JPWO2022264796A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 空洞が内部に形成された半導体基板と、
   前記空洞に対して浮いた状態で前記半導体基板に支持された固定電極を含む固定構造と、
   前記空洞に対して浮いた状態で前記半導体基板に弾性構造を介して支持され、前記固定電極に対して変位する可動電極を含む可動構造とを含み、
   前記弾性構造は、前記半導体基板に支持される第１端部と、前記可動構造に接続される第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とを接続する中間部とを含み、
   前記中間部の少なくとも一部に直線状に延びた直線部分を有し、前記直線部分が、当該直線部分の延びる方向に互いに平行に延びた複数の直線フレームを備えている、加速度センサ。
2. 前記直線部分は、当該直線部分に含まれる前記複数の直線フレーム間に架設された複数の補強フレームを含む、請求項１に記載の加速度センサ。
3. 前記直線部分は、当該直線部分に含まれる前記複数の直線フレーム間に、当該直線フレームに沿って三角形状の空間が繰り返されるように、前記複数の直線フレーム間に架設された複数の補強フレームを含む、請求項１に記載の加速度センサ。
4. 前記直線部分は、
   互いに平行に延びた第１直線部分および第２直線部分と、
   前記第１直線部分および前記第２直線部分の一端どうしを連結する第３直線部分とを含む、請求項１に記載の加速度センサ。
5. 前記第１直線部分、前記第２直線部分および前記第３直線部分は、それぞれ、それらに含まれている前記複数の直線フレーム間に架設された少なくとも１つの補強フレームを含む、請求項４に記載の加速度センサ。
6. 前記直線部分が、前記可動電極の延びる方向に対して平行な直線部分を含む、請求項１～５のいずれか一項に記載の加速度センサ。
7. 前記固定電極が、所定の第１方向に間隔をおいて、前記第１方向と直交する第２方向に互いに平行に延びた一対の固定電極を含み、
   前記可動電極が、前記一対の固定電極の間に配置され、前記第１方向に間隔をおいて、前記第２方向に互いに平行に延びた１対の可動電極を含む、請求項１～５のいずれか一項に記載の加速度センサ。
8. 前記固定電極が、平面視において、櫛歯状に形成された複数の固定電極を含み、
   前記可動電極が、平面視において、櫛歯状に形成された複数の可動電極対を含み、
   前記複数の可動電極対は、前記複数の固定電極に対して、接触しないで噛み合うように配置されており、
   前記各可動電極対は、当該可動電極対の両側の前記固定電極にそれぞれ対向し、かつ互いに平行に延びた２つの前記可動電極を含む、請求項１～５のいずれか一項に記載の加速度センサ。
9. 前記固定電極の横断面形状および前記可動電極の横断面形状が、上下方向に細長い四角形状である、請求項７に記載の加速度センサ。
10. 前記弾性構造は、
    １つ前記直線部分と、
    前記直線部分の一端に接続されたテーパ部分とを含み、
    当該直線部分は、互いに平行な２つの前記直線フレームからなり、
    前記テーパ部分は、該２つの前記直線フレームの一端部のそれぞれから、互いの間隔が徐々に広がるように、当該２つの前記直線フレームに対して斜め外方に延びた２本の接続フレームからなる、請求項１に記載の加速度センサ。
11. 前記直線部分が、前記可動電極の延びる方向に対して平行であるか、または、前記半導体基板の表面に沿う方向であって、前記可動電極の延びる方向と直交する方向に対して平行である、請求項１０に記載の加速度センサ。
12. 前記固定電極が、平面視において、櫛歯状に形成された複数の固定電極を含み、
    前記可動電極が、平面視において、櫛歯状に形成された複数の可動電極を含み、
    前記複数の可動電極は、前記複数の固定電極に対して、接触しないで噛み合うように配置されている、請求項１０または１１に記載の加速度センサ。
13. 前記固定電極の横断面形状および前記可動電極の横断面形状が、上下方向に細長い四角形状である、請求項１２に記載の加速度センサ。
14. 前記固定電極および前記可動電極のうちのいずれか一方は、他方に対して下方にずれた状態に配置されている、請求項１３に記載の加速度センサ。