JPWO2023199485A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2023199485A5 JPWO2023199485A5 JP2024515281A JP2024515281A JPWO2023199485A5 JP WO2023199485 A5 JPWO2023199485 A5 JP WO2023199485A5 JP 2024515281 A JP2024515281 A JP 2024515281A JP 2024515281 A JP2024515281 A JP 2024515281A JP WO2023199485 A5 JPWO2023199485 A5 JP WO2023199485A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- unit
- levitation
- floating unit
- holding mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2025182159A JP2026003061A (ja) | 2022-04-14 | 2025-10-29 | 搬送装置、搬送方法、及び半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2022/017848 WO2023199485A1 (ja) | 2022-04-14 | 2022-04-14 | 搬送装置、移載方法、搬送方法、及び半導体装置の製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2025182159A Division JP2026003061A (ja) | 2022-04-14 | 2025-10-29 | 搬送装置、搬送方法、及び半導体装置の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2023199485A1 JPWO2023199485A1 (https=) | 2023-10-19 |
| JPWO2023199485A5 true JPWO2023199485A5 (https=) | 2025-01-23 |
| JP7767587B2 JP7767587B2 (ja) | 2025-11-11 |
Family
ID=88329440
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024515281A Active JP7767587B2 (ja) | 2022-04-14 | 2022-04-14 | 搬送装置、移載方法、搬送方法、及び半導体装置の製造方法 |
| JP2025182159A Pending JP2026003061A (ja) | 2022-04-14 | 2025-10-29 | 搬送装置、搬送方法、及び半導体装置の製造方法 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2025182159A Pending JP2026003061A (ja) | 2022-04-14 | 2025-10-29 | 搬送装置、搬送方法、及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20250239475A1 (https=) |
| JP (2) | JP7767587B2 (https=) |
| KR (1) | KR20250005189A (https=) |
| CN (1) | CN118985037A (https=) |
| WO (1) | WO2023199485A1 (https=) |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4056577B2 (ja) * | 1997-02-28 | 2008-03-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | レーザー照射方法 |
| JPH11168063A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-06-22 | Nikon Corp | ステージ装置、走査型露光装置及び露光方法 |
| JP2003045820A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射装置およびレーザ照射方法、並びに半導体装置の作製方法 |
| KR20050070109A (ko) | 2002-11-05 | 2005-07-05 | 소니 가부시끼 가이샤 | 광조사장치 및 광조사방법 |
| CN101617069B (zh) | 2005-12-05 | 2012-05-23 | 纽约市哥伦比亚大学理事会 | 处理膜的系统和方法以及薄膜 |
| CN112582322B (zh) * | 2014-05-12 | 2024-07-30 | Jsw阿克迪纳系统有限公司 | 激光退火装置、激光退火处理用连续传送路径以及激光退火处理方法 |
| KR102388723B1 (ko) | 2015-08-07 | 2022-04-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 레이저 어닐링 장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치 제조방법 |
| JP6754266B2 (ja) | 2016-10-14 | 2020-09-09 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法 |
-
2022
- 2022-04-14 CN CN202280094733.9A patent/CN118985037A/zh active Pending
- 2022-04-14 KR KR1020247035945A patent/KR20250005189A/ko active Pending
- 2022-04-14 JP JP2024515281A patent/JP7767587B2/ja active Active
- 2022-04-14 WO PCT/JP2022/017848 patent/WO2023199485A1/ja not_active Ceased
- 2022-04-14 US US18/853,548 patent/US20250239475A1/en active Pending
-
2025
- 2025-10-29 JP JP2025182159A patent/JP2026003061A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101363836B1 (ko) | 스토커 | |
| JP2014007193A (ja) | 基板搬送システム | |
| CN102470998A (zh) | 空气浮起式基板搬运装置 | |
| JP7489435B2 (ja) | タワーリフトとこれを含む物流システム及びこれを利用した搬送方法 | |
| JP2009062153A (ja) | 保管庫 | |
| CN112786504B (zh) | 基板处理装置和基板收纳容器保管方法 | |
| JP4348520B2 (ja) | 搬送システム | |
| KR20220072765A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
| JP7522572B2 (ja) | 基板処理装置および基板反転方法 | |
| JPWO2023199485A5 (https=) | ||
| KR102346975B1 (ko) | 박형의 디스플레이 패널 이송 및 코팅 장치 | |
| JPWO2012053430A1 (ja) | 蒸着装置及び蒸着方法 | |
| JP4192568B2 (ja) | 搬送システム | |
| JP5663297B2 (ja) | 塗布装置 | |
| CN102152965B (zh) | 有机发光显示面板单元传送装置和方法 | |
| KR102189275B1 (ko) | 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치 | |
| KR101570074B1 (ko) | 기판 로딩 시스템 및 로딩 방법 | |
| JP3976170B2 (ja) | 薄板物品の位置決め装置 | |
| KR101400096B1 (ko) | 진공흡착을 통한 기판운송방법 | |
| JP7767587B2 (ja) | 搬送装置、移載方法、搬送方法、及び半導体装置の製造方法 | |
| JP2007134734A (ja) | 液晶基板の搬送装置 | |
| KR102725001B1 (ko) | 레이저 처리장치 | |
| JP2006347753A (ja) | 搬送システム | |
| KR102819345B1 (ko) | 주행 장치 및 이를 이용한 약액 토출 장치 | |
| KR101658056B1 (ko) | 대상물 공급시스템 |