KR0136601B1

KR0136601B1 - 웨이퍼 배열 상태 검출 장치

Info

Publication number: KR0136601B1
Application number: KR1019890004138A
Authority: KR
Inventors: 후지오 스즈키
Original assignee: 카자마 젠쥬; 도요교오 에레구토론 사가미 가부시끼가이샤
Priority date: 1988-03-30
Filing date: 1989-03-30
Publication date: 1998-04-29
Also published as: KR890015388A; US4954721A

Abstract

내용없음

Description

웨이퍼 배열 상태 검출 장치

제1도는 본 발명의 실시예에 관한 웨이퍼 배열 상태 검출 장치의 개략적인 구성을 나타낸 도면.

제2도의 (A) 내지 (D)는, 본 발명에서 웨이퍼 배열 상태를 검출할때에 사용되는 신호를 나타낸 도면.

제2도의 (E)는, 본 발명에서 클룩 펄스에 대응하는 시간을 나타낸 도면.

제2도의 (F),(G)는 본 발명에서 웨이퍼 검출창군을 나타낸 도면.

제3도의 (A),(B)는 본 발명에서 입력 신호의 전체 시간 길이를 나타낸 도면.

제4도의 (A) 내지 (G)는, 본 발명에서 웨이퍼의 배열 상태의 판정 기준을 나타낸 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 웨이퍼캐리어 la,lb : 측판

2 : 웨이퍼 삽입홈 3 : 웨이퍼

20 : 포토 센서 21 : 발광 소자

22 : 수광 소자 23 : 발광 콘트로울러

24 : 증폭/파형 정형 장치 30 : CPU

31 : RAM 32 : EEPROM

33 : ROM 34 : 입력 장치

35 : 표시 장치 36 : 입출력 콘넥터

SW₁: 웨이퍼 검출창 설정 스위치 SW₂: 테스트 모우드 스위치

SW₃: 리세트 스위치 SW₄: 프로그램 스위치

SW₅: 웨이퍼 체크 스위치 INT-A,INT-B : 인터럽트 신호

SP₀,SP₁,SP₂,…SP₂₇: 웨이퍼 정보 WIA,WIB : 웨이퍼 검출창군

A₁,A₂,…A₂₆: 100%의 폭인 웨이퍼 검출창

B₁,B₂,…B₂₆: 50%의 폭인 웨이퍼 검출창

P₁,P₂,…P₂₆: 신호(S₁)의 로우상태부 TM : 표준시간

본 발명은, 웨이퍼 수납 용기내에 복수매의 웨이퍼가 미리 정해진 배열 상태에서 수납되어 있는가 아닌가를 검출하기 위한 웨이퍼 배열 상태 검출 장치에 관한 것이다.

종래에 있어, 반도체 집적 회로(semiconductor inte grated circuit)를 제조할 경우에, 반도체 웨이퍼는 웨이퍼 캐리어에 얹어실려진 상태에서 각 공정 사이를 반송한다.

웨이퍼 캐리어 내부에는, 예를들면 26매의 웨이퍼가, 미리 정해진 간격으로 형성된 홈에 꽂아 넣어진 상태에 얹어 실려진다. 그리고, 제조 공정중의 각 로트마다, 캐리어 내의 각 홈에 있어서의 웨이퍼의 유·무 및 웨이퍼 매수를 확인하기 위하여 웨이퍼 카운터를 사용하고 있다.

이와같은 웨이퍼 카운터로서는, 예를들면 일본국 실개소 61-129340호에 개시된 것이 있다. 여기에 개시된 장치는, 웨이퍼 캐리어내의 웨이퍼 배열 방향을 따라, 웨이퍼의 배열 피치와 동등한 이동 피치로서 간헐적으로 이동하는 투광 소자 및 수광 소자를 갖고, 이들은 이들 사이의 적외선의 광측이 웨이퍼 캐리어 내에 배열된 웨이퍼의 수직축에 대하여 경사지도록 배열 형성되어 있다.

그리고, 적외선이 웨이퍼에 의하여 차단되어 수광 소자가 받는 광량이 감쇠한 경우 웨이퍼가 존재하고 있는 것을 검출하고, 광량의 감쇠가 없는 경우에 웨이퍼가 없는 것을 검출한다.

이와같은 웨이퍼의 유·무의 검출을, 웨이퍼의 배열 피치를 따라 간헐적으로 행함으로써 웨이퍼의 매수등을 검출한다.

그러나, 이와같은 종래의 장치에서는, 웨이퍼의 처리 공정중의 웨이퍼의 오염 등에 기인하는 수광 소자의 에러 검출에 의하여 웨이퍼의 매수 및 캐리어내의 웨이퍼가 존재하지 않는 위치를 정확하게 검출할 수가 없는 염려가 있다.

또한, 이와 같은 장치는 웨이퍼 캐리어내에 몇매 인가의 웨이퍼가 빼내어지고 있는것을 검출하는 것은 불가능하더라도, 인접하는 웨이퍼가 종합되고 있다거나, 웨이퍼가 경사지게 꽂아 넣어지고 있는 경우에 그 배열 상태까지는 정확하게 검출할 수가 없다.

이와 같은 문제점을 해소할 수 있는 장치로서는, 예를들면 일본국 실개소 61-127639호에 개시된 것이 있다.

이 장치는, 웨이퍼 검출용의 반사형 포토 센서와, 웨이퍼 캐리어의 웨이퍼 수용홈의 간격에 대응한 복수개의 구멍을 갖는 타이밍 판과, 이 타이밍 판을 건너 지르도록 하여 형성된 발광 소자 및 수광소자를 구비하고 있다.

그리고, 반사형 포토 센서와 발광 소자 및 수광 소자가 동기하여, 각각 웨이퍼 카세트의 길이 방향 및 타이밍 판의 길이 방향을 따라 이동한다.

그리고, 수광 소자는 타이밍 판의 구멍의 부분에서 발광 소자로부터의 빛을 검출하고, 이것에 대응한 타이밍 신호가 출력된다.

또한, 반사형 포토 센서는 웨이퍼에서 반사되는 빛을 검출하고, 이것에 대응하는 웨이퍼 검출 신호가 출력된다.

타이밍 신호중에 수광 소자가 빛을 검출하였을 때에 대응하는 부분과, 웨이퍼 검출 신호중에 포토 센서가 웨이퍼로부터의 반사광을 검출하였을 때에 대응하는 부분이 일치하였을 때에는, 그 부분에 대응하는 캐리어의 홈에 웨이퍼가 존재하는 것으로 판정되고, 일치하지 않을때에는 웨이퍼가 존재하지 않거나 또는 웨이퍼의 삽입 상태 불량으로 판정된다.

그런데, 이와같은 장치에서는, 정확한 검출 기능이 발휘되기 위하여는 타이밍 신호의 위상과 웨이퍼 검출 신호의 위상이 완전히 일치해야만 한다.

이로 인하여, 타이밍 판의 위치를 정확하게 설정할 필요가 있다.

그러나, 타이밍 만은,구멍의 형성 및 고정을 기계적으로 행하는 것이기 때문에, 오차를 발생하기 쉽다.

또한, 웨이퍼 캐리어의 웨이퍼 홈 피치가 변경될때마다 타이밍판을 교환할 필요가 있기 때문에, 그의 교환 작업 및 조정 작업에 장시간을 필요로하여, 생산 효율을 저하시키게 된다.

본 발명은, 상기한 종래 기술의 결점을 해결하기 의하여 이루어진 것으로서, 그의 목적은, 장치의 조정이 용이하고, 또한 웨이퍼의 배열 상태가 적정한가 아닌가를 고정밀도로서 검출할 수 있는 웨이퍼 배열 상태 검출 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명에 관한 웨이퍼 배열 상태 검출 장치는, 웨이퍼 수납 용기에 있어서의 복수매의 웨이퍼의 기준 배열 상태에 의하여 기준 정보를 형성하는 기준 정보 형성 수단과, 상기 형성 수단에 의하여 형성된 기준 정보가 입력되고, 이 기준 정보에 의하여 웨이퍼가 배열되어야 할 위치에 대응한 웨이퍼 검출창을 설정하는 웨이퍼 검출창 설정수단과, 웨이퍼의 배열 상태를 검출해야할 웨이퍼 수납 용기내의 웨이퍼를 검출하는 웨이퍼 검출 수단과, 웨이퍼 검출 수단에 의하여 검출된 정보에 의하여 웨이퍼 검출 신호를 형성하는 검출 신호 형성수단과, 상기 검출신호와 상기 웨이퍼 검출창과를 대응시켜, 상기 검출 신호중에 상기 웨이퍼 검출창 부분에 대응하는 부분의 형상을 검출하고, 이 형상에 의하여 웨이퍼의 배열 상태를 파악하는 배열 상태 파악 수단과를 구비하고 있다.

다음에, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면에 따라 상세하게 설명하면 다음과 같다.

제1도는, 본 발명의 실시예에 관한 웨이퍼 배열 상태 검출 장치를 나타낸 개략적인 구성도이다.

참조번호 (1)은, 웨이퍼 캐리어이고, 이 웨이퍼 캐리어(1)의 측판(la),(lb)의 내부벽에는, 그의 길이 방향을 따라, 각각 동일의 일정 간격으로 26매의 웨이퍼 삽입홈(2)이 형성되어 있고, 이들 홈(2)에 본 실시예에 관한 장치에 의하여 배열 상태가 검출되어야 할 웨이퍼(3)가 삽입되어 있다.

이와같이 웨이퍼(3)가 얹어져 실린 웨이퍼 캐리어(1)는, 화살표 A방향을 따라 형성된 반송로를 반송기구(도시안됨)에 의하여 반송된다.

포토 센서(20)는, 캐리어(1) 내부의 웨이퍼의 배열 상태를 검출하기 위한 것으로서, 레이저 다이오드등의 발광 소자(21)와, 포토 트랜지스터 등의 수광 소자(22)와를 구비하고 있다.

이들 발광 소자(21) 및 수광 소자(22)는, 캐리어 (1)의 반송로를 사이에 두고 각각 상하로 대향하여 배치되어 있다.

발광 소자(21)는, CPU(Central Processing Unit)(30)로 부터의 지령에 따라 동작하는 발광 콘트로울러(23)에 연결되어 있고, 이 발광 콘트로울러(23)에 의하여 발광 상태가 콘트롤된다.

수광 소자(22)는, 발광 소자(21)로부터의 빛을 수광하기 위한 것으로서,웨이퍼 캐리어(1)가 발광 소자(21)와 수광 소자(22)와의 사이를 통과할때에, 웨이퍼(3)가 존재하고 있는 부분에서는 웨이퍼(3)에 의하여 발광 소자(21)로부터의 빛이 차단되기 때문에 수광되지 않고, 웨이퍼(3)가 존재하고 있지 않는 부분에서는 발광 소자(21)로 부터의 빛을 수광한다.

그리고, 수광한 광 신호를 웨이퍼(3)의 배열 상태에 따른 전기적인 신호로 변환하여, 웨이퍼 배열 상태 검출 신호로서 출력한다.

이 검출 신호는, 신호의 증폭 및 파형 정형을 행하는 증폭/파형 정형 장치(24)를 거쳐 CPU(30)에 입력된다.

CPU(30)에는, 그밖에 입력된 데이터를 기록하기 위한 RAM(Random Access MNemory)(31) 및 EEPROM(Electric Erasable Programmable ROM)(32), 처리 프로그램 등의 고정데이터가 저장된 ROM(33), 입력 장치(34), 표시 강치(35) 및 입출력 콘넥터(36)가 접속되어 있다.

입력 장치(34)는, 다음에 설명하는 웨이퍼 검출창의 크기를 설정하는 웨이퍼 검출창 설정 스위치(SW₁), 웨이퍼 배열 상태 검출 장치 전체의 동작을 테스트 하기 위한 테스트 모우드 스위치(SW₂), 시스템의 리세트를 실행시키기 위한 리세트 스위치(SW₃), 기준값 입력을 실행시키기 위한 프로그램 스위치(SW₄) 및 웨이퍼 배열상내의 체크를 개시시키기 위한 웨이퍼 체크 스위치(SW₅)가 형성되어 있다·

표시 장치(35)는, 웨이퍼의 유. 무를 표시하고, 그밖에, 웨이퍼(3)를 카운트중인 것을 나타내는 「카운트 비지」, 웨이퍼 유.무의 판정의 신뢰성이 낮은것을 나타내는 「카운트 에러」, EEPROM(32)의 데이타가 파괴되어 있는 등의 하드 웨어의 불량을 나타내는 「하드 웨어 에러」, CPU(30)가 동작하고 있는 것을 나타내는 「파워 온」, 포토 센서(20)의 발광 및 수광 회로의 불량을 나타내는 「센서 에러」 등을 표시한다.

입 출력 콘넥터(36)는, 웨이퍼 처리계와의 사이에서 데어타의 주고 받음을 행하기 의한 핀과, 전원 공급용의 핀과, 동기 신호 입출력을 위한 핀과를 구비하고 있다.

다음에, 이와같이 구성된 웨이퍼 배열 상태 검출 장치의 사용 방법 및 동작에 대하여, 제2도의 (A) 내지 (G)를 참조하면서 설명한다.

기준 정보의 입력 및 웨이퍼 검출창의 설정 기준 캐리어(1) 및 기존 웨이퍼(3)를 준비하여, 기준 캐리어(1)의 모든 웨이퍼 홈(2)에 웨이버(3)를 정확하게 삽입한다.

이 캐리어 (1)를 캐리어 반송로를 따라 반송하여, 포토 센서(20)가 설치되어 있는 위치를 통과시킨다.

웨이퍼 캐리어(1)의 앞쪽 끝단부 및 뒷쪽 끝단부 및 웨이퍼(3)가 삽입된 부분이 통과할때에는 수광소자(22)가 발광 소자(21)로부터의 빛을 수광하지 못하고, 이들이 존재하고 있지 않는 부분이 통과할때에는 수광 소자(22)가 발광 소자(21)로 부터의 빛을 수광한다.

따라서, 수광 소자(22)에서는 제2도의 (A)에 나타낸 신호(S1)가 출력된다.

이 신호(S₁)는, 증폭/파형 정형 장치(24)에 의하여 증폭 및 파형 정형된다.

이 경우의 파형 정형은, 신호(S₁)의 하이 레벨부 및 로우 레벨부가 검출되고, 일정 레벨에서 신호가 슬라이스(Slice)됨으로써 이루어진다.

이와같이 증폭 및 파형 정형된 신호는, 제2도의 (B),(C)에 나타낸 인터럽트 신호(INT-A) 및 (INT-B)로 되어 CPU(30)애 입력된다.

이들의 신호가 입력되면, CPU(30)에 의하여, 최초의 신호(INT-A)가 입력된 시점, 즉 캐리어(1)의 앞쪽 끝단 가장자리가 센서(20)의 위치에 도달한 시점에서, 신호(INT-A) 및 (lNT-B)의 끼어 들어감에 의하여 이들 신호가 서로 인접하는 레벨 사이에 형성된 클록 펄스수의 계수가 행하여져서, 제2도의 (E)에 나타낸 표준 시간 (TM)즉, t₀,t₁,…t₅₄가 계속된다.

그리하여, 이 표준 시간(TM)에 대응한 제2도의 (D)에 나타낸 입력 신호(S₂)가 생성되고, 표준 정보로서 EEPROM(32)에 저장된다.

또한, 제2도의 (D)의 입력 신호(S₂)에서의 SP₀는 캐리어 (1)의 앞쪽 끝단부, SP₀,SP₁,…SP₂₆은 1매째 내지 26매째의 각 웨이퍼, SP₂₇은 캐리어(1)의 뒷쪽 끝단부의 정보를 각각 나타내고 있다·

EEPROM(32)에 저장된 기준 정보로서의 입력 신호(S₂)에 의하여, 제2도의 (F),(G)에 나다낸 WIA, WIB와 같은 웨이퍼 검출창군이 형성된다.

웨이퍼 검출창은, 그의 창 내부의 입력 정보만이, 웨이퍼의 유·무 또는 카운트 에러의 유·무등의 판정의 대상으로 하기 위하여 설정되는 것이고, 따라서, 창 외부의 신호에 대하여는 판정의 대상에서 제외된다.

이와같은 웨이퍼 검출창은, 입력 장치(34)의 웨이퍼 검출창 설정 스위치(SW₁)를 조작함으로써 소정의 폭을 갖도록 설정된다.

상술한 WIA는 웨이퍼 정보 (SP₁),(SP₂)…를 각각 중심으로 하여 100%인 폭의 웨이퍼 검출창 (A₁),(A₂)…을 갖고 있는 것을 나타내고 있고, WIB는 동일의 정보 (SP₁),(SP₂)…를 각각 중심으로 하여 50%인 폭의 웨이퍼 검출창의 폭은, 스포트 웨어에 의하여 임의로 가변 설정할 수가 있고, 딥 로우터리 스위치 등을 사용하여, 소망의 웨이퍼 검출창의 폭을 선택할수가 있다.

웨이퍼 배열 상태 검출 동작

앞에서 설명한 바와같이 기준 정보를 입력하여, 웨이퍼 검출창을 설정한 후에, 막붙임 처리등의 공정에 제공되어야 할 웨이퍼(3)가 얹어실린 웨이퍼 캐리어(1)가 반송로를 따라 포토 센서(20)의 발광 소자(21)와 수광 소자(22)와의 사이를 통과하면, 앞에서 설명한 기준 정보 입력의 경우와 마찬가지로, 수광소자(22)에 의하여 캐리어(1)의 앞쪽 끝단부, 캐리어(1)에 배치된 웨이퍼(3) 및 캐리어(1)의 뒷쪽 끝 단부가 순차적으로 검출되어, 웨이퍼의 배열상태에 따른 신호 (S₁)가 얻어진다.

이 신호 (S₁)는, 앞에서 설명한 신호 (S₁)와 마찬가지로, 증폭/파형 정형 장치(24)에 의하여, 증폭,하이 레벨부 및 로우 레벨부의 검출, 파형 정형이 행하여져서, 인터럽트 신호(INT-A') 및 (INT-B')로 되어 CPU(30)에 입력된다.

그리하여, 기준 정보의 경우와 마찬가지로하여 시간(TM')이 계측되어, 입력 신호(S₂)가 형성된다.

이 입력 신호(S₂)는, 웨이퍼 검출 신호로서 일단 RAM(31)에 저장된다.

이와같은 신호(S₂)의 전체 시간 길이는, 앞에서 설명한 기준 정보의 입력 신호(S₂)의 전체 시간 길이와 비교되어, 이들의 비가 구해진다.

예를들면, 기준 정보의 입력 신호(S₂)의 전체 시간 길이가 제3도의 (A)에 나타낸 바와같이 T_A이고, 신호(S₂)의 전체 시간 길이가 T_B라고 하면, T_B/T_A가 구해진다. 그리고, 이와같이 구해진 비 T_B/T_A에 의하여 입력 신호(S₂)의 각 시간(t₀),(t₁),…이 보정되어, 신호 (S₂)로 된다.

이 신호 (S_2W)에 대하여, 앞에서 설명한 소정의 폭의 웨이퍼 검출창군을 사용하여, 웨이퍼(3)의 유·무 등이 CPU(30)에 의하여 판정된다.

이 판정은, 단지 신호의 엔드를 취하는것 뿐만 아니라, 입력 신호(S₂)의 형상에 따라 제4도의 (A) 내지 (G)에 나타낸 바와 같이 행하여 진다.

제4도의 (A) 내지 (G)는, 웨이퍼 검출창의 폭을 앞에서 설명한 WIB와 같이 50%로 설정한 경우의 검출된 신호 형상 및 그 판정에 대하여 나타낸 도면이다.

제4도의 (A)는 창(WI)중에 웨이퍼 검출 펄스(SP)가 1개만 존재하고 있는 경우에 대하여 나다낸 것이다.

이 경우에는, 웨이퍼가 홈 내부에 규정한 바와같이 삽입되어 있는 것으로 판정된다.

제4도의 (B)는, 창(WI) 중에 웨이퍼 검출 펄스로 간주할 수 없는 신호 이외에, SP로 되는 펄스가 존재하고 있는 경우에 대하여 나타낸 것이다.

이 경우에는, 웨이퍼가 있는 것으로 판정되지만, 웨이퍼 검출의 신뢰성이 낮기 때문에 카운트 에러가 있는 것으로 판정된다.

제4도의 (C)는, 창(Wl) 중에 로우 레벨부가 1개 존재하고 있고, 로우 레벨 부분이 창내부에 50% 이상 존재하여, 완전한 형상의 웨이퍼 검출 펄스가 포함되어 있지 않은 경우에 대하여 나타낸 것이다.

이 경우에는, 웨이퍼가 있는 것으로 판정되지만, 웨이퍼 검출의 신뢰성이 낮기 때문에, 카운트 에러가 있는 것으로 판정된다.

제4도의 (D)는 창(WI) 중에 하이 레벨부가 1개 존재하고 있고, 로우 레벨 부분이 창내부에 50% 이하 밖에 존재하고 있지 않으므로, 완전한 형상의 웨이퍼 검출 펄스가 포함되지 않은 경우에 대하여 나타낸 것이다.

이 경우에는, 웨이퍼가 존개하지 않는 것으로 판정되어, 웨이퍼 검출의 신뢰성이 낮기 때문에 카운트 에러가 있는 것으로 판정된다.

제4도의 (E)는, 창(WI) 중에 하이 레벨에서 레벨 변화가 없는 직선 형상의 신호가 존재하고 있는 경우에 대하여 나타내고 있다.

이 경우에는, 검출되고 있는 홈의 위치에 웨이퍼가 존재하고 있지 않은 것으로 판정된다.

제4도의 (F)는, 창(WI) 중에 로우 레벨에서 레벨 변화가 없는 직선 형상의 신호가 존재하고 있는 경우에 대하여 나타내고 있다.

제4도의 (G)는, 웨이퍼 검출 펄스(SP)가 1개 존재하고, 또한 로우 레벨부가 1개 존재하고 있는 경우에 대하여 나타대고 있다.

이 경우에는 웨이퍼가 있는 것으로 판정되지만, 웨이퍼 검출의 신뢰성이 낮기 때문에, 카운트 에러가 있는 것으로 판정된다.

웨이퍼 배열 상태의 검출 동작이 종료되면, 표시 장치(35)에, 각 웨이퍼 삽입홈(2)의 웨이퍼 유·무의 표시 및 카운트 에러가 있는 경우에는 에러 표시가 된다.

에러 표시는, 웨이퍼 검출의 신뢰성이 낮은것으로 간주할수가 없고, 웨이퍼가 규정과 같이 삽입되어 있지 않은것도 나타내는 것이기 때문에, 이 표시를 확인한 오퍼레이터는 웨이퍼의 배열 상태를 확인한다.

즉, 제4도의 (B),(C)의 경우에는 1개의 홈에 웨이퍼가 2매가 삽입될 가능성이 있고, 제4도의 (C),(D),(F)의 경우에는, 웨이퍼가 홈 내부에 들어가지 않았거나, 웨이퍼가 쓰러질 가능성이 있기 때문이다.

또한, 웨이퍼의 매수를 카운트하는 것만을 목적으로 하는 경우에는,오퍼레이터는 에러 표시를 확인한 후에 다시 웨이퍼 카운트 동작을 행한다.

웨이퍼 배열 상태의 정보는, 입출력 콘넥터(36)를 통하여 웨이퍼 처리 장치등에 출력된다.

이상에서 설명한 바와같이, 본 실시예에 의하면, 타이밍 신호에 상당하는 웨이퍼 검출창이 소프트 웨어에 의하여 전자적으로 설정되고, 이 웨이퍼 검출창에서 웨이퍼의 배열 상태가 검지되는 것이어서, 종래에 사용되어 왔던 바와같은 타이밍 판이 필요가 없다.

그 결과, 타입이 관의 고 정밀도인 위치 결정을 행할 필요가 없으므로, 장치의 조정 및 설정이 용이해진다.

또한, 웨이퍼 검출창의 설정은 앞에서 설정한 바와같이, 소프트웨어에 의하여 전자적으로 행하여 지는 것이어서, 웨이퍼 캐리어의 웨이퍼 삽입 피치 또는 반송 속도에 적합하도록 한 폭으로 용이하게 변경할 수가 있다.

따라서, 피치 또는 반송 속도가 변경된 경우에도, 가동율의 저하를 극히 작게 할수가 있다.

또한, 검출창중의 입력 신호 즉 웨이퍼 검출 신호의 형상에 따라 웨이퍼의 배열 상태를 판정하는 것이어서, 웨이퍼의 배열 상태가 적정한가 아닌가를 고 정밀도로서 판정할 수가 있다.

또한, 본 발명은 이상의 실시예에 한정되는 것만은 아니고, 여러가지 변형이 가능하다.

예를들면, 상기한 실시예에서는 포토 센서를 고정하여 웨이퍼 캐리어를 이동시킬 경우에 대하여 나타내었으나, 센서를 이동시키도록 하여도 좋고, 또한 양쪽을 이동시키도록 하여도 좋다.

요는 이들이 상대적으로 이동하면 좋다.

그 밖에, 본 발명의 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러가지로 변형할수가 있다.

Claims

웨이퍼 수납용기에서의 복수매의 웨이퍼(3)의 기준 배열 상태에 의하여 기준 정보를 형성하는 기준 정보 형성수단과, 상기 형성수단에 의하여 형성된 기준 정보가 입력되고, 이 기준정보에 의하여 웨이퍼(3)가 배치되어야 할 위치에 대응한 웨이퍼 검출창(WlA),(WIB)을 설정하는 웨이퍼 검출창 설정수단과, 웨이퍼의 배열 상태를 검출하여야 할 웨이퍼 수납용기 내부의 웨이퍼(3)를 검출하는 웨이퍼 검출수단과, 웨이퍼 검출수단에 의하여 검출된 정보에 의하여 웨이퍼 검출신호를 형성하는 검출신호 형성수단과, 상기 검출신호와 상기 웨이퍼 검출창(WIA), (WIB)을 대응시키고, 상기 검출신호중에 상기 웨이퍼 검출장(WIA),(WIB)부분에 대응하는 부분의 형상을 검출하여, 이 형상에 의하여 웨이퍼(3)의 배열 상태를 파악하는 배열 상태 파악 수단을 구비하고 있는 웨이퍼 배열 상태 검출장치.
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 수납 용기에는,복수개의 웨이퍼 삽입홈(2)이 형성되어 있고, 이 웨이퍼 삽입홈(2)에 모든 웨이퍼(3)가 삽입된 상태에서 웨이퍼(3)의 기준 배열상태가 규정되는 웨이퍼 배열 상태 검출장치.
제1항에 있어서, 상기 기준 정보형성수단은, 상기 기준 배열상태의 웨이퍼(3)를 검출하는 기준웨이퍼 검출수단과, 기준 웨이퍼 검출수단에 의하여 검출된 정보에 의하여 기준 웨이퍼 검출신호를 형성하는 기준 신호 형성수단을 갖고 있는 웨이퍼 배열상태 검출장치.
제3항에 있어서, 상기 기준 웨이퍼 검출수단은, 포토 센서(20)를 갖고 있는 웨이퍼 배열 상태 검출장치.
제3항에 있어서, 상기 기준 신호형성수단은, 상기 증폭 및 신호파형정형수단을 갖고 있는 웨이퍼 배열상태 검출장치.
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 검출창 설정수단은, 웨이퍼 검출창(WIA),(WIB)의 크기를 설정하는 설정수단을 갖고 있는 웨이퍼 배열 상태 검출장치.
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 검출수단은, 포토 센서(20)를 갖고 있는 웨이퍼 배열 상태 검출장치.
제 7 항에 있어서, 상기 포토센서(20)는, 발광소자(21)와, 발광소자(21)로부터의 빛을 수광하기 의한 수광소자(22)를 갖고 있는 웨이퍼 배열 상태 검출장치.
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 배열상태 파악 수단은, 웨이퍼 캐리어(1)위의 각 웨이퍼 삽입홈(2)에 웨이퍼(3)의 배열 상태가 적절한가 아닌가를 판정하기 위한 판정수단을 갖고 있는 웨이퍼 배열 상태 검출장치.
제1항에 있어서, 상기 기준정보를 메모리하는 메모리 수단을 더욱 갖고 있는 웨이퍼 배열 상태 검출장치.
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 검출신호를 메모리하는 메모리 수단을 더욱 갖고 있는 웨이퍼 배열 상태 검출장치.