KR0119772Y1 - Tip fixing apparatus of prober card - Google Patents
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Abstract
본 고안은 웨이퍼 테스트용 프로브 카드의 탐침 고정장치에 관한 것으로, 특히 불량 탐침의 수리 및 교환을 용이하게 하기 위하여, 프로브 카드 보드(1)의 하면 일측에 고정된 제1고정부재(10)와, 상기 제1고정부재(10)에 나사못(20)(20')으로 이탈,착 가능하게 고정되는 제2고정부재(30)를 구비하고, 상기 제1,제2고정부재(10)(30)의 결합면에 다수개의 프로브 카드 탐침(3)를 지지하기 위한 수 개의 지지홈(11)(31)을 각각 형성하여 프로브 카드 탐침(3)의 개별적인 교체 및 수리가 용이하도록 구성한 것을 특징으로 하고 있다. 이러한 본 고안에 의하면, 불량탐침의 개별적인 분리, 제거와 교체가 용이하므로 프로브 카드의 수리가 용이하여, 결국 프로브 카드의 수명을 연장할 수 있는 것이다.The present invention relates to a probe holding device for a probe card for wafer testing, and in particular, to facilitate repair and replacement of a defective probe, the first fixing member 10 fixed to one side of the lower surface of the probe card board 1, The second fixing member 30 is detachably fixed to the first fixing member 10 by screws 20 and 20 ', and the first and second fixing members 10 and 30 are fixed to the first fixing member 10. It is characterized in that it is configured to facilitate the individual replacement and repair of the probe card probe (3) by forming a plurality of support grooves (11) (31) for supporting a plurality of probe card probes (3) on the mating surface of each; . According to the present invention, since it is easy to separate, remove and replace the defective probe, the repair of the probe card is easy, and thus the life of the probe card can be extended.
Description
제1도의 (a)(b)는 일반적인 웨이퍼 테스트용 프로브 카드의 구조를 보인 평면도 및 단면도.(A) and (b) of FIG. 1 are plan and cross-sectional views showing the structure of a probe card for a general wafer test.
제2도는 종래 탐침 고정구조를 보인 제1도(b)의 A부 상세도.Figure 2 is a detailed view of the portion A of Figure 1 (b) showing a conventional probe fixing structure.
제3도는 제2도의 B부 확대도.3 is an enlarged view of a portion B of FIG.
제4도는 본 고안에 의한 장치의 구조를 보인 분해 사시도.Figure 4 is an exploded perspective view showing the structure of the device according to the present invention.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10,30:제1,제2고정부재 20,20':나사못10,30: 1st, 2nd fixing member 20,20 ': Screw
11,31:지지홈 12,32:나사공11,31: support groove 12,32: screwdriver
본 고안은 웨이퍼 테스트용 프로브 카드의 탐침 고정장치에 관한 것으로, 특히 불량 탐침의 수리 및 교환을 용이하게 하여 프로브 카드의 수명을 연장시킬 수 있도록 한 웨이퍼 테스트용 프로브 카드의 탐침 고정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a probe holding device for a wafer test probe card, and more particularly, to a probe holding device for a wafer test probe card, which facilitates repair and replacement of a defective probe, thereby extending the life of the probe card.
일반적인 웨이퍼 테스트용 프로브 카드의 구조가 제1도 내지 제3도에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 살펴보면 다음과 같다.The structure of a probe card for a general wafer test is illustrated in FIGS. 1 to 3, which is briefly described as follows.
제1도에 도시한 바와 같이, 일반적인 웨이퍼 테스트용 프로브 카드는 원판의 프로브 카드 보드(1)의 상면 가장자리에는 신호전달을 위한 다수개의 패드 패턴(2)이 일정간격으로형성되어 있고, 하면의 중간부에는 수 개의 프로브 카드 탐침(3)이 구비되어 있다.As shown in FIG. 1, in a typical wafer test probe card, a plurality of pad patterns 2 for signal transmission are formed on the upper edge of a probe card board 1 of a disc at regular intervals, and in the middle of the lower surface of the probe card. The part is provided with several probe card probes 3.
상기 프로브 카드 탐침(3)은 제2도 및 제3도에 도시한 바와 같이, 프로브 카드 보드(1)에 납땜(4) 연결되어 있고, 유동을 방지하기 위하여 에폭시 수지(5)로 고정하도록 되어 있다.The probe card probe 3 is soldered 4 to the probe card board 1 as shown in FIGS. 2 and 3, and is fixed with epoxy resin 5 to prevent flow. have.
이와 같이 구성된 프로브 카드는 테스트 장비에 패드 패턴(2)이 연결되도록 설치되며, 하부의 프로브 카드 탐침(3)을 이용하여 웨이퍼 상의 각 칩을 테스트하게 된다.The probe card configured as described above is installed so that the pad pattern 2 is connected to the test equipment, and each chip on the wafer is tested by using the lower probe card probe 3.
한편, 상기와 같은 프로브 카드를 오래 사용 하다보면, 여러개의 프로브 카드 탐침(3) 중 일부가 손상되거나, 불량탐침이 발생될 수 있는데, 이 때에는 프로브 카드 탐침(3)을 에워싸고 있는 에폭시 수지(5)를 제거한 후, 납땜(4) 부위를 해체하여 교체 및 수리하도록 되어 있다.On the other hand, when using the above-described probe card for a long time, some of the several probe card probe (3) may be damaged or a bad probe may occur, in this case, the epoxy resin surrounding the probe card probe (3) ( After removing 5), the soldering part 4 is dismantled for replacement and repair.
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 프로브 카드 탐침(3) 고정구조에 있어서는 낱개의 프로브 카드 탐침(3)을 수리 또는 교체하기 위하여 프로브 카드 탐침(3) 전체를 감싸고 있는 에폭시 수지(5)를 제거해야 하므로 이웃하는 정상탐침을 손상시킬 우려가 있어 불량탐침의 교체 및 수리작업이 어려운 단점이 있었고, 또한 상기한 바와 같은 이유로 수리가 불가능함으로 인하여 프로브 카드 전체를 폐기 처리해야 하는 등, 결국 프로브 카드의 수명단축을 야기시키는 문제가 있었다.However, in the conventional probe card probe 3 fixing structure as described above, the epoxy resin 5 surrounding the entire probe card probe 3 must be removed to repair or replace the individual probe card probe 3. Therefore, there is a risk of damaging the neighboring normal probe, which makes it difficult to replace and repair the defective probe. Also, the entire probe card must be discarded due to the impossibility of repair for the reasons described above. There was a problem causing shortening.
이를 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 낱개의 불량탐침의 수리 및 교체를 용이하게 함으로써 프로브 카드의 수명을 연장시킬 수 있음과 아울러 탐침의 위치를 정확히 조정하여 고정할 수 있도록 한 웨이퍼 테스트용 프로브 카드의 탐침 고정장치를 제공함에 있다.In view of this, the object of the present invention is to improve the life of the probe card by facilitating the repair and replacement of individual defect probes, and the probe card for the wafer test, which can fix and fix the position of the probe accurately. It is to provide a probe fixing device of.
상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 프로브 카드 보드의 하면 일측에 고정되며 하면에 다수개의 프로브 카드 탐침 지지홈이 형성된 제1고정부재와, 상기 제1고정부재의 지지홈에 대응하는 다수개의 프로브 카드 탐침 지지홈이 상면에 형성된 제2고정부재 및, 상기 제1,제2고정부재를 이탈,착 가능하게 고정하는 나사못을 구비하여서 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 테스트용 프로브 카드의 탐침 고정장치가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, a first fixing member fixed to one side of the probe card board and formed with a plurality of probe card probe support grooves on the bottom surface, and a plurality of corresponding support grooves of the first fixing member. Probe holding device for a probe test probe card characterized in that it comprises a second fixing member formed on the upper surface of the probe card probe support groove, and a screw for fixing the first, second fixing member detachably Is provided.
이하, 상기한 바와 같은 본 고안에 의한 웨이퍼 테스트용 프로브 카드의 탐침 고정장치를 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the probe holding device of the probe test probe card according to the present invention as described above will be described in more detail based on the accompanying drawings.
첨부한 제4도는 본 고안 장치의 구조를 보인 분해 사시도로서, 이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 테스트용 프로브 카드의 탐침 고정장치는 프로브 카드 보드(1)의 하면 일측에 고정된 제1고정부재(10)와, 상기 제1고정부재(10)에 나사못(20)(20')으로 이탈,착 가능하게 고정되는 제2고정부재(30)를 구비하고, 상기 제1,제2고정부재(10)(30)의 결합면에 다수개의 프로브 카드 탐침(3)을 지지하기 위한 수 개의 지지홈(11)(31)을 각각 형성하여 프로브 카드 탐침(3)의 개별적인 교체 및 수리가 용이하도록 구성한 것을 특징으로 하고 있다. 상기 제1,제2고정부재(10)(30)는 플라스틱 재질로 형성되어 있고, 양측부에는 나사못(20)(20')이 체결되는 나사공(12)(32)이 각각 형성되어 있다.4 is an exploded perspective view showing the structure of the device of the present invention. As shown in the drawing, the probe holding device of the probe card for a wafer test according to the present invention is a first fixed side of the probe card board 1. A fixing member 10 and a second fixing member 30 detachably fixed to the first fixing member 10 by screws 20 and 20 ', wherein the first and second fixing members are fixed to the first fixing member 10. Several support grooves 11 and 31 are formed on the mating surfaces of the members 10 and 30 to support the plurality of probe card probes 3, respectively, so that the replacement and repair of the probe card probes 3 is easy. It is characterized in that it is configured to. The first and second fixing members 10 and 30 are formed of a plastic material, and screw holes 12 and 32 to which screws 20 and 20 'are fastened are formed at both sides thereof.
즉, 본 고안은 프로브 카드 탐침(3)의 지지, 고정을 위한 두 부분의 플라스틱 구조물로 구성되어 있는데, 상기 제1고정부재(10)는 프로브 카드 보드(1)에 부착되어 있으며, 또 하나의 고정부재(30)는 착탈이 가능하도록, 나사못(20)(20')으로 상기 제1고정부재(10)에 고정되어 있다.That is, the present invention is composed of a plastic structure of two parts for supporting and fixing the probe card probe 3, the first fixing member 10 is attached to the probe card board (1), The fixing member 30 is fixed to the first fixing member 10 by screws 20, 20 ′ so that attachment and detachment are possible.
여기서, 프로브 카드 탐침(3)은 상기 제1,제2고정부재(10)(30)의 결합면에 각각 형성된 지지홈(11)(31) 사이에 끼어 고정되도록 되어 있다.In this case, the probe card probe 3 is fixed between the support grooves 11 and 31 formed on the mating surfaces of the first and second fixing members 10 and 30, respectively.
이하, 상기와 같이 구성된 본 고안에 의한 장치의 탐침 교체작업 및 그에 따르는 작용효과를 설명한다.Hereinafter, the probe replacement operation of the device according to the present invention configured as described above and the resulting effects.
본 고안에 의한 장치는 두 개의 제1,제2고정부재(10)(30)를 분리하면 각각의 프로브 카드 탐침(3)이 분리되므로, 불량탐침 발생시 상기와 같이, 제1,제2고정부재(10)(30)를 분리한 후, 해당탐침의 뒷부분 납땜 부분을 떼어내는 것으로 쉽게 불량탐침을 제거할 수 있는 것이다.In the device according to the present invention, when each of the first and second fixing members 10 and 30 is separated, the respective probe card probes 3 are separated. As a result, when the defective probe is generated, the first and second fixing members are as described above. After removing (10) and (30), it is possible to easily remove the defective probe by removing the soldered portion of the back of the probe.
한편, 양품의 탐침을 고정시킴에 있어서는 먼저, 제1,제2고정부재(10)(30)의 각 지지홈(11)(31)에 탐침을 얹고 상기 제1,제2고정부재(10)(30)을 나사못(20)(20')을 이용하여 적당히 조여 탐침의 위치를 정확히 조정한 다음 재차 단단히 조여준 후, 프로브 카드 보드(1)와의 연결부위를 납땜 고정하는 것으로 진행하는 것이다.On the other hand, in fixing the probe of good quality, first, the probes are placed on each of the support grooves 11 and 31 of the first and second fixing members 10 and 30, and then the first and second fixing members 10 are fixed. Properly tighten (30) using screws (20, 20 '), adjust the position of the probe correctly, then tighten it again, and then proceed to solder and fix the connection with the probe card board (1).
따라서, 제1,제2고정부재(10)(30)를 분리하면 각각의 프로브 카드 탐침(3)이 분리되므로 이웃하는 정상탐침에 손상을 주지 않고 불량탐침만을 쉽게 교체 및 수리할 수 있는 것이다.Therefore, when the first and second fixing members 10 and 30 are separated, each probe card probe 3 is separated, so that only the defective probe can be easily replaced and repaired without damaging the neighboring normal probe.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안의 프로브 카드 탐침 고정장치에 의하면, 불량탐침의 개별적인 분리, 제거와 교체가 용이하므로 프로브 카드의 수리가 용이하여, 결국 프로브 카드의 수명을 연장할 수 있는 것이다. 또한 탐침의 위치를 정확히 조정하여 고정할 수 있게 되는 것이다.As described above in detail, according to the probe card probe fixing device of the present invention, since the individual probes can be easily removed, removed and replaced, the probe card can be easily repaired, thereby extending the life of the probe card. In addition, the position of the probe can be accurately adjusted and fixed.
Claims (2)
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