KR0120402B1 - 리드프레임의 절단 및 용접장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체칩의 일종인 포토커플러의 제조에 사용되는 리드프레임의 절단 및 용접장치에 관한 것으로서, 다이본딩과 와이어본딩이 완료된 포트커플러용 리드프레임을 수지화합물로 몰딩하기에 앞서 포토커플러의 동작원리에 맞도록 리드프레임의 커넥팅바를 다운세팅 및 절단하고 리드프레임을 재정렬한 후, 용접작업을 수행하는 리드프레임의 절단 및 용접장치에 관한 것이다.

본 발명은 리드프레임공급부, 리드프레임의 이송수단, 리드프레임의 커넥팅바의 다운세팅과 절단을 행하는 프레스금형부, 리드프레임분리부, 수광부칩과 발광부칩을 대향시키기 위한 리드프레임의 회전부와 오버랩부로 이루어진 재정렬부, 리드프레임용접부, 및 리드프레임배출부 및 적재부등을 순차적으로 배열하여 이를 자동으로 수행하는 장치를 제공하게 된다.

Description

리드프레임의 절단 및 용접장치

제1도는 본 발명에 따른 리드프레임의 절단 및 용접장치의 개략구성도.

제2도는 본 발명의 장치에 의해 절단된 리드프레임의 부분상세도.

제3a 내지 3c도는 리드프레임의 측면도.

제4a 내지 4c도는 리드프레임의 평면도.

제5도는 리드프레임 공급부의 평면도.

제6도는 리드프레임 공급부의 정면도.

제7a도 및 제7b도는 리드프레임 공급부의 부분평면도 및 우측면도.

제8도는 리드프레임푸싱수단과 제1승강레일의 배치를 보여주는 평면도.

제9도는 제8도의 평면도.

제10도는 제1이송수단과 금형부 및 리드프레임분리부의 배치를 보여주는 평면도.

제11도는 제10도의 정면도.

제12도는 리드프레임 분리부의 평면도.

제13도는 리드프레임 분리부의 정면 단면도.

제14도는 리드프레임 분리부의 우측단면도.

제15도는 제14도에서 리드프레임이 분리된 상태를 보여주는 상세도.

제16도는 제2승강레일과 리드프레임핑거의 배치를 보여주는 단면도.

제17도는 제16도의 정면도.

제18도는 제16도의 우측면도.

제19a도 및 19b도는 리드프레임 회전부의 평면도 및 평면단면도.

제20도는 리드프레임회전부의 정면도.

제21도는 리드프레임회전부의 우측면도.

제22도는 리드프레임회전부의 부분상세도.

제23도는 리드프레임오버랩부의 평면도.

제24도는 리드프레임오버랩부의 우측면도.

제25도는 오버랩레일이 180°회전하고 리드프레임 푸싱부재가 전진한 상태를 보여주는 도면.

제26도는 오버랩레일에 리드프레임이 들어있는 상태도.

제27도는 오버랩레일이 회전하는 상태도.

제28도는 오버랩레일이 180° 회전한 부분상세도.

제29도는 리드프레임푸싱부재가 전진한 상태의 부분상세도.

제30도는 제2이송수단(픽커이송부)의 평면도.

제31도는 제30도의 정면도.

제32도는 제30도의 우측면도.

제33도는 용접시트부의 평면도.

제34도는 용접시트부의 정면도.

제35도는 용접시트부의 우측면도.

제36도는 용접헤드부의 평면도.

제37도는 용접헤드부의 정면도.

제38도는 용접헤드부의 우측면도.

제39도는 용접헤드부의 전극부의 부분상세도.

제40a 및 40b도는 제3이송수단(승강픽커부)의 평면도 및 우측면도.

제41도는 리드프레임배출부의 평면도.

제42도는 제41도의 정면도.

제43도는 제3승강레일의 정면도.

제44도는 리드프레임 배출부의 우측면도.

제45도는 제3승강레일과 리드프레임핑거부의 부분상세도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호와 설명

A : 리드프레임공급부 B : 제1이송수단

C : 금형부 D : 리드프레임분리부

E : 리드프레임재정렬부 E-1 : 리드프레임회전부

E-2 : 리드프레임오버랩부 F : 제2이송수단(픽커이송부)

G : 용접부 H : 제3이송수단(승강픽커부)

I : 리드프레임배출부 J : 리드프레임적재부

LF : 리드프레임 1 : 다이

2 : 커넥팅바 4 : 매거진

101a,101b : 측면지지판 102 : 상부판

103 : 하부판 104,117 : 푸셔판

105 : 연결블록 106 : 슬라이드 너트

107 : 리드스크류 108 : 베어링

109 : 스프링 111 : 승강판

112 : 리드프레임푸싱부재 113 : 고정판

114 : 구동실린더 115 : 가이드레일

116 : 스토퍼 118 : 구동실린더

120a,120b : 매거진유무감지센서 121 : 매거진도착센서

122 : 과부하감지센서 123 : 푸셔블록

124 : 스프링 125 : 푸셔도그

126 : 가이드레일 127 : 롤러

151a,151b,152a,152b : 이송롤러 153a,153b : 벨트

154a,154b : 롤러승강실린더 155 : O-링

156 : 구동모터 157 : 제1승강레일

158a,158b,159a,159b,160a,160b : 리드프레임도착확인센서

161 : 센서고정블록 200 : 워킹빔(WALKING BEAM)

201 : 왕복구동실린더 202 : 와이너클

203 : 구동링크 204,211 : 가동블록

205 : 스토퍼브라켓 206 : 리드프레임누름부재

207 : 리드프레임안착블록 208 : 리드프레임 누르게

209 : 오목홈 210 : 제2승강레일

211 : 승강바 214 : 노브

220 : 승강판 223 : 가이드레일

230 : 승강구동실린더 231 : 가동판

232 : 업다운가이드바 233 : 연결로드

234 : 연결링크 240 : 프레스부고정판

300 : 분리블록 301 : 공압실린더

303 : 연결핀304 : 측판

305 : 스프링 306 : 리드프레임누르게

308 : 분리부커버 310 : 지지대

311 : 가이드 바 313,314 : 스토퍼

315 : 고정판 400 : 리드프레임핑거

401,411 : 핑거고정아암 402 : 누름판

403 : 업다운실린더 404 : 가이드바

405 : 업다운실린더 406: 가이드바

407 : 구동실린더 408: 설치블록

409 : 스토퍼 410: 가이드레일

412 : 연결판 413 : 가동블록

420 : 리드프레임도착확인센서 500 : 회전레일

501 : 회전레일커버 502 : 승강실린더

503 : 실린더 고정판 504 : 회전실린더

505 : 가이드바 506 : 베이스플레이트

507 : 회전축 509 : 베어링하우징

510 : 회전스토퍼 511 : 공압실린더

512 : 스토퍼 513 : 승강판

514 : 커플링 515 : 스토퍼블록

516 : 승강스토퍼 517 : 스토퍼블록

519,520 : 쇽업쇼바 521,522 : 베어링

523 : 베어링 커버 524 : 스토퍼브라켓

525 : 리드프레임안착부 526 : 간섭도피홈

600 : 오버랩레일 601 : 레일커버

602 : 가이드레일 603 : 회전실린더

604 : 업다운레일 605 : 회전축

606 : 복귀스프링 607a,607b : 리드프레임도착감지센서

608a,608b : 리드프레임스토퍼 610 : 도피홈

611 : 보조레일 612 : 지지판

613 : 리드프레임스토퍼 620 : 리드프레임가이드

622 : 공압실린더 623 : 연결브라켓

630 : 리드프레임푸셔 700 : 리드프레임픽커

701 : 픽커가이드 702 : 리드프레임가이드핀

703 : 픽커홀더 704 : 픽커구동샤프트

705 : 가이드바 706 : 스프링

707 : 공압실린더 708 : 연결블록

709 : 이송블록 710 : 픽커구동실린더

711 : 픽커이송실린더 712 : 상부고정판

713 : 가이드레일 714 : 지지대

715 : 슬라이더 716 : 스토퍼

718 : 푸싱블록 719 : 픽커구동아암

720 : 스프링 721 : 스토퍼링

750 : 리드프레임픽커 752 : 실린더설치블록

753 : 픽커홀더 754 : 구동샤프트

755 : 가이드바 756 : 스프링

758 : 연결블록 760 : 픽커구동실린더

762 : 상부고정판 764 : 지지대

765 : 실린더 고정판 766 : 가이드베어링

800 : 용접시트 801: 용접시트블록

802 : 가이드레일 803: 용접부고정판

805 : 이송블록 806: 슬라이더

808 : 센서도그 810 : 서보모타

812 : 타이밍벨트 813 : 절연판

814 : 볼스크류 815 : 리드프레임고정핀

819 : 센서 820 : 용접시트위치검출센서

833 : 타이밍폴리 850 : 용접헤드

851 : 지지판 852 : 푸싱바

853 : 푸셔 854 : 고정판

855,868 : 전극구동실린더 857 : 헤드고정판

860 : 상부전극구동아암 861,871 : 전극홀더

862,872 : 전극 863 : 클램프홀더

864 : 클램프 865 : 스프링

866 : 홀더블록 870 : 지지바

873 : 고정블록 874 : 승강판

878 : 절연판 900 : 제3승강레일

902 : 리드프레임커버핑거 903 : 구동샤프트

904 : 리드프레임푸셔 905 : 레버

906 : 힌지핀 908 : 레버구동실린더

909 : 슬라이더 910 : 레버고정판

911 : 공압실린더 912 : 실린더고정판

914 : 승강레일커버 916 : 베어링하우징

918 : 가이드바 930 : 승강레일실린더

931 : 연결블록 933 : 고정브라켓

935 : 구동실린더

본 발명은 반도체칩의 일종인 포토커플러의 제조에 사용되는 리드프레임의 절단 및 용접장치에 관한 것으로서, 좀 더 상세히는 다이본딩과 와이어본딩이 완료된 포토커플러용 리드프레임을 수지화합물로 몰딩하기에 앞서 포토커플러의 동작원리에 맞도록 리드프레임의 커넥팅바를 다운세팅 및 절단하고 리드프레임을 재정렬한 후, 용접작업을 수행하는 리드프레임의 절단 및 용접장치에 관한 것이다.

포토커플러는 발광부와 수광부가 대향 배치되어 발광부에서 나온 빛을 수광부에 받아 신호를 처리하도록 되어 있다. 그러나 포토커플러의 제조단계에서 수광부칩과 발광부칩을 리드프레임상에 대향하여 놓고 다이본딩이나 와이어본딩을 수행하는 것을 매우 곤란하다. 그러므로 실제로는 리드프레임의 동일 평면상에서 발광부칩과 수광부칩을 나란히 배치하여 다이본딩과 와이어본딩을 행하고 이어서 포토커플러의 동작원리에 맞게 발광부칩과 수광부칩이 서로 대향하도록 리드프레임을 재정렬하게 된다.

그러나 종래에는 이러한 리드프레임의 재정렬작업이 하나의 자동화된 장치에 의해 수행되지 못하고 여러단계의 분리된 공정을 통해 수행되고, 공정간의 이동은 대부분 인력에 의존하였기 때문에, 생산성의 저하는 무론, 제품의 불량율도 높게 되고 안전사고의 원인이 될 수도 있다는 문제점이 있었다. 따라서 반도체 제조업계로서는 이러한 포토커플러용 리드프레임의 재정렬작업을 일괄공정에 의해 자동적으로 수행할 수 있는 장치가 요구되었다.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점 및 업계의 요구에서 출발한 것으로서, 다이본딩과 와이어본딩이 완료된 포토커플러용 리드프레임의 발광부칩과 수광부칩을 대향시키기 위해, 리드프레임의 커넥팅바를 절단한 후 서로 대향하도록 재정렬하고, 재정렬된 리드프레임의 커넥팅바를 용접하는 단계에 이르는 일련의 공정을 하나의 장치로 완전자동화시킨 새로운 구조의 리드프레임의 절단 및 용접장치를 제공하고자 하는 것이다.

본 발명은 리드프레임 공급부, 리드프레임의 이송수단, 리드프레임의 커넥팅바의 다운세팅과 절단을 행하는 프레스금형부, 리드프레임 분리부, 수광부칩과 발광부칩을 대향시키기 위한 리드프레임의 회전부와 오버랩부로 이루어진 재정렬부, 리드프레임 용접부, 및 리드프레임 배출부 및 적재부등을 순차적으로 배열하여 이를 자동으로 수행하는 장치를 제공하게 된다.

본 발명의 한 특징에 따르면, 다이본딩과 와이어본딩이 완료된 포토커플러용 리드프레임을 수광부칩과 발광부칩이 대향하도록 재정렬시키기 위한 리드프레임의 절단 및 용접장치에 있어서, 리드프레임이 적층된 리드프레임매거진을 복수개 투입하여 순차적으로 수직이동시키면서 매거진으로부터 리드프레임을 한 개씩 배출시키는 리드프레임공급부, 상기 리드프레임공급부에서 배출된 리드프레임을 받아 한피치씩 이동시키는 제1이송수단, 상기 제1이송수단상에 배치된 리드프레임의 커넥팅바를 다운세팅시키고 절단을 행하는 금형부, 상기 제1이송수단상에서 상기 금형부에 인접 배치되며 상기 금형부에서 절단된 리드프레임을 소정간격 만큼 이격시키는 리드프레임분리부, 상기 리드프레임분리부에서 이격된 어느 한쪽이 리드프레임을 수평면상에서 180°회전시킨 후 다른 한쪽의 리드프레임과 오버랩시키는 리드프레임재정렬부, 상기 리드프레임재정렬부에서 오버랩된 리드프레임을 픽업하여 용접부로 이송시키는 제2이송수단, 상기 제2이송수단에 의해 이송된 리드프레임의 커넥팅바를 용접시키는 용접부, 상기 용접부에서 용접된 리드프레임을 픽업하여 리드프레임배출부로 이송하는 제3이송수단, 상기 제3이송수단에 의해 이송된 리드프레임을 받아 하나씩 리드프레임적재부의 투입구로 밀어내는 리드프레임배출부, 및 빈 매거진을 수직 이동시키면서 매거진 속에 리드프레임을 적층시키고 리드프레임이 적층된 매거진은 일측으로 밀어내어 수집하는 리드프레임적재부로 구성된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치가 제공된다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 리드프레임공급부는 리드프레임이 다수 적층된 매거진을 탑재하는 하부판, 상기 하부판의 일단에 배치되며 매거진을 하부판상에서 가압이동시키는 제1매거진푸싱수단, 상기 하부판의 타단에 배치되며 이동된 매거진을 상승이동시키는 승강수단, 승강수단에 의해 상승하는 매거진으로부터 리드프레임을 하나씩 가압배출하는 리드프레임푸싱수단, 상승된 빈 매거진을 탑재하는 상부판, 상승된 빈 매거진을 상기 상부판으로 밀어내는 제2매거진푸싱수단, 및 상기 매거진푸싱수단, 승강수단, 및 리드프레임푸싱수단을 구동하는 구동기구로 구성된다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 제1이송수단은 상기 리드프레임공급부에서 배출된 리드프레임을 이동시키는 상하부 롤러로 이루어진 롤러이송부, 상면에 복수개의 워킹빔(WALKING BEAM)이 횡단하도록 된 오목홈을 구비하고 상승상태에서 상기 롤러이송부에 의해 이송된 리드프레임이 탑재되며 하강하면서 워킹빔에 리드프레임을 안착시키는 제1승강레일, 제1승강레일의 오목홈에 배치되어 평행하게 연장되며 길이방향에 따라 소정간격으로 리드프레임이 안착되는 오목부를 구비하며 상승하면서 리드프레임을 탑재하고 소정길이만큼 전진한 후 하강하면서 리드프레임을 내려놓고 후퇴하여 복귀되는 복수개의 워킹빔, 상기 워킹빔의 일단에 배치되어 워킹빔을 전진후퇴시키는 링크기구, 상기 워킹빔의 전진방향의 전방에 배치되고 상면에 복수개의 워킹빔이 횡단하는 오목홈을 구비하고 하강상태에서 워킹빔으로부터 리드프레임을 탑재하고 상승상태에서 리드프레임을 내려놓도록 된 제2승강레일, 및 상기 제2승강레일의 상승상태에서 리드프레임을 가압이송하는 핑거부재, 및 상기 상하부 롤러, 제1승강레일, 제2승강레일 및 워킹빔용 구동기구를 구비한다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 리드프레임분리부는 금형부에서 절단된 리드프레임이 각각 안착되며 수평으로 이격가능한 한쌍의 분리블록, 상기 분리블록을 소정간격만큼 이격시키는 에어실린더, 상기 한쌍의 분리블록이 이격될 때 충격을 흡수하는 탄성완충수단, 및 상기 분리블록의 상부에 배치되고 분리작동시 리드프레임의 이탈을 방지하는 가압부재를 구비한다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 리드프레임재정렬부는 상기 리드프레임분리부에서 이격되어 제2승강레일을 통해 이송되는 한쌍의 리드프레임중 어느 하나의 리드프레임이 이송로상에 배치된 리드프레임회전부를 포함하고, 상기 리드프레임회전부는 상면에 리드프레임안착부가 평행배치되고 승강가능하며 하강상태에서 수평면상에서 회전가능한 회전레일, 상기 회전레일상의 리드프레임편을 덮는 레일커버, 상기 회전레일이 180°만큼 회전하도록 규제하는 스토퍼부재, 상기 회전레일의 중앙에 배치된 회전축, 및 상기 회전축에 커플링접속된 회전레일 구동용 회전실린더와 승강실린더로 구성된다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 리드프레임재정렬부는 리드프레임회전부에 의해 수평회전된 리드프레임을 다른 하나의 리드프레임에 오버랩시키는 리드프레임오버랩부를 포함하고, 상기 리드프레임오버랩부는 상기 리드프레임회전부로부터 이송된 리드프레임을 받는 상면을 구비하고 수평축을 중심으로 180° 수직회전가능한 오버랩레일, 상기 오버랩레일과 함께 회전되며 오버랩레일과의 사이에서 리드프레임을 유지하는 레일커버, 상기 오버랩레일 탄부의 회전궤적을 따라 형성된 내주면을 구비한 리드프레임가이드, 상승상태에서 180° 회전된 리드프레임과 대략 동일평면상에 위치되고 하강상태에서 가이드레일을 따라 이송된 다른 하나의 리드프레임편과 대략 동일평면이 되는 상면을 구비한 업다운레일, 180°수직회전된 리드프레임을 오버랩레일로부터 업다운레일쪽으로 가압하여 다른 하나의 리드프레임 다른 하나의 리드프레임과 서로 오버랩되도록 이동시키는 리드프레임푸싱부재로 구성된다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 제2이송수단은 상부 고정판상에서 수평이동가능한 이송블록, 상기 이송블록에 장착된 픽커구동실린더, 상기 픽커구동실린더의 피스톤에 연결되어 승강가능한 픽커홀더, 상기 픽커홀더의 상부에 배치되고 공압실린더에 의해 회동가능한 픽커구동아암, 상기 픽커홀더의 전후면에 대향배치되고 구동샤프트에 의해 상기 픽커구동아암과 연결되어 픽커구동아암의 회동에 따라 리드프레임을 픽업하는 픽커부재로 구성된다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 용접부는 상하로 승강가능한 상부전극과 하부전극을 구비한 용접헤드와, 상기 용접헤드 일측의 픽커부로부터 리드프레임을 받아 적재하고 상기 용접헤드의 상부전극과 하부전극 사이의 용접위치로 이동하며 용접이 완료되면 용접헤드 타측의 다른 피커부로 수평이동가능한 용접시트로 구성된다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 제3이송수단은 상부지지대에 장착된 픽커구동실린더, 상기 픽커구동실린더의 피스톤에 연결되어 승강가능한 픽커홀더, 상기 픽커홀더의 상부에 배치되고 공압실린더에 의해 회동가능한 픽커구동아암, 상기 픽커홀더의 전후면에 대향배치되고 구동샤프트에 의해 상기 픽커구동아암과 연결되어 픽커구동아암의 회동에 따라 리드프레임을 픽업하는 픽커부재로 구성된다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 리드프레임배출부는, 승강실린더에 의해 승강되고 레일고정판에 장착되고 상면에 리드프레임을 탑재하도록 된 제3승강레일, 중앙부에서 구동샤프트에 의해 탄성적으로 축지지되고 하단은 상기 레일고정판에 장착된 구동실린더의 피스톤에 맞닿아 가압되고 상단은 상기 승강레일 상면에서 리드프레임을 누르도록 절곡된 핑거부재, 횡방향으로 이동가능한 슬라이더상에 시소운동가능하게 축결합되고 일단에 리드프레임푸싱부재가 구비된 레버부재, 상기 승강레일이 상승한 상태에서 상기 리드프레임푸싱부재가 리드프레임을 푸싱할 수 있는 위치로 하강하도록 상기 레버부재의 타단을 가압하는 레버구동실린더, 상기 리드프레임푸싱부재가 하강한 상태에서 리드프레임이 가압이동되도록 상기 슬라이더를 이동시키는 슬라이더구동실린더로 구성된다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 리드프레임적재부는 리드프레임적재용 빈 매거진을 탑재하는 하부판, 상기 하부판의 일단에 배치되어 빈 매거진을 수평으로 가압이동시키는 제1매거진푸싱수단, 상기 하부판의 타단에 배치되며 상기 리드프레임배출부로부터 배출되는 리드프레임이 매거진에 순차적으로 적층되도록 매거진을 상승이동시키는 매거진승강수단, 상승되면서 리드프레임이 적층된 매거진을 탑재하는 상부판, 리드프레임이 적층된 매거진을 상기 상부판상으로 밀어내는 제2매거진푸싱수단, 및 상기 매거진푸싱수단과 승강수단을 구동시키는 구동기구로 구성된다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 다이본딩과 와이어본딩이 완료된 포토커플러용 리드프레임을 수광부칩과 발광부칩이 대향하도록 재정렬시키기 위한 리드프레임의 대향정렬장치에 있어서, 커넥팅바가 다운세팅되고 절단되어 이송되는 한쌍의 리드프레임을 탑재하여 소정간격만큼 이격시키는 분리블록을 구비한 리드프레임분리부, 상기 리드프레임분리부에서 이격되어 배출되는 한쌍의 리드프레임중의 어느 하나의 리드프레임의 이송로상에 배치되고 리드프레임편을 탑재한 상태에서 수평면상에서 180° 회전가능한 회전레일을 구비한 리드프레임회전부, 및 상기 리드프레임회전부에 의해 수평회전된 리드프레임을 탑재하여 수직회전함으로써 다른 하나의 리드프레임에 오버랩시키는 오버랩레일을 구비한 리드프레임오버랩부로 구성된 포토커플러용 리드프레임의 대향정렬장치가 제공된다.

이하에서 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.

제1도는 본 발명에 따른 리드프레임의 절단 및 용접장치의 구성을 보여주는 개략도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 장치는 리드프레임이 적층된 매거진으로부터 리드프레임을 순차적으로 공급하는 리드프레임공급부(A)가 일측에 배치되고, 이어서 제1승강레일과 워킹빔을 거쳐서 제2승강레일에 이르는 리드프레임용 제1이송수단(B)이 배치된다. 상기 제1이송수단(B)의 워킹빔상에는 다운세팅과 절단을 행하는 금형부(C)와, 절단된 리드프레임을 소정간격만큼 분리시키는 리드프레임분리부(D)가 인접배치되어 구비된다. 상기 리드프레임분리부(D)에 인접하여 분리된 리드프레임의 어느 하나를 수평면상에서 회전시키는 리드프레임회전부와, 회전된 리드프레임을, 리드프레임이송용 가이드레일을 타고 리드프레임핑거이송부에 의해 이송된 다른 하나의 리드프레임과 오버랩시키는 리드프레임오버랩부로 이루어진 리드프레임재정렬부(E)가 구비된다. 이어서 재정렬된 리드프레임을 픽업하여 용접시트부로 옮기는 제2이송수단인 리드프레임픽커이송부(F)가 구비되고, 이에 인접하여 상하부 용접전극을 구비한 용접헤드부와 리드프레임을 탑재하고 수평으로 왕복이동가능한 용접시트부로 이루어진 용접부(G)가 구비된다. 다음에는 용접된 리드프레임을 용접시트부에서 픽업하여 제3승강레일로 옮기는 승강픽커부로 이루어진 제3이송수단(H)과, 승강픽커부로부터 이송된 리드프레임을 제3승강레일로 받아서 푸셔기구에 의해 배출하는 리드프레임배출부(I)가 구비되고, 마지막으로 빈 매거진을 상승시키면서 배출되는 리드프레임을 차례로 적층 수용하는 리드프레임적재부(J)가 상기 리드프레임공급부(A)의 반대쪽에 배치된다.

제2도는 본 발명의 장치에 의해 절단된 리드프레임(LF)을 상세도로 보여주는데, 번호 1은 반도체칩 또는 펠렛이 부착되는 다이이고, 번호 2는 커넥팅바이다. 제2도는 커넥팅바(2)의 단부가 다운세팅되고 절단된 상태를 보여준다.

제3a도는 내지 제3c도 리드프레임의 측면도로서, 각각 커넥팅바가 다운세트되고 절단된 상태, 리드프레임이 재정렬되어 다운세트부분이 스폿용접된 상태, 및 용접부위를 도시한다. 제3a도에 도시된 바와 같이, 포토커플러용 리드프레임은 발광부칩과 수광부칩을 동일평면상의 다이(1)에서 다이본딩과 와이어본딩을 행한 후 커넥팅바(2)를 절단하고, 제3b도 또는 제3c도와 같이 발광부칩과 수광부칩이 대향하도록 재정렬시켜서 오버랩된 커넥팅바(2)를 서로 스폿용접시킨 후, 수지화합물의 몰딩공정에 들어가게 된다.

제4a도는 본 발명의 리드프레임 절단 및 용접장치의 리드프레임공급부에서 공급되는 리드프레임의 형태를 보여주는데, 이것이 제4b도에서와 같이 커넥팅바(2)가 다운세트 및 절단되고 리드프레임분리기에서 제4c도와 같이 소정거리만큼 이격되게 된다.

제5도 내지 제7도는 각각 본 발명에 따른 리드프레임의 절단 및 용접장치의 일부를 구성하는 리드프레임공급부(A)의 평면도, 정면도 및 우측면도이다. 도시된 바와 같이, 측면지지판(101a)에 상부판(102)과 하부판(103)이 부착되고 하부판(102)의 일측에는 제1매거진푸싱수단을 이루는 푸셔판(104)이 연결블록(105)과 슬라이드너트(106)를 통해 리드스큐류(107)에 가동적으로 장착된다. 푸셔판(104)은 베어링(108)을 통해 연결블록(105)에 장착되며 연결블록(105)과 푸셔판(104) 사이에는 완충스프링(109)이 탄설되어 푸셔판(104)이 매거진(4)을 밀때 매거진(4)이 충격을 받지 않고, 원활히 이동되도록 한다.

리드스크류(107)는 타이밍벨트(108)에 의해 매거진구동모터(109)의 타이밍풀리(110)에 연결된다. 푸셔판(104)의 대향측에는 푸셔판(104)에 의해 미끄럼이동된 매거진(4)을 상승시키는 승강판(111)이 구비된다. 승강판(111)의 일측에는 승강판(111)에 의해 상승되는 매거진(4)에 적층된 리드프레임(LF)중 최상부의 것을 하나씩 밀어내는 리드프레임푸싱부재(112)가 고정판(113)에 설치되어 구동실린더(114)에 의해 가이드레일(115)을 따라 왕복운동하도록 되어 있다.

측면지지판(101b)은 제거가능하게 구성되고, 상부판(102)은 일단이 회동가능하게 축지지되어 있고 타단은 스토퍼(116)에 의해 규제된다. 만일 인접하는 금형부로부터 금형을 꺼내고자 할 때는 상부판(102)을 회동시켜서 세우고 측면지지판(101b)을 제거하여 금형을 꺼낼 수 있다.

상부판(102)의 일측에는 승강이 완료된 빈 매거진을 상부판(102)쪽으로 밀어내는 제2푸셔판(117)이 구동실린더(118)에 의해 왕복가능하게 연결되어 배치된다. 도면중 120a와 120b는 매거진유무감지센서, 번호 121은 매거진도착센서로서 이들 센서에 의해 매거진(4)의 공급이나 이송동작이 개시 또는 중단된다. 번호 122는 과부하감지센서로서 리드프레임의 푸싱동작에 이상이 생겨서 리드프레임푸싱부재(112)가 휘어지거나 과부하에 걸리면, 푸셔블록(123)에 설치된 센서도그(125)는 리드프레임푸싱부재(112)와 함께 스프링(124)의 탄성력에 대항하여 후퇴하여 과부하감지센서(122)에 의해 과부하가 검출된다. 리드프레임푸싱부재(112)의 원활한 후퇴동작을 위해 푸셔블록(123) 상부의 리드프레임의 후퇴경로의 상하부에 롤러(127)가 구비된다. 번호 126은 매거진푸셔판(104)의 이동을 안내하는 가이드레일이다.

제8도는 리드프레임공급부의 리드프레임푸싱수단(112)과 제1이송수단의 제1승강레일(157) 사이의 리드프레임이송부의 구조를 보여주는 평면도이고, 제9도는 우측면도이다. 도시된 바와 같이, 리드프레임공급부(A)의 배출측에는 롤러이송부(151a,151b,152a,152b)와 제1승강레일(157)가 설치된다. 리드프레임푸싱부재(112)에 의해 리드프레임(LF)이 배출되어 리드프레임도착확인센서(158a, 158b)에 의해 리드프레임의 도착이 검출되면, 롤러승강실린더(154a)가 작동하여 롤러(151a)를 하강시켜서 롤러(151a)와 롤러(152a)가 리드프레임을 물게 되고, 구동모터(156)의 동력이 벨트(153a)를 통해 벨트풀리(164a)에 의해 롤러(152a)를 회전시켜서 리드프레임을 전진이송시킨다. 롤러(152a)의 외주면에는 리드프레임과의 적절한 마찰력을 확보하기 위한 O-링(155)이 구비된다.(제8도의 부분상세도 참조). 다시 제2리드프레임도착확인센서(159a,159b)가 리드프레임의 도착을 검출하면 롤러승강실린더(154b)에 의해 롤러(151b)가 하강되어 롤러(152b)와 함께 리드프레임을 더욱 전진시켜서 제1승강레일(157)의 상면으로 이송시킨다. 제1승강레일(157)의 리드프레임 도입부의 반대쪽에는 또 다른 제3리드프레임도착확인센서(160a,160b)와 도시안된 턴오버감지센서가 센서고정블록(161)에 설치되는데, 턴오버감지센서는 리드프레임이 뒤집히거나 부정확하게 승강레일(157)에 실리는 것을 검출하게 된다. 번호 162는 승강레일의 승강구동용 실린더이고, 163은 가이드부재, 153a는 벨트, 164b는 벨트풀리, 165는 승강레일의 상면에 형성된 워킹빔용 오목홈이다.

제10도와 제11도는 제1승강레일(157)과 제2승강레일(210), 및 이들의 오목홈에 걸쳐져서 평행하게 연장되는 복수개의 워킹빔(200)으로 이루어지는 제1이송수단(B)과, 이 이송수단(B)상에 배치된 다운세팅 및 절단용 프레스금형부(C)와, 절단된 리드프레임을 이격시키는 리드프레임분리부(D)의 배치를 보여주는 평면도 및 정면도이다.

리드프레임이 제1승강레일(157)로 화살표방향(K)으로 진입하여 리드프레임도착확인센서(160a,160b)가 이를 감지하면, 승강레일(157)이 하강하면서 승강레일(157)의 상면의 오목홈(165)에 비치되어 대향측의 제2승강레일(210)까지 연장되는 복수개의 워킹빔(200)이 상승되어 리드프레임이 워킹빔상의 오목홈(209)으로 옮겨진다. 리드프레임을 탑재한 워킹빔(200)은 한피치 전진한 후 하강하면서 금형부의 하부다이나 리드프레임 분리부의 분리레일 또는 제2승강레일의 상면에 리드프레임을 내려놓게 된다. 이와 같이, 워킹빔(200)은 상승, 전진, 하강, 후퇴운동을 통해 리드프레임을 한피치씩 이동시킨다. 이러한 워킹빔(200)의 운동은 워킹빔의 일단에 구비된 왕복구동실린더(201)와 와이너클(202) 및 구동링크(203)에 의한 워킹빔(200)의 전진후퇴 운동과, 워킹빔의 하부에 구비된 워킹빔용 승강구동실린더(230)와 가동판(231) 및 업다운가이드바(232)에 의한 워킹빔의 승강운동이 교호로 수행됨으로써 이루어진다. 즉, 왕복구동실린더(201)가 구동링크(203)에 의해 가동블록(204)을 승강바(211)를 통해 왕복이동시킴에 따라 가동블록(204)에 연결된 워킹빔(200)등은 전후진 운동하게 된다. 승강구동실린더(230)는 연결링크(234)에 의해 프레스부고정판(240)에 매달린 가동판(231)을 승강시키고 가동판(231)을 승강운동은 업다운가이드바(232)를 통해 가동블록(204,221)과 워킹빔(200)등을 승강시킨다. 이때, 좌우 한쌍의 연결링크(234)의 신축운동은 이들 연결링크(234)의 회동축을 서로 연결하는 연결로드(233)에 의해 규제되어 가동판(231)의 좌우측이 균등하게 승강되도록 한다.

리드프레임은 워킹빔(200)에 의해 제1승강레일(157)에서 리드프레임안착블록(207)을 거쳐서 프레스금형부(C)로 이송된다. 금형부에서 커넥팅바의 다운세팅 및 절단공정을 마친 리드프레임은 리드프레임분리부(D)로 이송되어 절단된 리드프레임이 소정간격으로 이격되고 제2승강레일(210)로 옮겨져서 이후의 리드프레임재정렬공정에 도입되게 된다.

도면중 미설명 부호 206은 리드프레임안착블록(207)의 상부에 위치된 리드프레임누름부재이고, 208은 리드프레임누르게, 205는 가동블록(204)의 스토퍼브라켓, 214는 워킹빔의 체결 및 조정용 노브, 220은 승강판, 223은 가이드레일이다.

제12도는 리드프레임분리부(D)의 평면도이고, 제13도 내지 제15도는 제12도의 정면단면도, 우측단면도 및 리드프레임의 분리상태를 보여주는 상세도이다. 금형부(C)에서 커넥팅바가 절단된 리드프레임은 워킹빔(200)에 의해 리드프레임분리부(D)의 분리블록(300)에 안착된다. 분리블록(300)은 연결핀(303)에 의해 에어핸드공압실린더(301)에 연결되어, 리드프레임이 분리블록(300)의 상면에 안착되면 공압실린더(301)의 작동에 의해 소정간격만큼 이격 및 복귀하도록 되어 있다. 분리블록(300)은 가이드바(311)를 따라 이동되고 스토퍼(313,314)에 의해 분리 및 복귀운동이 규제되고, 스프링(305)에 의해 분리블록(300)이 분리될 때 리드프레임에 전달되는 충격을 흡수한다. 분리블록의 상부에는 분리부커버(308)와 리드프레임누르게(306)가 설치되어 분리작동중 리드프레임의 이탈을 방지한다. 도면중 미설명부호 304는 측판, 310은 지지대, 315는 고정판이다.

제16도는 리드프레임분리부(D)에서 소정간격으로 분리된 리드프레임을 리드프레임재정렬부(E)를 이루는 리드프레임회전부(E-1)로 이송하는 리드프레임 이송부의 구조를 보여주는 평면도이고, 제17도는 제16도의 정면도, 제18도는 제16도의 우측단면도이다. 도시된 바와 같이 리드프레임분리부(D)의 측면에는 제2승강레일(210)이 배치된다. 소정간격으로 이격된 한쌍의 리드프레임이 워킹빔(200)에 의해 제2승강레일(210)에 안착되면 리드프레임도착확인센서(420)가 이를 검출하여 구동실린더(407)와 업다운실린더(405)에 의해 리드프레임핑거(400)가 리드프레임을 물어서 이송시킨다. 리드프레임핑커(400)는 전방핑거고정아암(411)과 후방핑거고정아암(401)에 각각 장착되며 이들 핑거고정아암(401,411)은 연결판(412)에 의해 가동블록(413)에 고정된다. 가동블록(413)은 구동실린더(407)에 의해 가이드레일(410)을 따라 전후진운동하고, 업다운실린더(405)와 가이드바(406)에 의해 설치블록(408)과 가동블록(413)이 함께 승강운동한다.

제2승강레일(210)이 상승하면 리드프레임핑거(400)가 하강하여 핑거에 장착된 누름판(402)이 리드프레임을 누르면서 전후방 핑거(400)가 리드프레임의 전후방 측면을 물어 한치피 전진시킨 후, 핑거가 상승하여 후퇴하고, 다시 다음의 리드프레임을 전후방 핑거 사이에 물고, 선행하는 리드프레임은 전방핑거의 선단으로 밀면서 리드프레임을 순차적으로 전진이송한다. 도면중 미설명부호 409는 핑거의 왕복운동을 규제하는 스토퍼, 403은 제2승강레일용 업다운실린더, 404는 가이드바이다.

제19a도 및 제19b도는 리드프레임재정렬부(E)를 이루는 리드프레임회전부(E-1)의 평면도 및 평면단면도이고, 제20도 내지 제22도는 각각 리드프레임회전부의 정면도, 우측면도 및 부분상세도이다. 도시된 바와 같이 회전레일(500)의 중앙에는 회전축(507)이 축결합되고 베어링하우징(509)을 통해 승강판(513)에 일체로 고정된다. 회전축(507)은 커플링(514)를 통해 회전실린더(504)에 연결되고, 회전실린더(504)가 설치된 실린더고정판(503)은 가이드바(505)를 통해 승강판(513)과 연결된다. 따라서 승강실린더(502)가 작동하면 실린더 고정판(503)과 승강판(513) 및 이에 일체로 연결된 회전레일(500)이 함께 승강된다. 회전레일(500)의 상면에는 이송된 리드프레임이 안착되는 리드프레임안착부(525)가 평행배치된다. 제22도에 도시된 바와 같이 리드프레임안착부(525)에는 리드프레임(LF)의 다운세팅된 케넥팅바와 간섭되지 않도록 간섭도피홈(526)이 구비된다. 회전레일(500)의 상부에는 회전레일커버(501)가 부착되고, 회전레일의 하부에 스토퍼블록(517)이 장착되어, 회전레일(500)의 회전시에 스토퍼브라켓(524)에 의해 승강판(513)에 설치된 고정스토퍼(510)와 회전레일의 스토퍼블록(517)이 맞닿아 회전레일(500)의 회전이 규제된다. 회전스토퍼(510)에는 충격흡수용 쇽업쇼바(519)가 설치된다.

도면중 번호 513는 리드프레임이 회전레일(500)에 진입하면 회전레일의 상면으로 상승돌출하여, 회전레일(500)이 회전할 때 리드프레임이 원심력에 의해 회전레일(500)로부터 이탈하지 않도록 유지하는 리드프레임용 스토퍼이고, 번호 511은 회전레일(500)의 하부 일측에 장착되어 리드프레임 스토퍼(512)를 승강시키는 공압실린더이다.

이러한 구성에 따라, 선행공정에서 커넥팅바가 절단되고 소정거리만큼 분리된 리드프레임중 일측의 리드프레임이 회전레일(500)에 안착되면, 인접하는 리드프레임오버랩부(E-2)와 간섭되지 않도록 회전레일(500)이 승강실린더(502)에 의해 소정길이만큼 하강하고, 이어서 회전실린더(504)에 의해 수평으로 180°회전함으로써 리드프레임을 수평회전시키고 다시 상승하여 복귀한다.

미설명부호 515는 승강운동을 규제하는 스토퍼블록이고, 516은 승강스토퍼, 520은 쇽업쇼바, 522는 베어링, 523은 베어링커버, 506은 베이스플레이트, 그리고 521은 베어링이다.

제23도 내지 제29도는 리드프레임오버랩부(E-2)의 구조 및 작동상태를 도시하는 평면도, 우측면도, 및 동작상태의 부분상세도이다.

제23에 도시된 바와 같이, 리드프레임회전부(E-1)에서 수평으로 180° 회전된 리드프레임이 보조레일(611)을 거쳐 리드프레임오버랩부(E-2)의 오버랩레일(600) 속으로 진입하여 스토퍼(608a)에 의해 멈추게되면, 오버랩레일(600)과 가이드커버(601)가 리드프레임(LF)을 사이에 끼우고 회전축(605)를 중심으로 수직방향으로 180°회전하게 된다. 회전축(605)은 회전실린더(603)에 축결합되고 오버랩레일(600)과 레일커버(601)는 대략 반원형의 내주면을 가진 리드프레임가이드(602)을 따라 회전하게 된다(제26도,제27도 참조). 한편 리드프레임회전부(E-1)로 진입하지 않고 그대로 이송되는 다른 하나의 리드프레임은, 리드프레임핑커(400)에 의해 회전부(E-1)와 오버랩부(E-2)의 바깥쪽에서 평행하게 연장되는 가이드레일(602)을 타고 오버랩부(E-1)의 위치까지 이송되어 리드프레임스토퍼(608b)에 의해 정지되어, 수직회전되는 리드프레임과 오버랩될 수 있도록 위치설정된다.

제24도는 리드프레임이 수직으로 회전되기 전 상태의 오버랩부의 우측면도이다. 오버랩레일(600)에 의해 리드프레임의 수직회전이 완료되면(제28도의 상태), 연결브라켓(623)에 의해 공압실린더(622)에 연결된 리드프레임푸셔(630)가 리드프레임을 오버랩레일(600)의 외부에 설치된 업다운레일(604)의 상면으로 밀어낸다. 그러면 리드프레임은 제29도에 도시된 바와 같이 업다운레일(604)의 일단에 설치된 리드프레임스토퍼(613)에 의해 멈추게 되는데, 이 위치에서 가이드레일(602)를 타고 이송된 다른 하나의 리드프레임과 리드프레임의 다이 및 커넥팅바부분이 수직선상에서 서로 일치되어 대향정렬된다. 이어서 업다운레일(604)이 하강하고 이에 따라 두 개의 리드프레임이 서로 접근하여 오버랩되어 수광부칩과 발광부칩이 대향배치된다. 여기서, 업다운레일(604)의 하부에 탄설된 복귀스프링(606)에 의해 상승복귀된다. 도면중 미설명부호 607a 및 607b는 리드프레임도착감지센서이고 610은 후술하는 픽커의 도피홈이고 612는 지지판이다.

제30도 내지 제32도는 리드프레임이 오버랩되어 재정렬이 완료된 리드프레임을 재정렬된 상태로 용접고정하기 위해, 인접하는 용접부(G)의 용접시트(800)로 이송하는 제2이송수단인 픽커이송부(F)의 구조를 보여주는 평면도, 정면도 및 우측면도이다.

도시된 바와 같이, 상부고정판(712)에는 가이드레일(713)과 픽커이송실린더(711)가 장착되고, 이송블록(709)에 설치된 픽커구동실린더(710)가 픽커이송실린더(711)에 의해 가이드레일(713)을 따라서 리드프레임오버랩부(E-1)와 용접부(G)의 용접시트(800) 사이를 왕복운동하도록 구성된다.

픽커구동실린더(710)의 피스톤로드는 연결블록(708)과 가이드바(705)를 통해서 픽커홀더(703)을 승강운동시킨다. 픽커홀더(703)의 상부에는 공압실린더(707)가 설치된다. 이 공압실린더(707)는 푸싱블록(718)을 승강시키고, 푸싱블록(718)은 픽커구동아암(719)를 통해 픽커구동샤프트(704)를 회전시킨다. 픽커홀더(703)의 측면에는 리드프레임픽커(700)가 픽커구동샤프트(704)에 의해 회동가능하게 설치된다. 픽커(700)의 선단부는 리드프레임을 픽업할 수 있도록 절곡되고 뾰족하게 형성되며 픽커홀더(703)의 저면에 맞닿도록 되어 있다. 리드프레임픽커(700)에 인접하여 픽커가이드(701)가 부착되어 리드프레임픽커(700)가 오버랩부나 용접시트로 접근할 때 정확히 위치설정되도록 안내한다.

이러한 구성에 의해, 픽커구동실린더(710)가 가이드레일(713)을 따라 이동하여 리드프레임오버랩부(E-1)의 상부에 위치하면, 구동실린더(710)의 작동에 의해 픽커홀더(703)와 함께 리드프레임픽커(700)가 하강하여 픽커홀더(703)는 오버랩된 리드프레임이 배치된 업다운레일(604)을 가압하여 하강시키고, 리드프레임픽커(700)는 제23도에 도시된 픽커도피홈(610)으로 진입한다. 한편, 픽커홀더(703)의 하강 직전에 공압실린더(707)가 푸싱블록(718)을 가압하여 픽커구동아암(719)을 누르게 되는데, 이때 구동샤프트(704)가 회동하여 리드프레임픽커(700)의 선단부가 픽커홀더(703)와 이격되어 픽커가 벌어진 상태에서 픽커가이드(701)의 안내하에 업다운레일(604)상의 리드프레임에 접근한다. 리드프레임이 리드프레임가이드(701)에 의해 안내되어 픽커홀더(703)의 저면에 맞닿게 되면 다시 공압실린더(707)가 상승됨으로써 푸싱블록(718)은 스프링(720)에 의해 상승되어 리드프레임픽커(700)가 픽커홀더(703)쪽으로 접근하여 픽커선단의 절곡부가 픽커홀더의 저면과의 사이에 리드프레임을 유지하여 픽업하게 된다. 그 후에, 픽커홀더(703)가 구동실린더(710)에 의해 상승하고 가이드레일(713)을 따라 수평이동한 후, 용접부(G)의 용접시트(800)로 하강하고, 다시 공압실린더(707)가 구동아암(719) 및 구동샤프트(704)를 구동하여 픽커(700)을 픽커홀더(703)로부터 이격시킴으로써 리드프레임을 용접시트(800)의 상면에 안착시키게 된다. 도면중 번호 702는 리드프레임 가이드핀으로서 리드프레임의 픽업동작시 리드프레임에 끼워져서 리드프레임을 정위치에 유지한다. 번호 716은 이송블록(709)의 수평왕복운동을 규제하는 스토퍼이고, 706은 픽커홀더(703)의 하강시 완충용 스프링, 715는 슬라이더, 721은 스토퍼링, 714는 지지대이다.

제33도 내지 제35도는 오버랩된 리드프레임의 커넥팅바를 스폿용접하는 용접부(G) 중 용접시트부(G-1)의 구성을 보여주는 평면도, 정면도 및 우측면도이다.

용접시트(800)는 용접시트블록(801)에 설치되고, 용접시트블록(801)은 절연판(813)을 통해 이송블록(805)에 장착되며, 이송블록(805)의 슬라이더(806)은 가이드레일(802)를 타고 왕복이동한다. 용접시트(800)의 왕복이동은 용접부고정판(803)의 하부에 장착된 서보모타(810)의 구동력이 타이밍벨트(812) 및 타이밍풀리(833)를 거쳐 볼스크류(814)를 구동함으로써 이루어진다. 용접시트(800)가 가이드레일(802)를 따라 우측단으로 이동되면, 용접부고정판(803)의 일단에 부착된 용접시트위치검출센서(820)가 이송블록(805)의 일측에 장착된 센서도그(808)에 의해 차단되어 용접시트의 도착이 감지됨으로써, 전술한 픽커이송부(F)의 픽커홀더(703)가 하강하여 리드프레임(LF)를 용접시트(800)에 안착시킨다. 이어서 용접시트는 소정거리만큼 좌측으로 이동하여 용접헤드부(850)(제38도 참조)의 상하전극 위치에서 멈추어 리드프레임의 커넥팅바의 용접을 행한 후, 다시 좌측으로 이동하여 후술하는 승강픽커부(H)로 이동된다.

도면중 번호 819는 용접시트(800)가 승강픽커부(H)로 이동된 것을 검출하는 센서이고, 815는 용접시트(800)상에 설치된 리드프레임고정핀이다.

제36도 내지 제39도는 용접헤드부(G-2)의 구성을 보여주는 평면도, 정면도, 우측면도 및 용접헤드의 전극부의 상세도이다.

용접헤드부(G-2)는 용접전원 및 제어장치가 내장된 용접헤드(850)가 헤드고정판(857)에 설치되고 용접헤드(850)의 전방에는 상부전극(862)과 하부전극(872)이 서로 접근되고 이격되도록 승강가능하게 설치된다.

용접헤드(850)의 상부에는 상부전극구동실린더(855)가 상부실린더고정판(854)에 설치되고, 상부전극구동실린더(855)에는 푸셔(853)가 하향연장되고, 이 푸셔(853)의 약간의 간격을 두고 푸싱바(852)가 설치되어 용접헤드(850)의 내부를 거쳐 상부전극구동아암(860)을 승강시킨다. 상부전극구동아암(860)은 홀더블록(866)을 거쳐 전극홀더(861)과 일체로 구성되며, 전극홀더(861)에는 상부전극(862)이 장착된다. 상부전극(862)에는 스프링(865)에 탄설된 클램프(864)가 클램프홀더(863)에 의해 전극홀더(861)에 장착된다.

한편, 하부전극(872)은 전극홀더(871)에 의해 고정블록(873)에 장착되고, 고정블록(873)이 승강판(874)에 의해 승강함에 따라 하부전극(872)도 승강하도록 구성된다. 고정블록(873)과 승강판(874)사이에는 절연판(878)이 기재되어 이들을 전기적으로 차단시킨다. 승강판(874)은 하부전극구동실린더(875)에 의해 가이드바(856)을 따라 승강된다. 이러한 구성에 의해, 오버랩부(E-1)에 오버랩된 리드프레임이 픽커이송부(F)에 의해 용접시트(800)로 옮겨지고, 용접시트가 좌측으로 이동하여 용접헤드부의 상부전극(862)과 하부전극(872) 사이에 위치되면 상하부전극 구동실린더(855,875)가 작동하여 상부전극(862)과 하부전극(872) 사이에 위치되면, 상하부전극 구동실린더(855,875)가 작동하여 상부전극(862)이 하강하고 하부전극(872)이 상승하여 리드프레임(LF)의 오버랩된 커넥팅바를 스폿용접한다. 이때 상부전극(862)이 하강하면 제39도에 도시된 바와 같이 스프링(865)에 탄설된 클램프(864)가 먼저 용접시트(800) 상에 놓인 리드프레임(LF)에 맞닿아 리드프레임을 눌러 고정시키고, 이어 상부전극(862)의 선단부가 하강하여 리드프레임(LF)의 오버랩된 커넥팅바에 접촉되고 다음에 하부전극(872)이 상승하여 상하부 전극 사이에서 커넥팅바가 스폿용접된다. 이와 같은 용접에 의해 포토커플러용 리드프레임(LF)의 수광부칩과 발광부칩이 대향 정렬된 상태로 용접고정된다. 용접이 완료된 리드프레임은 용접시트(800)에 의해 후술하는 바와 같은 제3이송수단인 승강픽커부(H)가 위치된 곳으로 이송된다. 도면중 미설명부호 870은 지지바, 851은 지지판이다.

제40a도 및 제40b도는 제3이송수단을 이루는 승강픽커부(H)의 평면도 및 우측면도이다. 도시된 승강픽커부(H)는 전술한 제2이송수단이 픽커이송부(F)와 유사한 구조를 취하지만, 픽커홀더용 수평왕복이동기구를 구비하지 않는 점에서 다른다. 즉, 승강픽커부(H)는 픽커이송부(F)와는 달리 픽커구동실린더(760)가 실린더고정판(765)를 통해 상부고정판(762)에 고정적으로 장착되고, 픽커구동실린더(760)의 피스톤로드에는 연결블록(758)을 통해 픽커홀더(753)가 매달린다. 리드프레임픽커(750)은 픽커홀더(753) 상부의 실린더설치블록(752)에 설치된 도시안된 공압실린더에 의해 구동샤프트(754)가 회동함으로써 픽커 선단의 절곡부가 용접 시트상의 리드프레임을 들여서 픽커홀더(753)의 저면과의 사이에서 맞물어 유지함으로써 리드프레임을 픽업한다. 이후에 픽커구동실린더(760)과 픽커홀더(753)를 상승시키면 용접시트(800)은 후퇴하여 복귀되고, 다시 픽커홀더(753)가 하강하여 후술하는 리드프레임배출부(I)의 제3승강레일(900)에는 리드프레임을 안착시키게 된다. 도면중 번호 766은 가이드베어링, 756은 스프링, 764는 지지대, 755는 가이드바이다.

제41도 내지 제45도는 전술한 바와 같이 수광부칩과 발광부칩이 대향하도록 재정렬되고 용접까지 완료된 리드프레임이 승강픽커부(H)에 의해 픽업이송된 후, 리드프레임적재부(J)로 배출시키는 리드프레임배출부(I)의 구조를 보여주는 평면도, 정면도, 제3승강레일의 정면도, 우측면도, 및 제3승강레일과 리드프레임핑거의 상세도이다.

도시된 바와 같이, 제3승강레일(900)의 길이방향의 양측면에는 안착된 리드프레임이 정위치에서 이탈하지 않도록 위에서 덮도록 단면 ㄷ자 형상을 한 복수개의 리드프레임커버핑거(902)가 구동샤프트(903)을 중심으로 핑거구동실린더(935)에 의해 회동가능하게 구비된다. 한편 승강레일(900)의 바깥쪽에는 리드프레임푸셔(904)를 승강시키는 레버기구(905)가 배치되어 있다. 승강픽커부(H)가 용접시트(800)로부터 리드프레임(LF)으르 픽업한 후 용접시트가 후퇴되면, 승강레일실린더(930)에 의해 제3승강레일(900)이 상승하고, 핑거구동실린더(935)의 피스톤로드가 수축되어 스프링(936)의 탄성력에 의해 구동샤프트(903)을 중심으로 리드프레임핑거(902)의 선단부가 벌어지면, 승강픽커부(H)가 하강하여 리드프레임을 승강레임(900)의 상면에 안착시킨다. 그러면, 다시 구동실린더(935)의 피스톤로드가 확장되어 구동샤프트(903)를 중심으로 리드프레임핑거(902)의 선단이 승강레일(900)의 상면으로 복귀되어 리드프레임(LF)을 확실하게 승강레일(900)상에서 유지시킨다. 승강레일(900)의 일측에 배치된 레버(905)는 슬라이더(909)에 장착되고 슬라이더(909)는 공압실린더(911)에 의해 왕복운동하도록 구성되어 있다. 레버(905)의 선단에는 리드프레임푸셔(904)가 부착되고 레버의 후단은 레버구동실린더(908)의 피스톤에 맞닿아 레버(905)는 실린더(908)에 의해 힌지핀(906)을 중심으로 회동가능하게 구성된다. 따라서 리드프레임(LF)이 승강레일(900)에 안착하면 레버(905)가 하강하여 리드프레임푸셔(904)가 승강레일(900) 상면의 오목홈까지 내려와서 리드프레임을 수평으로 밀어서 후술하는 리드프레임적재부(J)로 배출하게 된다.

도면중 미설명 부호 918은 승강레일(900)의 승강을 안내하는 가이드바이고, 912는 실린더고정판, 910은 레버고정판, 931은 연결블록, 914는 승강레일커버, 933은 구동샤프트(903)의 고정브라켓, 922는 용접부고정판, 916은 베어링하우징이다.

지금까지 설명한 바와 같이, 리드프레임배출부(I)의 제3승강레일(900)로부터 리드프레임푸셔(904)에 의해 가압배출된 리드프레임은 최종적으로 리드프레임적재부(J)로 도입된다. 리드프레임적재부(J)의 구조는 전술한 리드프레임공급부(A)의 구조와 유사하게 구성된다. 즉, 리드프레임적재부(J)는 리드프레임을 적층할 빈 매거진을 탑재하는 하부판과 배출되는 리드프레임이 적재된 매거진을 탑재하는 상부판을 구비한다. 또한 하부판의 일측에는 매거진을 밀어내는 매거진푸싱수단이 구비되고, 이 매거진푸싱수단의 대향측에는 도입되는 리드프레임을 하나씩 매거진에 삽입할 수 있도록 매거진을 상승시키는 매거진승강수단이 구비된다. 매거진승강수단의 일측의 리드프레임적재부(J)에 인접한 부위에는 리드프레임 인입구가 형성되어 리드프레임이 상승되는 매거진에 하나씩 적층된다. 상부판에는 리드프레임이 적층이 완료된 매거진을 밀어서 한쪽으로 모으는 또 다른 매거진푸싱수단이 구비된다. 아울어, 리드프레임적재부(J)로부터 투입되는 리드프레임을 검출하여 상기 매거진푸싱수단 및 승강수단의 동작을 제어할 수 있도록 하는 각종 센서부와, 이들 매거진푸싱수단과 승강수단을 구동하는 구동기구도 구비된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 종래의 포토커플러용 리드프레임의 발광부칩과 수광부칩을 대향시키기 위한 리드프레임의 절단, 재정렬, 및 용접작업을 완전자동화된 장치에 의해 신속하고 정밀하게 수행할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에 따르면, 리드프레임용 매거진으로부터 배출되는 리드프레임의 유무 및 도착시기, 그리고 리드프레임의 이송상의 이상유무를 정확히 검출함으로써 제품의 불량율을 없애고 고품질의 반도체를 얻을 수 있다. 아울러, 본 발명에 따르면, 리드프레임의 공급에서부터 적재에 이르는 각각의 부분공정유닛간의 순차적인 이송을 정밀하게 제어되고 작동되는 승강레일과 워킹빔 및 픽커이송부에 의해 유기적으로 수행함으로써 장치가 정밀하고 확실하게 작동될 수 있다.

Claims (25)

1. 다이본딩과 와이어본딩의 완료된 포토커플러용 리드프레임을 수광부칩과 발광부칩이 대향하도록 재정렬시키기 위한 리드프레임의 절단 및 용접장치에 있어서, 리드프레임이 적층된 리드프레임매거진을 복수개 투입하여 순차적으로 수직이동시키면서 매거진으로부터 리드프레임을 한 개씩 배출시키는 리드프레임공급부, 상기 리드프레임공급부에서 배출된 리드프레임을 받아 한피치씩 이동시키는 제1이송수단, 상기 제1이송수단상에 배치되면 리드프레임의 커넥팅바를 다운세팅시키고 절단을 행하는 금형부, 상기 제1이송수단상에서 상기 금형부에 인접 배치되며 상기 금형부에서 절단된 리드프레임을 소정간격만큼 이격시키는 리드프레임분리부, 상기 리드프레임분리부에서 이격된 어느 한쪽의 리드프레임을 수평면상에서 180°회전시킨 후 다른 한쪽의 리드프레임과 오버랩시키는 리드프레임재정렬부, 상기 리드프레임재정렬부에서 오버랩된 리드프레임을 픽업하여 용접부로 이송시키는 제2이송수단, 상기 제2이송수단에 의해 이송된 리드프레임의 커넥팅바를 용접시키는 용접부, 상기 용접부에서 용접된 리드프레임을 픽업하여 리드프레임배출부로 이송하는 제3이송수단, 상기 제3이송수단에 의해 이송된 리드프레임을 받아 하나씩 리드프레임적재부의 투입구로 밀어내는 리드프레임배출부, 및 빈 매거진을 수직이동시키면서 매거진 속에 리드프레임을 적층시키고 리드프레임이 적층된 매거진을 일측으로 밀어내어 수집하는 리드프레임적재부로 구성된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 리드프레임공급부는 리드프레임이 다수 적층된 매거진을 탑재하는 하부판, 상기 하부판의 일단에 배치되며 매거진을 하부판상에 가압이동시키는 제1매거진푸싱수단, 상기 하부판의 타단에 배치되며 이동된 매거진을 상승이동시키는 승강수단, 승강수단에 의해 상승하는 매거진으로부터 리드프레임을 하나씩 가압배출하는 리드프레임푸싱수단, 상승된 빈 매거진을 탑재하는 상부판, 상승된 빈 매거진을 상기 상부판으로 밀어내는 제2매거진푸싱수단, 및 상기 매거진푸싱수단, 승강수단, 및 리드프레임푸싱수단을 구동하는 구동기구로 구성된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 제1이송수단은 상기 리드프레임공급부에서 배출된 리드프레임을 이동시키는 상하부 롤러로 이루어진 롤러이송부, 상면에 복수개의 워킹빔이 횡단하도록 된 오목홈을 구비하고 상승상태에서 상기 롤러이송부에 의해 이송된 리드프레임이 탑재되며 하강한 후 워킹빔에 리드프레임을 안착시키는 제1승강레일, 상기 제1승강레일의 오목홈에 배치되어 평행하게 연장되며 길이방향을 따라 소정간격으로 리드프레임이 안착되는 오목부를 구비하며 상승하면서 리드프레임을 탑재하고 소정길이만큼 전진한 후 하강하면서 리드프레임을 내려놓고 후퇴하여 복귀되는 복수개의 워킹빔, 상기 워킹빔의 일단에 배치되어 워킹빔을 전진후퇴시키는 링크기구, 상기 워킹빔의 하부에 배치되어 상기 워킹빔을 승강시키는 승강기구, 상기 워킹빔의 전진방향의 전방에 배치되고 상면에 복수개의 워킹빔이 횡단하는 오목홈을 구비하고 하강상태에서 워킹빔으로부터 리드프레임을 탑재하고 상승상태에서 리드프레임을 내려놓도록 된 제2승강레일, 및 상기 제2승강레일의 상승상태에서 리드프레임을 가압이송하는 핑거부재, 및 상기 상하부 롤러, 제1승강레일, 제2승강레일, 및 워킹빔의 전후진 링크기구와 승강기구를 구동하는 구동기구를 구비한 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 리드프레임분리부는 금형부에서 절단된 리드프레임이 각각 안착되며 수평으로 이격가능한 한쌍의 분리블록, 상기 분리블록을 소정간격만큼 이격 및 복귀시키는 에어실린더, 상기 한쌍의 분리블록이 이격될 때 충격을 흡수하는 탄성완충수단, 및 상기 분리블록의 상부에 배치되고 분리작동시 리드프레임의 이탈을 방지하는 가압부재를 구비한 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 공급장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 리드프레임재정렬부는 상기 리드프레임분리부에서 이격되어 제2승강레일을 통해 이송되는 한쌍의 리드프레임중 어느 하나의 리드프레임의 이송로상에 배치된 리드프레임회전부를 포함하고, 상기 리드프레임회전부는 상면에 리드프레임안착부가 평행배치되고 승강가능하며 하강상태에서 수평면상에서 회전가능한 회전레일, 상기 회전레일상의 리드프레임편을 덮는 레일커버, 상기 회전레일이 180°만큼 회전하도록 규제하는 스토퍼부재, 상기 회전레일의 중앙에 배치된 회전축, 및 상기 회전축에 커플링접속된 회전레일 구동용 회전실린더와 승강실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 리드프레임재정렬부는 리드프레임회전부에 의해 수평회전된 리드프레임을 다른하나의 리드프레임에 오버랩시키는 리드프레임오버랩부를 포함하고, 상기 리드프레임오버랩부는 상기 리드프레임회전부로부터 이송된 리드프레임을 받는 상면을 구비하고 수평축을 중심으로 180°수직회전가능한 오버랩레일, 상기 오버랩레일과 함께 회전되며 오버랩레일과의 사이에서 리드프레임을 유지하는 레일커버, 상승상태에서 180°회전된 리드프레임과 대략 동일평면상에 위치되고 하강상태에서 가이드레일을 따라 이송된 다른 하나의 리드프레임편과 대략 동일평면이 되는 상면을 구비한 업다운레일, 180° 수직회전된 리드프레임을 오버랩레일로부터 업다운레일쪽으로 가압하여 다른 하나의 리드프레임과 서로 오버랩되도록 이동시키는 리드프레임푸싱부재로 구성된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 제2이송수단은 상부 고정판 상에서 수평이동가능한 이송블록, 상기 이송블록에 장착된 픽커구동실린더, 상기 픽커구동실린더의 피스톤에 연결되어 승강가능한 픽커홀더, 상기 픽커홀더의 상부에 배치되고 공압실린더에 의해 회동가능한 픽커구동아암, 상기 픽커홀더의 전후면에 대향배치되고 구동샤프트에 의해 상기 픽커구동아암과 연결되어 픽커구동아암의 회동에 따라 리드프레임을 픽업하는 픽커부재로 구성된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 용접부는 상하로 승강가능한 상부전극과 하부전극을 구비한 용접헤드와 상기 용접헤드 일측의 픽커부로부터 리드프레임을 받아 적재하고 상기 용접헤드의 상부전극과 하부전극 사이의 용접위치로 이동하며 용접이 완료되면 용접헤드 타측의 다른 픽커부로 수평이동가능한 용접시트로 구성된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 제3이송수단은 상부지지대에 장착된 픽커구동실린더, 상기 픽커구동실린더의 피스톤에 연결되어 승강가능한 픽커홀더, 상기 픽커홀더의 상부에 배치되고 공압실린더에 의해 회동가능한 픽커구동아암, 상기 픽커홀더의 전후면에 대향배치되고 구동샤프트에 의해 상기 픽커구동아암과 연결되어 픽커구동아암의 회동에 따라 리드프레임을 픽업하는 픽커부재로 구성된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
10. 제1항에 있어서, 상기 리드프레임배출부는, 승강실린더에 의해 승강되는 레일고정판에 장착되고 상면에 리드프레임을 탑재하도록 된 제3승강레일, 중앙부에서 구동샤프트에 의해 탄성적으로 축지지되고 하단은 상기 레일고정판에 장착된 구동실린더의 피스톤에 맞닿아 가압되고 상단은 상기 승강레일 상면에서 리드프레임을 누르도록 절곡된 핑거부재, 횡방향으로 이동가능한 슬라이더상에 시소운동가능하게 축결합되고 일단에 리드프레임푸싱부재가 구비된 레버부재, 상기 승강레일이 상승한 상태에서 상기 리드프레임푸싱부재가 리드프레임을 푸싱할 수 있는 위치로 하강하도록 상기 레버부재의 타단을 가압하는 레버구동실린더, 상기 리드프레임푸싱부재가 하강한 상태에서 리드프레임이 가압이동되도록 상기 슬라이더를 이동시키는 슬라이더구동실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
11. 제1항에 있어서, 상기 리드프레임적재부는 리드프레임적재용 빈 매거진을 탑재하는 하부판, 상기 하부판의 일단에 배치되어 빈 매거진을 수평으로 가압이동시키는 제1매거진푸싱수단, 상기 하부판의 타단에 배치되며 상기 리드프레임배출부로부터 배출되는 리드프레임이 매거진에 순차적으로 적층되도록 매거진을 상승이동시키는 매거진승강수단, 상승되면서 리드프레임이 적충된 매거진을 탑재하는 상부판, 리드프레임이 적충된 매거진을 상기 상부판상으로 밀어내는 제2매거진푸싱수단, 및 상기 매거진푸싱수단과 승강수단을 구동시키는 구동기구로 구성된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
12. 다이본딩과 와이어본딩이 완료된 포토커플러용 리드프레임을 수광부칩과 발광부칩이 대향하도록 재정렬시키기 위한 리드프레임의 대향정렬장치에 있어서, 커넥팅바가 다운세팅되고 절단되어 이송되는 한쌍의 리드프레임을 탑재하여 소정간격만큼 이격시키는 분리블록을 구비한 리드프레임분리부, 상기 리드프레임분리부에서 이격되어 배출되는 한쌍의 리드프레임중의 어느 하나의 리드프레임의 이송로상에 배치되고 리드프레임편을 탑재한 상태에서 수평면상에서 180°회전가능한 회전레일을 구비한 리드프레임회전부, 및 상기 리드프레임회전부에 의해 수평회전된 리드프레임을 탑재하여 수직회전함으로써 다른 하나의 리드프레임에 오버랩시키는 오버랩레일을 구비한 리드프레임오버랩부로 구성된 것을 특징으로 하는 포토커플러용 리드프레임의 대향정렬장치.
13. 제2항에 있어서, 상기 상부판은 착탈 또는 회동가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
14. 제2항에 있어서, 상기 제1매거진푸싱수단은 완충스프링에 의해 탄설된 푸셔판을 구비한 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
15. 제2항에 있어서, 상기 리드프레임푸싱수단에는 과부하시 후퇴가능한 리드프레임푸싱부재와, 상기 리드프레임푸싱부재의 일단에 배치되어 리드프레임푸싱부재의 후퇴를 검출하는 과부하감지센서를 구비된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
16. 제3항에 있어서, 상기 롤러이송부의 상하부 롤러의 외주면에는 이송되는 리드프레임과의 적절한 마찰력을 확보하기 위한 O-링이 구비된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
17. 제3항에 있어서, 상기 워킹빔용 승강기구는 한쌍의 연결링크에 의해 고정판에 매달리며 승강구동실린더에 의해 승강되는 가동판과, 상기 가동판에서 수직으로 연장되며 워킹빔을 승강시키는 업다운가이드바를 포함하며, 상기 한쌍의 연결링크의 신축운동은 이들 연결링크의 회동축을 서로 연결하는 연결로드에 의해 규제되어 가동판이 균등하게 승강되도록 구성된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
18. 제5항에 있어서, 상기 리드프레임회전부는 리드프레임이 회전레일의 상면에 이송되면 회전레일의 상면으로 상승돌출하여, 회전레일이 회전할 때 리드프레임이 원심력에 의해 회전레일로부터 이탈하지 않도록 유지하는 리드프레임용 스토퍼를 더 포함하고, 상기 리드프레임스토퍼는 회전레일의 하부 일측에 장착된 공압실린더에 의해 승강되는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
19. 제5항에 있어서, 상기 회전레일의 상면에는 이송된 리드프레임이 안착되는 리드프레임안착부를 구비하고, 상기 리드프레임안착부에는 리드프레임의 다운세팅된 커넥팅바가 간섭되지 않도록 하는 간섭도피홈이 구비된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
20. 제6항에 있어서, 상기 업다운레일은 리드프레임픽커기구에 의해 밀려 하강하여 적재된 리드프레임을 다른 하나의 리드프레임과 커넥팅바 부위에서 서로 오버랩시키고, 리드프레임픽커기구가 상승하면 스프링의 탄성력에 의해 상승복귀되는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
21. 제6항에 있어서, 상기 리드프레임오버랩부는 상기 오버랩레일 단부의 회전궤적을 따라 형성된 내주면을 구비하여 회전되는 리드프레임을 안내하는 리드프레임가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
22. 제8항에 있어서, 상기 용접시트는 용접시트블록에 설치되고, 용접시트블록은 구동모타에 의해 이동가능한 이송블록에 장착되며, 상기 용접시트블록과 이송블록 사이에는 절연판이 구비된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
23. 제8항에 있어서, 상기 하부전극은 고정블록을 통해 승강판에 장착되고, 고정블록과 승강판 사이에는 절연판이 구비된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
24. 제8항에 있어서, 상기 상부전극은 상부전극구동실린더에 의해 승강되는 전극홀더에 장착되고, 상부전극의 선단부 둘레에는 스프링에 의해 전극홀더에 탄성적으로 지지되며 용접개시전에 용접시트에 배치된 리드프레임을 고정시키는 클램프가 구비된 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.
25. 제10항에 있어서, 상기 핑거부재는 상기 핑거구동실린더의 피스톤로드가 수축될 때 스프링의 탄성력에 의해 선단부가 벌어져서 리드프레임의 승강레일의 상면에 안착되도록 승강레일로부터 후퇴되고, 핑거구동실린더의 피스톤로드가 확장될 때 선단부가 승강레일로 복귀하여 리드프레임을 승강레일상에 유지하는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 절단 및 용접장치.