JPWO2020049723A1 - 光モジュール - Google Patents

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Abstract

本願の発明に係る光モジュールは、光半導体素子と、光半導体素子を収納するパッケージと、パッケージの上面に設けられた第1パターンと、パッケージの上面と繋がる側面に設けられた第2パターンと、第1パターンの上に設けられ、パッケージの上面から側面側に延びるフレキシブル基板と、第1パターンとフレキシブル基板とを接合するはんだと、を備え、はんだは、フレキシブル基板のうちパッケージの上面から側面側に延びる部分と、第2パターンと、の間に広がる。

Description

この発明は、光モジュールに関する。
特許文献1には、第1のプリント配線板のパッド群が第2のプリント配線板のパッド群にはんだにより接続されたプリント配線板の接続構造が開示されている。第2のプリント配線板はフレキシブルプリント配線板である。一方の配線板のパッド群と他方の配線板のパッド群の間に配置されたはんだは、他方の配線板のパッド群の裏面に対応した領域に形成されたはんだ付けパターン上まで回り込んでいる。これにより、はんだが第1のプリント配線板の端縁部を取り囲む。
日本特開2005−302824号公報
FPC(Flexible Printed Circuits)と光モジュールとがはんだで接合される場合、FPCが変形してはんだ接合部に対して垂直に光モジュールから引き剥がす力が加わることがある。このため、はんだ接合部が剥がれたり、はんだ接合部の端に応力が集中してFPCが破断したりする可能性がある。
これを防ぐために、接着剤ではんだ接合部を覆うことが考えられる。しかし、接合部を接着剤で固めるためには接着剤の塗布工程または接着工程が別途必要になる。このため、製造工程の増加によるコストアップを招く恐れがある。
特許文献1では、配線板のパッド群の裏面にはんだを回り込ませ、引き剥がし強度の向上を図っている。しかし、光モジュール上の電極回路が形成されている部分は、一般の回路基板と比較して厚いことがある。また、光モジュール上の電極回路が形成されている部分では、両面に形成された電極回路に共にFPCがはんだ接合される場合がある。このため、光モジュールにおいて、はんだを電極回路面と対向する面まで濡れ広がらせることは困難である可能性がある。
本発明は上述の問題を解決するためになされたものであり、その目的は、はんだ接合部の強度を向上できる光モジュールを得ることである。
本願の発明に係る光モジュールは、光半導体素子と、該光半導体素子を収納するパッケージと、該パッケージの上面に設けられた第1パターンと、該パッケージの該上面と繋がる側面に設けられた第2パターンと、該第1パターンの上に設けられ、該パッケージの該上面から該側面側に延びるフレキシブル基板と、該第1パターンと該フレキシブル基板とを接合するはんだと、を備え、該はんだは、該フレキシブル基板のうち該パッケージの該上面から該側面側に延びる部分と、該第2パターンと、の間に広がる。
本願の発明に係る光モジュールでは、フレキシブル基板とパッケージの上面とがはんだで接合される。このはんだは、フレキシブル基板のうちパッケージの上面から側面側に延びる部分と、パッケージの側面に設けられた第2パターンと、の間に広がる。このため、フレキシブル基板に引き剥がす力が働き易いパッケージ端部で、はんだを厚くすることができる。従って、はんだ接合部の強度を向上できる。
実施の形態1に係る光モジュールの断面図である。 実施の形態1に係る光モジュールの別の断面図である。 実施の形態1に係るフレキシブル基板の構造を示す断面図である。 比較例に係る光モジュールの断面図である。 実施の形態1の変形例に係る光モジュールの斜視図である。 実施の形態2に係る光モジュールの斜視図である。 実施の形態2に係るフレキシブル基板の平面図である。 実施の形態3に係る光モジュールの斜視図である。 実施の形態3に係るフレキシブル基板の平面図である。 実施の形態4に係る光モジュールの断面図である。 実施の形態4に係るフレキシブル基板の平面図である。 実施の形態4の変形例に係るフレキシブル基板の平面図である。
本発明の実施の形態に係る光モジュールについて図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。以下の説明および図面の内容は、特許請求の範囲を限定するものではない。また、各図間では、対応する構成部分のサイズあるいは縮尺は独立している。例えば、構成の一部を変更した図と変更していない図において、対応する構成部分のサイズあるいは縮尺が異なっている場合がある。
実施の形態1.
図1は、実施の形態1に係る光モジュール100の断面図である。図2は、実施の形態1に係る光モジュール100の別の断面図である。光モジュール100は、例えば光通信に用いられる。なお、図1、2では光モジュール100における基本的な構成部分のみが図示され、コンデンサ等のその他の構成部分については図示を省略している。
光モジュール100において、ケース80の底部にはサーモモジュール40が固定される。サーモモジュール40の上面には、金属ブロック30が固定される。金属ブロック30の上面には、サブマウント20が固定される。このように、サブマウント20は、光半導体素子10と対向する面で、ケース80の内部に機械的に固定される。
光モジュール100は、光半導体素子10を備える。光半導体素子10は半導体レーザチップである。光半導体素子10は、サブマウント20の上面にはんだ60によって接合される。光半導体素子10は、ケース80に収納されている。
ケース80のうち、光半導体素子10のレーザ出力方向と対向する側には、フィードスルー81が設けられる。ケース80とフィードスルー81は、光半導体素子10を収納するパッケージを構成する。フィードスルー81はケース80の内側から外側へ貫通する。フィードスルー81は、ケース80の外側と内側を電気的に接続する。フィードスルー81は、ケース80の内側と外側において、それぞれ階段状に形成される。
フィードスルー81の上面81aには第1パターン85が設けられる。図2に示されるように、第1パターン85はケース80の内側から外側へ貫通する。これにより、ケース80の外側と内側を電気的に接続される。フィードスルー81の上面81aと繋がる側面81bには第2パターン86が設けられる。第1パターン85と第2パターン86は繋がっている。
第1パターン85および第2パターン86は、光半導体素子10の電極回路である。光半導体素子10のアノードとカソードの一方は、ワイヤ84を介してフィードスルー81の上段側の第1パターン85に電気的に接続される。光半導体素子10のアノードとカソードの他方は、はんだ60、サブマウント20およびワイヤ84を介してフィードスルー81の下段側の第1パターン85に電気的に接続される。このように、第1パターン85はケース80の内面で光半導体素子10と電気的に接続されている。
ケース80の外側において、フィードスルー81の上段および下段の第1パターン85には、それぞれフレキシブル基板90の一端が接続される。第1パターン85とフレキシブル基板90は、はんだ70によって接合される。フレキシブル基板90は、第1パターン85の上に設けられ、上面81aから側面81b側に延びる。フレキシブル基板90の他端は図示しない外部の電子回路と電気的に接続される。これにより、光半導体素子10と外部の電子回路とが電気的に接続される。フレキシブル基板90は、ケース80内の光半導体素子10と外部の電子回路とを電気的に接続している。
各構成要素について詳しく説明する。光半導体素子10は、電気信号を光信号に、またその逆の変換を行う。本実施の形態では光半導体素子10はLD(Laser Diode)であるが、光半導体素子10はPD(Photo Diode)等でも良い。また、実施の形態1において、光半導体素子10には1つのレーザ光発生部が形成される。これに限らず、光半導体素子10に複数のレーザ光発生部が形成されても良い。また、実施の形態1において、光半導体素子10は1個である。これに限らず、光半導体素子10は複数でも良い。
サブマウント20は、セラミック基材21と、セラミック基材21の厚み方向において対向する両面のうち一方に形成された電極パターン22と、他方に形成された電極パターン23とを有する。セラミック基材21は電気的絶縁物である。セラミック基材21は、光半導体素子10を効果的に冷却するため、熱伝導率の大きい材料で形成されることが好ましい。セラミック基材21として、例えば厚さ0.3mmのAlN、Al等のセラミック板が用いられる。
実施の形態1において、サブマウント20には光半導体素子10が1枚のみ接合されているが、1枚のサブマウントに複数の光半導体素子10を接合しても良い。実施の形態1においてサブマウント20の個数は1個であるが、サブマウント20の個数は1個に限定されない。
回路面側に相当するサブマウント20の上面側の電極パターン23には、光半導体素子10がはんだ60によって接合される。また、電極パターン23には、Auワイヤ等で接合部が形成される。これにより、電極パターン23と、周囲の部材または光半導体素子10の表面とが電気的に接続される。
このような電極パターン23は、光半導体素子10と、外部の回路とを電気接続するための配線部材である。このため、電極パターン23は、電気抵抗の小さい金属で形成されることが好ましい。また、セラミック基材21の両面に形成される電極パターン22、23は、同じ材料で形成されても良い。セラミック基材21の両面に形成される電極パターン22、23には、例えば厚さ3.0μm以下程度のAu等によるメタライズが用いられる。
放熱面側に相当するサブマウント20の下面側の電極パターン22は、ケース80の内壁に対してはんだ等を介して機械的および熱的に接続される。
サブマウント20は、はんだ60によって光半導体素子10がサブマウント20に接合された後にケース80に接合される。また、フレキシブル基板90は、はんだ60によって光半導体素子10がサブマウント20に接合された後にフィードスルー81に接合される。よって、はんだ60の材料は、はんだ70の接合時にはんだ60が再溶融しないように、融点がはんだ70より高く、熱伝導率が大きい金属であることが好ましい。はんだ60には主にAu、SnまたはGe等を含有し、融点が250℃以上の合金を用いると良い。また、はんだ60の厚さは放熱性の観点から、0.1mm以下とすることが好ましい。
はんだ70は、第1パターン85と、フレキシブル基板90の一端に設けられた電極回路とを接合する。はんだ70によってフレキシブル基板90が接合される時、ケース80内には、光半導体素子10がはんだ60で接合されたサブマウント20が接合されている。よって、はんだ70の材料は、はんだ70の接合時にはんだ60が再溶融しないように、融点がはんだ60より低く、熱伝導率の大きい金属であることが好ましい。このため、はんだ70には主にSn、AgまたはCu等を含有し、融点が250℃以下の合金を用いると良い。
ケース80は、平板状の底部と、底部の外縁に連なる複数の側部とを有する。ケース80の底部は、はんだ等によってサブマウント20と機械的および熱的に接続される。ケース80の上面側には、複数の側部により囲まれた開口部が形成される。ケース80は、例えば扁平な箱である。
また、ケース80の1つの側部には、光半導体素子10より出射されるレーザ光を図示しない光ファイバに導くためのレセプタクル82が設けられる。パッケージの光出射部はレンズ83により封止されている。ケース80のレセプタクル82が設けられた側部と対向する側部には、フィードスルー81が設けられる。
フィードスルー81は図示しない外部の電子回路との電気信号の入出力口となる。フィードスルー81は、例えばセラミックを積層して形成される。フィードスルー81の上面81aはケース80の開口部および底部と平行である。また、フィードスルー81の側面81bはケース80の側部と平行である。
図3は、実施の形態1に係るフレキシブル基板90の構造を示す断面図である。フレキシブル基板90は、電気インターフェース部材である。フレキシブル基板90は帯状である。フレキシブル基板90の一端は、第1パターン85、第2パターン86とはんだ70によって電気的に接続され、他端は図示しない送受信機の基板と電気的に接続される。
フレキシブル基板90は、基板材であるベース91を有する。ベース91は例えばポリイミドから形成され、折り曲げることができる。また、フレキシブル基板90はベース91の両面に電極92、93を有する。電極92、93は、AuまたはCuのような電気抵抗の小さい金属材料から形成される。電極92、93は、めっきまたは印刷等の方法により形成されるパターンである。
電極92の下面はカバーレイ94に覆われる。また、電極93の上面は、カバーレイ95に覆われる。カバーレイ94、95は、電極92、93を保護する。カバーレイ94、95はベース91と同じく、ポリイミド等の誘電体材料から形成される。電極92、93は、カバーレイ94、95に覆われた被覆部を有する。また、電極92、93は、フィードスルー81側の端部がカバーレイ94、95から露出している。
電極92は、第1露出部92a、第2露出部92bおよび被覆部92cを有する。第1露出部92aは、フィードスルー81の上面81aの直上に設けられ、カバーレイ94から露出し、はんだ70で第1パターン85に接合される。被覆部92cはカバーレイ94に覆われる。第2露出部92bは、第1露出部92aと被覆部92cとを繋ぎ、カバーレイ94から露出し、フィードスルー81の上面81aと垂直な方向から見て上面81aの外側に設けられる。はんだ70は、第1露出部92aと第1パターン85の間から第2露出部92bに広がる。本実施の形態では、はんだ70は、第2露出部92bの被覆部92cに隣接する端部まで広がる。
また、はんだ70は、フレキシブル基板90のうちフィードスルー81の上面81aから側面81b側に延びる部分と、第2パターン86との間に広がる。つまり、第2パターン86は電極92とはんだ70によって接合されている。はんだ70は、第2パターン86の下端まで広がる。
次に、光モジュール100の効果について説明する。図4は、比較例に係る光モジュール101の断面図である。光モジュール101では、第2パターン86が設けられていない。また、はんだ70は、電極92と第1パターン85との間に設けられる。
カバーレイ94、95は、一般に、変形時の破断および断線を抑制するため、電極92、93を保護する。しかし、第1パターン85の端部に隣接して、電極92のうちカバーレイ94で覆われていない部分が形成されることがある。これは、カバーレイ94、95の製造誤差または第1パターン85とフレキシブル基板90との位置精度のバラつき等による。
フレキシブル基板90の端部を送受信機の基板と接続する際、一般に光モジュール101の位置はレセプタクル82を基準に決定される。このため、光モジュール101および送受信機の組立公差は、フレキシブル基板90で吸収される。加えて、送受信機の熱膨張係数差に応じた変形もフレキシブル基板90が吸収することとなる。このため、フレキシブル基板90には折り曲げが発生し易い。
一般にフレキシブル基板90を折り曲げた状態では、パッケージから引き剥がす方向に応力が加わり易い。つまり、フィードスルー81の上面81aと垂直な方向に応力が加わり易い。この時、電極92がカバーレイ94で保護されておらず、かつ、第1パターン85と接合されていない矢印A、Bで示される隙間である第2露出部92bが屈曲点となる。
例えば、フレキシブル基板90に濡れ広がったはんだ70の端部からフレキシブル基板90が変形することが考えられる。また、はんだ厚が薄い場合、フレキシブル基板90に濡れ広がったはんだ70が破壊され第1パターン85の端部からフレキシブル基板90が変形することが考えられる。このため、矢印A、Bで示した隙間に応力が集中し易く、フレキシブル基板90が破断または断線するおそれがある。
これを防ぐため、矢印Bに示される電極92のカバーレイ94の切れ目まではんだ70を濡れ広がらせ、かつ、折り曲げ時に電極92に濡れ広がったはんだ70が割れないよう、はんだ厚を厚くすることが考えられる。しかし、図4で示した光モジュール101では、上面81aのみにはんだ70が濡れ広がるパターンが設けられる。このため、第1パターン85から突出した電極92に、はんだ70を厚く濡れ広がらせるのは難しい。
これに対して、本実施の形態では図3で示すように、フィードスルー81には第1パターン85に加えて、第1パターン85を側面81bに延長するように第2パターン86が設けられる。このため、第1パターン85に濡れ広がったはんだ70は、さらに第2パターン86に濡れ広がる。このとき、はんだ70のうち第2パターン86に濡れ広がる部分と、第2露出部92bに濡れ広がる部分とは、断面が略三角形状のはんだフィレットを形成する。つまり、フィードスルー81とフレキシブル基板90の接点と、第2露出部92bの被覆部92cに隣接する端部と、第2パターン86の下端とを頂点とした略三角形の断面形状を有するはんだフィレットが形成される。
ここで、第2パターン86は電極92に対してほぼ垂直に形成されている。このため、第2露出部92bに濡れ広がったはんだ70を、第2パターン86の長さだけ厚く形成できる。つまり、フレキシブル基板90が第1パターン85から延びる方向に対して、垂直方向にはんだ70を厚く設けることができる。従って、第2露出部92bに厚いはんだ70を形成できる。
さらに、フレキシブル基板90を折り曲げた際に屈曲点となる部分の中でも、図2の矢印Aに示されるフィードスルー81とフレキシブル基板90の接点は、最も応力が集中すると考えられる。本実施の形態では、この部分ではんだ70を最も厚くできる。
以上から、フレキシブル基板90の曲げ、引張りまたは回転に対して、応力の集中を抑制できる。従って、はんだ70の剥離または破断を抑制でき、はんだ接合部の強度を向上できる。また、フレキシブル基板90のうち応力が集中する部分がはんだ70で補強される。このため、フレキシブル基板90の強度を向上できる。従って、光モジュール100の信頼性を向上でき、長寿命化できる。
また、はんだ70の破断を抑制する別の方法として、樹脂、接着剤等を用いて第2露出部92bを補強することが考えられる。しかし、樹脂で補強を行う場合、フィードスルー81とフレキシブル基板90をはんだ70で接合した後に、第2露出部92bに樹脂を塗布する工程および塗布した樹脂を硬化させる工程が別途必要となる。従って、光モジュールの組立に長時間を要するおそれがある。
これに対して、本実施の形態では、一般に光モジュールの組み立て工程で実施されるフィードスルー81にフレキシブル基板90をはんだ70で接合する工程において、第2露出部92bにはんだ70を厚く形成できる。従って、樹脂で補強する場合よりも短い時間で、樹脂で補強を行う場合と同様の効果を得ることができる。また、フレキシブル基板90の補強を行わない場合に対して、組み立て工程に要する時間が長くなるのを抑制できる。従って、安価な光モジュール100を得ることができる。
本実施の形態では、フレキシブル基板90は、パッケージのうち光半導体素子10の光出射側と反対側に設けられた。これに限らず、光半導体素子10がPDの場合、フレキシブル基板90は、パッケージのうち光半導体素子10への光入射側と反対側に設けられても良い。
また、本実施の形態では第1パターン85と第2パターン86は連続した一つのパターンを形成する。これに限らず、第1パターン85から第2パターン86にはんだ70が濡れ広がることができれば、第1パターン85と第2パターン86は離れていても良い。
また、本実施の形態では光モジュール100を例に説明したが、電力用または通常電流を扱う半導体装置とフレキシブル基板90との接続に、本実施の形態を適用しても良い。
図5は、実施の形態1の変形例に係る光モジュール200の斜視図である。フィードスルー81には、複数の第1パターン85が設けられる。また、フレキシブル基板90は複数の電極92を備える。複数の第1パターン85は、それぞれ複数の電極92に接合される。複数の第1パターン85と複数の電極92は、フィードスルー81の側面81bに沿った方向に並ぶ。
ここで、光モジュール100では、全ての第1パターン85に対して第2パターン86を形成した。つまり、フレキシブル基板90に形成された全ての電極92に対して略三角形のフィレットを形成して補強を行っている。
これに対し、第2パターン86は全ての第1パターン85に対して形成されなくても良い。第2パターン86は、応力の集中を抑制するように必要な数だけ形成すれば良い。例えば、図5に示されるように、第2パターン86は、複数の第1パターン85のうち両端の第1パターン85に対応する位置に設けられれば良い。これにより、フレキシブル基板90の両端において、はんだ70が厚く形成される。
これらの変形は以下の実施の形態に係る光モジュールについて適宜応用することができる。なお、以下の実施の形態に係る光モジュールについては実施の形態1との共通点が多いので、実施の形態1との相違点を中心に説明する。
実施の形態2.
図6は、実施の形態2に係る光モジュール300の斜視図である。図7は、実施の形態2に係るフレキシブル基板390の平面図である。実施の形態1では、複数の電極92のカバーレイ94から露出した部分は、全て同じ長さであった。これに対し、本実施の形態では、図7に示されるように、複数の電極392のカバーレイ394から露出した部分の長さは、位置によって異なる。
複数の電極392は、電極392−1、392−2、392−3を含む。両端と中央部の電極392−1は、他の電極392−2、392−3よりも第2露出部92bが長い。また、電極392−1から離れるほど第2露出部92bは短くなる。2つの電極392−1の中央に配置された電極392−3は第2露出部92bが最も短い。電極392−1と電極392−3の間の電極392−2は、第2露出部92bが電極392−1より短く電極392−3より長い。
このとき、図6に示されるように、複数のはんだ70は、フィードスルー81の側面81bに沿った方向に並ぶ。また、第2露出部92bが長い箇所ほどはんだ70のフィレットを大きく形成できる。従って、複数のはんだ70のうち両端と中央部の第1パターン85を接合するはんだ70は、他のはんだ70よりフィードスルー81の上面81aから遠くまで延びる。
本実施の形態では、カバーレイ94の切れ目の位置が複数の電極92によって異なる。これにより、フレキシブル基板90が変形した際の応力が集中する位置を分散できる。このため、フレキシブル基板90全体として一ヶ所で大きく屈曲することを抑制でき、電極92の断線を抑制できる。
さらに、フレキシブル基板90の両端の電極92において、はんだ70で接合される部分を長くできる。ここで、フレキシブル基板90の両端では、曲げ、引張り、特に回転に対して最も変形量が大きい。本実施の形態では、フレキシブル基板90の変形量が大きい部分の電極92において、フィレットを大きく形成してはんだ接合部を補強できる。従って、フレキシブル基板90の断線を抑制し、光モジュール300を長寿命化できる。
なお、本実施の形態では図6に示されるように、複数の電極392のうち電極392−1と392−3に対応する位置に第2パターン86が設けられている。これに限らず、全ての電極392に対応する位置に第2パターン86が設けられても良い。
また、本実施の形態では、複数の電極392の第2露出部92bの長さを変更して、はんだ70のフィレットの大きさを調節した。これに限らず、第2パターン86の長さを調節してはんだ70のフィレットの大きさを調節しても良い。
また、本実施の形態では両端と中央部の電極392−1において第2露出部92bを長く形成した。これに限らず、複数の電極392は第2露出部92bの長さが異なれば良い。これにより、複数のはんだ70のフレキシブル基板390と第2パターン86の間に広がる部分は、上面81aからの長さが異なるように形成される。従って、フレキシブル基板90が変形した際の応力を分散させる効果が得られる。
実施の形態3.
図8は、実施の形態3に係る光モジュール400の斜視図である。図9は、実施の形態3に係るフレキシブル基板490の平面図である。実施の形態1では、フレキシブル基板90の電極92は全て同じ幅であった。これに対して、本実施の形態では、電極492の幅は、位置によって異なる。
複数の電極492は、電極492−1、492−2を含む。複数の電極492のうち両端と中央部の電極492−1は、他の電極492−2よりもフィードスルー81の側面81bに沿った方向の幅が広い。
電極492−1の幅が太くなると、はんだ70によって形成されるフィレットの幅も太くなる。つまり、複数のはんだ70のうち両端と中央部の第1パターン85を接合するはんだ70は、他のはんだ70より側面81bに沿った方向の幅が広い。
このため、変形量が大きいフレキシブル基板90の両端の電極492−1に形成されたフィレットを補強できる。従って、フレキシブル基板490の断線を抑制し、光モジュール400を長寿命化できる。
また、本実施の形態では、複数の電極492の幅を変更して、はんだ70のフィレットの幅を調節した。これに限らず、第2パターン86の幅を調節してはんだ70のフィレットの幅を調節しても良い。
また、複数の電極492は、フレキシブル基板490の変形の態様に応じて、フィードスルー81の側面81bに沿った方向の幅が異なれば良い。これにより、複数のはんだ70のフレキシブル基板490と第2パターン86の間に広がる部分は、側面81bに沿った方向の幅が異なるように形成される。従って、フレキシブル基板490の変形に応じて、フィレットを補強できる。
また、本実施の形態の構成は、実施の形態2の構成と合わせて用いることで、その効果をより向上できる。
実施の形態4.
図10は、実施の形態4に係る光モジュール500の断面図である。図11は、実施の形態4に係るフレキシブル基板590の平面図である。フレキシブル基板590の第1露出部92aおよび第2露出部92bには貫通孔596が形成される。はんだ70は貫通孔596に設けられる。
フレキシブル基板590は、ベース591とベース591の両面にそれぞれ設けられた電極592、593と、電極592、593を覆うカバーレイ94、95を有する。貫通孔596は、ベース591および電極592、593を貫通する。複数の貫通孔596は、第2露出部92bのカバーレイ94と隣接する端部の近傍まで形成される。
図11に示されるように、複数の貫通孔596は、全ての電極592に設けられる。複数の貫通孔596は、電極592の第1パターン85とはんだ接合される側の端部からカバーレイ94の切れ目近傍まで等間隔に形成される。貫通孔596にははんだ70が設けられるため、電極592と電極593は導通し、同電位となる。電極593のフィードスルー81側の端部はカバーレイ95から露出している。
フレキシブル基板590をフィードスルー81にはんだ接合した場合、第1パターン85上に供給されて溶融したはんだ70は、先ずフレキシブル基板590の電極592の第2露出部92bに濡れ広がる。その後、はんだ70は、貫通孔596に濡れ広がる。これにより、貫通孔596ははんだ70で充填される。さらに、余ったはんだ70は貫通孔596から電極593に濡れ広がる。はんだ70が、隣接する別の貫通孔596まで濡れ広がると、はんだ70の表面張力によって、隣接する貫通孔596内もはんだ70で充填される。
同様にしてカバーレイ94の切れ目近傍に形成された貫通孔まではんだ70が充填される。これにより、電極592、593のカバーレイ94、95に保護されていない部分全体にはんだ70が濡れ広がる。この部分と、はんだ70の第2パターン86に濡れ広がった部分とでフィレットが形成される。これにより、はんだ70にさらに効率よくフィレットを形成できる。
加えて、実施の形態1と比較して貫通孔596の分だけ電極592、593の熱容量が小さくなる。このため、加熱により電極592、593の温度が上がりやすくなる。従って、電極592、593のカバーレイ94、95から露出した部分の全面に、はんだ70を容易に濡れ広がらせることができる。
さらに、貫通孔596を通じて電極593にもはんだ70が濡れ広がる。これにより、フレキシブル基板590の両面がはんだ70によって保護される。従って、フレキシブル基板590の曲げ、引張り、回転に対してはんだ70をより壊れにくくできる。よって、電極592、593の断線をさらに抑制し、光モジュール500をより長寿命化できる。
また、本実施の形態では、貫通孔596は円形であり、1つの電極592に対して3個設けられる。3つの貫通孔596は、電極592のうちカバーレイ94で保護されていない部分の両端と中央に形成される。貫通孔596の形状、位置および数はこれに限らず、電極592、593のフィードスルー81から突出した部分のうち、カバーレイ94、95で保護されていない部分の全面にはんだ70が濡れ広がれば良い。なお、貫通孔596は電極592、593を断線させないように設けられる。
例えば、貫通孔596は、フレキシブル基板590の第1露出部92a、第2露出部92bの一方に形成されても良い。この場合、貫通孔596は第2露出部92bに形成されることが好ましい。また、貫通孔596はフィードスルー81の側面81bと垂直な方向に縦長であっても良い。例えば、フィードスルー81の端部からフィードスルー81の外側に向かって0.25mmの位置に、幅0.15mm、長さ0.25mmの楕円形の貫通孔596が各電極592に1個ずつ設けられても良い。このとき、電極592の幅が0.3mm、第2露出部92bの長さが0.5mmであるとする。
図12は、実施の形態4の変形例に係るフレキシブル基板690の平面図である。フレキシブル基板690の電極692には、貫通孔696が複数形成される。複数の貫通孔696のうち最も被覆部92cに近い貫通孔696aは、他の貫通孔696bよりもフィードスルー81の側面81bと垂直な方向に長い。
貫通孔696aは電極692が延びる向きに長い長孔である。これにより、溶融したはんだ70が貫通孔696aのフィードスルー81側の端まで濡れ広がった時、はんだ70の表面張力による毛細管現象によって、はんだ70は貫通孔696a内を充填しながら被覆部92cまで濡れ広がる。このため、第2露出部92b全面にはんだ70を濡れ広がらせるのをさらに容易にできる。
また、本実施の形態4の構成は、実施の形態2または3と合わせて用いることで、その効果をより向上できる。
なお、各実施の形態で説明した技術的特徴は適宜に組み合わせて用いても良い。
10 光半導体素子、20 サブマウント、30 金属ブロック、40 サーモモジュール、60、70 はんだ、80 ケース、81 フィードスルー、82 レセプタクル、83 レンズ、84 ワイヤ、85 第1パターン、86 第2パターン、90、390、490、590、690 フレキシブル基板、91、591 ベース、92、93、392、392−1、392−2、392−3、492、492−1、492−2、592、593、692 電極、94、95 カバーレイ、596、696、696a、696b 貫通孔、100、200、300、400、500 光モジュール

Claims (15)

  1. 光半導体素子と、
    前記光半導体素子を収納するパッケージと、
    前記パッケージの上面に設けられた第1パターンと、
    前記パッケージの前記上面と繋がる側面に設けられた第2パターンと、
    前記第1パターンの上に設けられ、前記パッケージの前記上面から前記側面側に延びるフレキシブル基板と、
    前記第1パターンと前記フレキシブル基板とを接合するはんだと、
    を備え、
    前記はんだは、前記フレキシブル基板のうち前記パッケージの前記上面から前記側面側に延びる部分と、前記第2パターンと、の間に広がることを特徴とする光モジュール。
  2. 前記第1パターンと前記第2パターンは繋がっていることを特徴とする請求項1に記載の光モジュール。
  3. 前記はんだは、前記第2パターンの下端まで広がることを特徴とする請求項1または2に記載の光モジュール。
  4. 前記フレキシブル基板は、電極と、前記電極を覆うカバーレイと、を備え、
    前記電極は、
    前記パッケージの前記上面の直上に設けられ、前記カバーレイから露出し、前記はんだで前記第1パターンに接合された第1露出部と、
    前記カバーレイに覆われた被覆部と、
    前記第1露出部と前記被覆部とを繋ぎ、前記カバーレイから露出し、前記パッケージの前記上面と垂直な方向から見て前記上面の外側に設けられた第2露出部と、
    を有し、
    前記はんだは、前記第2露出部に広がることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の光モジュール。
  5. 前記はんだは、前記第2露出部の前記被覆部に隣接する端部まで広がることを特徴とする請求項4に記載の光モジュール。
  6. 前記フレキシブル基板は前記電極を複数備え、
    前記複数の電極は、前記パッケージの前記側面に沿った方向に並び、前記第2露出部の長さが異なることを特徴とする請求項4または5に記載の光モジュール。
  7. 前記フレキシブル基板は前記電極を複数備え、
    前記複数の電極は、前記パッケージの前記側面に沿った方向に並び、前記側面に沿った方向の幅が異なることを特徴とする請求項4から6の何れか1項に記載の光モジュール。
  8. 前記第1露出部または前記第2露出部には貫通孔が形成され、
    前記はんだは前記貫通孔に設けられることを特徴とする請求項4から7の何れか1項に記載の光モジュール。
  9. 前記貫通孔は前記第2露出部に形成されることを特徴とする請求項8に記載の光モジュール。
  10. 前記貫通孔は前記パッケージの側面と垂直な方向に縦長であることを特徴とする請求項8または9に記載の光モジュール。
  11. 前記貫通孔が複数形成され、
    前記複数の貫通孔のうち最も前記被覆部に近い貫通孔は、他の貫通孔よりも前記パッケージの側面と垂直な方向に長いことを特徴とする請求項10に記載の光モジュール。
  12. 前記フレキシブル基板は、前記パッケージのうち前記光半導体素子の光出射側または前記光半導体素子への光入射側と反対側に設けられることを特徴とする請求項1から11の何れか1項に記載の光モジュール。
  13. 前記第1パターンと前記はんだをそれぞれ複数備え、
    前記複数の第1パターンと前記複数のはんだは、前記パッケージの前記側面に沿った方向に並び、
    前記複数のはんだの前記フレキシブル基板と前記第2パターンの間に広がる部分は、前記上面からの長さが異なることを特徴とする請求項1から12の何れか1項に記載の光モジュール。
  14. 前記第1パターンと前記はんだをそれぞれ複数備え、
    前記複数の第1パターンと前記複数のはんだは、前記パッケージの前記側面に沿った方向に並び、
    前記複数のはんだの前記フレキシブル基板と前記第2パターンの間に広がる部分は、前記側面に沿った方向の幅が異なることを特徴とする請求項1から13の何れか1項に記載の光モジュール。
  15. 前記第1パターンを複数備え、
    前記複数の第1パターンは、前記パッケージの前記側面に沿った方向に並び、
    前記第2パターンは、前記複数の第1パターンのうち両端の第1パターンに対応する位置に設けられることを特徴とする請求項1から12の何れか1項に記載の光モジュール。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7283648B1 (ja) * 2022-10-05 2023-05-30 三菱電機株式会社 半導体装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004031653A (ja) * 2002-06-26 2004-01-29 Furukawa Electric Co Ltd:The パッケージおよび光半導体素子固定モジュール
JP2005079145A (ja) * 2003-08-28 2005-03-24 Kyocera Corp 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置
JP2007005636A (ja) * 2005-06-24 2007-01-11 Kyocera Corp 入出力端子および電子部品収納用パッケージならびに電子装置
JP2017183685A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 日本碍子株式会社 金属配線接合構造及びその製法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06140686A (ja) 1992-10-22 1994-05-20 Sony Corp Mrセンサーとその製造方法
TW453449U (en) * 1995-11-16 2001-09-01 Hitachi Ltd LCD display panel with buckling driving multi-layer bendable PCB
KR100366413B1 (ko) * 2000-05-15 2002-12-31 엘지전자 주식회사 커넥터 및 그 장착구조
JP2005302824A (ja) 2004-04-07 2005-10-27 Canon Inc プリント配線板及び接続構造
DE102007062044A1 (de) * 2007-12-21 2009-06-25 Osram Opto Semiconductors Gmbh Halbleiterlaservorrichtung
JP6237706B2 (ja) 2015-06-05 2017-11-29 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 光モジュール及び光送受信装置
US10029328B2 (en) 2016-03-29 2018-07-24 Ngk Insulators, Ltd. Metal wiring bonding structure and production method therefor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004031653A (ja) * 2002-06-26 2004-01-29 Furukawa Electric Co Ltd:The パッケージおよび光半導体素子固定モジュール
JP2005079145A (ja) * 2003-08-28 2005-03-24 Kyocera Corp 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置
JP2007005636A (ja) * 2005-06-24 2007-01-11 Kyocera Corp 入出力端子および電子部品収納用パッケージならびに電子装置
JP2017183685A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 日本碍子株式会社 金属配線接合構造及びその製法

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