KR0165867B1 - 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법 - Google Patents

백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과, RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극에 하부절연층을 형성하는 공정과, 상기 하부절연층 상에 발광층을 형성하는 공정과, 상기 발광층 상에 상기 하부절연층과 동일한 스퍼터링법으로 상부절연층을 형성하는 공정과, 상기 상부절연층 상에 발광소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층을 형성하는 공정과, 상기 완충층 상에 열증착법으로 알루미늄 전극을 증착하는 공정을 통하여 희토류 원소인 Pr을 발광중심으로 한 EL 소자를 제공함으로써 빛의 삼원색인 적, 청, 녹색파장의 발광스펙트럼을 모두 갖는 백색 형광박막이 적층되어 형성된 우수한 색순도를 갖는 백색 발광 EL 평판 표시소자를 구현하도록 한 것이다.

Description

백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법
제1도는 일반적인 전계발광소자의 구조를 개략적으로 도시한 것으로,
(a)도 및 (aa)도는 MI형 전계발광소자의 구조도.
(b)도는 MS형 전계발광소자의 구조도.
(c)도는 MIS형 전계발광소자의 구조도.
제2도는 본 발명에 의한 백색발광용 전계발광소자의 구조도.
제3도는 본 발명에 의한 백색발광용 전계발광소자의 외부 인가전압에 따른 발광 휘도특성을 보인 그래프.
제4도는 본 발명에 의한 백색발광용 전계발광소자의 발광스펙트럼의 분포특성을 보인 그래프.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 유리기판 20 : 투명전극
30 : 하부절연층 40 : 발광층
50 : 상부절연층 60 : 완충층
70 : 알루미늄 전극
본 발명은 전계발광표시소자(Eletroluminescent Display:이하 ELD라 칭함)에 관한 것으로, 특히 희토류 원소인 Pr을 발광중심으로 사용한 EL 소자를 제공하여 단일물질 내에서 빛의 삼원색인 적, 청, 녹색 파장의 빛을 방출하도록 한 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
대면적 스트린에 고화질을 재현하기 위한 HDTV 개념의 등장으로 정보표시화면의 해상도가 뛰어나고 풀-칼라(full-color)화가 가능한 소형, 경량, 박형의 평판표시장치(flat panel display device)에 대한 연구가 전세계적으로 매우 활발하게 이루어지고 있다.
이와 같은 평판표시장치 중에서도 ELD는 소자 구조상 유일하게 고체 상태의 소자로서, 지동이나 충격, 온동의 변화가 심한 특수한 환경에서도 안정적으로 동작이 가능한 매우 우수한 화질의 평판표시소자 중의 하나로 현재 미국, 일본, 필란드 등에서 최대 화면크기가 18인치에 이르는 황등색발광 ELD까지 생산되고 있다.
이러한 ELD는 형광층을 2장의 전극 사이에 끼워 교류전압을 가하였을 때 발광하는 것을 발견하여 명명된 것으로, 이르 구조적으로 대별하면 이른바 진성 EL이라 일컬어지는 절연층에 의한 MI형 EL과, 반도체에 의한 MS형 EL, MIS형 EL 및, PN접합형 EL으로 구분할 수 있다. 이때 M은 도전층으로서의 금속, I는 절연층, S는 반도체이다.
상기한 바와 같이 구분되는 개략적인 EL의 구조를 제1도를 참조하여 설명한다.
제1도 (a)에 도시된 MI형 EL은 금속-절연층(metal-insulator)에 의한 것으로, 특별히 처리된 분말 형광체를 절연체(I)에 속에 분산시키고, 이것을 전극(M) 사이에 끼워서 전압을 가하도록 되어 있다.(보통 10kV/㎝정도의 교류를 가함)
발광작용은 형광체 분말 표면의 전도성 부분과 절연체의 경사면에 생긴 고전계로 가속된 자유전자가 형광체의 발광중심에 충돌하여 전자를 여기시키고, 여기된 전자가 재결합함으로써 일어난다.
제1도의 (aa)도는 (a)도의 형광체로서, ZnS에 Cu, Mn을 첨가한 예를 도시한 것으로, 유리기판(1)에 SnO2로 이루어진 투명전극(2)이 형성되어 있고, 상기 투명전극(2)에는 발광층(ZnS:Cu,Mn)(3)이 형성되어 있으며, 상기 발광층(3)에는 알루미늄 금속전극(4)이 형성되어 상기 금속전극(4)과 투명전극(2)으로 교류전압을 인가할시에 상기한 바와 같은 발광원리에 의해 상기 유리기판(1)을 통해 빛이 에너지(hν)형태로 방출되는 것을 나타낸다.
제1도의 (b)에 도시한 MS형 EL은 반도체(S)와 일함수가 다른 금속(M)으로 전극을 만들고, 이것에 의해 생기는 반도체 표면의 장벽을 이용하여 소자를 형성하는 것으로, 이를테면 ZnSe에 일함수가 큰 백금이나 이리듐을 접촉시킨 것이다.
즉, 넓은 밴드 갭(band gap)을 가진 반도체(ZnSe)에 소수 캐리어를 주입하여 다수 캐리어의 재결합을 일으킴으로써 발광시키는 방법이다.
또한 제1도의 (c)에 도시한 MIS형 EL은 반도체(S) 표면에 얇은 절연층(I)을 만들고, 상기 절연층을 통해 반도체(S) 속에 소수 캐리어를 주입함으로써 발광시키도록 되어 있다.
도시되지 않은 EL소자로는 안정도를 증가시키기 위한 반도체층의 양측에 절연층을 형성한 MISI형 EL 및 PN접합형 EL이 있다.
이와 같은 EL 소자들을 천연색 발광이 가능한 EL소자로 개발하기 위해서는 먼저, 빛의 3원색인 적색, 청색 및 녹색 발광이 가능한 서로 다른 3종류의 EL발광재료와 발광박막 제조방법 및 소자구조의 개발이 선행되어야 하는 바, 현재의 기술로는 적색과 녹색의 발광은 상품화가 가능한 수준의 발광재료와 소자기술의 개발이 완성되어 일부 다색 발광 판넬이 생산되고 있으나, 색순도가 높은 고휘도의 청색발광소자의 제조에 있어서는 발광재료의 개발과, 개발된 재료의 박막제조에 어려움이 뒤따라 기술적으로 애로를 겪고 있다.
이러한 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 본 발명의 목적은 백색발광 전계발광소자를 제조하기 위한 발광모체와, 발광중심용 재료 및 전하 보상체 연구와 이러한 소자를 제공함에 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 유리기판과, 상기 유리기판 상에 형성된 투명전극과, 상기 투명전극 상에 형성된 하부절연층과, 상기 하부절연층 상에 형성되어 발광되는 발광층과, 상기 발광층 상에 형성된 상부절연층과, 상기 상부절연층 상에 형성되어 발광소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층과, 상기 완충층 사이에 형성된 알루미늄 전극으로 구성함을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자가 제공된다.
또한, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과, RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극에 하부절연층을 형성하는 공정과, 상기 하부절연층 상에 발광층을 형성하는 공정과, 상기 발광층 상에 상기 하부절연층과 동일한 스퍼터링법으로 상부절연층을 형성하는 공정과, 상기 상부절연층 상에 발광소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층을 형성하는 공정과, 상기 완충층 상에 열증착법으로 알루미늄 전극을 증착하는 공정으로 이루어짐을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자의 제조방법이 제공된다.
이하에서는 본 발명을 첨부도면에 도시한 실시예에 의거하여 보다 상세하고 설명하고자 한다.
제2도는 본 발명에 의한 백색발광용 전계발광소자의 구조도로서, 이에 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 ELD는 유리기판(10)상에 칼럼(column)전극용으로 ITO(In2O3-SnO2) 투명전극(20)이 형성되어 있고, 상기 투명전극(20)상에는 BaTa2O6으로 이루어진 하부절연층(30)이 형성되어 있다.
또한, 상기 하부절연층(30)의 상면에는 SrS:Pr,F로 이루어진 발광층(40)이 형성되어 있고, 상기 발광층(40)의 상면에는 BaTa2O6로 이루어진 상부절연층(50)이 형성되어 있으며, 상기 상부절연층(50)상에는 SixNy로 이루어진 완충층(60)이 형성되어 있다.
상기 완충층(60)상에는 소정간격만큼 일정하게 분리형성된 알루미늄 전극(70)이 형성되어 있다.
이와 같은 구조를 갖는 본 발명에 의한 ELD의 제조공정을 설명한다.
먼저, Hoya-NA40 유리기판(10) 상에 칼럼전극용으로 ITO 투명전극(20)을 약 130nm의 두께로 사진식각하여 형성한 다음, RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극(20) 상에 하부절연층(30)을 형성한다.
상기 하부절연층(30) 형성시에 Ar:02에 대한 산소의 비는 10∼30%의 범위에서 가변시키며, 기판온도는 약 50∼120℃로 유지하면서 약 200∼300nm두께로 형성한다.
다음에는 상기 하부절연층(30) 상에 발광층(40)을 형성한다. 즉, Pr을 약 0.4∼1.6 mol%정도로 첨가한 SrS:Pr,F 분말을 합성하여 두께 4㎜, 직경이 약 10㎜인 펠릿(pellet)을 만드는데, 이 때 SrS의 증착시 유황의 높은 증기압 특성으로 인하여 얻어지는 박막내에 항시 유황결핍 현상이 발생되므로 사전에 펠릿의 준비과정에서 SrS:Pr,F에 대한 무게비가 약 9:1이 되도록 유황을 섞은 다음 상용 콜드 프레스(cold-press)법으로 펠릿을 성형시킨다.
준비된 펠릿을 이용하여 전자빔(electron-beam)증착방법으로 발광층(40)을 약 500∼1000㎚ 두께로 증착시키는데, 이 때 기판의 온도는 약 300∼400℃로 유지하며, 완성된 박막은 400℃에서 진공열처리한다.
진공열처리가 끝난 발광층(40)의 상면에 다시 BaTa2O6로 이루어진 상부절연층(50)을 하부절연층(30)과 동일한 방법 및 조건으로 형성한다.
상기 상부절연층(50) 상에는 EL 소자의 동작특성의 열화현상을 방지하는 이온장벽 또는 완충의 역할을 담당하는 SixNy박막의 완충층(60)을 50∼100㎚의 두께로 형성시키는데, 이 때의 기판온도는 약 100∼120℃로 유지하며, Ar:N2의 비는 약 15∼35%정도로 유지한다.
상기 완충층(60) 상에는 알루미늄 로우(row)전극(70)을 열증착(thermal evapotration)법으로 증착한다.
상기한 바와 같이 제작된 백색발광용 소자에 대한 외부 인가전압에 대한 발광휘도 특성을 제2도에 도시한 바와 같이, 문턱특성이 날카롭고, 휘도가 우수하여 백색발광용으로 적합한 구조를 가지고 있음을 알 수 있다.
제3도는 본 발명에 의한 EL 소자의 발광스펙트럼 분포특성을 보인 것으로, 적색발광이 다소 강한 백색 스펙트럼을 보이고 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법은 단일 물질 내에서 적,청,녹색의 파장의 빛을 방출함으로써 색순도가 우수한 백색발광 EL 평판 표시소자를 구현하도록 한것이다.

Claims (6)

  1. 유리기판과; 상기 유리기판 상에 형성되는 투명전극과; 상기 투명전극 상에 형성되는 BaTa2O6로 이루어지는 하부 절연층과; 상기 하부 절연층 상에 Pr이 발광 중심으로 형성된 SrS:Pr, F로 이루어진 발광층과; 상기 발광층 상에 형성되는 BaTa2O6로 이루어지는 상부 절연층과; 상기 상부절연층 상에 형성되어 발광소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 SixNy로 이루어지는 완충층과; 상기 완충층 상에 형성된 알루미늄 전극으로 구성함을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자.
  2. 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과; RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극에 BaTa2O6로 이루어지는 하부 절연층을 형성하는 공정과; 상기 하부절연층 상에 Pr이 발광 중심으로 형성된 SrS : Pr, F로 이루어진 발광층으로 형성하는 공정과; 상기 발광층 사이에 상기 하부 절연층과 동일한 스퍼터링법으로 BaTa2O6로 이루어지는 상부 절연층을 형성하는 공정과; 상기 상부 절연층 상에 발광 소자 동작 특성의 열화 현상을 방지하는 SixNy로 이루어지는 완충층을 형성하는 공정과; 상기 완충층 상에 열증착법으로 알루미늄 전극을 증착하는 공정;으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 상, 하부 절연층의 박막 형성시 Ar : O2에서의 산소비는 10 ∼ 30% 범위에서 가변되며, 기판 온도는 50 ∼ 120℃로 유지되고, 약 200 ∼ 300 ㎚ 두께로 박막이 형성되는 것을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자의 제조방법.
  4. 제2항에 있어서, 상기 발광층은 Pr을 약 0.4 ∼ 1.6 mol% 정도로 첨가한 SrS : Pr, F분말을 형성하여 두께 4mm, 직경이 약 10mm인 펠릿을 만들고, 이 펠릿을 이용하여 전자빔 증착법으로 발광층을 약 500 ∼ 1000 ㎚ 두께로 증착시키며, 기판의 온도는 약 300 ∼ 400℃로 유지하고, 완성된 박막은 400℃에서 진공 열처리하는 것을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자의 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 펠릿은 SrS : Pr, F에 대한 무게비가 약 9:1이 되도록 유황을 섞은 다음, 상용 콜드 프레스법으로 성형시키는 것을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자의 제조방법.
  6. 제2항에 있어서, 상기 완충층은 기판온도는 약 100 ∼ 120℃로 유지하고, Ar : N2의 비는 약 15 ∼ 35% 정도로 유지하여 50 ∼ 100㎚의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 백색발광용 전계발광소자의 제조방법.
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