JPWO2023281687A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 可動子が搭載された複数のキャリアの各々に設置された位置検出用磁石部と、固定子が搭載された搬送レールに設置された位置検出部とを備えた位置検出器であって、
   前記位置検出用磁石部は、前記キャリアの搬送方向に沿って異なる磁極が交互に並ぶように配置された複数の磁石と、前記位置検出用磁石部のうち前記キャリアの搬送方向の端部に設置された側面磁気遮蔽部とを備え、
   前記位置検出部は、前記キャリアの搬送方向と平行に配置された処理基板と、前記処理基板のうち前記キャリアと対向する面である表面に、前記キャリアの搬送方向に沿って並べて配置された複数の磁気検出素子と、前記処理基板のうち前記キャリアと対向する面である表面の反対側の面である裏面に前記磁気検出素子と対向して設置された基板側磁気遮蔽部とを備え、
   複数の前記磁石は、前記処理基板に垂直な方向に磁極が並ぶように各々着磁されており、
   複数の前記磁石のうち前記キャリアの搬送方向における両端に位置する前記磁石同士は、前記処理基板と対向する磁極の極性が互いに異なることを特徴とする位置検出器。
2. 前記位置検出用磁石部は、複数の前記磁石のうち前記搬送レールと対向する面である表面の反対側の面である裏面を覆って設置された裏面磁気遮蔽部を備えることを特徴とする請求項１に記載の位置検出器。
3. 前記側面磁気遮蔽部は、複数の前記磁石よりも前記搬送レール側に突出していることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置検出器。
4. 複数の前記磁石は、前記側面磁気遮蔽部よりも前記搬送レール側に突出していることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置検出器。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載の位置検出器を備え、
   前記可動子及び前記固定子はリニアモータを形成することを特徴とするリニア搬送装置。