KR100216119B1 - Multipot type semiconductor plastic molding device - Google Patents

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KR100216119B1
KR100216119B1 KR1019970012064A KR19970012064A KR100216119B1 KR 100216119 B1 KR100216119 B1 KR 100216119B1 KR 1019970012064 A KR1019970012064 A KR 1019970012064A KR 19970012064 A KR19970012064 A KR 19970012064A KR 100216119 B1 KR100216119 B1 KR 100216119B1
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박성열
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이정우
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    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection

Abstract

본 발명은 상측 몰드와 하측 몰드가 형합되어 형성된 캐비티에 몰딩 콤파운드를 주입하여 와이어본드된 리드 프레임을 완성된 반도체 패키지로 성형하는 몰딩장치에, 서로 대응하는 다수개의 포트와 플런저 및 컬을 각 체이스별로 구비함으로써 센터블록의 런너에 잔존하는 공기를 줄일 수 있고, 아울러 반도체 패키지에 생기는 보이드(void)나 블리스터(blister)와 같은 불량을 줄일 수 있으며, 포트와 플런저의 마모를 줄일 수 있는 멀티포트형 반도체 플라스틱 몰딩장치에 관한 것이다.The present invention relates to a molding apparatus in which a molding compound is injected into a cavity formed by joining an upper mold and a lower mold to form a wire-bonded lead frame into a completed semiconductor package, and a plurality of ports, plungers, and curls corresponding to each other are formed for each chase. By reducing the air remaining in the runner of the center block, and reducing defects such as voids and blisters in the semiconductor package, and multi-port type to reduce the wear of the port and plunger A semiconductor plastic molding apparatus.

본 발명은 고정측인 상측 몰드와 가동측인 하측 몰드로 구성되어, 상측 몰드와 하측 몰드 중, 일측 몰드에 몰딩 콤파운드를 캐비티로 안내하는 런너 및 그 런너로 몰딩 콤파운드를 분배하는 컬을 구비하고, 타측 몰드에 컬에 몰딩 콤파운드가 주입되는 포트 및 상기 포트에 장전되는 몰딩 콤파운드를 가압하는 플런저를 구비하는 반도체 플라스틱 몰딩장치에 있어서, 상기 포트와 상기 플런저 및 상기 컬은 서로 대응하는 다수개로 이루어지는 반도체 플라스틱 몰딩장치를 제공한다.The present invention comprises a runner for guiding the molding compound to a cavity among the upper mold and the lower mold and a curler for dispensing the molding compound with the runner, which is composed of the upper mold on the fixed side and the lower mold on the movable side. A semiconductor plastic molding apparatus comprising a port into which a molding compound is injected into a curl into another mold, and a plunger pressurizing a molding compound loaded into the port, wherein the port, the plunger and the curl are formed of a plurality of semiconductor plastics corresponding to each other. Provide a molding device.

Description

멀티포트(multi pot)형 반도체 플라스틱 몰딩장치Multi pot semiconductor plastic molding device

본 발명은 멀티포트형 반도체 플라스틱 몰딩장치에 관한 것으로서, 상세하게는 상측 몰드와 하측 몰드가 형합되어 형성된 캐비티에 몰딩 콤파운드를 주입하여 와이어본드된 리드 프레임을 완성된 반도체 패키지로 성형하는 몰딩장치에, 서로 대응하는 다수개의 포트와 플런저 및 컬을 각 체이스별로 구비함으로써 센터블록의 런너에 잔존하는 공기를 줄일 수 있고, 아울러 반도체 패키지에 생기는 보이드(void)나 블리스터(blister)와 같은 불량을 줄일 수 있으며, 포트와 플런저의 마모를 줄일 수 있는 멀티포트형 반도체 플라스틱 몰딩장치에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-port type semiconductor plastic molding apparatus, and more particularly, to a molding apparatus for molding a wire bonded lead frame into a completed semiconductor package by injecting a molding compound into a cavity formed by combining an upper mold and a lower mold. By providing a plurality of ports, plungers and curls corresponding to each chase, air remaining in the runner of the center block can be reduced, and defects such as voids and blisters in the semiconductor package can be reduced. The present invention relates to a multi-port type semiconductor plastic molding device capable of reducing wear of ports and plungers.

일반적으로 반도체 패키지 제조공정에 있어서는, 반도체 칩이 리드프레임에 와이어 본드(wire bond)된 후 다음 공정으로 반도체 플라스틱 몰딩장치에 의하여 리드프레임에 몰딩 콤파운드(molding compound)가 씌워지게 된다.In general, in a semiconductor package manufacturing process, a molding compound is coated on a lead frame by a semiconductor plastic molding apparatus after the semiconductor chip is wire bonded to the lead frame.

몰딩 콤파운드의 주요 성분을 보면, 큐어링제와 화학적으로 결합하여 열경화성 물질로 되는 레진(resin)과, 몰딩 콤파운드의 대부분을 차지하며 유리나 규소와 같은 물질로 이루어진 충전재(fillter material)와, 몰딩 콤파운드에 색체를 넣기위한 염료(dye)와, 화학반응의 속도를 조절하기 위한 연소 지연제(fire retardant)와, 몰딩 도중에 상하측 몰드에 달라 붙는 것을 방지하기 위한 이형제(release agent) 등으로 이루어져 있다.The main components of the molding compound are resins, which are chemically combined with curing agents to form thermosets, and most of the molding compound, the filler material made of materials such as glass and silicon, and the color of the molding compound. It is composed of dye (dye), a fire retardant for controlling the speed of the chemical reaction, a release agent for preventing sticking to the upper and lower molds during molding.

종래 반도체 플라스틱 몰딩장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 고정측인 상측 몰드 베이스(120)의 하단에 설치된 상측 몰드(130)와, 가동측인 하측 몰드 베이스(140)의 상단에 설치된 하측 몰드(150)로 구성되어 있다.As shown in FIGS. 1 and 2, the conventional semiconductor plastic molding apparatus is provided on the upper mold 130 installed at the lower end of the upper mold base 120 on the fixed side and on the upper side of the lower mold base 140 on the movable side. It consists of the lower mold 150.

그리고 하측 몰드(150)에는 몰딩 콤파운드를 캐비티로 안내하는 런너(155)와 이 런너(155)로 몰딩 콤파운드를 분배하는 컬(152)이 구비되어 있으며, 상측 몰드(130)에는 컬(152)에 몰딩 콤파운드가 주입되는 포트(132)와 이 포트(132)에 장전되는 몰딩 콤파운드를 가압하는 플런저(170)가 구비되어 있다. 즉, 몰딩 콤파운드를 가압하는 플런저(170)는 상측 몰드(130)의 상측에서 하측으로 내려오도록 설치되어 있다.The lower mold 150 includes a runner 155 for guiding the molding compound to the cavity and a curl 152 for dispensing the molding compound to the runner 155, and the upper mold 130 is provided with the curl 152. A port 132 into which the molding compound is injected is provided, and a plunger 170 for pressing the molding compound loaded in the port 132 is provided. That is, the plunger 170 for pressing the molding compound is provided so as to descend from the upper side of the upper mold 130.

좀 더 상세히 반도체 플라스틱 몰딩장치의 구성을 살펴보면, 유압 수단에 의해 상·하로 이송되는 하측 몰드 베이스(140)의 상측에 설치된 하측 몰드(150)는 중앙에 하측 센터블록(151)이 위치해 있고 이 센터블록(151)의 양쪽으로 체이스 블록(153)이 설치되어 있다.Looking at the configuration of the semiconductor plastic molding device in more detail, the lower mold 150 installed on the upper side of the lower mold base 140, which is conveyed up and down by hydraulic means, the lower center block 151 is located at the center of the center. Chase blocks 153 are provided on both sides of the block 151.

하측 센터블록(151)의 중심에는 몰딩 콤파운드를 각 런너(155)로 분배하는 컬(152)이 요입 형성되어 있고, 이 컬(152)에서 각 체이스 블록(153)을 향하여 몰딩 콤파운드가 흘러갈 수 있도록 런너(155)가 요입 형성되어 있다.Curl 152 is formed in the center of the lower center block 151 to distribute molding compound to each runner 155, and molding compound can flow from the curl 152 toward each chase block 153. The runner 155 is recessed so that it may be.

고정되어 있는 상측 몰드 베이스(120)의 하측에 설치된 상측 몰드(130)는 중앙에 상측 센터블록(131)이 위치해 있고 이 센터블록(131)의 양쪽으로 체이스 블록(133)이 형성되어 있다.In the upper mold 130 installed below the upper mold base 120 that is fixed, the upper center block 131 is positioned at the center, and the chase block 133 is formed on both sides of the center block 131.

상측 센터블록(131)의 중심에는 몰딩 콤파운드가 주입되는 포트(132)와 이 포트(132)에 장전되는 몰딩 콤파운드를 가압하여 상기 컬을 따라 런너로 흘러보내는 플런저(170)가 설치되어 있다.The center of the upper center block 131 is provided with a port 132 into which the molding compound is injected and a plunger 170 for pressing the molding compound loaded in the port 132 and flowing it to the runner along the curl.

이와 같은 구성을 가지는 종래의 반도체 플라스틱 몰딩장치의 작용을 보면 다음과 같다.The operation of the conventional semiconductor plastic molding apparatus having such a configuration is as follows.

먼저 몰딩장치에 몰딩 콤파운드가 주입되는 상태를 각 단계별로 살펴보면, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 예열기에서 약 85∼95°C의 온도로 예열시킨 몰딩 콤파운드를 몰딩 장치의 포트에 삽입하게 된다.First, when the molding compound is injected into the molding apparatus for each step, as shown in FIGS. 3A and 3B, the molding compound preheated to a temperature of about 85 to 95 ° C. in the preheater is inserted into a port of the molding apparatus. do.

즉, 반도체 플라스틱 몰딩장치의 하측 몰드(150)의 캐비티 내부에는 반도체 칩과 와이어 본딩(wire bonding)이 완료된 리드 프레임(lead frame)이 놓여지게 되며, 가동측인 하측 몰드(150)는 유압 수단에 의해 상측으로 이송되어 상측 몰드(130)와 형합되게 된다.That is, a lead frame in which wire bonding is completed with a semiconductor chip is placed in the cavity of the lower mold 150 of the semiconductor plastic molding device, and the lower mold 150 on the movable side is provided to the hydraulic means. It is transferred to the upper side by the upper mold 130 to be combined.

그리고 준비된 소정의 무게와 직경을 갖는 예열된 몰딩 콤파운드를 원통형의 포트(132)속으로 삽입시킨 후, 플런저(170)를 상측에서 하측으로 이송시켜 예열된 몰딩 콤파운드에 압력을 가하게 된다.After inserting the preheated molding compound having the predetermined weight and diameter into the cylindrical port 132, the plunger 170 is transferred from the upper side to the lower side to apply pressure to the preheated molding compound.

이와 같이 고온(高溫)· 가압(加壓) 처리하에서 용융된 몰딩 콤파운드는 센터블록(151)의 컬(152)에서 다수개의 런너(155)로 분배되어 흘러간 후에 각 체이스 블록(133,153)의 캐비티에 충진되게 된다.Thus, the molding compound melted under high temperature and pressure treatment is distributed from the curl 152 of the center block 151 to the plurality of runners 155 and then flows into the cavities of the respective chase blocks 133 and 153. It will be filled.

즉, 유동적인 몰딩 콤파운드는 그 진행 방향에 대칭적으로 마련된 다수개의 런너(155)를 지나게 되며, 각 런너(155) 줄기와 연결된 체이스 블록(133,153)으로 유입되어 각각의 캐비티 내부로 흘러 들어가게 된다.That is, the flowable molding compound passes through a plurality of runners 155 symmetrically provided in the traveling direction, and flows into the chase blocks 133 and 153 connected to the stems of each runner 155 and flows into the respective cavities.

그리하여 각각의 캐비티 내부에 놓여져 있는 와이어 본딩된 리드 프레임에 몰딩 콤파운드가 채워지게 되며, 충전이 완료된 후에는 반도체 플라스틱 몰딩 장치를 소정시간동안 방치시킴으로서 액체상태의 몰딩 콤파운드를 경화시켜 고체상태로 바꾸어 최종적인 반도체 패키지가 완성되게 된다.Thus, the molding compound is filled in the wire bonded lead frames placed in the respective cavities, and after the filling is completed, the semiconductor plastic molding device is left for a predetermined time to harden the liquid molding compound to change to a solid state. The semiconductor package is completed.

그러나 종래의 반도체 플라스틱 몰딩장치는 몰딩하는 과정에서 런너에 잔류하는 공기가 몰딩 콤파운드의 흐름과 함께 각 체이스 블록의 캐비티로 유입되므로써 반도체 패키지에 보이드나 블리스터 및 와이어 쏠림(wire sweep)과 같은 반도체 불량이 발생되기 쉬우며, 센터블록에서 런너의 정확한 밸런스 플로우 디자인(balance flow design)이 불가능하여 몰딩 콤파운드가 각 체이스 블록의 런너에 도달하는 시간이 달라지게 되어 품질에 악영향을 끼치게 된다.However, in the conventional semiconductor plastic molding device, the air remaining in the runner is introduced into the cavity of each chase block along with the flow of the molding compound during molding, so that semiconductor defects such as voids, blisters and wire sweeps are applied to the semiconductor package. This is likely to occur, and the precise balance flow design of the runner in the center block is not possible, and thus, the molding compound has a different time to reach the runner of each chase block, which adversely affects the quality.

그리고, 포트벽 내주면에 달라붙은 찌꺼기는 콤파운드가 주입되면서 일부가 포트내에 떨어져 콤파운드의 하부에 위치되는데, 이렇게 콤파운드의 하부에 위치된 찌꺼기는 우선적으로 런너를 통해 캐비티로 흘러들어가 런너의 통로를 막아 불완전 충전을 초래하게 된다.In addition, the residue adhering to the inner wall of the port wall is placed in the lower part of the compound as the compound is injected into the port, and the residue located at the lower part of the compound first flows into the cavity through the runner to block the passage of the runner and is incomplete. Will result in charging.

또한 몰딩 후 센터 블록에 남게 되는 몰딩 콤파운드의 잔류물이 센터 블록의 크기에 비례하여 남게되므로 몰딩 콤파운드의 낭비를 가져오게 되고, 몰딩 콤파운드를 포트에 장전하기 위해서 플런저를 포트로부터 불리한 후 장전해야 되므로 이로 인하여 포트내 유동하는 플런저의 행정 길이가 길어져 포트 및 플런저의 마모를 촉진시키게 되며, 이 센터블록이 마모될 경우 하나의 단일품으로 이루어져 있기 때문에 센터블록 전체를 교환해야 되는 문제가 있다.In addition, since the residue of the molding compound remaining in the center block after molding is left in proportion to the size of the center block, it causes the waste of the molding compound, and in order to load the molding compound into the port, it is necessary to load the plunger after discharging from the port. Due to the longer stroke length of the plunger flowing in the port to facilitate the wear of the port and plunger, when the center block is worn, there is a problem that the entire center block must be replaced because it consists of a single piece.

상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 상측 몰드와 하측 몰드로 이루어진 몰딩장치에 각 체이스 블록에 대응하는 다수개의 포트와 플런저와 컬을 구비함으로써 센터블록의 런너에 잔존하는 공기가 몰딩 콤파운드와 함께 유입되는 것을 방지하고, 정확한 밸런스 플로우 디자인이 가능하게 하며, 몰딩 후 센터블록에 남게되는 몰딩 콤파운드의 잔류물을 줄이며, 컬 블록이나 포트 블록 또는 엔드키 블록의 마모시에 해당되는 블록만 센터 블록으로부터 분리하여 교환하므로서 반도체 불량을 방지하고 원가를 줄이는데 그 목적이 있다.The present invention for solving the above problems is provided with a molding compound and the air remaining in the runner of the center block by having a plurality of ports, plungers and curl corresponding to each chase block in the molding device consisting of the upper mold and the lower mold Prevents inflow together, enables accurate balance flow design, reduces residues of molding compound remaining in the center block after molding, and only blocks that are subject to wear of curl blocks, port blocks or end key blocks Its purpose is to prevent semiconductor defects and reduce costs by separating and exchanging them.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 고정측인 상측 몰드 베이스의 하단에 설치된 상측 몰드와, 가동측인 하측 몰드 베이스의 상단에 설치되어 상기 상측 몰드와 형합될 때 캐비티를 형성하는 하측 몰드로 구성되어, 상기 상측 몰드와 상기 하측 몰드 중, 일측 몰드에 몰딩 콤파운드를 상기 캐비티로 안내하는 런너 및 그 런너로 몰딩 콤파운드를 분배하는 컬을 구비하고, 타측 몰드에 상기 컬에 몰딩 콤파운드가 주입되는 포트 및 상기 포트에 장전되는 몰딩 콤파운드를 가압하는 플런저를 구비하는 반도체 플라스틱 몰딩장치에 있어서, 상기 포트와 상기 플런저 및 상기 컬은 서로 대응하는 다수개로 이루어지는 반도체 플라스틱 몰딩장치를 기술적 구성상의 기본 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is composed of an upper mold installed on the lower end of the upper mold base on the fixed side, and a lower mold installed on the upper side of the lower mold base on the movable side to form a cavity when joined with the upper mold. And a runner for guiding molding compound to the cavity in one of the upper mold and the lower mold, and a curl for dispensing the molding compound into the runner, and a molding compound injected into the curl in the other mold. A semiconductor plastic molding apparatus having a plunger for pressing a molding compound loaded in the port, wherein the port, the plunger and the curl have a plurality of semiconductor plastic molding apparatuses corresponding to each other.

도 1은 종래의 반도체 플라스틱 몰딩장치를 나타낸 정단면도,1 is a front sectional view showing a conventional semiconductor plastic molding device,

도 2는 종래의 상·하측 몰드의 분해상태를 나타낸 분해 사시도,2 is an exploded perspective view showing an exploded state of a conventional upper and lower molds,

도 3a와 도 3b는 종래 몰딩장치의 포트에 몰딩 콤파운드가 장착되는 상태를 나타낸 도면,3a and 3b is a view showing a state in which the molding compound is mounted on the port of the conventional molding apparatus,

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티포트형 반도체 플라스틱 몰딩장치를 나타낸 정단면도,Figure 4 is a front sectional view showing a multi-port type semiconductor plastic molding device according to an embodiment of the present invention,

도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 상측 몰드를 나타낸 평면도,Figure 5a is a plan view showing an upper mold according to an embodiment of the present invention,

도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 하측 몰드를 나타낸 평면도,Figure 5b is a plan view showing a lower mold according to an embodiment of the present invention,

도 6은 본 발명의 요부를 발췌하여 나타낸 확대 단면도,6 is an enlarged cross-sectional view showing the main part of the present invention;

도 7a와 도 7b는 본 발명 몰딩장치의 포트에 몰딩 콤파운드가 장착되는 상태를 나타낸 도면,7a and 7b is a view showing a state in which the molding compound is mounted on the port of the molding apparatus of the present invention,

도 8a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 상측 몰드를 나타낸 평면도,8A is a plan view showing an upper mold according to another embodiment of the present invention;

도 8b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 하측 몰드를 나타낸 평면도.Figure 8b is a plan view showing a lower mold according to another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

20 : 상측 몰드 베이스 30 : 상측 몰드20: upper mold base 30: upper mold

31 : 상측 센터 블록 31a : 컬 블록31: upper center block 31a: curl block

32 : 컬 33 : 체이스 블록32: Curl 33: Chase Block

35 : 상측 엔드키 블록 35a : 위치핀35: upper end key block 35a: position pin

36: 런너 40 : 하측 몰드 베이스36: runner 40: lower mold base

50 : 하측 몰드 51 : 하측 센터 블록50: lower mold 51: lower center block

51a : 포트 블록 52 : 포트51a: port block 52: port

53 : 하측 체이스 블록 55 : 하측 엔드키 블록53: lower chase block 55: lower end key block

55a: 위치홈 60 : 플런저55a: positioning groove 60: plunger

80 : 이송 플레이트 81 : 플런저 홀더80: transfer plate 81: plunger holder

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 예시된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the illustrated drawings.

본 발명의 일 실시예에 따른 멀티포트형 반도체 플라스틱 몰딩장치는 도 4,도 5a, 도 5b 및 도 6에 도시된 바와 같이, 고정측인 상측 몰드 베이스(20)의 하단에 설치된 상측 몰드(30)와, 가동측인 하측 몰드 베이스(40)의 상단에 설치되어 상기 상측 몰드(30)와 형합될 때 캐비티를 형성하는 하측 몰드(50)로 구성되어 있고, 상측 몰드(30)에는 캐비티로 용융된 몰딩 콤파운드를 안내하는 런너(36)와 이 런너(36)로 몰딩 콤파운드를 분배하는 컬(32)이 구비되어 있고, 하측 몰드(50)에는 컬(32)에 몰딩 콤파운드가 주입되는 포트(52) 및 상기 포트(52)에 장전되는 몰딩 콤파운드를 가압하는 플런저(60)가 구비되어 있으며, 각 체이스 블록(33,53)에 해당되는 포트(52)와 플런저(60) 및 컬(32)이 다수개 설치되어 있다.In the multi-port type semiconductor plastic molding apparatus according to an embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 4, 5A, 5B, and 6, the upper mold 30 installed at the lower end of the upper mold base 20 on the fixed side is shown. ) And a lower mold 50 installed at the upper end of the lower mold base 40 on the movable side to form a cavity when the upper mold 30 is combined with the upper mold 30, and the upper mold 30 is melted with a cavity. A runner 36 for guiding the molded molding compound and a curl 32 for dispensing the molding compound to the runner 36 are provided, and the lower mold 50 has a port 52 into which the molding compound is injected into the curl 32. ) And a plunger 60 pressurizing the molding compound loaded in the port 52, and a port 52, a plunger 60 and a curl 32 corresponding to each chase block 33, 53 are provided. Many are installed.

좀 더 상세히 본 발명의 반도체 플라스틱 몰딩장치를 살펴보면, 가동측인 하측 몰드 베이스(40)의 상측에 설치된 하측 몰드(50)는, 컬(32)과 대응하는 포트(52)를 구비한 포트 블록(51a)과 런너(56)를 양측으로 구비한 하측 엔드키 블록(55) 및 다수개의 캐비티가 형성된 하측 체이스 블록(53)으로 이루어져 있다. 그리고 포트 블록(51a)은 하측 센터 블록(51)의 상측에 각각 조립이 가능하도록 다수개 설치되어 있다.Looking at the semiconductor plastic molding apparatus of the present invention in more detail, the lower mold 50 provided on the upper side of the lower mold base 40, which is the movable side, has a port block having a port 52 corresponding to the curl 32. It consists of a lower end key block 55 having both sides 51a) and a runner 56, and a lower chase block 53 having a plurality of cavities. In addition, a plurality of port blocks 51a are provided on the upper side of the lower center block 51 so that they can be assembled.

즉, 중앙의 하측 센터 블록(51)의 상측에 다수개의 포트 블록(51a)이 위치해 있고 이 포트 블록(51a)의 측면에 하측 체이스 블록(53)이 형성되어 있으며, 포트 블록(51a)과 하측 체이스 블록(53) 사이에는 하측 엔드키 블록(55)이 위치해 있다. 그리고 포트 블록(51a)의 중심에는 몰딩 콤파운드가 주입되는 포트(52)와 이 포트(52)에 장전되는 몰딩 콤파운드를 가압하는 플런저(60)가 구비되어 있다.That is, a plurality of port blocks 51a are positioned on the upper side of the lower center block 51 in the center, and the lower chase blocks 53 are formed on the side surfaces of the port blocks 51a, and the port blocks 51a and the lower sides are formed. The lower end key block 55 is located between the chase blocks 53. In the center of the port block 51a, there is provided a port 52 into which the molding compound is injected and a plunger 60 for pressing the molding compound loaded in the port 52.

하측 몰드(50)의 포트 블록(51a)에는 다수개의 포트(52)와 이에 대응하는 플런저(60)가 구비되어 있으며, 이 플런저(60)는 하측 몰드 베이스(40)의 하측에 위치한 이송 플레이트(80)에 설치되어 있다.The port block 51a of the lower mold 50 is provided with a plurality of ports 52 and corresponding plungers 60, and the plunger 60 has a transfer plate located below the lower mold base 40. 80).

즉, 다수개의 플런저(60)는 이송 플레이트(80)의 상단쪽으로 각 포트(52)의 해당되는 위치에 플런저 홀더(81)를 통하여 설치되어 있으며, 이 이송 플레이트(80)는 양쪽에 설치된 유압 수단에 의해 상·하로 이송되어 작동하게 된다.That is, the plurality of plungers 60 are installed through the plunger holder 81 at the corresponding position of each port 52 toward the upper end of the conveying plate 80, and the conveying plate 80 is provided with hydraulic means provided at both sides. It is moved up and down by the operation.

고정측인 상측 몰드 베이스(20)의 하측에 설치된 상측 몰드(30)는 컬(32)을 구비한 컬 블록(31a)과 런너(36)를 한 개 이상 구비한 상측 엔드키 블록(35)과, 캐비티를 구비한 상측 체이스 블록(33)으로 이루어져 있다. 그리고 컬 블록(31a)은 상측 센터 블록(31)의 하측에 각각 조립이 가능하도록 다수개 설치되어 있다.The upper mold 30 installed below the upper mold base 20, which is a fixed side, includes an upper end key block 35 having a curl block 31a having a curl 32 and at least one runner 36. And an upper chase block 33 having a cavity. In addition, a plurality of curl blocks 31a are provided in the lower side of the upper center block 31 so that assembly is possible.

즉, 중앙의 센터 블록(31) 상측에 다수개의 컬 블록(31a)이 위치해 있고 이 컬 블록(31a)의 양쪽으로 상측 체이스 블록(33)이 형성되어 있으며, 컬 블록(31a)과 상측 체이스 블록(33) 사이에는 상측 엔드키 블록(35)이 위치해 있다.That is, a plurality of curl blocks 31a are positioned above the center block 31 in the center, and upper chase blocks 33 are formed on both sides of the curl blocks 31a, and the curl blocks 31a and the upper chase blocks are formed. The upper end key block 35 is located between the 33.

컬 블록(31a)의 중심에는 몰딩 콤파운드를 분배하는 컬(32)이 요입 형성되어 있으며, 상측 엔드키 블록(35)에는 상측 체이스 블록(33)으로 분배된 몰딩 콤파운드를 흘려 보내는 런너(36)가 요입 형성되어 있다.A curl 32 for dispensing the molding compound is formed in the center of the curl block 31a, and a runner 36 for flowing the molding compound distributed to the upper chase block 33 is formed in the upper end key block 35. Indentation is formed.

이와 같은 구성을 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티포트형 반도체 플라스틱 몰딩장치의 작용을 보면 다음과 같다.Referring to the operation of the multi-port semiconductor plastic molding apparatus according to an embodiment of the present invention having such a configuration as follows.

먼저 반도체 플라스틱 몰딩장치에 주입되는 몰딩 콤파운드를 예열기에서 약 85∼95。C의 온도로 예열시키게 된다. 반도체 플라스틱 몰딩장치의 하측 몰드(50) 캐비티 내부에는 반도체 칩과 와이어 본딩이 완료된 리드 프레임이 놓이게 되며, 가동측인 하측 몰드(50)는 유압 수단에 의해 상측으로 이송하여 상측 몰드(30)와 형합되게 된다.First, the molding compound injected into the semiconductor plastic molding device is preheated to a temperature of about 85 to 95 ° C. in the preheater. Inside the cavity of the lower mold 50 of the semiconductor plastic molding device, a lead frame in which the semiconductor chips and wire bonding are completed is placed, and the lower mold 50 on the movable side is transferred upward by hydraulic means to be combined with the upper mold 30. Will be.

이 때 상측 몰드(30)의 엔드키 블록(35)에 형성된 위치핀(35a)과 하측 몰드(50)의 엔드키 블록(55)에 형성된 위치홈(55a)이 결합되어 상측 몰드(30)와 하측 몰드(50)가 정확히 형합되게 된다.At this time, the position pin 35a formed in the end key block 35 of the upper mold 30 and the position groove 55a formed in the end key block 55 of the lower mold 50 are coupled to each other. The lower mold 50 is to be accurately molded.

상세히 살펴보면, 예열된 몰딩 콤파운드는 도 7a에 도시된 바와 같이, 하측 몰드(50)의 포트(52)에 삽입되어 플런저(60)의 상단에 올려지게 된다. 이 때 포트(52)에 장전된 몰딩 콤파운드의 장전 위치는 비교적 낮기 때문에 몰딩 콤파운드의 장전 상태를 용이하게 확인할 수 있게 된다.In detail, the preheated molding compound is inserted into the port 52 of the lower mold 50 to be mounted on the top of the plunger 60, as shown in FIG. 7A. At this time, since the loading position of the molding compound loaded in the port 52 is relatively low, it is possible to easily check the loading state of the molding compound.

몰딩 콤파운드가 포트(52)에 장전된 후에는 도 7b에 도시된 바와 같이, 하측 몰드(50)가 상측으로 이송되어 하측 몰드(50)와 상측 몰드(30)가 형합되게 되며, 플런저(60)가 하측에서 상측으로 이송되어 예열된 몰딩 콤파운드에 압력을 가하게 된다.After the molding compound is loaded in the port 52, as shown in FIG. 7B, the lower mold 50 is transferred upward to form the lower mold 50 and the upper mold 30, and the plunger 60. Is transferred from bottom to top to apply pressure to the preheated molding compound.

이와 같이 압력이 가해진 용융된 몰딩 콤파운드는 컬 블록(31a)의 컬(32)에서 런너(36)로 분배되어 바로 각 체이스 블록(33)의 캐비티에 충진되게 된다.The molten molding compound applied with pressure is distributed from the curl 32 of the curl block 31a to the runner 36 to be directly filled in the cavity of each chase block 33.

즉, 유동적인 몰딩 콤파운드는 그 진행방향에 마련된 런너(36)를 지나게 되며, 이 런너(36) 줄기와 연결된 체이스 블록으로 유입되어 각각의 캐비티 내부로 흘러 들어가 충진되게 된다.That is, the flowable molding compound passes through the runner 36 provided in the traveling direction, and flows into the chase block connected to the stem of the runner 36 and flows into each cavity to be filled.

이에 따라 각각의 캐비티 내부에 놓여져 있는 와이어 본딩된 리드 프레임에 몰딩 콤파운드가 채워지게 되며, 충진이 완료된 후에는 반도체 플라스틱 몰딩 장치를 소정시간 동안 방치시킴으로써 액체상태의 몰딩 콤파운드를 경화시켜 고체상태로 바꾸어 최종적인 반도체 패키지가 완성되게 된다.Accordingly, the molding compound is filled in the wire-bonded lead frames placed in the respective cavities. After filling is completed, the semiconductor plastic molding device is left for a predetermined time to harden the liquid molding compound and change to a solid state. The semiconductor package is completed.

본 발명의 다른 실시예에 따른 멀트 포트형 반도체 플라스틱 몰딩장치는 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 주요 구성은 본 발명의 일 실시예와 같으나 포트(52)의 수가 체이스 블록(33,53)의 각 런너(36,56)에 해당되는 숫자만큼 설치된 특징이 있다.In the multi-port type semiconductor plastic molding apparatus according to another embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 8A and 8B, the main configuration is the same as the embodiment of the present invention, but the number of ports 52 is the number of chase blocks 33 and 53 There is a feature installed by the number corresponding to each runner (36,56) of.

즉, 제작되는 반도체 패키지의 부피가 클 경우 그에 해당되는 몰딩 콤파운드의 양을 공급해주기 위하여 체이스 블록(33,53)의 각각의 런너(36,56)를 향하여 포트(52)와 플런저(60) 및 컬(32)이 요입 형성되어 있다.That is, the port 52 and the plunger 60 and toward the respective runners 36 and 56 of the chase blocks 33 and 53 to supply the amount of molding compound corresponding thereto when the volume of the semiconductor package to be manufactured is large. The curl 32 is indented.

상측 몰드(30)과 하측 몰드(50)가 형합된 상태에서 용융된 몰딩 콤파운드는, 상측으로 이송하는 각각의 플런저(60)에 의하여 포트(52)에서 런너(33,56)를 통하여 체이스 블록(33,53)으로 이송되어 충진되게 된다.The molten molding compound melted in the state in which the upper mold 30 and the lower mold 50 are joined together through the runners 33 and 56 at the port 52 by the respective plungers 60 which are conveyed upward. 33, 53) to be filled.

따라서 이와 같은 구성의 반도체 플라스틱 몰딩장치는 런너에 잔류하는 공기를 최대한으로 감소시켜 몰딩 공정중에 공기가 몰딩 콤파운드의 흐름과 함께 각 체이스 블록의 캐비티로 유입되는 것을 방지하며, 센터블록에서 각 체이스 블록의 런너에 도달하는 시간이 같아지게 된다.Therefore, the semiconductor plastic molding device having such a configuration reduces the air remaining in the runner to the maximum, thereby preventing air from flowing into the cavity of each chase block along with the flow of the molding compound during the molding process. The time to reach the runner becomes the same.

그리고 몰딩 후 센터 블록에 남게 되는 몰딩 콤파운드의 잔류물도 런너의 길이와 넓이가 줄어들므로써 적어지게 되며, 컬 블록과 포트 블록이 마모될 경우에 해당되는 블록만 센터 블록으로부터 분리하여 교환해주게 된다.In addition, the residue of the molding compound remaining in the center block after molding is also reduced by reducing the length and width of the runner, and only the corresponding block is replaced from the center block when the curl block and the port block are worn out.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 상측 몰드와 하측 몰드로 이루어진 몰딩장치에 각 체이스 블록에 대응하는 다수개의 포트와 플런저 및 컬을 구비함으로써 센터블록의 런너에 잔존하는 공기가 몰딩 콤파운드와 함께 유입되는 것을 방지하여 보이드(void)나 블리스터(blister)와 같은 반도체 불량을 방지한다.As described above, the present invention has a plurality of ports corresponding to each chase block, a plunger and a curl in a molding device consisting of an upper mold and a lower mold so that the air remaining in the runner of the center block is introduced together with the molding compound. To prevent semiconductor defects such as voids and blisters.

그리고 몰딩 컴파운드가 흘러가는 런너의 정확한 밸런스 플로우 디자인(balance flow design)이 가능하므로 전체적으로 몰딩 콤파운드 경화 속도가 비슷하여 양질의 반도체 패키지를 얻을 수 있게 된다.In addition, the accurate balance flow design of the runner through which the molding compound flows is possible, and thus, the overall molding compound curing speed is similar, thereby obtaining a high quality semiconductor package.

몰딩 콤파운드의 장전시 포트의 내주면에 형성된 찌꺼기는 장전되는 몰딩 콤파운드의 하부에 위치하여 몰딩 작업 후 컬에 잔류하게 되므로, 전 작업시 형성된 몰딩 콤파운드의 찌꺼기가 런너 및 캐비티로 유입되어 반도체 불량이 되는 것을 방지하게 된다.When the molding compound is loaded, the residue formed on the inner circumferential surface of the pot is located at the lower part of the molding compound to be loaded and remains in the curl after molding, so that the residue of the molding compound formed during the previous work flows into the runner and the cavity and becomes a semiconductor defect. Will be prevented.

또한, 몰딩 후 센터블록에 남게되는 몰딩 콤파운드의 잔류물을 줄이게 되어 몰딩 콤파운드의 낭비를 방지하게 되며, 고온·고압의 몰딩 콤파운드가 흘러가는 통로인 런너가 마모될 경우에는 해당되는 컬 블록이나 포트 블록 또는 엔드키 블록만 따로 센터 블록으로부터 분리하여 교환할 수 있으므로 원가를 줄일 수 있는 효과가 있다.In addition, it reduces the residue of molding compound remaining in the center block after molding to prevent waste of molding compound, and when the runner, which is a passage through which high temperature and high pressure molding compound flows, wears a corresponding curl block or port block. Alternatively, the end key block can be separated and exchanged separately from the center block, thereby reducing the cost.

상술한 바와 같은 본 발명은 첨부 특허청구의 범위에 기재된 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 발명의 상세한 설명 및 도면을 통하여 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 수정 및 변경이 가능하다 할 것이다.The present invention as described above is capable of various modifications and changes by those skilled in the art through the detailed description and drawings of the invention within the scope without departing from the spirit and scope described in the appended claims. Will do.

Claims (13)

고정측인 상측 몰드 베이스의 하단에 설치된 상측 몰드와, 가동측인 하측 몰드 베이스의 상단에 설치되어 상기 상측 몰드와 형합될 때 캐비티를 형성하는 하측 몰드로 구성되어, 상기 상측 몰드와 상기 하측 몰드 중, 일측 몰드에 몰딩 콤파운드를 상기 캐비티로 안내하는 런너 및 그 런너로 몰딩 콤파운드를 분배하는 컬을 구비하고, 타측 몰드에 상기 컬에 몰딩 콤파운드가 주입되는 포트 및 상기 포트에 장전되는 몰딩 콤파운드를 가압하여 상기 컬을 통해 런너로 흘러보내는 플런저를 구비하는 반도체 플라스틱 몰딩장치에 있어서, 상기 포트와 상기 플런저 및 상기 컬은 서로 대응하는 다수개로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.An upper mold provided at a lower end of the upper mold base on the fixed side, and a lower mold provided on the upper end of the lower mold base on the movable side to form a cavity when being combined with the upper mold, wherein the upper mold and the lower mold And a runner for guiding the molding compound to the cavity in one mold and a curl for dispensing the molding compound with the runner, and pressing a molding compound into which the molding compound is injected into the curl and a molding compound loaded in the port. A semiconductor plastic molding apparatus having a plunger flowing through the curl to a runner, wherein the port, the plunger and the curl are formed in plural numbers corresponding to each other. 제1 항에 있어서, 상기 일측 몰드는 상기 컬을 양측으로 구비한 컬 블록, 상기 런너를 구비한 엔드키 블록, 상기 캐비티를 구비한 체이스 블록으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.The semiconductor plastic molding apparatus according to claim 1, wherein the one mold comprises a curl block having the curl at both sides, an end key block having the runner, and a chase block having the cavity. 제1 항에 있어서, 상기 타측 몰드는 상기 컬과 대응하는 상기 포트를 구비한 포트 블록, 상기 런너를 구비한 엔드키 블록, 상기 캐비티를 구비한 체이스 블록으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.2. The semiconductor plastic molding apparatus according to claim 1, wherein the other mold comprises a port block having the port corresponding to the curl, an end key block having the runner, and a chase block having the cavity. 제2 항 또는 제3 항에 있어서, 상기 일측 몰드의 엔드키 블록에는 위치핀이 돌출 형성되고 상기 타측 몰드의 엔드키 블록에는 상기 위치핀과 결합되는 위치홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.The semiconductor plastic molding of claim 2, wherein a location pin is protruded from an end key block of the one mold, and a location groove coupled to the location pin is formed in the end key block of the other mold. Device. 고정측인 상측 몰드 베이스의 하단에 설치된 상측 몰드와, 가동측인 하측 몰드 베이스의 상단에 설치되어 상기 상측 몰드와 형합될 때 캐비티를 형성하는 하측 몰드로 구성되어, 몰딩 콤파운드를 상기 캐비티로 안내하도록 상기 상측 몰드와 상기 하측 몰드가 접촉되는 부위에 형성된 런너, 상기 몰딩 콤파운드를 상기 런너로 분배하는 컬, 상기 컬에 몰딩 콤파운드를 주입하는 포트, 그 포트에 장전되는 몰딩 콤파운드를 가압하여 상기 컬을 통해 런너로 흘려보내는 플런저를 구비하는 반도체 플라스틱 몰딩장치에 있어서, 상기 포트와 상기 플런저는 상기 하측 몰드에 다수개로 구비되고, 상기 컬은 상기 포트 및 상기 플런저와 대응하게 상기 상측 몰드에 다수개로 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.An upper mold installed at the lower end of the upper mold base on the fixed side and a lower mold installed on the upper side of the lower mold base on the movable side to form a cavity when being combined with the upper mold to guide the molding compound to the cavity. A runner formed at a portion where the upper mold and the lower mold contact each other, a curl for dispensing the molding compound to the runner, a port for injecting molding compound into the curl, and a molding compound loaded in the port to pressurize the curler through the curl A semiconductor plastic molding apparatus having a plunger for flowing to a runner, wherein the port and the plunger are provided in a plurality of the lower mold, and the curl is provided in a plurality of the upper mold corresponding to the port and the plunger. Semiconductor plastic molding device characterized in that. 제5 항에 있어서, 상기 컬은 다수개의 컬 블록에 1개 이상씩 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.6. The apparatus of claim 5, wherein the curl is provided in at least one curl block. 제6 항에 있어서, 상기 컬 블록은 상측 센터 블록에 지지되어 상기 상측 몰드에 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.The apparatus of claim 6, wherein the curl block is supported by an upper center block and installed in the upper mold. 제5 항에 있어서, 상기 런너는 다수개의 엔트키 블록에 1개 이상씩 구비되는 되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.6. The semiconductor plastic molding apparatus according to claim 5, wherein one or more runners are provided in the plurality of enter key blocks. 제8 항에 있어서, 상기 상측 몰드의 엔드키 블록에는 위치핀이 돌출 형성되고, 상기 하측 몰드의 엔드키 블록에는 상기 위치핀과 결합되는 위치홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.The semiconductor plastic molding apparatus according to claim 8, wherein a location pin is protruded from an end key block of the upper mold, and a location groove is formed in the end key block of the lower mold. 제5 항에 있어서, 상기 포트는 다수개의 포트 블록에 1개 이상씩 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.6. The apparatus of claim 5, wherein at least one port is provided in the plurality of port blocks. 제10 항에 있어서, 상기 포트 블록은 하측 센터 블록에 지지되어 상기 하측 몰드에 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.The apparatus of claim 10, wherein the port block is supported by a lower center block and installed in the lower mold. 제5 항에 있어서, 상기 상측 몰드는 상기 컬을 구비한 컬 블록, 상기 런너를 구비한 엔드키 블록, 상기 캐비티를 구비한 체이스 블록으로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.6. The apparatus of claim 5, wherein the upper mold is comprised of a curl block with the curl, an end key block with the runner, and a chase block with the cavity. 제 5 항에 있어서, 상기 하측 몰드는 상기 컬과 대응하는 상기 포트를 구비한 센터 블록, 상기 런너를 구비한 엔드키 블록, 상기 캐비티를 구비한 체이스 블록으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 플라스틱 몰딩장치.6. The apparatus of claim 5, wherein the lower mold includes a center block having the port corresponding to the curl, an end key block having the runner, and a chase block having the cavity.
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