線からグランド線への貰通電流が流れるのを防止する
為である。他の点は上記第1実施形態と同一である。上
記構成において、モード信号TESTが低レベルで通常
モードの場合には、転送ゲート41がオン、転送ゲート
42がオフになり、第1部10aと第2部10bと第3
部10cとでインバータ7段のリングオシレータが構成
され、図1のリングオシレータ10と同様に動作する。
When the transfer gate 41 is turned off, the input end of the inverter 14 becomes floating near the potential Vcc / 2, and the inverter 18 receives a current flowing from the power supply line to the ground line. This is to prevent it. Other points are the same as the first embodiment. In the above configuration, when the mode signal TEST is at a low level in the normal mode, the transfer gate 41 is turned on, the transfer gate 42 is turned off, and the first unit 10a, the second unit 10b, and the third
A ring oscillator having seven stages of inverters is constituted by the unit 10c, and operates in the same manner as the ring oscillator 10 of FIG.

【0025】モード信号TESTが高レベルでテストモ
ードの場合には、転送ゲート41がオフ、転送ゲート4
2がオンになり、インバータ13の出力端が転送ゲート
42を介しインバータ16の入力端にバイパスされて、
インバータ5段のリングオシレータが構成され、通常モ
ードの場合よりもクロック周波数が高くなる。これによ
り、上記第1実施形態で述べた効果と同一の効果が得ら
れる。
When the mode signal TEST is at a high level in the test mode, the transfer gate 41 is turned off and the transfer gate 4 is turned off.
2 is turned on, the output terminal of the inverter 13 is bypassed to the input terminal of the inverter 16 via the transfer gate 42,
A ring oscillator having five stages of inverters is configured, and the clock frequency is higher than in the normal mode. Thereby, the same effect as the effect described in the first embodiment can be obtained.

【0026】[第3実施形態]図3は、本発明の第3実
施形態の高速試験機能付半導体集積回路の概略構成を示
す。この昇圧回路では、ポンピングキヤパシタの容量を
モードに応じて切換可能にしている。
Third Embodiment FIG. 3 shows a schematic configuration of a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function according to a third embodiment of the present invention. In this booster circuit, the capacity of the pumping capacitor can be switched according to the mode.

【0027】すなわち、電解コンデンサであるポンピン
グキャパシタ21の正極端にポンピングキャパシタ26
の正極端が接続され、ポンピングキャパシタ26の負極
端が転送ゲート27を介してポンピングキヤパシタ21
の負極端に接続されている。転送ゲート27のnMOS
トランジスタ及びpMOSトランジスタのゲートにはそ
れぞれモード信号TEST及びこれをインバータ28で
反転した信号が供給される。
That is, the pumping capacitor 26 is connected to the positive terminal of the pumping capacitor 21 which is an electrolytic capacitor.
Of the pumping capacitor 26 is connected to the negative terminal of the pumping capacitor 26 via the transfer gate 27.
Is connected to the negative terminal of the. NMOS of transfer gate 27
The mode signal TEST and a signal obtained by inverting the mode signal TEST by the inverter 28 are supplied to the gates of the transistor and the pMOS transistor, respectively.

【0028】他の点は、図5と同一である。上記構成に
おいて、モード信号TESTが低レベルで通常モードの
場合には、転送ゲート27がオフになり、図5の場合と
同一動作になる。モード信号TESTが高レベルでテス
トモードの場合には、転送ゲート27がオンになって、
ポンピングキャパシタ21にポンピングキヤパシタ26
が並列接続される。これにより、ポンピングパルス毎に
ポンピングキヤパシタに充電される電荷量が通常モード
の場合よりも増加し、チャージポンプ回路20Aの電流
供給能力が増して、上記第1実施形態で述べた効果と同
一の効果が得られる。
The other points are the same as those in FIG. In the above configuration, when the mode signal TEST is at a low level in the normal mode, the transfer gate 27 is turned off, and the operation is the same as that in FIG. When the mode signal TEST is high and the test mode is set, the transfer gate 27 is turned on,
The pumping capacitor 21 is connected to the pumping capacitor 21.
Are connected in parallel. As a result, the amount of charge charged to the pumping capacitor for each pumping pulse is increased as compared with the case of the normal mode, the current supply capability of the charge pump circuit 20A is increased, and the same effect as described in the first embodiment is obtained. The effect is obtained.

【0029】[第4実施形態]図4は、本発明の第4実
施形態の高速試験機能付半導体集積回路の概略構成を示
す。この昇圧回路では、図2のリングオシレータ10A
と、図3のチャージポンプ回路20Aとを用いている。
Fourth Embodiment FIG. 4 shows a schematic configuration of a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function according to a fourth embodiment of the present invention. In this booster circuit, the ring oscillator 10A shown in FIG.
And the charge pump circuit 20A of FIG.

【0030】通常モードの動作は図5の場合と同一であ
る。テストモードでは、リングオシレータ10Aから出
力されるクロックの周波数増加とチャージポンプ回路2
0Aのポンピングキャパシタの容量増加とにより、上記
第2実施形態又は第3実施形態よりも内部電源電圧Vp
pの電流補償能力が大きくなる。
The operation in the normal mode is the same as that in FIG. In the test mode, the frequency of the clock output from the ring oscillator 10A is increased and the charge pump circuit 2
Due to the increase in the capacity of the pumping capacitor of 0 A, the internal power supply voltage Vp is higher than that of the second embodiment or the third embodiment.
The current compensation capability of p increases.

【0031】なお、本発明には外にも種々の変形例が含
まれる。例えば、回路1は、外部電源電圧とこれを昇圧
した内部電源電圧とで動作し通常モードのときよりも高
速に試験が行えるテストモードを備えたものであればよ
く、DRAM以外であってもよい。また、チャージポン
プ回路としては各種方式のものを用いることができる。
The present invention includes various other modifications. For example, the circuit 1 only needs to have a test mode that operates at an external power supply voltage and an internal power supply voltage obtained by boosting the external power supply voltage and can perform a test at a higher speed than in the normal mode. . Various types of charge pump circuits can be used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施形態の高速試験機能付半導体
集積回路の概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2実施形態の高速試験機能付半導体
集積回路の概略構成図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第3実施形態の高速試験機能付半導体
集積回路の概略構成図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function according to a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第4実施形態の高速試験機能付半導体
集積回路の概略構成図である。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a semiconductor integrated circuit with a high-speed test function according to a fourth embodiment of the present invention.

【図5】従来の高速試験機能付半導体集積回路の概略構
成である。
FIG. 5 is a schematic configuration of a conventional semiconductor integrated circuit with a high-speed test function.

【図6】図5の回路1の要部構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a main configuration of the circuit 1 of FIG. 5;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、10A リングオシレータ 11〜18、28、41〜43、50 インバータ 20、20A チャージポンプ回路 21、26 ポンピングキャパシタ 22、23 ダイオード 24、25 アナログ切換スイッチ 27、41、42 転送ゲート TEST モード信号 Vcc 外部電源電圧 Vpp 内部電源電圧 10, 10A Ring oscillator 11-18, 28, 41-43, 50 Inverter 20, 20A Charge pump circuit 21, 26 Pumping capacitor 22, 23 Diode 24, 25 Analog switch 27, 41, 42 Transfer gate TEST Mode signal Vcc External Power supply voltage Vpp Internal power supply voltage

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 外部電源電圧と該外部電源電圧を内部昇
圧回路で昇圧した内部電源電圧とで動作し、通常モード
のときよりも高速に試験が行えるテストモードを備えた
高速試験機能付半導体集積回路において、該内部昇圧回
路は、 第1クロックを生成する第1クロック生成回路と、 該第1クロックより周波数が高い第2クロックを生成す
る第2クロック生成回路と、 該通常モードのとき該第1クロックを選択しポンピング
パルスとして該チャージポンプヘ供給し、該テストモー
ドのとき該第2クロックを選択しポンピングパルスとし
て該チャージポンプヘ供給する選択回路と、 該ポンピングパルスでポンピングキャパシタが充電さ
れ、充電された該ポンピングキャパシタの電圧を所定電
圧に加算して該内部電源電圧を生成するチャージポンプ
回路と、 を有することを特徴とする高速試験機能付半導体集積回
路。
1. A semiconductor integrated circuit with a high-speed test function which operates at an external power supply voltage and an internal power supply voltage obtained by boosting the external power supply voltage by an internal booster circuit, and has a test mode capable of performing a test faster than in a normal mode. In the circuit, the internal booster circuit includes: a first clock generation circuit that generates a first clock; a second clock generation circuit that generates a second clock having a frequency higher than the first clock; A selection circuit for selecting one clock and supplying the same as the pumping pulse to the charge pump, and selecting the second clock and supplying the same as the pumping pulse to the charge pump in the test mode; and a pumping capacitor charged by the pumping pulse; A charge pump for adding the charged voltage of the pumping capacitor to a predetermined voltage to generate the internal power supply voltage The semiconductor integrated circuit with high-speed test function characterized by having and circuitry.
【請求項2】 外部電源電圧と該外部電源電圧を内部昇
圧回路で昇圧した内部電源電圧とで動作し、通常モード
のときよりも高速に試験が行えるテストモードを備えた
高速試験機能付半導体集積回路において、該内部昇圧回
路は、 該通常モードのとき複数のインバータが環状に接続さ
れ、該テストモードのとき該複数のインバータの一部が
配線でバイパスされて該インバータの段数が減少され、
クロックをポンピングパルスとして生成するリングオシ
レータと、 該ポンピングパルスでポンピングキャパシタが充電さ
れ、充電された該ポンピングキャパシタの電圧を所定電
圧に加算して該内部電源電圧を生成するチャージポンプ
回路と、 を有することを特徴とする高速試験機能付半導体集積回
路。
2. A semiconductor integrated circuit having a high-speed test function, which operates at an external power supply voltage and an internal power supply voltage obtained by boosting the external power supply voltage by an internal booster circuit, and has a test mode capable of performing a test faster than in a normal mode. In the circuit, the internal booster circuit includes a plurality of inverters connected in a ring shape in the normal mode, and a part of the plurality of inverters is bypassed by wiring in the test mode to reduce the number of stages of the inverter;
A ring oscillator that generates a clock as a pumping pulse, and a charge pump circuit that charges a pumping capacitor with the pumping pulse and adds the charged voltage of the pumping capacitor to a predetermined voltage to generate the internal power supply voltage. A semiconductor integrated circuit with a high-speed test function.
【請求項3】 外部電源電圧と該外部電源電圧を内部昇
圧回路で昇圧した内部電源電圧とで動作し、通常モード
のときよりも高速に試験が行えるテストモードを備えた
高速試験機能付半導体集積回路において、該内部昇圧回
路は、 クロックをポンピングパルスとして生成するクロック生
成回路と、 容量が該通常モードのとき第1値となり該テストモード
のとき該第1値より大きい第2値になるように切り換え
られるポンピングキャパシタを備え、該ポンピングパル
スで該ポンピングキャパシタが充電され、充電された該
ポンピングキャパシタの電圧を所定電圧に加算して該内
部電源電圧を生成するチャージポンプ回路と、 を有することを特徴とする高速試験機能付半導体集積回
路。
3. A semiconductor integrated circuit having a high-speed test function, which operates at an external power supply voltage and an internal power supply voltage obtained by boosting the external power supply voltage by an internal booster circuit, and has a test mode in which a test can be performed faster than in a normal mode. In the circuit, the internal booster circuit includes: a clock generation circuit that generates a clock as a pumping pulse; and a capacitor that has a first value in the normal mode and a second value larger than the first value in the test mode. A charge pump circuit that includes a pumping capacitor that can be switched, the pumping capacitor is charged with the pumping pulse, and a voltage of the charged pumping capacitor is added to a predetermined voltage to generate the internal power supply voltage. Semiconductor integrated circuit with high-speed test function.
【請求項4】 外部電源電圧と該外部電源電圧を内部昇
圧回路で昇圧した内部電源電圧とで動作し、通常モード
のときよりも高速に試験が行えるテストモードを備えた
高速試験機能付半導体集積回路において、該内部昇圧回
路は、 該通常モードのとき複数のインバータが環状に接続さ
れ、該テストモードのとき該複数のインバータの一部が
配線でバイパスされて該インバータの段数が減少され、
クロックをポンピングパルスとして生成するリングオシ
レータと、 容量が該通常モードのとき第1値となり該テストモード
のとき該第1値より大きい第2値になるように切り換え
られるポンピングキャパシタを備え、該ポンピングパル
スで該ポンピングキャパシタが充電され、充電された該
ポンピングキャパシタの電圧を所定電圧に加算して該内
部電源電圧を生成するチャージポンプ回路と、 を有することを特徴とする高速試験機能付半導体集積回
路。
4. A semiconductor integrated circuit having a high-speed test function, which operates at an external power supply voltage and an internal power supply voltage obtained by boosting the external power supply voltage by an internal booster circuit, and has a test mode in which a test can be performed faster than in a normal mode. In the circuit, the internal booster circuit includes a plurality of inverters connected in a ring shape in the normal mode, and a part of the plurality of inverters is bypassed by wiring in the test mode to reduce the number of stages of the inverter;
A ring oscillator that generates a clock as a pumping pulse; and a pumping capacitor whose capacity is switched to a first value in the normal mode and to a second value larger than the first value in the test mode. A charge pump circuit that charges the pumping capacitor and adds the charged voltage of the pumping capacitor to a predetermined voltage to generate the internal power supply voltage.
【請求項5】 上記高速試験機能付半導体集積回路は半
導体記憶装置であり、上記テストモードのときに複数の
ワード線が同時に選択され、選択された該複数のワード
線へ上記内部電源電圧がワードドライバを介して供給さ
れる、 ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載
の高速試験機能付半導体集積回路。
5. The semiconductor integrated circuit with high-speed test function is a semiconductor memory device, wherein a plurality of word lines are simultaneously selected in the test mode, and the internal power supply voltage is applied to the selected plurality of word lines. The semiconductor integrated circuit with a high-speed test function according to claim 1, wherein the semiconductor integrated circuit is supplied via a driver.
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