KR100203329B1 - 포토센서를 이용한 기판의 틀어짐 보정방법 및 그 장치 - Google Patents

포토센서를 이용한 기판의 틀어짐 보정방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 포토센서를 이용하여 기판상의 기준위치를 X, Y테이블에 의해 스케닝하여 PCB의 위치를 검출하여 틀어짐 양을 보상함으로써, 기판의 틀어짐 보정 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 칩마운터에서 기판의 틀어짐을 보정하는 방법은 포토센서를 이용하여, 칩마운터로 삽입되는 기판의 기준점의 좌표값을 구하는 단계; 상기 기준점의 좌표값을 이용하여, 중심점을 구하는 단계; 상기 기준점 간의 각도를 구하는 단계; 상기 중심점 및 상기 각도와, 기 설정된 기준점에 대한 중심점 및 각도를 각각 비교하여, 그 편차만큼을 보상하는 단계를 포함한다.
따라서, 상술한 바와 같이 본 발명에 따른 기판의 틀어짐 보정 방법 및 그 장치는 칩마운터에서 기판의 틀어짐을 보정하는 방법이 간단하고 효과적이다.

Description

포토센서를 이용한 기판의 틀어짐 보정 방법 및 그 장치
제1도는 본 발명에 따른 구성 블록도이다.
제2도는 PCB의 틀어짐 예를 나타낸 도면이다.
제3도는 본 발명을 실현하기 위한 흐름도이다.
본 발명은 기판의 틀어짐을 보정하는 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 포토센서를 이용하여 기판상의 기준위치를 X, Y테이블에 의해 스캐닝하여 PCB의 위치를 검출하여 틀어짐 양을 보상함으로써, 기판의 틀어짐 보정방법 및 그 장치에 관한 것이다.
기판 틀어짐 보정용인 2점 1조의 기준 마크에 관한 정보를 관리하는 기준점(Fiducial mark)은 기판 전체 단위의 보정만을 하도록 되어 있다. 이 기판 단위의 기준마크 체크에는 빔 센서와 비젼 시스템이 사용된다.
칩마운터에서 기판의 틀어짐을 보상하기 위한 종래의 기준점을 체크하는 방법은 비젼 카메라를 통해 읽어들인 비젼 데이터를 이용한다. 이 비젼 데이터의 기준값과 읽은 비젼 데이터와의 값을 비교하여 보정하는 방법을 사용하는데, 이 방법은 처리속도가 빠르고 정확하지만 장비의 가격이 고가이기 때문에 구현하는데 어려움이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 포토센서를 이용하여 기판의 틀어짐을 보정하는 방법 및 그 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하는 본 발명에 따른 접마운터에서 기판의 틀어짐을 보정하는 방법은
포토센서를 이용하여, 칩마운터로 삽입되는 기판의 기준점의 좌표값을 구하는 단계;
상기 기준점의 좌표값을 이용하여, 중심점을 구하는 단계;
상기 기준점 간의 각도를 구하는 단계;
상기 중심점 및 상기 각도와, 기 설정된 기준점에 대한 중심점 및 각도를 각각 비교하여, 그 편차만큼을 보상하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
상기의 다른 목적으로 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판의 틀어짐 보상장치는
적외선 빔을 투사하여 현재 기판의 위치를 체크하는 광센서;
상기 광센서로부터 읽어들인 기판의 기준 마크와 프로그램밍된 기준점 좌표값을 비교하고, 그 차이만큼을 보정하는 중앙처리장치부를 포함하는 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다.
도1은 본 발명에 따른 구성 블록도로서, 적외선 빔을 투사하여 현재 기판의 위치를 테크하는 광센서(10), 광센서(10)로부터 읽어들인 기판의 기준 마크와 프로그램밍된 기준점 좌표값을 비교하여 그 차이만큼을 보정하는 중앙처리장치부(20)로 구성된다.
도2는 PCB의 틀어짐 예를 나타낸 도면이다.
도2에 도시된 A점과 B점은 프로그램되어 있는 기판의 기준점이고, A'점과 B'점은 실제로 칩마운터에 삽입된 기판의 기준점을 나타낸다.
여기서, 프로그램된 기준점 중에 A점의 좌표값을 (a1,b1), B점의 좌표값을 (a2,b2)이라 하고, 칩마운터에 삽입된 기판의 기준점 중 A'점의 좌표값을 (x1,y1)이라 하고, B점의 좌표값을 (x2,y2)이라고 설정한다.
이제, 프로그램 상에 설정된 기준점의 좌표값과 실제 기판의 기준점 간의 편차를 구하기 위해, 먼저 스캐닝을 통해 칩마운터에 삽입된 기판의 두 기준점 좌표를 이용해 중점을 구하면 다음과 같다.
프로그램 상의 기준점 간의 중점은 식(1)과 같고,
실제 기판상의 기준점 간의 중점은 식(2)와 같다.
따라서, 식(1)과 식(2)로부터 구해진 중점을 다시 표현하면 다음과 같다.
또한 도2에 도시된 바와 같이, 프로그램 및 실제 기판상의 기준점 간의 각도 1와 1는 다음과 같다.
이상과 같은 식(3), 식(4), 식(5), 식(6)에 의해 프로그램 상의 기준점과 실제 칩마운터에 삽입된 기판의 두 기준점을 이용하여, 그 편차(δx, δy)와 각도차(θ' - θ)를 구하여, 상기 편차 및 각도차만큼을 보상함으로써, 프로그램 상의 기준점과 실제 기판과의 편차를 보정하여 부품을 장착하게 된다.
도3은 본 발명을 실현하기 위한 흐름도이다.
포토센서를 이용하여 칩마운터로 삽입된 기판의 기준점의 좌표값을 구한다.(30단계) 여기서, 상기 기준점은 대각선방향으로 형성된다.
상기 좌표값을 이용하여, 중심점을 구한다.(32단계)
상기 기준점간의 각도를 구한다.(34단계)
상기 32단계 및 34단계로부터 구해진 중점 및 각도와, 기 설정된 기준 중심점 및 각도를 비교하여, 그 편차만큼을 보상한다.(36단계)
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 기판의 틀어짐 보정 방법 및 그 장치은 칩마운터에서 기판의 틀어짐을 보정하는 방법이 간단하고 효과적이다.

Claims (2)

  1. 칩마운터에서 기판의 틀어짐을 보정하는 방법에 있어서, 포토센서를 이용하여, 칩마운터로 삽입되는 기판의 기준점의 좌표값을 구하는 단계; 상기 기준점의 좌표값을 이용하여, 중심점을 구하는 단계; 상기 기준점 간의 각도를 구하는 단계; 상기 중심점 및 상기 각도와, 기 설정된 기준점에 대한 중심점 및 각도를 각각 비교하여, 그 편차만큼을 보상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 틀어짐 보상 방법.
  2. 기판의 틀어짐 보상장치에 있어서, 적외선 빔을 투사하여 현재 기판의 위치를 체크하는 광센서; 상기 광센서로부터 읽어들인 기판의 기준 마크와 프로그램밍된 기준점 좌표값을 비교하고, 그 차이만큼을 보정하는 중앙처리장치부를 포함하는 것으로 특징으로 하는 기판의 틀어짐 보상장치.
KR1019960011456A 1996-04-16 1996-04-16 포토센서를 이용한 기판의 틀어짐 보정방법 및 그 장치 KR100203329B1 (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US10757331B2 (en) 2018-06-11 2020-08-25 Semes Co., Ltd. Camera posture estimation method and substrate processing apparatus

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