KR0167266B1 - 에지 노광장비의 수평보정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 에지 노광장비(EDGE EXPOSURE SYSTEM)의 수평보정장치에 관한 것으로, 종래에는 웨이퍼가 회전시 웨이퍼의 상면과 램프의 빔출구 사이의 간격이 일정치 않아 노광된 부분의 치수가 일정치 않은 어큐레시(ACCURACY) 불량이 발생하고, 노광이 된 부분과 안된 부분의 경계인 그레이 죤(GREY ZONE)이 커지는 문제점이 있었던 바, 본 발명은 웨이퍼(W)의 수평상태를 감지하기 위한 수평감지수단(13)과, 상기 수평감지수단(13)에서 감지된 수평정도를 비교하여 동작신호를 보내기 위한 전송수단(14)과, 상기 전송수단(14)에서 보내진 동작신호에 의해 웨이퍼(W)의 수평을 조절하도록 구성되어 에지 노광을 실시하기 전에 웨이퍼(W)의 수평을 보정함으로써, 에지 노광공정 진행시 노광되는 부분의 치수가 정확치 않은 어큐레시(ACCURACY) 불량을 방지하고, 노광이 된 부분과 안된 부분의 경계인 그레이 죤(GREY ZONE)의 크기를 최소화하는 효과가 있다.

Description

에지 노광장비의 수평보정장치

제1도는 종래 에지 노광장비의 구성을 보인 개략구성도.

제2도는 본 발명 수평보정장치가 설치된 에지 노광장비의 구성을 보인 개략구성도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 모터 11 : 웨이퍼 척

13 : 수평감지수단 14 : 전송수단

16 : 레이저 발광부 17 : 레이저 수광부

18 : 비교계 19 : 모터 구동계

20 : 플레이트 21 : 지지대

22 : 상, 하 이동수단 23 : 탄성부재

24 : 안내부재 25 : 리드 스크류

26 : 모터 W : 웨이퍼

본 발명은 에지 노광장비(EDGE EXPOSURE SYSTEM)의 수평보정장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼를 회전시키며 웨이퍼의 에지(EDGE) 부분을 노광시 웨이퍼의 수평을 유지 또는 보정할 수 있도록 하는데 적합한 에지 노광장비의 수평보정장치에 관한 것이다.

웨이퍼 제조공정 중 노광(EXPOSURE)공정에서는 웨이퍼에 감광막(PHOTO RESIST)을 도포하고 노광(EXPOSURE)을 실시하게 되는데, 이와 같이 노광을 실시하기 위해서는 노광시 클램프가 설치되는 웨이퍼의 에지(EDGE) 부분의 감광막을 제거하는 에지 노광공정이 선행되어야 한다.

이와 같이 웨이퍼에 도포된 감광막 중 에지 부분의 감광막을 제거하는 이유는 노광을 실시하기 위하여 클램프로 웨이퍼의 에지 부분을 클램핑시 클램핑되는 부분의 감광막이 떨어져 이물질이 되어 웨이퍼에 떨어질 우려가 있기 때문이다.

상기와 같이 웨이퍼의 에지 노광공정을 진행하기 위한 에지 노광장비를 제1도에 도시하였는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.

제1도는 종래 에지 노광장비의 구성을 보인 개략구성도로서, 도시된 바와 같이, 모터(1)의 상부에는 노광시 웨이퍼(W)를 설치하기 위한 웨이퍼 척(2)이 설치되어 있고, 그 웨이퍼 척(2)의 일측에는 빔출구(3a)가 구비된 램프(3)가 별도로 설치되어 있다.

이와 같이 구성된 에지 노광장비를 이용하여 웨이퍼의 에지 부분을 노광하는 동작을 제1도를 참조하여 간단히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 에지 부분을 노광할 웨이퍼(W)를 웨이퍼 척(2)의 상면에 올려 놓는다.

그런 다음, 모터(1)를 회전시키고, 모터(1)가 회전하게 되면 웨이퍼 척(2)이 회전하게 되어 웨이퍼 척(2)의 상면에 설치된 웨이퍼(W)를 일정한 속도로 회전시킨다.

상기와 같이 일정한 속도로 웨이퍼(W)가 회전을 하면 램프(3)의 빔출구(3a)를 노광할 웨이퍼(W)의 에지 부분에 웨이퍼(W)의 상면과 일정한 간격을 유지한 상태로 설치하여 노광하기 위한 광원(光源)을 비춰준다. 이와 같이 광원이 웨이퍼(W)의 상면에 비춰지면 광원이 비춰진 부분의 감광막이 제거되는 것이다.

그러나, 상기와 같은 에지 노광공정에서 웨이퍼(W)가 회전시 웨이퍼(W)의 상면과 빔출구(3a) 사이의 간격이 일정하지 못하여 정확하게 감광막을 제거하지 못함으로써 어큐레시(ACCURACY) 불량이 발생하고, 노광된 부분과 노광이 안된 부분의 경계인 그레이 죤(GREY ZONE)이 크게 발생되는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은 에지 노광을 실시하기 위하여 웨이퍼 회전시 웨이퍼의 상면과 램프의 빔출구 사이의 간격이 일정하게 유지되어 불량이 발생하는 것을 방지하도록 하는데 적합한 에지 노광장비의 수평보정장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 웨이퍼 척의 상면에 웨이퍼를 얹어 놓고, 모터로 웨이퍼 척을 회전시키는 상태에서 웨이퍼의 에지 부분을 노광할 수 있도록 되어 있는 에지 노광장비에 있어서, 상기 웨이퍼에 빛을 주사하여 웨이퍼의 수평상태를 감지하기 위한 수평감지수단과, 상기 수평감지수단에서 감지된 수평정도를 비교하여 동작신호를 보내기 위한 전송수단과, 상기 모터의 하부에 설치되는 플레이트와, 그 플레이트의 하부 중앙에 설치되어 플레이트를 지지하기 위한 지지대와, 상기 플레이트의 일측 하부에 설치되고 상기 모터 구동계에 연결되어 모터 구동계의 동작신호에 따라 플레이트의 수평을 조절하기 위한 상, 하 이동수단과, 상기 플레이트의 타측에 설치되어 플레이트를 탄력고정하는 탄성부재를 구비하여서 구성된 것을 특징으로 하는 에지 노광장비의 수평보정장치가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되어 있는 본 발명 에지 노광장비의 수평보정장치를 첨부된 도면의 실시예에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

제2도는 본 발명 수평보정장치가 설치된 에지 노광장비의 구성을 보인 개략구성도로서, 도시된 바와 같이, 본 발명은 모터(10)의 상부에 설치되는 웨이퍼 척(11)에는 에지 부분을 노광하기 위한 웨이퍼(W)가 설치되어 있고, 상기 웨이퍼 척(11)의 일측에는 빛을 웨이퍼(W)의 에지 부분에 비추기 위한 빔출구(12a)가 구비된 램프(12)가 설치되어 있다.

그리고, 상기 웨이퍼(W)의 하부에는 웨이퍼(W)의 수평정도를 감지하기 위한 수평감지수단(13)이 설치되어 있고, 그 수평감지수단(13)에 연결되어 수평감지수단(13)에서 감지된 수평정도를 비교하여 동작신호를 보내기 위한 전송수단(14)이 설치되어 있으며, 상기 모터(10)의 하부에 설치되는 플레이트(20)와, 그 플레이트(20)의 하부 중앙에 설치되어 플레이트(20)를 지지하기 위한 지지대(21)와, 상기 플레이트(20)의 일측 하부에 설치되고 상기 모터 구동계(19)에 연결되어 모터 구동계(19)의 동작신호에 따라 플레이트(20)의 수평을 조절하기 위한 상, 하 이동수단(22)과, 상기 플레이트(20)의 하부 타측에 설치되어 플레이트(20)를 탄력고정하는 스프링등의 안내부재(23)로 구성되어 있다.

상기 수평감지수단(13)은 웨이퍼(W)의 하부에 설치되며 웨이퍼(W)에 레이저를 발광하기 위한 레이저 발광부(16)와, 그 레이저 발광부(16)에서 발광되는 레이저가 웨이퍼(W)의 하면에서 반사될시 그 반사되는 레이저를 소정의 각도로 수광하기 위한 레이저 수광부(17)로 구성되어 있다.

그리고, 상기 전송수단(14)은 상기 레이저 수광부(17)에 연결되어 레이저 수광부(17)에서 수광된 레이저를 기준값과 비교하기 위한 비교계(18)와, 그 비교계(18)에서 비교된 값을 참고하여 동작신호를 보내기 위한 모터 구동계(19)로 구성되어 있다.

상기 상, 하 이동수단(22)은 상기 플레이트(20)의 하면에 고정설치되며 내측에 암나사부가 구비된 안내부재(24)와, 그 안내부재(24)의 내측에 나사결합되어 플레이트(20)를 상하로 이동시키기 위한 리드 스크류(25)와, 상기 리드 스크류(25)를 회전시키기 위한 모터(26)로 구성되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 에지 노광장비의 수평보정장치를 이용하여 웨이퍼의 수평을 조절하는 동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 웨이퍼(W)를 웨이퍼 척(11)의 상면에 올려 놓는다. 그런 다음 모터(10)를 회전시켜서 웨이퍼 척(11)의 상면에 설치되어 있는 웨이퍼(W)가 소정의 속도로 회전할 수 있도록 한다.

상기와 같이 웨이퍼(W)가 회전을 하면 그 웨이퍼(W)의 하부에 설치되어 있는 레이저 발광부(16)에서 레이저를 발광하고, 그 발광되는 레이저가 웨이퍼(W)의 하면에서 반사되면 소정의 각도로 수광할 수 있도록 설치되어 있는 레이저 수광부(17)에서 수광을 하여 웨이퍼(W)의 편차량을 감지한다.

상기와 같이 웨이퍼(W)의 편차량이 감지되면 그 편차량을 비교계(18)로 보내고, 그 비교계(18)에서는 편차량과 기준값을 비교하여 보정값을 모터 구동계(19)로 보낸다. 이와 같이 보정값이 모터 구동계(19)에 전해지면 모터 구동계(19)에서는 정해진 펄스(PULSE)를 모터(24)에 전달한다. 그리고, 모터(24)가 펄스량만큼 리드 스크류(23)을 회전시키면 그 리드 스크류(23)에 나사결합되어 있는 안내부재(23)을 상방향 또는 하방향으로 이동시키게 된다. 이와 같이 안내부재(23)가 이동시키게 된다. 이와 같이 안내부재(23)가 상방향 또는 하방향으로 이동을 하면 그 안내부재(23)와 결합되어 있는 플레이트(20)의 일측을 상방향 또는 하방향으로 이동시키게 되고, 그 플레이트(20)의 상면에 설치되어 있고, 웨이퍼(W)를 회전시키는 모터(10)의 수평상태를 보정하게 되어 결국은 모터(10)의 상부에 설치된 웨이퍼 척(11)에 얹어 있는 웨이퍼(W)의 수평상태를 보정하게 되는 것이다.

상기와 같이 웨이퍼(W)의 수평보정이 완료되면 모터(10)의 구동에 의해 웨이퍼(W)가 일정한 속도로 회전을 하고, 램프(12)에서는 빔출구(12a)를 통하여 광원을 웨이퍼(W)의 에지 부분에 비추게 되어 웨이퍼(W)의 에지 부분에 도포되어 있는 감광욕을 제거하는 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명 에지 노광장비의 수평보정장치는 웨이퍼의 수평상태를 감지하기 위한 수평감지수단과, 상기 수평감지수단에서 감지된 수평정도를 비교하여 동작신호를 보내기 위한 전송수단과, 상기 전송수단에서 보내진 동작신호에 의해 웨이퍼의 수평을 조절하기 위한 수단으로 구성되어 에지 노광을 실시하기 전에 웨이퍼의 수평을 보정함으로써, 에지 노광공정 진행시 노광되는 부분의 치수가 정확치 않은 어큐레시(ACCURACY) 불량을 방지하고, 노광이 된 부분과 안된 부분의 경계인 그레이 죤(GREY ZONE)의 크기를 최소화하는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 웨이퍼 척의 상면에 웨이퍼를 얹어 놓고, 모터로 웨이퍼 척을 회전시키는 상태에서 웨이퍼의 에지 부분을 노광할 수 있도록 되어 있는 에지 노광장비에 있어서, 상기 웨이퍼에 빛을 주사하여 웨이퍼의 수평상태를 감지하기 위한 수평감지수단과, 상기 수평감지수단에서 감지된 수평정도를 비교하여 동작신호를 보내기 위한 전송수단과, 상기 모터의 하부에 설치되는 플레이트와, 그 플레이트의 하부 중앙에 설치되어 플레이트를 지지하기 위한 지지대와, 상기 플레이트의 일측 하부에 설치되고 상기 모터 구동계에 연결되어 모터 구동계의 동작신호에 따라 플레이트의 수평을 조절하기 위한 상, 하 이동수단과, 상기 플레이트의 타측에 설치되어 플레이트를 탄력고정하는 탄성부재를 구비하여서 구성된 것을 특징으로 하는 에지 노광장비의 수평보정장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 수평감지수단은 상기 웨이퍼의 하부에 설치되며 웨이퍼에 레이저를 발광하기 위한 레이저 발광부와, 그 레이저 발광부에서 발광되는 레이저가 웨이퍼의 하면에서 반사될시 그 반사되는 레이저를 소정의 각도로 수광하기 위한 레이저 수광부로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광장비의 수평보정장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 전송수단은 상기 레이저 수광부에 연결되어 레이저 수광부에서 수광된 레이저를 기준값과 비교하기 위한 비교계와, 그 비교계에서 비교된 값을 참고하여 동작신호를 보내기 위한 모터 구동계로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 수평보정장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 상, 하 이동수단은 상기 플레이트의 하면에 고정설치되며 내측에 암나사부가 구비된 안내부재와, 그 안내부재의 내측에 나사결합되어 플레이트를 상, 하로 이동시키기 위한 리드 스크류와, 상기 리드 스크류를 회전시키기 위한 모터로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광장비의 수평보정장치.