JPWO2024063131A5 - - Google Patents
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- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 18
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N azanylidynechromium Chemical compound [Cr]#N CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2024131913A JP2024156948A (ja) | 2022-09-22 | 2024-08-08 | エンコーダ用反射型光学式スケール、反射型光学式エンコーダおよびエンコーダ用反射型光学式スケール用積層体 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022151118 | 2022-09-22 | ||
| JP2022151118 | 2022-09-22 | ||
| PCT/JP2023/034256 WO2024063131A1 (ja) | 2022-09-22 | 2023-09-21 | エンコーダ用反射型光学式スケール、反射型光学式エンコーダおよびエンコーダ用反射型光学式スケール用積層体 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024131913A Division JP2024156948A (ja) | 2022-09-22 | 2024-08-08 | エンコーダ用反射型光学式スケール、反射型光学式エンコーダおよびエンコーダ用反射型光学式スケール用積層体 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2024063131A1 JPWO2024063131A1 (https=) | 2024-03-28 |
| JP7537649B1 JP7537649B1 (ja) | 2024-08-21 |
| JPWO2024063131A5 true JPWO2024063131A5 (https=) | 2024-08-28 |
Family
ID=90454671
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024519479A Active JP7537649B1 (ja) | 2022-09-22 | 2023-09-21 | エンコーダ用反射型光学式スケール、反射型光学式エンコーダおよびエンコーダ用反射型光学式スケール用積層体 |
| JP2024131913A Pending JP2024156948A (ja) | 2022-09-22 | 2024-08-08 | エンコーダ用反射型光学式スケール、反射型光学式エンコーダおよびエンコーダ用反射型光学式スケール用積層体 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024131913A Pending JP2024156948A (ja) | 2022-09-22 | 2024-08-08 | エンコーダ用反射型光学式スケール、反射型光学式エンコーダおよびエンコーダ用反射型光学式スケール用積層体 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20260092793A1 (https=) |
| EP (1) | EP4597045A4 (https=) |
| JP (2) | JP7537649B1 (https=) |
| CN (2) | CN121297910A (https=) |
| TW (2) | TWI895801B (https=) |
| WO (1) | WO2024063131A1 (https=) |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1245008B (it) * | 1991-01-25 | 1994-09-13 | Lamsweerde Edoardo Van | Elemento graduato per lettura ottica a riflessione e procedimento per la sua fabbricazione |
| JPH11142345A (ja) * | 1997-11-11 | 1999-05-28 | Nikon Corp | 検査装置及び検査方法 |
| JP2005241248A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-09-08 | Aronshiya:Kk | 光学式エンコーダに用いられる反射板及びその製造方法 |
| CN104094087B (zh) * | 2011-12-28 | 2016-07-20 | 株式会社尼康 | 编码器、编码器用标尺制造方法、编码器制造方法及驱动装置 |
| DE102016201068A1 (de) * | 2016-01-26 | 2017-07-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Maßverkörperung und Positionsmesseinrichtung mit dieser Maßverkörperung |
| JP2021014990A (ja) * | 2017-11-08 | 2021-02-12 | アルプスアルパイン株式会社 | 反射型光学式エンコーダのコード板 |
| JP7025189B2 (ja) * | 2017-12-05 | 2022-02-24 | 株式会社ミツトヨ | スケールおよびその製造方法 |
| JP7488671B2 (ja) * | 2020-03-13 | 2024-05-22 | 日東電工株式会社 | 反射防止フィルムおよび画像表示装置 |
| JP7574845B2 (ja) * | 2020-03-31 | 2024-10-29 | 大日本印刷株式会社 | エンコーダ用反射型光学式スケール及び反射型光学式エンコーダ |
-
2023
- 2023-09-21 TW TW112136029A patent/TWI895801B/zh active
- 2023-09-21 TW TW114129293A patent/TW202601064A/zh unknown
- 2023-09-21 US US19/112,676 patent/US20260092793A1/en active Pending
- 2023-09-21 CN CN202511608475.3A patent/CN121297910A/zh active Pending
- 2023-09-21 WO PCT/JP2023/034256 patent/WO2024063131A1/ja not_active Ceased
- 2023-09-21 JP JP2024519479A patent/JP7537649B1/ja active Active
- 2023-09-21 CN CN202380067296.6A patent/CN119948315A/zh active Pending
- 2023-09-21 EP EP23868252.0A patent/EP4597045A4/en active Pending
-
2024
- 2024-08-08 JP JP2024131913A patent/JP2024156948A/ja active Pending
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