JPWO2020262460A5 - - Google Patents

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以上のような第５実施形態では、次の効果を奏することができる。
（１０）本実施形態では、センサヘッド３０Ｄは、第１反射面３１１Ｄおよび第２反射面３１２Ｄと平行とされ光ファイバ部材２０から導入される光の一部を反射する接合面３４Ｄを有し、第２反射面３１２Ｄに反射された光と接合面３４Ｄに反射された光とを干渉させた第４干渉光を光ファイバ部材２０に出力する。そして、第２反射面３１２Ｄと接合面３４Ｄとの間の距離は、被測定流体の温度に依存する。
これにより、センサヘッド３０Ｄから出力される第４干渉光は被測定流体の温度に依存する。そのため、当該第４干渉光を解析することにより、第１干渉光から得られる圧力を温度補償することができ、圧力の測定精度を向上できる。
さらに、センサヘッド３０Ｄに温度測定用のキャビティを設けなくても温度補償することができるので、センサヘッド３０Ｄの加工を容易にできる。
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