JPWO2023053840A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2023053840A5
JPWO2023053840A5 JP2023550489A JP2023550489A JPWO2023053840A5 JP WO2023053840 A5 JPWO2023053840 A5 JP WO2023053840A5 JP 2023550489 A JP2023550489 A JP 2023550489A JP 2023550489 A JP2023550489 A JP 2023550489A JP WO2023053840 A5 JPWO2023053840 A5 JP WO2023053840A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light beam
scanning device
optical scanning
actuator
mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Abandoned
Application number
JP2023550489A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2023053840A1 (cg-RX-API-DMAC7.html
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2022/033041 external-priority patent/WO2023053840A1/ja
Publication of JPWO2023053840A1 publication Critical patent/JPWO2023053840A1/ja
Publication of JPWO2023053840A5 publication Critical patent/JPWO2023053840A5/ja
Abandoned legal-status Critical Current

Links

JP2023550489A 2021-09-28 2022-09-01 Abandoned JPWO2023053840A1 (cg-RX-API-DMAC7.html)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021158222 2021-09-28
PCT/JP2022/033041 WO2023053840A1 (ja) 2021-09-28 2022-09-01 光走査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2023053840A1 JPWO2023053840A1 (cg-RX-API-DMAC7.html) 2023-04-06
JPWO2023053840A5 true JPWO2023053840A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) 2024-06-17

Family

ID=85780630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023550489A Abandoned JPWO2023053840A1 (cg-RX-API-DMAC7.html) 2021-09-28 2022-09-01

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20240219710A1 (cg-RX-API-DMAC7.html)
EP (1) EP4411451A4 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP (1) JPWO2023053840A1 (cg-RX-API-DMAC7.html)
CN (1) CN118020011A (cg-RX-API-DMAC7.html)
WO (1) WO2023053840A1 (cg-RX-API-DMAC7.html)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7481099B2 (ja) * 2019-09-11 2024-05-10 浜松ホトニクス株式会社 光走査システムの製造方法、光走査装置の製造方法及びデータ取得方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2537732A1 (fr) * 1982-12-10 1984-06-15 Thomson Csf Dispositif d'echauffement d'une zone annulaire superficielle d'un objet filiforme
JPH03288120A (ja) * 1990-04-04 1991-12-18 Ricoh Co Ltd 走査光学装置
JPH08288120A (ja) * 1995-02-14 1996-11-01 Toshiba Corp 静磁界発生磁石及びｍｒｉシステム
JP2002148536A (ja) * 2000-11-09 2002-05-22 Olympus Optical Co Ltd アクチュエータおよびその駆動方法
US7295726B1 (en) * 2003-12-02 2007-11-13 Adriatic Research Institute Gimbal-less micro-electro-mechanical-system tip-tilt and tip-tilt-piston actuators and a method for forming the same
JP2008116678A (ja) * 2006-11-02 2008-05-22 Sony Corp 表示装置及び表示方法
JP5510591B2 (ja) * 2008-01-30 2014-06-04 セイコーエプソン株式会社 リフレクタ、光源装置及びプロジェクタ
JP5458827B2 (ja) * 2009-11-25 2014-04-02 株式会社リコー ビームピッチ調整方法、光走査装置および画像形成装置
WO2012027410A1 (en) * 2010-08-23 2012-03-01 Lighttime, Llc Ladar using mems scanning
JP2012118125A (ja) * 2010-11-29 2012-06-21 Ricoh Co Ltd 光走査装置及びその駆動方法。
DE102011004477A1 (de) 2011-02-21 2012-09-13 Carl Zeiss Ag Scanspiegelvorrichtung
US9213142B2 (en) * 2013-11-21 2015-12-15 Huawei Technologies Co., Ltd. Device and method for micro-electro-mechanical-system photonic switch
JP2015141372A (ja) * 2014-01-30 2015-08-03 株式会社ミツトヨ 照射装置、照射方法、測定装置、及び測定方法
JP6670143B2 (ja) * 2016-03-24 2020-03-18 パイオニア株式会社 揺動体装置の制御装置
JP6924090B2 (ja) * 2017-07-21 2021-08-25 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
JP7069629B2 (ja) * 2017-10-13 2022-05-18 株式会社リコー 距離測定装置、移動体、距離測定方法およびプログラム
WO2019176204A1 (ja) * 2018-03-13 2019-09-19 三菱電機株式会社 光走査装置およびその制御方法
DE102019204165A1 (de) * 2019-03-26 2020-10-15 Carl Zeiss Smt Gmbh Optische anordnung und lithographieanlage

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6516516B2 (ja) 光偏向器
JP7167500B2 (ja) 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び車両
US11750779B2 (en) Light deflector, optical scanning system, image projection device, image forming apparatus, and lidar device
US20230221546A1 (en) Optical scanning device and control method thereof
JPWO2023053840A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
WO2020250343A1 (ja) 障害物検出装置
JP5499502B2 (ja) 光学装置
US20220299759A1 (en) Light deflector, image projection apparatus, and distance-measuring apparatus
US20240219710A1 (en) Optical scanning device
JP6989341B2 (ja) レーザレーダ装置
JP2003322799A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
US20240036305A1 (en) Image projection device and control method for image projection device
US20230073166A1 (en) Micromirror device and optical scanning device
JP2021081593A (ja) 台座、可動装置、レーザレーダ装置、画像形成装置及び画像投影装置
JP7221745B2 (ja) 光走査装置、光源装置
JP4619180B2 (ja) 光走査用アクチュエータ
US20250138306A1 (en) Optical scanning device
JP2645861B2 (ja) 光軸移動光学系および光シャッター装置
JP7608909B2 (ja) 可動装置、偏向装置、物体認識装置、画像投影装置、及び移動体
US20240353533A1 (en) Distance measurement device
WO2023190069A1 (ja) 光偏向装置及び測距装置
WO2022185367A1 (ja) 光源装置及びセンサ装置
JP2020126142A (ja) 光走査装置及び光走査方法
WO2024080078A1 (ja) 光走査装置
JP2025154623A (ja) 走査装置及び制御装置