KR100211026B1 - 고주파 측정 오차 보정 방법 - Google Patents

고주파 측정 오차 보정 방법 Download PDF

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
고주파 측정의 오차를 보정하는 방법.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
일반적인 오차 보정방법으로 계산된 측정용 보조기구의 특성으로부터 보정기구의 특성 임피던스를 구하여 일단 계산되었던 측정용 보조기구의 특성을 재계산함으로써, 특성이 검증되지 않은 표준 보정기구를 사용하더라도 고주파 측정오차를 정확히 보정하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
측정용 보조기구를 두 개의 전송선(104,105)과 전송선 연결부위의 기생성분(106)으로 모델링 하고, 각 전송선의 전달특성을 이용하여 측정 기준점을 이동함으로써 2 단자가 서로 만나게 하였을 경우의 반사계수 치이로부터 측정용 보조기구의 특성 추출에 사용된 표준 보정기구의 특성 임피던스를 계산하는 단계로 이루어짐.
4. 발명의 중요한 용도
측정장치에 이용됨.

Description

고주파 측정오차 보정 방법{Method for correcting high freouency detection error}
본 발명은 고주파 측정오차 보정 방법에 관한 것으로서, 특히 측정물의 고주파 특성을 측정하여 측정에 대한 오차를 보정하기 위한 고주파 측정오차 보정 방법에 관한 것이다.
종래에는 측정물의 고주파 특성을 측정하기 위하여 측정물의 구조에 맞게 제작된 측정용 보조기구와 측정용 보조기구의 구조에 맞게 제작된 몇 가지 표준 보정기구의 특성을 측정하여 측정용 보조기구의 특성을 계산하고, 측정용 보조기구를 이용하여 측정한 측정물의 특성으로부터 이미 계산된 측정용 보조기구의 영향을 제거하므로써, 측정물만의 특성을 계산하는 방법이 주로 사용되었다.
이와 같은, 종래의 고주파 측정오차 보상 방법은 측정물의 특성이 검증된 표준 보정기구를 사용하여야만 측정용 보조기구의 특성을 정확히 계산할 수 있고 따라서 측정물의 특성을 정확히 계산할 수 있다.
그리고, 종래의 고주파 측정오차 보정 방법을 이용하여 측정용 보조기구의 특성을 계산하는 경우에, 측정 시스템과 연결되는 단자는 측정 시스템의 기준 임피던스로 정규화되지만 측정물이 연결되는 단자는 사용된 표준 보정기구의 특성 임피던스로 정규화된다.
이에 따라, 표준 보정기구의 특성 임피던스가 측정시스템의 기준 임피던스와 같아야만 정확한 보정이 가능하며 표준 보정기구의 특성 임피던스가 측정 시스템의 기준 임피던스와 다른 경우에도 표준 보정기구의 특성 임피던스를 정확이 알아야 만 보정이 가능하였다.
즉, 종래의 고주파 측정 방법의 경우, 검증된 표준 보정기구를 사용하여야만 오차보정이 가능하였으며, 필요에 따라 만들어진 표준 보정기구를 사용하는 경우에는 그 특성을 예측하여 사용하였으므로 그에 따른 측정의 오차가 발생되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 일반적인 오차 보정 방법으로 계산된 측정용 보조기구의 특성으로부터 보정기구의 특성 임피던스를 구하여 일단 계산되었던 측정용 보조기구의 특성을 재계산하므로써, 특성이 검증되지 않은 표준 보정기구를 사용하더라도 고주파 측정오차를 정확히 보정할 수 있는 고주파 측정오차 보정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1A는 본 발명에 적용되는 고주파 측정용 보조기구의 일실시 예시도.
도 1B는 도 1A의 고주파 측정용 보조기구의 등가 구성도.
도 2는 본 발명에 적용되는 측정용 보조기구에서 측정물과 연결되는 측의 보조연결부에 의한 영향을 제거하여 나타낸 등가 구성도.
도 3은 본 발명에 적용되는 측정용 보조기구에서 측정물과 연결되는 측의 보조연결부와 커넥터에 의한 영향을 제거하여 나타낸 등가 구성도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
101 : 고주파 측정용 보조기구 102 : 커넥터
103 : 보조연결부 104, 105, 201 : 전송선
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 측정물의 고주파 특성을 측정하여 측정오차를 보정하는 고주파 측정오차 보정 방법에 있어서, 고주파용 커넥터와 유전체 기판위에 제작된 제 1 전송선으로 구성된 고주파 측정용 보조기구에 의한 영향을 보정하기 위하여, 상기 고주파용 커넥터 부분은 소정의 특성 임피던스를 갖는 제 2 전송선으로 모델링하며, 상기 제 1 전송선은 소정의 길이를 갖는 제 3 전송선으로 모델링하며, 모델링한 접합부에는 특성을 모르는 기생성분이 병렬로 연결되도록 모델링하는 제 1 단계; 및 미리 계산된 측정용 보조기구의 특성으로부터 상기 고주파용 커넥터와 상기 제 1 전송선에 의한 영향을 제거한 후, 상기 커넥터쪽의 단자와 상기 제 1 전송선쪽 단자의 특성차이를 이용하여 상기 제 1 전송선의 특성 임피던스를 계산하고, 상기 제 1 전송선의 특성 임피던스 계산값을 이용해 상기 측정용 보조기구의 특성을 다시 계산하여 계산한 값에 따라 상기 측정용 보조기구의 특성을 보정하는 제 2 단계를 포함한다.
그리고, 본 발명에 대한 특징을 살펴보면, 측정물이 연결될 쪽의 전송선의 특성은 기존의 방법에서도 알 수 있으며 측정시스템이 연결될 쪽 전송선의 특성은 본 발명에서 설명하는 바와 같이 전송선의 일반적인 특성을 이용하여 찾을수 있다.
이와 같은 과정을 통해 표준 보정기구의 특성임피던스를 구하면 일단 계산되었던 측정용 보조기구의 특성을 재계산하여 정확한 값을 알 수 있다.
결국, 본 발명은 측정용 보조기구를 두 개의 전송선과 전송선 연결부위의 기생성분으로 모델링 하고, 각 전송선의 전달특성을 이용하여 측정 기준점을 이동함으로써 각 전송선의 효과를 제거하고 두 단자가 서로 만나게 하였을 경우의 반사계수 차이로부터 측정용 보조기구의 특성 추출에 사용된 표준 보정기구의 특성 임피던스를 계산하는 것으로 이루어진다.
전술한 바와 같은 본 발명의 고주파 측정오차 보정 방법을 통해 계산된 표준 보정기구의 특성 임피던스를 이용하면 검증되지 않은 표준 보정기구를 사용하였다 하더라도 측정용 보정기구의 특성을 정확히 보정할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.
도 1A는 본 발명에 적용되는 고주파 측정용 보조기구의 일실시 예시도이다.
도 1B는 도 1A의 고주파 측정용 보조기구의 전기적인 등가 구성도이다.
도 1A 및 도 1B에 도시된 도면 부호에 대하여 살펴보면, 도면 부호 101, 102, 103, 104, 105 및 106은 각각, 고주파 측정용 보조기구, 측정기와 연결될 수 있는 형태의 커넥터, 측정물의 단자에 연결될 수 있는 형태의 보조연결부, 커넥터 부분을 모델링한 전송선, 보조연결부를 모델링한 전송선 및 커넥터와 보조연결부가 접합되는 부위에 존재하는 기생성분을 나타낸다.
도 1A 및 도 1B를 참조하면, 측정 시스템과 연결되는 쪽에는 측정시스템의 커넥터 형태에 따라 결정되는 커넥터(102)가 있고, 이것은 전기적 위상각이 θ_1인 전송선(104)으로 모델링할 수 있다.
또한, 측정물과 연결되는 쪽에는 측정물의 구조에 맞는 형태의 보조연결부(102)가 있으며, 전기적 위상각이 θ_2인 전송선(105)으로 모델링할 수 있으며, 그리고 각 전송선의 연결부위에는 기생성분(106)이 존재한다.
종래의 고주파 측정오차 보정방법을 사용하면 측정용 보조기구의 산란계수와 측정물 쪽의 전송선(105)에 대한 위상각 θ_2를 계산할 수 있다. 이렇게, 계산된 결과와 다음 [수학식 1]을 이용하면 측정 기준점을 이동하여 도 2와 같이 측정 시스템 쪽의 커넥터 부분(201)과 기생성분(202)만을 포함하는 회로에 대한 산란계수(S_{fij} )를 구할 수 있다.
여기서, Soij 및 θ_2는 일반적인 고주파 측정오차 보정 방법을 이용하여 계산된 측정용 보조기구의 산란계수 및 측정물이 연결될 쪽 전송선의 위상각이다.
그리고, 다음 [수학식 2]를 이용하면 측정시스템 쪽의 전송선(201)에 대한 전기적 위상각 θ_1을 계산할 수 있으며, 다음 [수학식 3]을 이용하여 도 3에서와 같이 기생성분(301)만으로 이루어진 회로의 산란계수를 구할 수 있다.
도 3에서와 같은 회로에서 측정물이 연결될 단자의 기준 임피던스(Z_L)는 다음 [수학식 4]를 이용하여 계산할 수 있다.
여기서, Z_S는 측정 시스템의 기준 임피던스이다.
측정물이 연결될 단자의 기준 임피던스를 이용하면 일반적인 고주파 측정오차 보정 방법으로 구한 측정용 보조기구의 산란계수를 양 단자 모두 측정 시스템의 기준 임피던스로 정규화된 산란계수로 변환할 수 있다.
도 2는 본 발명에 적용되는 측정용 보조기구에서 측정물과 연결되는 측의 보조연결부에 의한 영향을 제거하여 나타낸 등가 구성도로서, 도시된 도면 부호 201 및 202는 각각 커넥터 부분을 모델링한 전송선과 커넥터와 보조연결부가 접합되는 부위에 존재하는 기생성분을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명에 적용되는 측정용 보조기구에서 측정물과 연결되는 측의 보조연결부와 커넥터에 의한 영향을 제거하여 나타낸 등가 구성도로서, 도면에서의 도면 부호 301은 커넥터와 보조연결부가 접합되는 부위에 존재하는 기생성분이다.
이상에서 설명한 본 발명은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로, 전술한 실시예 및 도면에 한정되는 것이 아니다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은, 검증되지 않은 표준 보정기구를 이용하여 측정물의 고주파 특성을 측정하고 이에 대한 오차를 보정할 수 있어 측정물의 형태에 따라 결정되는 보조기구의 종류마다 손쉽게 보정기구를 만들어 사용할 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. (정정)
    측정물의 고주파 특성을 측정하여 측정오차를 보정하는 고주파 측정오차 보정 방법에 있어서,
    고주파용 커넥터와 유전체 기판위에 제작된 제 1 전송선으로 구성된 고주파 측정용 보조기구에 의한 영향을 보정하기 위하여, 상기 고주파용 커넥터 부분은 소정의 특성 임피던스를 갖는 제 2 전송선으로 모델링하며, 상기 제 1 전송선은 소정의 길이를 갖는 제 3 전송선으로 모델링하며, 모델링한 접합부에는 특성을 모르는 기생성분이 병렬로 연결되도록 모델링하는 제 1 단계; 및
    미리 계산된 측정용 보조기구의 특성으로부터 상기 고주파용 커넥터와 상기 제 1 전송선에 의한 영향을 제거한 후, 상기 커넥터쪽의 단자와 상기 제 1 전송선쪽 단자의 특성차이를 이용하여 상기 제 1 전송선의 특성 임피던스를 계산하고, 상기 제 1 전송선의 특성 임피던스 계산값을 이용해 상기 측정용 보조기구의 특성을 다시 계산하여 계산한 값에 따라 상기 측정용 보조기구의 특성을 보정하는 제 2 단계
    를 포함하여 이루어진 고주파 측정오차 보정 방법.
  2. (정정)
    제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 단계에서,
    상기 제 1 및 제 3 전송선의 영향을 제거하고 상기 제 1 및 제 3 전송선쪽 단자를 단락하여 상기 기생성분의 영향을 제거한 상태에서의 특성을 끝이 단락된 전송선의 특성과 비교하여 전기적 위상각을 계산하는 것을 특징으로 하는 고주파 측정오차 보정 방법.
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