KR0163869B1 - 고주파를 균일하게 조사하기 위한 예열기의 로울러 - Google Patents

Abstract

반도체 패키지용 성형 수지의 펠렛을 예열하는 예열기에 있어서, 두 개의 로울러들 각각의 직경이 그 로울러의 축 방향에 대해 그 로울러들 각각의 양단부로부터 중심부로 갈수록 작아 그 로울러가 회전하는 동안 그 펠렛이 그 로울러들의 중심부에서 계속 고주파를 균일하게 조사받아 예열될 수 있다.

Description

고주파를 균일하게 조사하기 위한 예열기의 로울러

제1도는 일반적인 반도체 패키지의 성형공정에서 사용되는 예열기의 로울러에 펠렛(pellet)이 걸쳐져 있는 상태를 나타낸 상태도.

제2도는 본 발명에 따른 고주파를 균일하게 조사하기 위한 예열기의 로울러 펠렛이 걸쳐져 있는 상태를 나타낸 상태도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11,13 : 로울러 31 : 펠렛

41,43 : 로울러 61 : 펠렛

본 발명은 반도체 패키지용 성형수지의 펠렛을 예열하는 예열기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 패키지용 성형수지의 펠렛을 반도체 패키지용 성형 장치에 투입하기 전에 그 펠렛을 고주파로 균일하게 조사하여 예열할 수 있도록 한 고주파를 균일하게 조사하기 위한 예열기의 로울러에 관한 것이다.

일반적으로 분말 상태에 있는 반도체 패키지용 성형수지, 예를 들어 플라스틱 수지를 반도체 패키지의 성형공정에 이용하기 직전까지 보관하는데 많은 어려움이 있을 뿐 아니라 분말 상태의 성형수지를 반도체 패키지의 성형장치내에 직접 투입하여 반도체 패키지를 성형하는 데 많은 불편함이 있다. 그래서, 분말 상태에 성형수지는 보관의 용이함과 반도체 패키지의 성형공정상의 용이함을 위하여 고체 상태의 원통형 펠렛으로 펠레타이징(pelletizing)되고 그 펠렛이 반도체 패키지의 성형공정에 이용되기 직전까지 보관용 용기내에 약 0℃의 저온으로 보관된다.

한편, 반도체 패키지의 성형공정에 있어서, 와이어 본딩 공정이 완료된 상태에 있던, 반도체 칩이 장착된 리드 프레임이 성형 금형의 캐비티내에 장착되고, 보관되고 있던 2개 내지 3개의 펠렛이 그 성형금형의 정해진 영역내에 예열되지 않은 상태로 투입된 후 약 170℃의 온도에서 가열되어 일정한 점도의 겔(gel) 상태로 변형된다. 이어서, 겔 상태로 변형된 성형수지가 상기 정해진 영역에서 그 성형금형의 캐비티내로 주입되어 그 반도체 칩의 주위가 겔 상태의 성형수지로 에워싸여진 후 일정시간이 경과되면, 그 성형수지가 고형화되어 패키지 본체의 성형이 완성된다.

따라서, 반도체 칩은 패키지의 본체에 의해 먼지, 열, 습기, 정전기 및 기계적 부하등의 외부환경으로부터 보호되어 그 반도체 칩의 신뢰성의 감소가 방지된다.

그러나, 바람직하지 않게도, 그 펠렛이 보관용 용기내에 저온의 상태로 보관되더라도 보관 기간이 장기간되거나 보관 상태가 불량한 경우, 그 펠렛은 주위의 공기로부터 수분을 흡습하게 된다. 그 흡습된 펠렛이 성형공정에 직접 사용되면, 그 흡습된 수분은 펠렛이 가열되는 동안 급격히 증발하게 되어 완성된 패키지 본체의 불량, 예를 들어 패키지 본체내에 점 보이드(Dot void)가 발생하거나 심한 경우 패키지 본체가 균질하게 성형되지 못하는 등의 불량이 발생하게 됨으로써 반도체 패키지의 신뢰성이 크게 감소하게 된다.

그러나, 펠렛이 성형금형의 정해진 영역내에 투입되기 전에 별도의 예열기내에 투입된 후 그 예열기의 고주파 광원으로부터 조사되는 자외선에 의해 약70℃의 온도로 약 1분동안 예열되어 그 펠렛내에 흡습된 수분을 제거되는 경우, 펠렛내에 흡습된 수분에 의해 반도체 패키지의 불량이 발생할 가능성은 훨씬 감소하게 된다.

한편, 제1도에 도시된 바와 같이, 종래의 예열기는 본체(도시안됨)의 내부 공간에 동일한 직경과 길이를 가지는 두 개의 로울러(11), (13)가 일정한 간격을 유지한 채 수평적으로 평행하게 설치되어 있고, 그 로울러(11), (13)의 중간부분사이의 영역상에 놓여지는 2개 내지 3개의 원통형 펠렛(31)에 고주파를 집중적으로 하향조사하도록 고주파 광원(도시안됨)이 설치되어 있는 구조를 갖고 있다.

이와 같이 구조를 갖는 종래의 예열기의 작용을 간단히 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 그 예열기의 본체(도시안됨)의 정해진 영역에 설치된 전원 스위치(도시안됨)가 온된 후 일정한 시간이 경과하면, 고주파 광원(도시안됨)이 정해진 규격의 충분히 자외선을 조사하게 된다. 이어서, 미리 준비되어 있던 2개 내지 3개의 펠렛(31)들이 그 예열기의 본체내에 있는 로울러(11), (13)의 중간부분사이의 영역상에 놓여지게 된다.

계속하여, 로울러(11), (13)를 회전시키기 위한 스위치(도시안됨)가 온되면, 로울러(11),(13)가 축을 중심으로 동일한 방향으로 회전하게 되고, 또한 펠렛(31)들이 로울러(11),(13)의 중간부분사이의 영역상에서 로울러(11),(13)의 회전방향과 반대되는 방향으로 회전하게 된다. 이에 따라, 펠렛(31)들의 상하부분의 위치가 규칙적으로 교대하게 되어 자외선이 고주파 광원으로부터 펠렛(31)들의 상하부분에 교대로 조사함으로써 펠렛(31)들의 상하부분이 균일하게 예열되어 펠렛(31)에 흡습된 수분이 충분히 제거된다.

그러나, 종래의 예열기에서는 로울러(11),(13)사이의 간격이 일정하지 않거나, 로울러(11),(13)의 각 부분의 표면이 고르지 않거나, 로울러(11),(13)가 서로 평행하지 않거나, 펠렛(31)들이 로울러(11),(13)의 축에 대하여 직각을 정확하게 이루도록 로울러(11),(13)의 중간부분사이의 영역상에 놓여지지 않는 경우가 발생하면, 로울러(11),(13)가 회전하는 동안 펠렛(31)들의 상하부분의 위치가 불규칙적으로 교대하게 되고, 펠렛(31)들이 로울러(11),(13)의 중간부분에서 양말단부로 이동하게 되어 펠렛(31)들사이의 간격이 커지게 된다. 그러므로, 각각의 펠렛(31)들이 로울러(11),(13)의 중간부분사이의 영역상에서 균일하게 자외선을 조사받을 수 없고, 각 펠렛(31)들의 상하부분이 자외선을 균일하게 조사받을 수 없게 되며, 심한 경우에는 펠렛(31)들이 로울러(11,13)로부터 이탈하여 떨어지게 된다.

따라서, 본 발명의 목적은 예열기의 로울러들이 회전하는 동안 그 로울러들의 중간 부분사이의 영역상에 걸쳐져 있던 펠렛들을 그 로울러들의 중간부분에 계속 있게 하면서 그 펠렛이 고주파를 균일하게 조사할 수 있도록 한 고주파를 균일하게 조사하기 위한 예열기의 로울러를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 예열기의 로울러들의 직경이 그 로울러들의 양말단부에서 중간부분으로 갈수록 작게 형성된 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 따른 고주파를 균일하게 조사하기 위한 예열기의 로울러를 첨부도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

제2도를 참조하여 보다 상세하게 다음과 같다.

제2도를 참조하면, 예열기는 본체(도시안됨)의 내부 공간에 동일한 길이를 가지는 두 개의 로울러(41),(43)가 로울러(41),(43)의 축 방향에 대해 양 말단부에서 중간부분으로 갈수록 점차로 작아지는 직경을 가지며 수평적으로 평행하게 설치되어 있고, 그 로울러(41),(43)의 중간부분사이의 영역상에 놓여지는 2개 내지 3개의 원통형 펠렛(61)에 고주파를 하향 조사하도록 고주파 광원(도시안됨)이 설치되어 있는 구조를 갖고 있다.

이와 같은 구조를 갖고 있는 예열기의 작용을 간단히 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 그 예열기의 본체(도시안됨)의 정해진 영역에 설치된 전원 스위치(도시안됨)가 은된 후 일정한 시간이 경과하면, 고주파 광원(도시안됨)이 정해진 규격의 자외선을 충분히 조사하게 된다. 이어서, 미리 준비되어 있던 2개 내지 3개의 펠렛(61)들이 그 예열기의 본체내에 있는 로울러(41), (43)의 중간부분사이의 영역상에 놓여지게 된다.

계속하여, 로울러(41), (43)를 회전시키기 위한 스위치(도시안됨)라 온되면, 로울러(41), (43)가 축을 중심으로 동일한 방향으로 회전하게 하고, 또한 펠렛(61)들이 로울러(41), (43)의 중간부분사이의 영역상에서 로울러(41), (43)의 회전방향과 반대되는 방향으로 회전하게 된다. 이에 따라, 펠렛(61)들의 상하부분의 위치가 규칙적으로 교대하게 되어 자외선이 고주파 광원으로부터 펠렛(61)들의 상하부분에 교대로 조사됨으로서 펠렛(61)들의 상하부분이 균일하게 예열된다.

한편, 로울러(41),(43)의 중간부분의 직경이 각각 로울러(41), (43)의 양말단부의 직경보다 작기 때문에 로울러(41), (43)의 중간부분사이의 간격이 로울러(41), (43)의 양말단부의 간격보다 넓고, 로울러(41), (43)의 중간부분의 높이가 로울러(41), (43)의 양말단부의 높이보다 낮다.

그래서, 로울러(41), (43)의 각 부분의 표면이 고르지 않거나, 로울러(41), (43)가 수평적으로 평행하지 않거나, 펠렛(61)들이 로울러(41), (43)의 축에 대하여 직각을 정확하게 이루도록 로울러(41), (43)의 중간부분사이의 영역상에 놓여지지 않는 경우가 발생하더라도, 로울러(41), (43)가 회전하는 동안 펠렛(61)들이 로울러(41), (43)의 중간부분에서 양말단부로 이동하지 않고 로울러(41), (43)의 중간부분사이의 영역상에 계속 안정하게 있게 된다. 그러므로, 각각의 펠렛(61)들이 균일하게 자외선을 조사받을 수 있을 뿐 아니라 각 펠렛(61)들의 상하부분이 고주파를 균일하게 조사받을 수 있게 되어 펠렛(31)에 흡습된 수분이 충분히 제거된다.

이상에서 살펴 본 바와 같이, 본 발명에 따른 고주파를 균일하게 조사하기 위한 예열기의 로울러에서는 두 개의 로울러들이 로울러의 길이방향에 대해 양 말단부에서 중간부분으로 갈수록 점차 작아지는 직경을 가지며 수평적으로 평행하게 설치되어 있어 그 로울러들의 중간부분사이의 간격이 그 로울러들의 양말단부의 높이 보다 낮다.

따라서, 그 로울러들이 회전하는 동안 펠렛들이 그 로울러들의 중간부분사이의 영역상에서 계속 고주파를 균일하게 조사받아 예열될 수 있다.

Claims (2)

1. 두 개의 로울러들의 중간부분사이의 영역상에 걸쳐진 성형수지의 펠렛을 그 로울러들의 회전에 따라 회전시키면서 그 펠렛에 고주파를 조사하여 예열하는 반도체 패키지용 예열기에 있어서, 상기 로울러들이 회전하는 동안 상기 펠렛들이 상기 로울러들의 중간부분에서 계속 고주파를 조사받을 수 있도록 직경이 그 로울러들의 양말단부에서 중간부분으로 갈수록 작게 형성된 것을 특징으로 하는 고주파를 균일하게 조사하기 위한 예열기의 로울러.
2. 제 1항에 있어서, 상기 로울러들 각각의 대응하는 부분의 직경이 동일한 것을 특징으로 하는 고주파를 균일하게 조사하기 위한 예열기의 로울러.