JPWO2019244745A1 - フィルタ交換方法、フィルタ装置、自動ウェットダウンシステム - Google Patents
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Abstract
Description
(1)フィルタ装置の運転を停止した状態で、ハウジング内に液体を注入して、フィルタの粉塵付着面の全域を液体に浸漬させる工程。
(2)ハウジング内に注入された液体を排水する工程。
(3)液体を排水した後、ハウジングの一部を取り外して、湿潤したフィルタを開放空間に露出させる工程。
(4)開放空間に露出したフィルタを新しいフィルタに交換する工程。
本発明のフィルタ装置の一例を、図1に示す。図1は、装置全体の外観図である。フィルタ装置100は、後述するフィルタが収容されたハウジング10と、このハウジング10を支持する支持台50とを備えている。
図5においては、フィルタ1の一次側空間Pに液体Wが充満した時点で、液体Wの注入を停止したが、フィルタ本体1aが透水性を有する場合は、図12に示すように、液体Wを一次側空間Pだけでなく、フィルタ本体1aを透過させて二次側空間Sにも充満させてもよい。この場合、フィルタ1の外面とハウジング10の内面との間の空間に充満した液体Wに、フィルタ1の外面が浸漬した状態となる。なお、図12では、押え板2やボルト3の図示を省略してある(後述の図16も同様)。このように、一次側空間Pと二次側空間Sの双方に液体Wを充満させると、図13に示すように、フィルタ本体1aの内面と外面の両方が湿潤状態mとなるため、粉塵の飛散をより確実に抑制することができる。
図3においては、導入部14に注水口14aを設けて、注水管20を導入部14に接続したが、図14に示すように、中間ハウジング12に注水口12aを設けて、注水管20を中間ハウジング12に接続してもよい。また、上ハウジング11や下ハウジング13に注水口を設けてもよい。さらに、図3の注水管20と図14の注水管20の両方を設けてもよい。
図3においては、ハウジング10内に導入された気流が、フィルタ1の内側から外側へ流れる構造のフィルタ装置100を示したが、図15に示すように、気流がフィルタ1の外側から内側へ流れる構造のフィルタ装置101にも、本発明は適用できる。この場合、フィルタ1の外面が粉塵付着面となる。図15では、図3の排出部15と排出口15aが、導入部15’と導入口15a’に置き換わっており、図3の導入部14が排出部14’に置き換わっている。排出部14’は、本発明における「排水手段」および「第1排水管」の例である。また、図15では、図3の一次側空間Pが二次側空間Sに置き換わっており、図3の二次側空間Sが一次側空間Pに置き換わっている。その他の構成については、図3と同様である。
図15のような、気流がフィルタ1の外側から内側へ流れるフィルタ装置101の場合、図14のように注水管20をハウジング10に接続した構造を採用し、図16に示すように、注水管20から注入した液体Wにフィルタ1の外面(粉塵付着面)が浸漬するようにしてもよい。これにより、図17に示すように、フィルタ1の外面が湿潤状態mとなり、フィルタ交換時の粉塵の飛散が抑制される。図16では、フィルタ1の外面とハウジング10の内面との間の空間に液体Wを充満させているが、フィルタ1の内部(二次側空間S)にも液体Wを充満させてもよい。この場合は、図13と同様に、フィルタ1の外面と内面の両方が湿潤状態となる。
図12や図16において、ハウジング10の天井まで液体Wを充満させてもよい。この場合、液体Wが充満したことを目視で確認可能とするため、図1に示すように、上ハウジング11の上面に設けられた吐出口11aに、シリンジフィルタ(通称:コマフィルタ)11bが装着されている。ハウジング10内が満水になると、シリンジフィルタ11bから液体Wが漏れ出るので、これによって満水を確認することができる。あるいは、上ハウジング11を中間ハウジング12から取り外し、ハウジング10内の液位を直接目視することで、満水を確認してもよい。
前記の実施形態1では、フィルタ1としてHEPAフィルタを用いたが、HEPAフィルタに代えて、前述したULPAフィルタを用いることもできる。また、本発明で用いるフィルタは、HEPAフィルタやULPAフィルタなどの高性能フィルタに限らず、通常のバグフィルタであってもよい。さらに、本発明で用いるフィルタは、これらに限らず、図18に示すような、多数の粒状濾材31が充填された構造を有するフィルタ30であってもよい。
前記の実施形態1では、フィルタ1を湿潤させるウェットダウン処理において、液体Wが充満したことを作業者が確認し、手動でバルブ21を閉じて液体Wの注入を停止したり、手動でバルブ23、25を開いて液体Wの排水を行ったりしたが、これらを自動化することも可能である。この場合の自動ウェットダウンシステムの例を図19に示す。
前記の実施形態1では、液体Wを注入してフィルタ1を湿潤状態にした後、フィルタ1を開放空間Zに露出させてフィルタ交換を行ったが(WOC:ウェット・オープン・チェンジ)、先にフィルタ1を開放空間Zに露出させた後に、液体Wを注入してフィルタ1を湿潤状態にしてもよい(OWC:オープン・ウェット・チェンジ)。この場合、フィルタ1の内面が粉塵付着面で、外面はクリーンな面であることが条件となるが、HEPAフィルタやULPAフィルタなどの高性能フィルタは、この条件を満たす。図20は、オープン・ウェット・チェンジの手順を示している。
本発明では、以上述べた実施形態以外にも、以下のような種々の実施形態を採用することができる。
1’ 新しいフィルタ
10 ハウジング
11 上ハウジング
12 中間ハウジング
13 下ハウジング
14 導入部(排水手段、第1排水管)
14’排出部(排水手段、第1排水管)
15 排出部
15’導入部
20 注水管(注入手段)
21 バルブ(注入手段、第1バルブ)
22 排水管(排水手段、第2排水管)
23 バルブ(排水手段、第3バルブ)
25 バルブ(排水手段、第2バルブ)
41 給水装置(液体供給装置)
42 制御装置
100、101、102 フィルタ装置
401、402、403 自動ウェットダウンシステム
P 一次側空間
S 二次側空間
W 液体
Z 開放空間
Claims (16)
- ハウジングと、
前記ハウジングに収容されたフィルタと、
粉塵を含む流体を前記ハウジング内へ導入する導入部と、
前記フィルタで濾過された流体を排出する排出部と、を備えたフィルタ装置におけるフィルタ交換方法であって、
前記フィルタ装置の運転を停止した状態で、前記ハウジング内に液体を注入して、前記フィルタの粉塵付着面の全域を前記液体に浸漬させる工程と、
前記ハウジング内に注入された前記液体を排水する工程と、
前記液体を排水した後、前記ハウジングの一部を取り外して、湿潤した前記フィルタを開放空間に露出させる工程と、
前記開放空間に露出した前記フィルタを新しいフィルタに交換する工程と、
を含むことを特徴とするフィルタ交換方法。 - 前記フィルタは、中空の筒状に形成されており、
前記フィルタの内面または外面またはその両方の全域が前記液体に浸漬するように、前記液体を前記ハウジング内に注入する、請求項1に記載のフィルタ交換方法。 - 前記ハウジング内に注入した液体を、前記フィルタの内面の全域が前記液体に浸漬するように、前記フィルタの内部空間に充満させる、請求項2に記載のフィルタ交換方法。
- 前記ハウジング内に注入した液体を、前記フィルタの外面の全域が前記液体に浸漬するように、前記フィルタの外面と前記ハウジングの内面との間の空間に充満させる、請求項2に記載のフィルタ交換方法。
- 前記ハウジング内に注入した液体を、前記フィルタの内面と外面の両方の全域が前記液体に浸漬するように、前記フィルタの内部空間、および前記フィルタの外面と前記ハウジングの内面との間の空間にそれぞれ充満させる、請求項2に記載のフィルタ交換方法。
- 前記液体を、前記導入部または前記排出部を通して前記ハウジング内に注入し、前記導入部または前記排出部を通して排水する、請求項1ないし5のいずれかに記載のフィルタ交換方法。
- あらかじめ決められた一定量の前記液体を前記ハウジング内に注入する、請求項1ないし6のいずれかに記載のフィルタ交換方法。
- 前記一定量の液体が前記ハウジング内に注入されると、前記液体を自動的に排水する、請求項7に記載のフィルタ交換方法。
- ハウジングと、
前記ハウジングに収容されたフィルタと、
粉塵を含む流体を前記ハウジング内へ導入する導入部と、
前記フィルタで濾過された流体を排出する排出部と、を備えたフィルタ装置におけるフィルタ交換方法であって、
前記フィルタ装置の運転を停止した状態で、前記ハウジングの一部を取り外して、前記フィルタを開放空間に露出させる工程と、
前記フィルタ内に液体を注入して、前記フィルタの内面の全域を前記液体に浸漬させる工程と、
前記フィルタ内に注入された前記液体を排水する工程と、
前記液体により湿潤した前記フィルタを新しいフィルタに交換する工程と、
を含むことを特徴とするフィルタ交換方法。 - ハウジングと、
前記ハウジングに収容されたフィルタと、
粉塵を含む流体を前記ハウジング内へ導入する導入部と、
前記フィルタで濾過された流体を排出する排出部と、
前記ハウジング内に液体を注入する注入手段と、
前記注入された液体を排水する排水手段と、を備え、
前記ハウジングは、その一部が取り外し可能で、当該一部を取り外した際に前記フィルタが開放空間に露出するような構造を有しており、
前記注入手段は、前記フィルタの粉塵付着面の全域が浸漬するように前記液体を注入する、ことを特徴とするフィルタ装置。 - 前記フィルタは、中空の筒状に形成されており、
前記注入手段は、前記フィルタの内面または外面またはその両方の全域が前記液体に浸漬するように、前記液体を前記ハウジング内に注入する、請求項10に記載のフィルタ装置。 - 前記注入手段は、前記液体を、前記導入部または前記排出部を通して前記ハウジング内に注入し、
前記排水手段は、前記液体を、前記導入部または前記排出部を通して排水する、請求項10または11に記載のフィルタ装置。 - 前記注入手段は、
前記導入部または前記排出部と連通するように設けられた注水管と、
前記注水管の流路を遮断または解放する第1バルブとを含む、請求項12に記載のフィルタ装置。 - 前記排水手段は、
前記導入部または前記排出部から構成される第1排水管と、
前記第1排水管の流路を遮断または解放する第2バルブとを含む、請求項12または13に記載のフィルタ装置。 - 前記排水手段は、
前記ハウジングの内部と連通するように設けられた第2排水管と、
前記第2排水管の流路を遮断または解放する第3バルブとをさらに含む、請求項14に記載のフィルタ装置。 - 請求項10ないし15のいずれかに記載のフィルタ装置と、
前記フィルタ装置の前記ハウジング内に、前記注入手段を介して前記液体を供給する液体供給装置と、
前記フィルタ装置の排水動作を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記液体供給装置から前記ハウジング内にあらかじめ決められた一定量の液体が供給されたことを検知すると、前記排水手段により前記ハウジング内の液体を自動的に排水する、ことを特徴とする自動ウェットダウンシステム。
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