JPWO2021181662A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 照明光を走査する光照射装置であって、
   光を発する光源と、
   前記光源から発せられた前記光であって面状の像を形成する前記光を反射して偏向させる第１の反射面と、
   前記第１の反射面で偏向された前記光を反射して偏向させる第２の反射面と、
   前記第１の反射面を前記第１の反射面の中心を通る第１の中心軸周りに回転させ、前記第２の反射面を前記第２の反射面の中心を通る第２の中心軸周りに回転させる回転機構と、
   を備え、
   前記第１の中心軸は、前記第１の反射面に入射する前記光の光軸に垂直な第１の平面に対し４５度傾斜した仮想平面である第１の基準面に対して垂直であり、
   前記第２の中心軸は、前記第１の基準面に平行な仮想平面である第２の基準面に対して垂直であり、
   前記第１の反射面は前記第１の基準面に対し傾斜しており、前記第２の反射面は前記第２の基準面に対し傾斜している
   光照射装置。
2. 前記光源と前記第１の反射面との間に配置され、前記光源から発せられた前記光が形成する像である第１の像を拡大した第２の像を形成する光を出射する像形成レンズを更に備え、
   前記第１の反射面は、前記像形成レンズから出射された前記光を偏向させる
   請求項１に記載の光照射装置。
3. 前記像形成レンズは、正のパワーを有し、
   前記像形成レンズによって、前記照明光における前記第２の像の前記第１の像に対する拡大倍率が決定される
   請求項２に記載の光照射装置。
4. 前記像形成レンズは、前記光源から発せられた前記光が入射する入射面と前記光が出射する出射面とを有し、
   前記出射面のパワーは、前記入射面のパワーより大きい
   請求項２又は３に記載の光照射装置。
5. 前記回転機構は、２つの回転軸と、前記２つの回転軸のうちの少なくとも１つに回転力を与える駆動部とを有する
   請求項１から４のいずれか１項に記載の光照射装置。
6. 前記２つの回転軸の一方が、前記第１の反射面の裏側に接続され、
   前記２つの回転軸の他方が、前記第２の反射面の裏側に接続されている
   請求項５に記載の光照射装置。
7. 前記２つの回転軸のうちの少なくとも１つは、前記第１の反射面の表側又は前記第２の反射面の表側に接続されている
   請求項５に記載の光照射装置。
8. 前記回転機構は、前記駆動部から与えられた回転力を他の前記回転軸に伝達する動力伝達機構を更に有する
   請求項５から７のいずれか１項に記載の光照射装置。
9. 前記光源は、面発光光源である
   請求項１から８のいずれか１項に記載の光照射装置。
10. 前記光源は、発する光の発散角が５度以上である
    請求項１から９のいずれか１項に記載の光照射装置。
11. 前記光源は、それぞれが面状の発光面を有する複数の面発光光源を含み、
    前記複数の面発光光源から発せられる光が重畳されて、予め決められた形状の面状の像が形成される
    請求項１から１０のいずれか１項に記載の光照射装置。
12. 前記照明光の出射方向に垂直な平面において前記照明光の照射位置が移動する方向である走査方向と平行な方向を第１の方向とし、前記出射方向と前記第１の方向の両方に垂直な方向を第２の方向としたときに、
    前記複数の面発光光源は、前記複数の面発光光源の発光面が前記第２の方向に並ぶように配置される
    請求項１１に記載の光照射装置。
13. 前記照明光の出射方向に垂直な平面において前記照明光の照射位置が移動する方向である走査方向と平行な方向を第１の方向とし、前記出射方向と前記第１の方向の両方に垂直な方向を第２の方向としたときに、
    前記複数の面発光光源は、前記複数の面発光光源の発光面が前記第２の方向に並び且つ前記第２の方向において隣接する発光面同士の前記第１の方向の位置が異なるよう配置される
    請求項１１に記載の光照射装置。
14. 前記照明光の出射方向に垂直な平面において前記照明光の照射位置が移動する方向である走査方向と平行な方向を第１の方向としたときに、
    前記複数の面発光光源は、前記複数の面発光光源の発光面が前記第１の方向に並ぶように配置される
    請求項１１から１３のいずれか１項に記載の光照射装置。
15. 前記光源の発光制御を行う発光制御回路を更に備え、
    前記発光制御回路は、前記光源の発光制御を介して、前記照明光の光量及び前記照明光の照射パターンの少なくともいずれかを時間的に制御する
    請求項１から１４のいずれか１項に記載の光照射装置。
16. 前記発光制御回路は、前記光源が複数の発光面を含む場合に、前記光源の発光制御として、前記複数の発光面の各々から発せられる光の光量を独立に制御することにより、前記照明光の光量及び前記照射パターンの少なくともいずれかを時間的に制御する
    請求項１５に記載の光照射装置。
17. 前記第１の反射面の前記第１の基準面に対する傾斜角度と前記第２の反射面の前記第２の基準面に対する傾斜角度とは、等しい請求項１から１６のいずれか１項に記載の光照射装置。
18. 底部と前記底部に対して傾斜する傾斜面とを有し、断面がくさび形状の第１の光学部材及び第２の光学部材を備え、
    前記第１の反射面は、前記第１の光学部材の前記底部を前記第１の基準面として、前記第１の光学部材の前記傾斜面上に形成され、
    前記第２の反射面は、前記第２の光学部材の前記底部を前記第２の基準面として、前記第２の光学部材の前記傾斜面上に形成されている
    請求項１から１７のいずれか１項に記載の光照射装置。
19. 前記第１の反射面の前記第１の基準面に対する傾斜角度と前記第２の反射面の前記第２の基準面に対する傾斜角度とは、１５度以下である
    請求項１から１８のいずれか１項に記載の光照射装置。
20. 前記第１の反射面の回転方向と前記第２の反射面の回転方向とは互いに逆方向であり、前記第１の反射面の回転の角速度と前記第２の反射面の回転の角速度とは等しい
    請求項１から１９のいずれかに記載の光照射装置。