KR0121878Y1 - 반도체 제조장비의 캠 플로터 - Google Patents

반도체 제조장비의 캠 플로터

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KR0121878Y1 KR2019950007507U KR19950007507U KR0121878Y1 KR 0121878 Y1 KR0121878 Y1 KR 0121878Y1 KR 2019950007507 U KR2019950007507 U KR 2019950007507U KR 19950007507 U KR19950007507 U KR 19950007507U KR 0121878 Y1 KR0121878 Y1 KR 0121878Y1
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Abstract

본 고안은 반도체 제조장비의 캠 플로터에 관한 것으로서, 플로터 레일 승하강용 업/다운바의 상하 행정거리를 필요에 따라 연장가능하게 하도록 이에 필요한 구동수단을 구비하고, 무브 캠상의 캠 작동구간을 확장형성 하여서, 플로터 레일의 승하강 작동 범위를 정상적인 작업시의 범위와 교체작업시의 범위로 이원화함으로써, 플로터 레일을 들어내지 않고도 용이하게 하금형 등과 같은 주변부품을 교체할 수 있게 한 반도체 제조장비의 캠 플로터를 제공하고자 한 것이다.

Description

반도체 제조장비의 캠 플로터
제1도는 캠 플로터의 전체적인 구성을 나타내는 평면도
제2도는 (a) 내지 (c)는 캠 플로터의 작동상태를 나타내는 단면도
제3도는 본 고안에 따른 캠 플로터의 요부 단면도
제4도는 제3도의 작동상태를 나타내는 단면도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10:플로터 바 11:플로터 실린더
12:로터리 레버 13:캠 로드
14:캠 블럭 15:캠
16:무브 캠(MOVE CAM) 17:업/다운바
18:플로터 레일 19:피딩 실린더
20:피딩 바 21:피딩 핑거
22:캠 접동부 23:업/다운 실린더
24:고정체
본 고안은 반도체 제조장비의 캠 플로터(Cam floater)에 관한 것으로, 특히 플로터 레일을 승하강 시켜주기 위한 상하 행정을 갖는 업/다운바를 한계작동범위 이상으로 들어올려줄 수 있는 구동수단을 구비하여 필요에 따라 플러터 레일의 최대 승강범위를 확보함으로써, 플로터 레일에 의해 간섭받는 주변부품들의 교체작업성을 향상시킬 수 있는 반도체 제조장비의 캠 플로터에 관한 것이다.
일반적으로 반도체를 제조하기 위해서는 여러 공정들을 필요로 하고 있고, 특히 조립공정 중에는 트리밍/포밍머신을 사용하는 공정을 필요로 한다. 여기에서는 상하 금형에 의한 여러가지 작업 예를들면, 댐바의 절단과 리드의 구부림을 위한 트리밍/포밍공정을 실시하고 있다. 이때에는 반도체 패키지 제조공정에서 하나의 리드프레임에 수개의 칩을 탑재시키고, 이 리드프레임을 다시 여러개의 단위로 수납할 수 있는 매거진에 넣어서 다음공정으로 진행시키는 동시에 이 단일체의 리드프레임을 가공라인상에서 일정피치로 스텝이동 시키며, 하금형에 정확하게 안착시키는 공정이 필요하다.
이 공정은 리드프레임을 이송시미는 이송기구가 수평이동과 동시에 상하 운동을 하는 것에 의하여 달성된다.
이를 위하여 캠 플로터는, 첨부도면 제1도와 제2도에 도시한 바와 같이, 플로터 바(10)의 일측은 플로터 실린더(11)에 연결되는 동시에 이 플로터 바(10)의 각 부위에는 적어도 3개의 로터리 레버(12)가 유동가능하게 설치되고, 각각의 로터리 레버(12)는 캠로드(13)를 통하여 캠 블럭(14)에 설치된 캠(15)에 연결되는 동시에 이 캠(15)은 무브 캠(16; MOVE CAM)내에서 캠운동을 하여 업/다운바(17)를 상하운동 시킬 수 있도록 되는 구조로 이루어진다.
여기서, 미설명부호 18은 리드프레임(L)의 이송을 안내하는 플로터 레일이고, 19, 20 및 21은 캠 플로터의 작동을 통해서 승강된 플로터 레일상의 리드프레임(L)을 한스텝 전진 이송시켜주는 피딩 실린더, 피딩 바 및 피딩 핑거이다.
따라서 공급부로부터 플로터 레일(18)을 따라 이송되어 온 리드프레임(L)이 정위치되면, 상기 캠(15)과 무브 캠(16)의 캠운동에 의해 이 운동의 출력단에 설치된 업/다운바(17)가 상하운동을 하게 되므로서, 리드프레임(L)을 포함하는 플로터 레일(18) 전체가 승강될 수 있게 되고, 이와 동시에 피딩 핑거(21)에 의해 리드프레임(L)은 소정의 스텝으로 가공부상의 금형에 위치될 수 있게 된다.
그러나, 이와 같은 캠 플로터를 통하여 플로터 레일이 승하강되는 구조에서 플로터 레일의 배치공간에 따른 간섭을 받는 그 주변부품들 예컨대, 플로터 레일의 저부에 설치되는 하금형 등을 교체하기 위해서는 플로터 레일 전체를 들어내야만 하금형 등의 탈거가 가능한 작업성 측면에서의 문제점을 갖고 있었다.
따라서, 본 고안은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 플러터 레일 승하강용 업/다운바의 상하 행정거리를 필요에 따라 연장가능하게 하도록 이에 필요한 구동수단을 구비하고, 무브 캠상의 캠 작동구간을 확장형성 하여서, 플로터 레일의 승하강 작동범위를 정상적인 작업시의 범위와 교체작업시의 범위로 이원화함으로써, 플로터 레일을 들어내지 않고도 용이하게 하금형 등과 같은 주변부품을 교체할 수 있게 한 반도체 제조장비의 캠 플로터를 제공하는데 그 목적이 있는 것이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 고안은 플로터 바(10)의 일측은 플로터 실린더(11)에 연결되고, 이 플로터 바(10)의 각 부위에는 적어도 3개의 로터리 레버(12)가 유동가능하게 설치되는 동시에 각각의 로터리 레버(12)는 캠 로드(13)를 통하여 캠 블럭(14)내의 캠 접동부(22)에 설치된 캠(15)과 연결되며, 이 캠(15)은 무브 캠(16)의 캠 접동부(22) 내에서 캠운동하여 업/다운바(17)를 상하운동 시킬 수 있도록 되는 구조로 이루어진 반도체 제조장비의 캠 플로터에 있어서, 상기 캠 접동부(22)는 아래쪽으로 일정길이 연장형성되어 그 바닥면과 여기에 설치되는 캠(15)의 저면부와는 소정의 간격이 형성되고, 상기 무브 캠(16)의 저부에는 수직자세를 갖는 업/다운 실린더(23)의 로드가 근접배치되어 무브 캠(16)과 연동가능하게 되는 것을 특징으로 한다.
이를 좀더 상세히 설명하면, 첨부도면 제3도는 본 고안에 따른 캠 플로터의 요부확대 단면도이다.
여기서, 도면부호 12는 로터리 레버이다. 이 로터리 레버(12)는 캠 블럭(14)에 유동가능하게 설치된 캠(15)을 구동하기 위하여 설치 된다. 도면부호 24는 이 로터리 레버(12)의 이탈을 방지하는 고정체 이고, 16은 캠 접동부(22)를 이용하여 상기 캠(15)을 감싸고 있는 무브 캠이다. 이 무브 캠(16)은 캠(15)과 함께 캠운동 하면서 로터리 레버(12)의 전후 요동운동을 업/다운바(17)의 상하운동으로 변화시킨다.
상기 캠(15)과 무브 캠(16) 및 업/다운바(17)는 캠 블럭(14)에 설치 지지된다.
이러한 구성요소들은 플로터 실린더(11) 및 플로터 바(10)에 연동 결합되는 로터리 레버(12)의 하단에 길다란 봉 형상의 캠 로드(15)가 연결되면서 리드프레임(L)이 진행되는 경로선상까지 연장되고, 이 로터리 레버(12)의 선단에는 상술한 캠(15), 무브 캠(16) 및 업/다운바(17)가 접속되는 작동구조를 갖게 된다.
한편, 상기 무브 캠(16)의 캠 접동부(22)는 상하방향으로 소정의 길이를 갖는다.
이러한 캠접동부(22)내의 상측에는 캠(15)이 안착되고, 이곳에서 캠(15)은 캠 접동부(22)의 천정면과 측벽면에 동시 구름접촉되면서 로터리 레버(12)의 운동력을 무브 캠(16)으로 전달하게 된다. 이렇게 캠 접동부(22)의 윗쪽으로 위치되는 캠(15)과 캠 접동부(22)의 바닥면 사이에는 일정간격이 형성되고, 이때의 간격은 무브 캠(16)이 후술하는 업/다운 실린더(23)에 의해 승강운동될때 이 운동이 캠(15)으로 역(逆)전동되는 것을 방지할 수 있는 충분한 운동공간을 확보해주게 된다.
또한, 상기 무브 캠(16)의 저부에는 소정의 구동수단, 예를 들면 업/다운 에어실린더(23)가 수직설치된다. 이 업/다운 실린더(23)의 로드 끝단은 무브 캠(16)의 저면에 근접위치 되면서, 실린더의 작동에 따라 무브 캠(16)을 윗쪽으로 밀어 올려주게 된다. 이 업/다운 실린더(23)는 상기 캠 블럭(14)이 지지되는 베이스 플레이트(도시되지 않음)의 저면에 고정설치되고, 이때의 로드는 베이스 플레이트를 관통하여 무브 캠(16)의 저부까지 위치될 수 있게 된다.
따라서, 이와 같이 구성된 본 고안의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.
자재공급부 측으로부터의 리드프레임(L)이 플로터 레일(18)을 따라 공급되어 트리밍/포밍공정으로 진행되기 위해 정위치 되면, 이때부터의 리드프레임(L)은 캠 플로터 및 피딩유니트에 의해서 승하강 되는 동시에 한스텝씩 이송된다.
즉, 플로터 실린터(11)의 전진작동에 따라 플러터 바(10)가 일측으로 직선이동하면 이 플로터 바(10)에 연결된 로터리 레버(12)는 캠 로드(13)의 중심을 축으로 하여 이때의 캠 로드(13)와 함께 회전한다.
캠 로드(13)가 회전하면, 이에 연결된 고정체(24)가 회전하고, 캠(15) 고정부분이 상향운동하여 무브 캠(16)을 밀어 올린다 [첨부도면 제2도의 (b)].
그러므로, 무브 캠(16)의 상승에 따라 업/다운바(17)가 상승하고, 이에 따라 리드프레임(L)을 포함한 플로터 레일(18) 전체가 상승하며, 이와 동시에 피딩유니트에 의한 순차작동을 통하여 리드프레임(L)은 한스텝 전진 이송한다.
한편, 플로터 레일(18)의 주변부품을 교체하는 경우, 예를들면 트리밍/포밍공정을 구성하는 부품인 하금형을 교체하는 경우 이때에는 플로터 실린더(11)에서부터 캠(15)까지 이어지는 전동라인이 작동하지 않게 되며, 업/다운 실린더(23)를 통한 무브 캠(16) 및 업/다운바(17)의 상하운동이 이루어지게 된다.
즉, 플로터 실린더(11)의 전진작동에 따른 전동이 이루어져 무브 캠(16)이 최대한 상승완료된 상태에서 무브 캠(16)의 저부에 위치된 업/다운 실린더(23)가 전진작동되고, 이에 따라 실린더 로드는 무브 캠(16)의 저면을 받쳐주면서 이것을 윗쪽으로 밀어올리게 되며, 이와 함께 업/다운바(17)가 상승하면서 플로터 레일(18)을 최대 승강위치까지 들어 올리게 된다. 이때의 플로터 레일(18)이 들어 올려지는 높이는 정상적인 작동 상태의 예컨대, 플로터 실린더(11)를 통한 전동에 의해 이루어지는 작동상태의 한계승강높이보다 훨씬 높은 수준을 유지할 수 있게 되며, 이러한 높이수준은 이 플로터 레일(18)에 의한 간섭을 받지 않고 하금형 등을 탈거하기 위한 충분한 공간확보를 가능하게 해준다.
여기서, 상기 무브 캠(16)의 상승운동에 따라 이것의 캠 접동부(22)내에 위치되는 캠(15)은 캠 접동부(22)의 아래쪽 여유구간 내에서 상대적으로 하강운동하게 되므로서, 무브 캠(16)은 이것들(15), (13), (12), (11), (10)에 의해 작동간섭을 받지 않게 된다.
이상에서와 같이 본 고안은 플로터 레일을 필요에 따라 정상적인 승강높이 이상으로 들어올려줄 수 있는 수단을 제공함으로써, 플로터 레일의 주변부품들에 대한 교체작업성 향상을 도모할 수 있는 장점이 있는 것이다.

Claims (1)

  1. 플로터 바(10)의 일측은 플로터 실린더(11)에 연결되고, 이 플로터 바(10)의 각 부위에는 적어도 3개의 로터리 레버(12)가 유동가능하게 설치되는 동시에 각각의 로터리 레버(12)는 캠 로드(13)를 통하여 캠 블럭(14)내의 캠 접동부(22)에 설치된 캠(15)과 연결되며, 이 캠(15)은 무브 캠(16)의 캠 접동부(22) 내에서 캠운동하여 업/다운바(17)를 상하운동 시킬 수 있도록 되는 구조로 이루어진 반도체 제조장비의 캠 플로터에 있어서, 상기 캠 접동부(22)는 아래쪽으로 일정길이 연장형성되어 그 바닥면과 여기에 설치되는 캠(15)의 저면부와는 소정의 간격이 형성되고, 상기 무브 캠(16)의 저부에는 수직자세를 갖는 업/다운 실린더(23)의 로드가 근접배치 되면서 무브 캠(16)과 연동가능하게 되어 플로터 레일을 정상적인 승강높이 이상으로 상승시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 캠 플로터.
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