JPWO2021171917A5 - - Google Patents
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Description
固定部材６２は、弁膜６１を第１主板２１の主面２１１に固定する。この際、固定部材６２の中心は、主面２１１の中心と略一致する。また、固定部材６２の内端は、弁膜６１の内端と略一致する。これにより、図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図３（Ａ）、図３（Ｂ）に示すように、弁膜６１の内端は、固定部材６２によって固定され、弁膜６１の外端６１１は、固定部材６２によって固定されない。なお、弁膜６１の内端、および、固定部材６２の内端は、これらを平面視して、中心側の端である。すなわち、弁膜６１は、内端を固定端とし、外端６１１を可動端として、変形可能な状態で、第１主板２１に固定される。なお、固定部材６２は、弁膜６１の内端から所定距離外端側の位置を固定してもよい。すなわち、固定部材６２は、弁膜６１の外端６１１が可動端となるように、弁膜６１の内端側を固定していればよい。
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