KR0134812Y1 - 반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조 - Google Patents

반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조 Download PDF

Info

Publication number
KR0134812Y1
KR0134812Y1 KR2019950043145U KR19950043145U KR0134812Y1 KR 0134812 Y1 KR0134812 Y1 KR 0134812Y1 KR 2019950043145 U KR2019950043145 U KR 2019950043145U KR 19950043145 U KR19950043145 U KR 19950043145U KR 0134812 Y1 KR0134812 Y1 KR 0134812Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mold
cavity
gate
void
semiconductor
Prior art date
Application number
KR2019950043145U
Other languages
English (en)
Other versions
KR970046766U (ko
Inventor
배태원
Original Assignee
문정환
엘지반도체주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 문정환, 엘지반도체주식회사 filed Critical 문정환
Priority to KR2019950043145U priority Critical patent/KR0134812Y1/ko
Publication of KR970046766U publication Critical patent/KR970046766U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0134812Y1 publication Critical patent/KR0134812Y1/ko

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B29C45/14639Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
    • B29C45/14655Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/26Moulds
    • B29C45/27Sprue channels ; Runner channels or runner nozzles
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/565Moulds

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

본 고안은 반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 리드프레임의 아우터 리드(Outer lead)를 제외한 나머지부분을 콤파운드(Compound)로 몰딩하는 반도체 몰드금형에서 용융된 수지가 게이트(Gate)를 통해 캐비티(Cavity)내로 유입되어 성형될 때 보이드(Void)가 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 캐비티(3)와 근접된 게이트(4)상에 직경이 작은 복수개의 핀(5)을 수직되게 고정하여서 된 것이다.

Description

반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조
제1도는 종래 반도체 몰드금형의 일부를 나타낸 평면도.
제2도는 본 고안 반도체 몰드금형의 일부를 나타낸 평면도.
제3도는 본 고안의 요부를 발췌하여 나타낸 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2 : 런너 3 : 캐비티
4 : 게이트 5 : 핀
본 고안은 반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 리드프레임의 아우터 리드(Outer lead)를 제외한 나머지부분을 콤파운드(Compound)로 몰딩하는 반도체 몰드금형에서 용융된 수지가 게이트(Gate)를 통해 캐비티(Cavity)내로 유입되어 성형될 때 보이드(Void)가 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있도록 한 것이다.
일반적으로 반도체를 제조하는 공정을 간략히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 실리콘 기판을 이용하여 팹(FAB) 공정을 거쳐 웨이퍼(Wafer)를 얻은 다음 상기 웨이퍼를 잘라 단위칩(이하 다이라 함)을 얻는다.
이와 같이 얻어진 다이(Die)를 다이본딩공정에서 리드프레임의 패들(Paddle)에 에폭시(Epoxy)로 접착한 다음 와이어본딩공정에서 상기 다이의 패드(Pad)와 인너리드(Inner Lead) 사이를 가느다란 금선 또는 알루미늄선으로 결선한다.
그후, 상기 리드프레임에 다이본딩 및 와이어본딩이 완료된 상태에서 수지물로 몰딩하는 패키지공정을 고친 다음 상기 패키지완료된 리드프레임을 트리밍/포밍하여 반도체를 얻게 된다.
이와 같이 얻어진 반도체는 리드의 솔더링(Soldering) 및 마킹(Marking)후 테스트(Test)공정을 거치므로써 양품으로 분류된 반도체만이 출하된다.
상기한 공정중 다이본딩 및 와이어본딩을 완료한 상태에서 이들을 외부의 환경이나 충격으로부터 보호하기 위해 수지물로 몰딩하는 패키지 공정을 첨부도면 제1도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
첨부도면 제1도는 종래 반도체 몰드금형의 일부를 나타낸 평면도로써, 금형(1)에 형성된 런너(2)와 캐비티(3) 사이에 캐비티측으로 갈수록 점진적으로 폭이 좁아지는 게이트(4)가 연결되어 있다.
따라서 금형의 내부에 리드프레임(도시는 생략함)을 로딩한 상태에서 용융된수지물을 트랜스퍼(Transfer)가 고압으로 밀면 수지물이 런너(2)와 게이트(4)를 통해 캐비티(3)내로 유입되어 리드프레임을 몰딩하게 된다.
그러나 종래에는 트랜스퍼에 의한 고압으로 수지물을 밀 때 수지물의 원재료인 콤파운드에 존재하는 미세한 공기와, 포트 및 런너에 잔류하고 있던 공기가 수지물 압력에 의해 수지물과 함께 캐비티의 내부로 유입되므로 와이어 스위핑(Wire sweeping)현상 및 비교적 큰 보이드(Void)를 유발하게 되므로 반도체의 품질저하를 초래하게 된다.
본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 성형작업시 게이트를 통해 비교적 큰 공기가 유입되더라도 캐비티내로 유입되기 전에 잘게 분쇄하여 와이어 스위핑현상 및 보이드가 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 캐비티와 근접된 게이트상에 직경이 작은 복수개의 핀을 수직되게 고정함을 특징으로 하는 반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조가 제공된다.
이하, 본 고안을 일 실시예로 도시한 첨부된 도면 제2도 및 제3도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
첨부도면 제2도는 본 고안 반도체 몰드금형의 일부를 나타낸 평면도이고, 제3도는 본 고안의 요부를 발췌하여 나타낸 사시도로써, 본 고안은 캐비티(3)와 근접된 게이트(4)상에 직경이 작은 복수개의 핀(5)이 수직되게 고정되어 게이트(4)를 통해 캐비티(3)로 유입되는 공기를 잘게 분쇄하도록 되어 있다.
이와 같이 구성된 본 고안의 작용.효과를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 금형의 내부에 리드프레임(도시는 생략함)을 로딩한 상태에서 용융된 수지물을 트랜스퍼(Transfer)가 고압으로 밀면 수지물이 런너(2)와 게이트(4)를 통해 캐비티(3) 내로 유이보디어 리드프레임을 몰딩하게 된다.
그러나 이때 만약 수지물의 원재료인 콤파운드에 미세한 공기가 존재하고 있거나, 포트 및 런너에 공기가 잔류하고 있어 상기한 공기들이 수지물압력에 의해 수지물과 함께 런너(2)를 통해 게이트(4)측으로 유입되면 상기한 공기들이 캐비티(3)의 입구측에 위치된 복수개의 핀(5)에 의해 부딪혀 잘게 부서지게 되므로 캐비티내부에 압력이 작용되지 않고, 이에 따라 칩의 패드와 인너 리드사이에 연결된 와이어의 스위핑현상이 발생되지 않게 됨은 물론 보이드가 발생되는 것을 미연에 방지하게 된다.
이상에서와 같이 본 고안은 캐비티(3)에 근접된 게이트(4)상에 가느다란 복수개의 핀(5)을 고정하는 간단한 구조에 의해 캐비티(3)의 내부로 큰 공기가 유입되는 것을 방지하게 되므로 양질의 반도체를 생산할 수 있게 된다.

Claims (1)

  1. 캐비티와 근접된 게이트상에 직경이 작은 복수개의 핀을 수직되게 고정함을 특징으로 하는 반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조.
KR2019950043145U 1995-12-18 1995-12-18 반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조 KR0134812Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019950043145U KR0134812Y1 (ko) 1995-12-18 1995-12-18 반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019950043145U KR0134812Y1 (ko) 1995-12-18 1995-12-18 반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970046766U KR970046766U (ko) 1997-07-31
KR0134812Y1 true KR0134812Y1 (ko) 1999-03-20

Family

ID=19435339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2019950043145U KR0134812Y1 (ko) 1995-12-18 1995-12-18 반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR0134812Y1 (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
KR970046766U (ko) 1997-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5331205A (en) Molded plastic package with wire protection
US6770163B1 (en) Mold and method for encapsulation of electronic device
US8497158B2 (en) Leadframe strip and mold apparatus for an electronic component and method of encapsulating an electronic component
US6211574B1 (en) Semiconductor package with wire protection and method therefor
US6627976B1 (en) Leadframe for semiconductor package and mold for molding the same
US20070000599A1 (en) Assembly method for semiconductor die and lead frame
US6413801B1 (en) Method of molding semiconductor device and molding die for use therein
KR200309906Y1 (ko) 반도체 패키지 제조용 리드프레임
US7504736B2 (en) Semiconductor packaging mold and method of manufacturing semiconductor package using the same
US5623163A (en) Leadframe for semiconductor devices
US20040203194A1 (en) Method of resin-sealing a semiconductor device, resin-sealed semiconductor device, and forming die for resin-sealing the semiconductor device
US10957631B2 (en) Angled die pad of a leadframe for a molded integrated circuit package
KR0134812Y1 (ko) 반도체 몰드금형의 보이드방지용 게이트구조
JP3179003B2 (ja) Tsopまたはutsopのような超薄型半導体パッケージの成形装置および成形方法
US5759875A (en) Reduced filler particle size encapsulant for reduction in die surface damage in LOC packages and method of use
US6194779B1 (en) Plastic mold type semiconductor device
JP2000164759A (ja) プラスチック半導体パッケージ並びにその製造方法及びプラスチック半導体パッケージ用成形品
JP2555931B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPH09199639A (ja) 半導体装置およびその成形方法
KR100258876B1 (ko) 반도체 시험용 패키지의 제조방법
KR200292411Y1 (ko) 스몰 다이패드 패키지용 리드프레임
KR200245728Y1 (ko) 반도체패키지용리드프레임
KR200232738Y1 (ko) 반도체 패키지 몰딩공정용 몰드다이
KR960015518B1 (ko) 반도체장치 및 그 제조방법 및 그 제조용 금형
KR0152574B1 (ko) 단차 가공된 다이 패드 부분을 갖는 리드 프레임

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20050922

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee