JPWO2019244196A1

JPWO2019244196A1 - Suction nozzle management device and suction nozzle management method

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Publication number: JPWO2019244196A1
Application number: JP2020525083A
Authority: JP
Inventors: 実可子大野
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2018-06-18
Filing date: 2018-06-18
Publication date: 2021-02-25
Anticipated expiration: 2038-06-18
Also published as: CN112335349B; JP6906108B2; CN112335349A; WO2019244196A1

Abstract

胴体筒と、胴体筒の内部を移動可能に設けられた吸着管とを有する吸着ノズルを洗浄する洗浄部と、洗浄部で洗浄された吸着ノズルを乾燥する乾燥部と、乾燥部で乾燥された吸着ノズルの吸着管が胴体筒の内部を移動する時に生じる荷重を検査する荷重検査部と、荷重検査部の検査結果が合格となるまで、予め設定された回数を限度として、乾燥部の乾燥及び荷重検査部の検査を繰り返すリトライ制御部とを備える吸着ノズル管理装置。A cleaning unit for cleaning the suction nozzle having a body cylinder and a suction tube provided so as to be movable inside the body cylinder, a drying part for drying the suction nozzle washed in the cleaning part, and a drying part for drying. The load inspection unit that inspects the load generated when the suction pipe of the suction nozzle moves inside the body cylinder, and the drying unit is dried and dried up to a preset number of times until the inspection result of the load inspection unit passes. A suction nozzle management device including a retry control unit that repeats the inspection of the load inspection unit.

Description

本開示は、吸着ノズルを乾燥する吸着ノズル管理装置と吸着ノズル管理方法に関するものである。 The present disclosure relates to a suction nozzle management device for drying a suction nozzle and a suction nozzle management method.

従来より、吸着ノズルの乾燥に関し、種々の技術が提案されている。 Conventionally, various techniques have been proposed for drying the suction nozzle.

例えば、下記特許文献１に記載の乾燥方法は、ノズル支持具によって支持された状態の吸着ノズルが、ノズル洗浄装置によって洗浄された後に、その吸着ノズルを乾燥させるノズル乾燥方法であって、ノズル乾燥方法が、ノズル支持具によって支持された状態の吸着ノズルを、保持具によって保持する保持工程と、保持具によって保持された吸着ノズルを、移動装置によってノズル乾燥装置まで移動させる移動工程と、保持具によって保持された吸着ノズルを、ノズル乾燥装置によって乾燥させる第１乾燥工程とを含むことを特徴とする。 For example, the drying method described in Patent Document 1 below is a nozzle drying method in which a suction nozzle supported by a nozzle support is cleaned by a nozzle cleaning device and then the suction nozzle is dried. The method is a holding step of holding the suction nozzle supported by the nozzle support by the holder, a moving step of moving the suction nozzle held by the holder to the nozzle drying device, and the holder. It is characterized by including a first drying step of drying the suction nozzle held by the nozzle with a nozzle drying device.

これにより、洗浄後の吸着ノズルは、自動的に乾燥される。 As a result, the suction nozzle after cleaning is automatically dried.

国際公開第２０１５／１６２６９９号International Publication No. 2015/1662699

さらに、その後において、吸着ノズルを構成する胴体筒と吸着管の相対移動時に生じる荷重（以下、ノズル荷重と称する）について検査が行われると、ノズル荷重が大きいため、吸着ノズルが不合格と判定される場合がある。この点、ノズル荷重は、吸着ノズルがノズル乾燥装置によって再び乾燥されると、小さくなる場合がある。そこで、不合格の吸着ノズルは、オペレータによって、ノズル乾燥装置に移される場合があるが、このような場合では、オペレータの判断や行為が介在するため、ヒューマンエラーが生じる虞がある。 Further, after that, when the load generated when the body cylinder and the suction pipe constituting the suction nozzle are relatively moved (hereinafter referred to as the nozzle load) is inspected, the suction nozzle is determined to be rejected because the nozzle load is large. May occur. In this regard, the nozzle load may be reduced when the suction nozzle is dried again by the nozzle drying device. Therefore, the rejected suction nozzle may be transferred to the nozzle drying device by the operator, but in such a case, a human error may occur because the operator's judgment or action intervenes.

そこで、本開示は、上述した点を鑑みてなされたものであり、乾燥された吸着ノズルのノズル荷重を検査した後で吸着ノズルを再び乾燥させる際において、ヒューマンエラーの発生を防止する吸着ノズル管理装置と吸着ノズル管理方法を提供することを課題とする。 Therefore, the present disclosure has been made in view of the above points, and is a suction nozzle management that prevents the occurrence of a human error when the suction nozzle is dried again after inspecting the nozzle load of the dried suction nozzle. An object of the present invention is to provide an apparatus and a suction nozzle management method.

本明細書は、胴体筒と、胴体筒の内部を移動可能に設けられた吸着管とを有する吸着ノズルを洗浄する洗浄部と、洗浄部で洗浄された吸着ノズルを乾燥する乾燥部と、乾燥部で乾燥された吸着ノズルの吸着管が胴体筒の内部を移動する時に生じる荷重を検査する荷重検査部と、荷重検査部の検査結果が合格となるまで、予め設定された回数を限度として、乾燥部の乾燥及び荷重検査部の検査を繰り返すリトライ制御部とを備える吸着ノズル管理装置を開示する。 In the present specification, a cleaning unit for cleaning a suction nozzle having a body cylinder and a suction tube provided so as to be movable inside the body cylinder, a drying unit for drying the suction nozzle washed by the cleaning unit, and a drying unit are used. A load inspection unit that inspects the load generated when the suction pipe of the suction nozzle dried in the unit moves inside the body cylinder, and a preset number of times until the inspection result of the load inspection unit passes. Disclosed is a suction nozzle management device including a retry control unit that repeats drying of the drying unit and inspection of the load inspection unit.

本開示によれば、吸着ノズル管理装置は、乾燥された吸着ノズルのノズル荷重を検査した後で吸着ノズルを再び乾燥させる際において、ヒューマンエラーの発生を防止する。 According to the present disclosure, the suction nozzle management device prevents the occurrence of human error when the suction nozzle is dried again after inspecting the nozzle load of the dried suction nozzle.

電子部品装着装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the electronic component mounting apparatus. 吸着ノズルを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the suction nozzle. ノズル管理装置の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the appearance of the nozzle management device. ノズル管理装置の内部構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the internal structure of a nozzle management apparatus. ノズル乾燥装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the nozzle drying apparatus. ノズル乾燥装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the nozzle drying apparatus. ノズル管理装置の備える制御装置を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control device provided with the nozzle management device. 廃棄ボックスを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the disposal box. 吸着ノズル管理方法の制御プログラムを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the control program of the suction nozzle management method. データテーブルを示す図である。It is a figure which shows the data table. 回収処理の制御プログラムを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the control program of the collection process. 廃棄ボックスを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the disposal box. 廃棄ボックスを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the disposal box. 廃棄ボックスを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the disposal box. 廃棄ボックスを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the disposal box.

以下、本開示の好適な実施形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings.

図１に、電子部品装着装置１０を示す。先ず、電子部品装着装置１０の構成について説明する。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、装着機と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。 FIG. 1 shows the electronic component mounting device 10. First, the configuration of the electronic component mounting device 10 will be described. The electronic component mounting device 10 has one system base 12 and two electronic component mounting machines (hereinafter, may be abbreviated as mounting machines) 14 adjacent to the system base 12. The direction in which the mounting machines 14 are lined up is referred to as the X-axis direction, and the horizontal direction perpendicular to that direction is referred to as the Y-axis direction.

各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、移動装置と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。 Each mounting machine 14 mainly includes a mounting machine main body 20, a transport device 22, a mounting head moving device (hereinafter, may be abbreviated as a moving device) 24, a mounting head 26, a supply device 28, and a nozzle station 30. .. The mounting machine main body 20 is composed of a frame portion 32 and a beam portion 34 mounted on the frame portion 32.

搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって保持される。 The conveyor device 22 includes two conveyor devices 40 and 42. The two conveyor devices 40 and 42 are arranged in the frame portion 32 so as to be parallel to each other and extend in the X-axis direction. Each of the two conveyor devices 40, 42 conveys the circuit board supported by the respective conveyor devices 40, 42 by an electromagnetic motor (not shown) in the X-axis direction. Further, the circuit board is held by a board holding device (not shown) at a predetermined position.

移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。 The mobile device 24 is an XY robot type mobile device. The moving device 24 includes an electromagnetic motor (not shown) that slides the slider 50 in the X-axis direction and an electromagnetic motor (not shown) that slides the slider 50 in the Y-axis direction. A mounting head 26 is attached to the slider 50, and the mounting head 26 is moved to an arbitrary position on the frame portion 32 by the operation of two electromagnetic motors.

装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６の下端面には、吸着ノズル６０が設けられている。吸着ノズル６０は、図２に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６と吸着管６８と掛止ピン７０とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒６４に軸線方向に移動可能に保持されている。掛止ピン７０は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６０は、掛止ピン７０を利用して、装着ヘッド２６にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。なお、掛止ピン７０の図示は、後述する図５、図６、図１３乃至図１５では省略される。また、装着ヘッド２６には、バネ（図示省略）が内蔵されており、そのバネは、装着ヘッド２６に取り付けられる吸着ノズル６０の吸着管６８に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管６８は、装着ヘッド２６に内蔵されたバネの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。また、フランジ部６６の上面には、２Ｄコード７４が付されている。２Ｄコード７４には、個別情報として、吸着ノズル６０のＩＤ（identification ）や、後述するエアの吹き付けの態様（例えば、エアの吹き付け方向、エアの吹き付けの時間、エアの吹き付けの繰り返し回数）等が示されている。なお、２Ｄコード７４に代えて、バーコード又はＲＦタグがフランジ部６６の上面に付されてもよい。但し、ＲＦタグがフランジ部６６の上面に付される場合には、ＲＦタグから個別情報を取得するためのリーダが、後述するノズル管理装置（図３参照）８０の移載ヘッド（図４参照）１２０に取り付けられる。 The mounting head 26 mounts an electronic component on a circuit board. A suction nozzle 60 is provided on the lower end surface of the mounting head 26. As shown in FIG. 2, the suction nozzle 60 is composed of a body cylinder 64, a flange portion 66, a suction pipe 68, and a hook pin 70. The body cylinder 64 has a cylindrical shape, and the flange portion 66 is fixed so as to project over the outer peripheral surface of the body cylinder 64. The suction pipe 68 has a thin pipe shape, and is held in the body cylinder 64 so as to be movable in the axial direction in a state of extending downward from the lower end portion of the body cylinder 64. The hook pin 70 is provided at the upper end of the body cylinder 64 so as to extend in the radial direction of the body cylinder 64. The suction nozzle 60 is detachably attached to the mounting head 26 with a single touch using the hook pin 70. The illustration of the hook pin 70 is omitted in FIGS. 5, 6, 13 to 15, which will be described later. Further, the mounting head 26 has a built-in spring (not shown), and the spring applies an elastic force to the suction tube 68 of the suction nozzle 60 mounted on the mounting head 26. As a result, the suction pipe 68 is urged in a direction extending downward from the lower end of the body cylinder 64 by the elastic force of the spring built in the mounting head 26. A 2D code 74 is attached to the upper surface of the flange portion 66. The 2D code 74 contains, as individual information, the ID (identification) of the suction nozzle 60, the mode of air blowing described later (for example, the air blowing direction, the air blowing time, the number of times the air is blown repeatedly), and the like. It is shown. Instead of the 2D code 74, a barcode or RF tag may be attached to the upper surface of the flange portion 66. However, when the RF tag is attached to the upper surface of the flange portion 66, the reader for acquiring individual information from the RF tag is the transfer head (see FIG. 4) of the nozzle management device (see FIG. 3) 80 described later. ) Attached to 120.

また、吸着ノズル６０は、負圧エア、正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させるノズル昇降装置（図示省略）を有している。そのノズル昇降装置によって、装着ヘッド２６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。 Further, the suction nozzle 60 communicates with a positive / negative pressure supply device (not shown) via a negative pressure air and a positive pressure air passage. The suction nozzle 60 sucks and holds the electronic component by negative pressure, and releases the held electronic component by positive pressure. Further, the mounting head 26 has a nozzle elevating device (not shown) for elevating and lowering the suction nozzle 60. The nozzle elevating device causes the mounting head 26 to change the vertical position of the electronic component to be held.

供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、複数のテープフィーダ７２を有している。テープフィーダ７２は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７２は、送り装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。 The feeder 28 is a feeder type feeder, and has a plurality of tape feeders 72 as shown in FIG. The tape feeder 72 houses the taped parts in a wound state. The taped component is a taped electronic component. Then, the tape feeder 72 feeds the taped parts by a feeding device (not shown). As a result, the feeder type supply device 28 supplies the electronic components at the supply position by sending out the taped components.

ノズルステーション３０は、ノズルトレイ７６を有している。ノズルトレイ７６には、複数の吸着ノズル６０が収容されている。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７６は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７６に収容された吸着ノズル６０の回収や、ノズルトレイ７６への吸着ノズル６０の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。 The nozzle station 30 has a nozzle tray 76. A plurality of suction nozzles 60 are housed in the nozzle tray 76. In the nozzle station 30, the suction nozzle 60 attached to the mounting head 26 and the suction nozzle 60 housed in the nozzle tray 76 are replaced as needed. Further, the nozzle tray 76 can be attached to and detached from the nozzle station 30, and the suction nozzle 60 housed in the nozzle tray 76 can be collected, and the suction nozzle 60 can be replenished to the nozzle tray 76 outside the mounting machine 14. Is possible.

次に、装着機１４による装着作業について説明する。装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が、作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって保持される。また、テープフィーダ７２は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。 Next, the mounting work by the mounting machine 14 will be described. In the mounting machine 14, the circuit board held by the transport device 22 can be mounted by the mounting head 26 according to the above-described configuration. Specifically, the circuit board is conveyed to a working position by a command of a control device (not shown) of the mounting machine 14, and is held by the board holding device at that position. Further, the tape feeder 72 sends out the taped component and supplies the electronic component at the supply position according to the command of the control device. Then, the mounting head 26 moves above the supply position of the electronic component, and the suction nozzle 60 sucks and holds the electronic component. Subsequently, the mounting head 26 moves above the circuit board and mounts the held electronic component on the circuit board.

装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７２によって供給された電子部品を、吸着ノズル６０によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル６０に不具合が生じている場合には、装着作業を適切に行うことができない虞があるため、吸着ノズル６０を適切に管理する必要がある。そこで、以下に説明するノズル管理装置により、吸着ノズル６０の管理が行われる。 In the mounting machine 14, as described above, the electronic component supplied by the tape feeder 72 is sucked and held by the suction nozzle 60, and the electronic component is mounted on the circuit board. Therefore, if there is a problem with the suction nozzle 60, the mounting operation may not be performed properly, so it is necessary to properly manage the suction nozzle 60. Therefore, the suction nozzle 60 is managed by the nozzle management device described below.

次に、ノズル管理装置の構成について説明する。ノズル管理装置８０は、図３に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ７６をノズル管理装置８０内に収納、若しくは、ノズル管理装置８０からノズルトレイ７６を取り出すための扉８２が設けられている。その扉８２の上方には、各種情報を表示し、各操作が行われるタッチパネル８６等が配設されている。 Next, the configuration of the nozzle management device will be described. As shown in FIG. 3, the nozzle management device 80 has a generally rectangular parallelepiped shape, and the nozzle tray 76 can be stored in the nozzle management device 80 or taken out from the nozzle management device 80 in front of the nozzle tray 76. A door 82 is provided. Above the door 82, a touch panel 86 or the like that displays various information and performs each operation is arranged.

ノズル管理装置８０は、図４に示すように、管理装置本体９０、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８、ノズル乾燥装置１００を有している。なお、図４は、ノズル管理装置８０の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置８０の内部構造を示している。また、ノズル管理装置８０には、制御装置２００が接続されている。さらに、制御装置２００は、フラッシュメモリ２０４を備えている。なお、制御装置２００の詳細な説明は、後述する。 As shown in FIG. 4, the nozzle management device 80 includes a management device main body 90, a pallet accommodating device 92, a nozzle transfer device 94, a nozzle inspection device 96, a nozzle cleaning device 98, and a nozzle drying device 100. Note that FIG. 4 is a perspective view showing a state in which the outer shell member of the nozzle management device 80 is removed, and shows the internal structure of the nozzle management device 80. A control device 200 is connected to the nozzle management device 80. Further, the control device 200 includes a flash memory 204. A detailed description of the control device 200 will be described later.

管理装置本体９０は、フレーム部１０２と、そのフレーム部１０２に上架されたビーム部１０４とによって構成されている。フレーム部１０２は、中空構造とされており、フレーム部１０２内にパレット収容装置９２が配設され、パレット収容装置９２の上端部が、フレーム部１０２の上面に露出している。 The management device main body 90 is composed of a frame unit 102 and a beam unit 104 mounted on the frame unit 102. The frame portion 102 has a hollow structure, a pallet accommodating device 92 is arranged in the frame portion 102, and the upper end portion of the pallet accommodating device 92 is exposed on the upper surface of the frame portion 102.

パレット収容装置９２は、複数のパレット載置棚１０６と、支持アーム１０８とを含む。パレット載置棚１０６は、ノズルパレット１１０を載置するための棚であり、複数のパレット載置棚１０６が、フレーム部１０２の内部において、上下方向に並んで配設されている。なお、ノズルパレット１１０には、複数の吸着ノズル６０が収容される。また、支持アーム１０８は、アーム移動装置（図示省略）の作動により、複数のパレット載置棚１０６の前方において、上下方向に移動するとともに、パレット載置棚１０６に接近・離間する。これにより、パレット載置棚１０６へのノズルパレット１１０の収納、パレット載置棚１０６からのノズルパレット１１０の取出しが、支持アーム１０８によって行われる。なお、パレット載置棚１０６から取り出されたノズルパレット１１０は、支持アーム１０８が上方に移動することで、フレーム部１０２の上面側に移動する。 The pallet accommodating device 92 includes a plurality of pallet mounting shelves 106 and a support arm 108. The pallet mounting shelf 106 is a shelf for mounting the nozzle pallet 110, and a plurality of pallet mounting shelves 106 are arranged side by side in the vertical direction inside the frame portion 102. A plurality of suction nozzles 60 are housed in the nozzle pallet 110. Further, the support arm 108 moves in the vertical direction in front of the plurality of pallet mounting shelves 106 by the operation of the arm moving device (not shown), and approaches and separates from the pallet mounting shelves 106. As a result, the nozzle pallet 110 is stored in the pallet mounting shelf 106, and the nozzle pallet 110 is taken out from the pallet mounting shelf 106 by the support arm 108. The nozzle pallet 110 taken out from the pallet mounting shelf 106 moves to the upper surface side of the frame portion 102 by moving the support arm 108 upward.

ノズル移載装置９４は、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との間で吸着ノズル６０を移載するための装置であり、ビーム部１０４に配設されている。ノズル移載装置９４は、移載ヘッド１２０とヘッド移動装置１２２とを有している。移載ヘッド１２０の下端面には、下方を向いた状態のカメラ１２６と、吸着ノズル６０を保持するための保持チャック１２８と、エア供給装置１３０とが取り付けられている。 The nozzle transfer device 94 is a device for transferring the suction nozzle 60 between the nozzle tray 76 and the nozzle pallet 110, and is arranged in the beam unit 104. The nozzle transfer device 94 has a transfer head 120 and a head moving device 122. A camera 126 facing downward, a holding chuck 128 for holding the suction nozzle 60, and an air supply device 130 are attached to the lower end surface of the transfer head 120.

保持チャック１２８は、図５に示すように、２本の保持爪１３２を有しており、それら２本の保持爪１３２を接近させることで、吸着ノズル６０を胴体筒６４において保持し、２本の保持爪１３２を離間させることで、保持した吸着ノズル６０を離脱する。また、保持チャック１２８の本体部１３４には、エア流路１３６が形成されている。そのエア流路１３６の下端部は、２本の保持爪１３２の間に開口しており、上端部は、エア供給装置１３０に接続されている。このため、保持チャック１２８が吸着ノズル６０を保持した状態において、エア供給装置１３０によってエア流路１３６にエアが供給されることで、吸着ノズル６０の内部に向かってエアが、エア流路１３６の下端部から吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の内部にエアが吹きこまれ、吸着管６８の先端部からエアが吹き出す。さらに、保持チャック１２８は、自身を自転させる自転装置（図７参照）１３８を有している。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が回転する。なお、図５において、符号Ｄの方向は、上下方向を示している。この点は、後述する図６、図８、図１２乃至図１５においても、同様である。 As shown in FIG. 5, the holding chuck 128 has two holding claws 132, and by bringing the two holding claws 132 close to each other, the suction nozzle 60 is held in the body cylinder 64 and two holding chucks 128 are held. By separating the holding claws 132 of the above, the holding suction nozzle 60 is released. Further, an air flow path 136 is formed in the main body 134 of the holding chuck 128. The lower end of the air flow path 136 is open between the two holding claws 132, and the upper end is connected to the air supply device 130. Therefore, in a state where the holding chuck 128 holds the suction nozzle 60, air is supplied to the air flow path 136 by the air supply device 130, so that air is directed toward the inside of the suction nozzle 60 in the air flow path 136. Blow out from the bottom edge. As a result, air is blown into the suction nozzle 60, and air is blown out from the tip of the suction pipe 68. Further, the holding chuck 128 has a rotation device (see FIG. 7) 138 that rotates itself. As a result, the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 rotates. In FIG. 5, the direction of the reference numeral D indicates a vertical direction. This point is the same in FIGS. 6, 8, 12 to 15, which will be described later.

また、ヘッド移動装置１２２は、図４に示すように、移載ヘッド１２０をフレーム部１０２の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。なお、フレーム部１０２の前方側の上面には、ノズルトレイ７６をセットするための固定ステージ１３１が設けられており、固定ステージ１３１にセットされたノズルトレイ７６と、パレット収容装置９２の支持アーム１０８に支持されたノズルパレット１１０との間で、吸着ノズル６０が移載される。 Further, as shown in FIG. 4, the head moving device 122 is an XYZ type moving device that moves the transfer head 120 in the front-rear direction, the left-right direction, and the up-down direction on the frame portion 102. A fixed stage 131 for setting the nozzle tray 76 is provided on the upper surface of the frame portion 102 on the front side, and the nozzle tray 76 set on the fixed stage 131 and the support arm 108 of the pallet accommodating device 92 are provided. The suction nozzle 60 is transferred to and from the nozzle pallet 110 supported by.

ノズル検査装置９６は、カメラ１４０とロードセル１４２とジョイント１４６とを有している。カメラ１４０は、上方を向いた状態でフレーム部１０２の上面に配設されており、カメラ１４０を用いて、吸着ノズル６０の先端部が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、下方からカメラ１４０によって撮像される。これにより、吸着ノズル６０の先端部の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着ノズル６０の先端部の状態が検査される。 The nozzle inspection device 96 has a camera 140, a load cell 142, and a joint 146. The camera 140 is arranged on the upper surface of the frame portion 102 in a state of facing upward, and the tip portion of the suction nozzle 60 is inspected by using the camera 140. Specifically, the suction nozzle 60 to be inspected is held by the holding chuck 128, and the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is imaged by the camera 140 from below. As a result, imaging data of the tip of the suction nozzle 60 is obtained, and the state of the tip of the suction nozzle 60 is inspected based on the imaging data.

また、ロードセル１４２は、カメラ１４０の隣に配設されており、ロードセル１４２を用いて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の先端部がロードセル１４２に当接される。吸着ノズル６０の先端部は、伸縮可能とされており、ロードセル１４２により測定された荷重に基づいて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。 Further, the load cell 142 is arranged next to the camera 140, and the load cell 142 is used to inspect the expansion / contraction state of the tip of the suction nozzle 60. Specifically, the suction nozzle 60 to be inspected is held by the holding chuck 128, and the tip of the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is brought into contact with the load cell 142. The tip of the suction nozzle 60 is expandable and contractible, and the expansion and contraction state of the tip of the suction nozzle 60 is inspected based on the load measured by the load cell 142.

また、ジョイント１４６は、エア供給装置１３０の下面に配設され、そのエア供給装置１３０からエアが供給される。そして、エア供給装置１３０からジョイント１４６に供給されるエアを用いて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。詳しくは、ジョイント１４６が、ヘッド移動装置１２２の作動により、後述する洗浄パレット１５８に載置された吸着ノズル６０の上方に移動する。そして、ジョイント１４６が、検査対象の吸着ノズル６０に接続され、エア供給装置１３０からエアが供給される。この際にエア圧が測定され、そのエア圧に基づいて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。 Further, the joint 146 is arranged on the lower surface of the air supply device 130, and air is supplied from the air supply device 130. Then, the air flow rate inspection of the suction nozzle 60 is performed using the air supplied from the air supply device 130 to the joint 146. Specifically, the joint 146 moves above the suction nozzle 60 mounted on the cleaning pallet 158, which will be described later, by the operation of the head moving device 122. Then, the joint 146 is connected to the suction nozzle 60 to be inspected, and air is supplied from the air supply device 130. At this time, the air pressure is measured, and the air flow rate inspection of the suction nozzle 60 is performed based on the air pressure.

なお、フレーム部１０２の上面には、複数の廃棄ボックス１４８が配設されており、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０は、廃棄ボックス１４８に廃棄される。また、上記検査により正常なノズルと判定された吸着ノズル６０は、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻される。 A plurality of waste boxes 148 are arranged on the upper surface of the frame portion 102, and the suction nozzle 60 determined to be a defective nozzle by the above inspection is discarded in the waste box 148. Further, the suction nozzle 60 determined to be a normal nozzle by the above inspection is returned to the nozzle tray 76 or the nozzle pallet 110.

ノズル洗浄装置９８は、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置９２の隣に配設されている。ノズル洗浄装置９８は、洗浄・乾燥機構１５０と洗浄パレット移動機構１５２とを備えている。洗浄・乾燥機構１５０は、内部において吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う機構である。また、洗浄パレット移動機構１５２は、洗浄パレット１５８が露出する露出位置（図４で洗浄パレット１５８が図示されている位置）と、洗浄・乾燥機構１５０の内部との間で、洗浄パレット１５８を移動させる機構である。 The nozzle cleaning device 98 is a device that cleans and dries the suction nozzle 60, and is arranged next to the pallet accommodating device 92. The nozzle cleaning device 98 includes a cleaning / drying mechanism 150 and a cleaning pallet moving mechanism 152. The cleaning / drying mechanism 150 is a mechanism for cleaning and drying the suction nozzle 60 inside. Further, the cleaning pallet moving mechanism 152 moves the cleaning pallet 158 between the exposed position where the cleaning pallet 158 is exposed (the position where the cleaning pallet 158 is shown in FIG. 4) and the inside of the cleaning / drying mechanism 150. It is a mechanism to make it.

ノズル乾燥装置１００は、吸着ノズル６０の乾燥を行う装置であり、露出位置に位置する洗浄パレット１５８の隣に配設されている。ノズル乾燥装置１００は、図５に示すように、ハウジング１６０と第１エアブロー装置１６４と第２エアブロー装置１６６を有している。ハウジング１６０は、概して有底円筒状をなしている。 The nozzle drying device 100 is a device that dries the suction nozzle 60, and is arranged next to the cleaning pallet 158 located at the exposed position. As shown in FIG. 5, the nozzle drying device 100 includes a housing 160, a first air blow device 164, and a second air blow device 166. The housing 160 generally has a bottomed cylindrical shape.

第１エアブロー装置１６４は、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す装置である。詳しくは、ハウジング１６０の側壁には、２つの貫通穴１７０，１７２が形成されている。第１の貫通穴１７０は、ハウジング１６０の径方向に延びるように、ハウジング１６０の側壁を貫通している。なお、第１の貫通穴１７０は、ハウジング１６０の外壁面から内壁面に向かって斜め上方に貫通している。一方、第２の貫通穴１７２は、第１の貫通穴１７０の上方において、ハウジング１６０の径方向、かつ水平方向に延びるように、ハウジング１６０の側壁を貫通している。そして、第１の貫通穴１７０および、第２の貫通穴１７２に、配管１７６，１７８を介して、第１エアブロー装置１６４が接続されている。これにより、第１エアブロー装置１６４は、貫通穴１７０，１７２を介して、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す。第２エアブロー装置１６６は、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す装置である。詳しくは、ハウジング１６０の底壁の中央には、１つの貫通穴１８０が形成されている。そして、その貫通穴１８０に、配管１８２を介して、第２エアブロー装置１６６が接続されている。これにより、第２エアブロー装置１６６は、貫通穴１８０を介して、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す。 The first air blow device 164 is a device that blows air toward the inside of the housing 160. Specifically, two through holes 170 and 172 are formed on the side wall of the housing 160. The first through hole 170 penetrates the side wall of the housing 160 so as to extend in the radial direction of the housing 160. The first through hole 170 penetrates diagonally upward from the outer wall surface of the housing 160 toward the inner wall surface. On the other hand, the second through hole 172 penetrates the side wall of the housing 160 so as to extend in the radial direction and the horizontal direction of the housing 160 above the first through hole 170. Then, the first air blow device 164 is connected to the first through hole 170 and the second through hole 172 via the pipes 176 and 178. As a result, the first air blow device 164 blows air toward the inside of the housing 160 through the through holes 170 and 172. The second air blow device 166 is a device that blows air toward the inside of the housing 160. Specifically, one through hole 180 is formed in the center of the bottom wall of the housing 160. Then, the second air blow device 166 is connected to the through hole 180 via the pipe 182. As a result, the second air blow device 166 blows air toward the inside of the housing 160 through the through hole 180.

次に、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥について説明する。ノズル洗浄装置９８により、吸着ノズル６０の洗浄が行われる際には、洗浄対象の吸着ノズル６０が、ノズル移載装置９４によって、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０から、洗浄パレット１５８に移載される。そして、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、洗浄・乾燥機構１５０の内部に移動し、洗浄・乾燥機構１５０の内部において、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が行われる。洗浄・乾燥機構１５０による吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、露出位置に移動する。 Next, cleaning and drying of the suction nozzle 60 will be described. When the suction nozzle 60 is cleaned by the nozzle cleaning device 98, the suction nozzle 60 to be cleaned is transferred from the nozzle tray 76 or the nozzle pallet 110 to the cleaning pallet 158 by the nozzle transfer device 94. Nozzle. Then, the cleaning pallet 158 is moved to the inside of the cleaning / drying mechanism 150 by the operation of the cleaning pallet moving mechanism 152, and the suction nozzle 60 is cleaned and dried inside the cleaning / drying mechanism 150. When the cleaning and drying of the suction nozzle 60 by the cleaning / drying mechanism 150 is completed, the cleaning pallet 158 moves to the exposed position by the operation of the cleaning pallet moving mechanism 152.

この際、吸着ノズル６０は、ある程度乾燥しているが、洗浄・乾燥機構１５０内では、洗浄パレット１５８に搭載された状態で吸着ノズル６０の乾燥が行われるため、吸着ノズル６０に水分が残存している虞がある。特に、吸着ノズル６０では、上述したように、胴体筒６４と吸着管６８とが相対移動可能となっており、胴体筒６４と吸着管６８との間に水が浸入するため、胴体筒６４と吸着管６８との間に浸入した水が残存している場合がある。このように胴体筒６４と吸着管６８との間に水分が残存した吸着ノズル６０は、上記ロードセル１４２を用いた検査において、不良ノズルと判定される虞がある。詳しくは、ロードセル１４２を用いた検査は、上述したように、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態の検査であり、胴体筒６４と吸着管６８との間に水分が残存した吸着ノズル６０では、水分によって胴体筒６４と吸着管６８との摺動抵抗が大きくなり、ロードセル１４２により測定される荷重が高くなる。このため、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が適切でないと判定され、その吸着ノズル６０は、不良ノズルと判定される虞がある。 At this time, the suction nozzle 60 is dried to some extent, but in the cleaning / drying mechanism 150, the suction nozzle 60 is dried while being mounted on the cleaning pallet 158, so that moisture remains in the suction nozzle 60. There is a risk of In particular, in the suction nozzle 60, as described above, the body cylinder 64 and the suction pipe 68 are relatively movable, and water enters between the body cylinder 64 and the suction pipe 68. Water that has infiltrated between the suction pipe 68 and the suction pipe 68 may remain. The suction nozzle 60 in which water remains between the body cylinder 64 and the suction tube 68 may be determined to be a defective nozzle in the inspection using the load cell 142. Specifically, as described above, the inspection using the load cell 142 is an inspection of the expansion / contraction state of the tip of the suction nozzle 60, and the suction nozzle 60 in which moisture remains between the body cylinder 64 and the suction pipe 68 The water content increases the sliding resistance between the body cylinder 64 and the suction pipe 68, and the load measured by the load cell 142 increases. Therefore, it is determined that the expansion / contraction state of the tip of the suction nozzle 60 is not appropriate, and the suction nozzle 60 may be determined to be a defective nozzle.

このようなことに鑑みて、ノズル管理装置８０では、洗浄・乾燥機構１５０による吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、ノズル乾燥装置１００を用いて、吸着ノズル６０の乾燥が行われる。詳しくは、洗浄・乾燥機構１５０により洗浄・乾燥された吸着ノズル６０が、洗浄パレット１５８から保持チャック１２８によって保持される。次に、保持チャック１２８が、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズル乾燥装置１００の上方に移動し、下降する。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、図５に示すように、ノズル乾燥装置１００のハウジング１６０の内部に挿入される。なお、吸着ノズル６０のフランジ部６６と吸着管６８が、貫通穴１７０，１７２の横方向に位置する箇所まで、保持チャック１２８は下降する。これにより、ハウジング１６０の内部では、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、吸着管６８を上下に向けた状態で収納される。 In view of this, in the nozzle management device 80, when the cleaning and drying of the suction nozzle 60 by the cleaning / drying mechanism 150 is completed, the suction nozzle 60 is dried by using the nozzle drying device 100. Specifically, the suction nozzle 60 washed / dried by the washing / drying mechanism 150 is held by the holding chuck 128 from the washing pallet 158. Next, the holding chuck 128 moves above the nozzle drying device 100 and descends by the operation of the head moving device 122. As a result, the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is inserted into the housing 160 of the nozzle drying device 100 as shown in FIG. The holding chuck 128 is lowered to a position where the flange portion 66 of the suction nozzle 60 and the suction pipe 68 are located in the lateral directions of the through holes 170 and 172. As a result, inside the housing 160, the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is housed with the suction tube 68 facing up and down.

その後、ハウジング１６０の内部において、吸着ノズル６０が回転し、エアが、貫通穴１７０，１７２，１８０とエア流路１３６の少なくとも１つから吹き出す。つまり、保持チャック１２８が自転装置１３８の作動により自転することにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が回転する。さらに、第１エアブロー装置１６４が作動されると、貫通穴１７０，１７２からハウジング１６０の内部に向かってエアが吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の横方から吹き出したエアが、回転中の吸着ノズル６０の周囲全体に吹き付けられる。また、エア供給装置１３０が作動されると、エア流路１３６から、保持チャック１２８の２本の保持爪１３２の間（つまり、ハウジング１６０の内部）に向かってエアが吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の上方から吹き出したエアが、回転中の吸着ノズル６０の内部に吹き付けられる。このような、吸着ノズル６０の上方から内部へのエアの吹き付けによって、吸着管６８が胴体筒６４に対して下方に向かって相対移動し、下方に延び出す。これにより、胴体筒６４の下側において、吸着管６８の胴体筒６４に対する摺動面が露出し、その摺動面の全周に渡ってエアが吹き付けられる。これに対して、第２エアブロー装置１６６が作動されると、貫通穴１８０からハウジング１６０の内部に向かってエアが吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の下方から吹き出したエアが、回転中の吸着ノズル６０の内部に吹き付けられる。このような、吸着ノズル６０の下方から内部へのエアの吹き付けによって、図６に示すように、吸着管６８が胴体筒６４に対して上方に向かって相対移動し、上方に延び出す。これにより、胴体筒６４の上側において、吸着管６８の胴体筒６４に対する摺動面が露出し、その摺動面の全周に渡ってエアが吹き付けられる。このように、ハウジング１６０の内部に挿入された状態の吸着ノズル６０の横方、上方、又は下方から内部（特に、吸着管６８）にエアが吹き付けられるとともに、吸着ノズル６０が回転することで、胴体筒６４と吸着管６８との間に残存している水分を好適に除去することが可能となる。なお、ノズル乾燥装置１００は、水分以外の付着物、具体的には、例えば、油分、埃、電子部品又はその一部、半田、接着剤等を除去することも可能である。また、第１エアブロー装置１６４、エア供給装置１３０、及び第２エアブロー装置１６６は、上述したエアに代えて、他の気体、具体的には、例えば、窒素等のガスを吹き付けてもよい。 After that, inside the housing 160, the suction nozzle 60 rotates, and air is blown out from at least one of the through holes 170, 172, 180 and the air flow path 136. That is, when the holding chuck 128 rotates by the operation of the rotation device 138, the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 rotates. Further, when the first air blow device 164 is operated, air is blown from the through holes 170 and 172 toward the inside of the housing 160. As a result, the air blown from the side of the suction nozzle 60 is blown to the entire circumference of the rotating suction nozzle 60. Further, when the air supply device 130 is operated, air is blown from the air flow path 136 toward between the two holding claws 132 of the holding chuck 128 (that is, inside the housing 160). As a result, the air blown from above the suction nozzle 60 is blown into the rotating suction nozzle 60. By blowing air from above the suction nozzle 60 to the inside, the suction pipe 68 moves downward relative to the body cylinder 64 and extends downward. As a result, the sliding surface of the suction pipe 68 with respect to the body cylinder 64 is exposed on the lower side of the body cylinder 64, and air is blown over the entire circumference of the sliding surface. On the other hand, when the second air blow device 166 is operated, air is blown from the through hole 180 toward the inside of the housing 160. As a result, the air blown out from below the suction nozzle 60 is blown into the rotating suction nozzle 60. By blowing air from below the suction nozzle 60 to the inside, as shown in FIG. 6, the suction pipe 68 moves upward relative to the body cylinder 64 and extends upward. As a result, the sliding surface of the suction pipe 68 with respect to the body cylinder 64 is exposed on the upper side of the body cylinder 64, and air is blown over the entire circumference of the sliding surface. In this way, air is blown from the side, above, or below of the suction nozzle 60 inserted into the housing 160 to the inside (particularly, the suction pipe 68), and the suction nozzle 60 rotates. It is possible to suitably remove the water remaining between the body cylinder 64 and the suction pipe 68. The nozzle drying device 100 can also remove deposits other than water, specifically, for example, oil, dust, electronic parts or a part thereof, solder, adhesive, and the like. Further, the first air blow device 164, the air supply device 130, and the second air blow device 166 may blow another gas, specifically, a gas such as nitrogen, instead of the above-mentioned air.

そして、ノズル乾燥装置１００による乾燥が完了した吸着ノズル６０は、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との何れかに戻される。 Then, the suction nozzle 60, which has been dried by the nozzle drying device 100, is returned to either the nozzle tray 76 or the nozzle pallet 110 by the operation of the head moving device 122.

さらに、ノズル管理装置８０は、図７に示すように、上述した制御装置２００を備えている。制御装置２００は、コントローラ２０２と複数の駆動回路２０６とを備えている。複数の駆動回路２０６は、パレット収容装置９２、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８、エア供給装置１３０、自転装置１３８、第１エアブロー装置１６４、第２エアブロー装置１６６に接続されている。コントローラ２０２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路２０６に接続されている。これにより、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル乾燥装置１００等の作動が、コントローラ２０２によって制御される。また、コントローラ２０２は、交互エアブロー部２１０と同期エアブロー部２１２と同時エアブロー部２１４と変更エアブロー部２１６とを有している。交互エアブロー部２１０は、エア供給装置１３０の作動によるエアの吹き付けと、第２エアブロー装置１６６の作動によるエアの吹き付けを交互に行うための機能部である。同期エアブロー部２１２は、第１エアブロー装置１６４の作動によるエアの吹き付けを、第２エアブロー装置１６６の作動によるエアの吹き付けと同期させて行うための機能部である。同時エアブロー部２１４は、吸着ノズル６０の乾燥を開始する時又は終了する時において、エア供給装置１３０の作動によるエアの吹き付け、第２エアブロー装置１６６の作動によるエアの吹き付け、及び第１エアブロー装置１６４の作動によるエアの吹き付けを同時に行うための機能部である。変更エアブロー部２１６は、カメラ１２６で２Ｄコード７４から取得した吸着ノズル６０の個別情報に応じて、吸着ノズル６０の吸着管６８にエアを吹き付ける態様を変更するための機能部である。つまり、変更エアブロー部２１６は、エア供給装置１３０、第２エアブロー装置１６６、又は第１エアブロー装置１６４について、作動の時間、作動の順番、又は同時に作動させる組合せ等を、吸着ノズル６０の２Ｄコード７４に示された個別情報に従って変更する。 Further, as shown in FIG. 7, the nozzle management device 80 includes the control device 200 described above. The control device 200 includes a controller 202 and a plurality of drive circuits 206. The plurality of drive circuits 206 are connected to a pallet accommodating device 92, a nozzle inspection device 96, a nozzle cleaning device 98, an air supply device 130, a rotation device 138, a first air blow device 164, and a second air blow device 166. The controller 202 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like, and is mainly a computer, and is connected to a plurality of drive circuits 206. As a result, the operation of the pallet accommodating device 92, the nozzle transfer device 94, the nozzle drying device 100, and the like is controlled by the controller 202. Further, the controller 202 has an alternating air blow unit 210, a synchronous air blow unit 212, a simultaneous air blow unit 214, and a modified air blow unit 216. The alternating air blow unit 210 is a functional unit for alternately blowing air by operating the air supply device 130 and blowing air by operating the second air blow device 166. The synchronous air blow unit 212 is a functional unit for synchronizing the blowing of air by the operation of the first air blow device 164 with the blowing of air by the operation of the second air blow device 166. The simultaneous air blow unit 214 blows air by operating the air supply device 130, blows air by operating the second air blow device 166, and blows air by operating the first air blow device 164 when the suction nozzle 60 starts or ends drying. It is a functional part for simultaneously blowing air by the operation of. The modified air blow unit 216 is a functional unit for changing the mode of blowing air to the suction pipe 68 of the suction nozzle 60 according to the individual information of the suction nozzle 60 acquired from the 2D code 74 by the camera 126. That is, the modified air blow unit 216 sets the operation time, the order of operation, the combination of operating the air supply device 130, the second air blow device 166, or the first air blow device 164 at the same time with the 2D code 74 of the suction nozzle 60. Change according to the individual information shown in.

次に、廃棄ボックス１４８について説明する。図８に示すように、廃棄ボックス１４８の上方には、吸着ノズル６０を２本の保持爪１３２で保持した保持チャック１２８（の本体部１３４）が、ヘッド移動装置１２２の作動により移動する。これにより、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０が、廃棄ボックス１４８に廃棄される。 Next, the disposal box 148 will be described. As shown in FIG. 8, a holding chuck 128 (main body 134) holding the suction nozzle 60 by two holding claws 132 moves above the waste box 148 by the operation of the head moving device 122. As a result, the suction nozzle 60 determined to be a defective nozzle by the above inspection is discarded in the disposal box 148.

廃棄ボックス１４８は、枠体３００と、スポンジ等のクッション材３０２とを備えている。枠体３００は、上面が開放された箱体である。クッション材３０２は、枠体３００の内部に配置されており、傾斜面３０４と平面３０６とを備えている。傾斜面３０４の下降側では、傾斜面３０４と平面３０６とが連続している。 The disposal box 148 includes a frame body 300 and a cushioning material 302 such as a sponge. The frame body 300 is a box body having an open upper surface. The cushion material 302 is arranged inside the frame body 300, and includes an inclined surface 304 and a flat surface 306. On the descending side of the inclined surface 304, the inclined surface 304 and the plane 306 are continuous.

傾斜面３０４は、その全体が緩衝材３０８で覆われている。緩衝材３０８には、テープ材又はブラシ材等が使用される。これにより、吸着ノズル６０は、緩衝材３０８を介して傾斜面３０４に落下するので、傾斜面３０４に直に落下する場合と比べて、勢いよく転がることが可能である。なお、テープ材には、例えば、ポリテトラフルオロエチレン製のテープ等がある。また、ブラシ材には、例えば、静電気除去ブラシの毛材等がある。 The entire inclined surface 304 is covered with the cushioning material 308. As the cushioning material 308, a tape material, a brush material, or the like is used. As a result, the suction nozzle 60 falls on the inclined surface 304 via the cushioning material 308, so that the suction nozzle 60 can roll more vigorously than when it falls directly on the inclined surface 304. The tape material includes, for example, a tape made of polytetrafluoroethylene. Further, the brush material includes, for example, a bristle material of an antistatic brush.

傾斜面３０４の上端部３１０においては、傾斜面３０４から上方に向けて突出した段差部３１２が設けられている。つまり、段差部３１２は、クッション材３０２で形成されている。段差部３１２の突出高さＨは、吸着ノズル６０のフランジ部６６から吸着管６８の先端までの最大長さＬ以上とされる。ここで、最大長さＬとは、吸着ノズル６０において、吸着管６８が胴体筒６４の下端（つまり、フランジ部６６の下面）から最大に伸び出した際の、フランジ部６６から吸着管６８の先端までの長さをいう。 The upper end 310 of the inclined surface 304 is provided with a stepped portion 312 protruding upward from the inclined surface 304. That is, the step portion 312 is formed of the cushion material 302. The protruding height H of the step portion 312 is set to be equal to or greater than the maximum length L from the flange portion 66 of the suction nozzle 60 to the tip of the suction pipe 68. Here, the maximum length L refers to the suction pipe 68 from the flange portion 66 when the suction pipe 68 extends to the maximum from the lower end of the body cylinder 64 (that is, the lower surface of the flange portion 66) in the suction nozzle 60. The length to the tip.

次に、図９のフローチャートを用いて、吸着ノズル管理方法２２０の制御プログラムについて説明する。図９のフローチャートで示された制御プログラムは、制御装置２００が備えているフラッシュメモリ２０４に記憶されており、オペレータがタッチパネル８６で所定の操作を行うと、コントローラ２０２のＣＰＵにより実行される。 Next, the control program of the suction nozzle management method 220 will be described with reference to the flowchart of FIG. The control program shown in the flowchart of FIG. 9 is stored in the flash memory 204 included in the control device 200, and when the operator performs a predetermined operation on the touch panel 86, the control program is executed by the CPU of the controller 202.

吸着ノズル管理方法２２０が実行されると、先ず、洗浄処理Ｓ１０が行われる。この処理では、ノズル洗浄装置９８において、上述したようにして、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が行われる。 When the suction nozzle management method 220 is executed, first, the cleaning process S10 is performed. In this process, the nozzle cleaning device 98 cleans and dries the suction nozzle 60 as described above.

続いて、流量検査処理Ｓ１２が行われる。この処理では、ノズル検査装置９６において、上述したようにして、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。なお、この検査において不良ノズル（つまり、不合格）と判定された吸着ノズル６０は、洗浄パレット１５８から保持チャック１２８で保持され、後述する回収処理Ｓ３０と同様にして、廃棄ボックス１４８に廃棄される。 Subsequently, the flow rate inspection process S12 is performed. In this process, the nozzle inspection device 96 performs an air flow rate inspection of the suction nozzle 60 as described above. The suction nozzle 60 determined to be a defective nozzle (that is, rejected) in this inspection is held by the holding chuck 128 from the cleaning pallet 158, and is discarded in the disposal box 148 in the same manner as the recovery process S30 described later. ..

続いて、乾燥処理Ｓ１４が行われる。この処理では、ノズル乾燥装置１００において、上述したようにして、吸着ノズル６０の乾燥が行われる。なお、吸着ノズル６０の乾燥が行われるために、洗浄パレット１５８上の吸着ノズル６０が移載ヘッド１２０の保持チャック１２８で保持される際には、吸着ノズル６０の２Ｄコード７４が移載ヘッド１２０のカメラ１２６で撮像される。これにより、２Ｄコード７４に示された吸着ノズル６０の個別情報が取得される。さらに、その取得された個別情報に対応した態様で、交互エアブロー部２１０、同期エアブロー部２１２、同時エアブロー部２１４、又は変更エアブロー部２１６が機能することによって、吸着ノズル６０の乾燥が行われる。なお、吸着ノズル６０の乾燥は、吸着ノズル６０のフランジ部６６の上面が最初に乾燥される態様で行われてもよい。 Subsequently, the drying process S14 is performed. In this process, the suction nozzle 60 is dried in the nozzle drying device 100 as described above. Since the suction nozzle 60 is dried, when the suction nozzle 60 on the cleaning pallet 158 is held by the holding chuck 128 of the transfer head 120, the 2D code 74 of the suction nozzle 60 is transferred to the transfer head 120. The image is taken by the camera 126 of. As a result, the individual information of the suction nozzle 60 shown in the 2D code 74 is acquired. Further, the suction nozzle 60 is dried by the functions of the alternating air blow unit 210, the synchronous air blow unit 212, the simultaneous air blow unit 214, or the modified air blow unit 216 in a manner corresponding to the acquired individual information. The suction nozzle 60 may be dried in such a manner that the upper surface of the flange portion 66 of the suction nozzle 60 is first dried.

続いて、荷重検査処理Ｓ１６が行われる。この処理では、ノズル検査装置９６において、上述したようにして、ロードセル１４２を用いた検査が行われる。その後は、第１判定処理Ｓ１８が行われる。この処理では、ロードセル１４２を用いた検査において、検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）であるか否かが判定される。 Subsequently, the load inspection process S16 is performed. In this process, the nozzle inspection device 96 performs the inspection using the load cell 142 as described above. After that, the first determination process S18 is performed. In this process, in the inspection using the load cell 142, it is determined whether or not the suction nozzle 60 to be inspected is a normal nozzle (that is, pass).

検査対象の吸着ノズル６０が不良ノズル（つまり、不合格）である場合には（Ｓ１８：ＮＯ）、第２判定処理Ｓ２０が行われる。この処理では、ロードセル１４２を用いた検査について、検査対象の吸着ノズル６０の不合格回数がＮ＋１回であるか否かが判定される。ここで、Ｎとは、予め設定された所定回数であり、フラッシュメモリ２０４に記憶されている。なお、所定回数Ｎは、オペレータがタッチパネル８６で操作することによって、吸着ノズル管理方法２２０が実行される前に変更することが可能である。 If the suction nozzle 60 to be inspected is a defective nozzle (that is, rejected) (S18: NO), the second determination process S20 is performed. In this process, it is determined whether or not the number of failures of the suction nozzle 60 to be inspected is N + 1 for the inspection using the load cell 142. Here, N is a predetermined number of times set in advance and is stored in the flash memory 204. The predetermined number of times N can be changed before the suction nozzle management method 220 is executed by the operator operating the touch panel 86.

検査対象の吸着ノズル６０の不合格回数がＮ＋１回でない場合には（Ｓ２０：ＮＯ）、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０について、上述した乾燥処理Ｓ１４、荷重検査処理Ｓ１６、及び第１判定処理Ｓ１８が繰り返される。 If the number of failures of the suction nozzle 60 to be inspected is not N + 1 (S20: NO), the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is subjected to the above-mentioned drying process S14, load inspection process S16, and first. The determination process S18 is repeated.

これに対して、検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）である場合には（Ｓ１８：ＹＥＳ）、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０について、画像検査処理Ｓ２２が行われる。この処理では、ノズル検査装置９６において、上述したようにして、カメラ１４０を用いた検査が行われる。その後は、第３判定処理Ｓ２４が行われる。この処理では、カメラ１４０を用いた検査において、検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）であるか否かが判定される。 On the other hand, when the suction nozzle 60 to be inspected is a normal nozzle (that is, pass) (S18: YES), the image inspection process S22 is performed on the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128. .. In this process, the nozzle inspection device 96 performs an inspection using the camera 140 as described above. After that, the third determination process S24 is performed. In this process, in the inspection using the camera 140, it is determined whether or not the suction nozzle 60 to be inspected is a normal nozzle (that is, pass).

検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）である場合には（Ｓ２４：ＹＥＳ）、記憶処理Ｓ２６が行われる。この処理では、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０について、そのＩＤと、上述した乾燥処理Ｓ１４（、荷重検査処理Ｓ１６、及び第１判定処理Ｓ１８）が繰り返された回数（以下、繰返回数と称す）とが関連付けて記憶される。 When the suction nozzle 60 to be inspected is a normal nozzle (that is, pass) (S24: YES), the storage process S26 is performed. In this process, the ID of the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 and the number of times the above-mentioned drying process S14 (, load inspection process S16, and first determination process S18) are repeated (hereinafter, repeated times). (Called a number) is stored in association with it.

具体的には、例えば、図１０に示すデータテーブル２０８のように、吸着ノズル６０のＩＤの１００１に対しては、繰返回数の２が関連付けられ記憶され、吸着ノズル６０のＩＤの１００２に対しては、繰返回数の１が関連付けられ記憶され、吸着ノズル６０のＩＤの１００３に対しては、繰返回数の３が関連付けられ記憶される。なお、データテーブル２０８は、フラッシュメモリ２０４に記憶されている。また、データテーブル２０８においては、繰返回数に加えて、上述した流量検査処理Ｓ１２、荷重検査処理Ｓ１６、及び画像検査処理Ｓ２２の各検査結果が、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０のＩＤに関連付けて記憶されてもよい。 Specifically, for example, as shown in the data table 208 shown in FIG. 10, the number of repetitions of 2 is associated and stored with respect to the ID 1001 of the suction nozzle 60, and the ID 1002 of the suction nozzle 60 is stored. Therefore, 1 of the number of repetitions is associated and stored, and 3 of the number of repetitions is associated and stored with respect to the ID 1003 of the suction nozzle 60. The data table 208 is stored in the flash memory 204. Further, in the data table 208, in addition to the number of repetitions, the inspection results of the flow rate inspection process S12, the load inspection process S16, and the image inspection process S22 described above are obtained from the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128. It may be stored in association with the ID.

続いて、第４判定処理Ｓ２８が行われる。この処理では、洗浄パレット１５８に搭載された全ての吸着ノズル６０について、ノズル乾燥装置１００による乾燥が終了したか否かが判定される。 Subsequently, the fourth determination process S28 is performed. In this process, it is determined whether or not the drying by the nozzle drying device 100 is completed for all the suction nozzles 60 mounted on the cleaning pallet 158.

洗浄パレット１５８に搭載された全ての吸着ノズル６０について、ノズル乾燥装置１００による乾燥が終了していない場合には（Ｓ２８：ＮＯ）、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０がノズルトレイ７６又はノズルパレット１１０に戻された後において、洗浄パレット１５８から吸着ノズル６０が保持チャック１２８で保持される。さらに、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０について、上述した乾燥処理Ｓ１４が行われる。なお、洗浄パレット１５８に搭載された全ての吸着ノズル６０について、ノズル乾燥装置１００による乾燥が終了した場合には（Ｓ２８：ＹＥＳ）、吸着ノズル管理方法２２０は終了する。 For all the suction nozzles 60 mounted on the cleaning pallet 158, if the drying by the nozzle drying device 100 is not completed (S28: NO), the suction nozzles 60 held by the holding chuck 128 are the nozzle tray 76 or After being returned to the nozzle pallet 110, the suction nozzle 60 is held by the holding chuck 128 from the cleaning pallet 158. Further, the above-mentioned drying process S14 is performed on the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128. When the drying by the nozzle drying device 100 is completed for all the suction nozzles 60 mounted on the cleaning pallet 158 (S28: YES), the suction nozzle management method 220 is finished.

これに対して、ロードセル１４２を用いた検査が連続して不合格となった回数がＮ＋１回となる場合や（Ｓ２０：ＹＥＳ）、カメラ１４０を用いた検査が不合格となった場合には（Ｓ２４：ＮＯ）には、回収処理Ｓ３０が行われる。図１１に示すように、回収処理Ｓ３０は、移動処理Ｓ３２と離脱処理Ｓ３４を有する。 On the other hand, when the number of consecutive failures using the load cell 142 is N + 1 (S20: YES), or when the inspection using the camera 140 fails (S20: YES). In S24: NO), the recovery process S30 is performed. As shown in FIG. 11, the recovery process S30 includes a move process S32 and a detachment process S34.

回収処理Ｓ３０が実行されると、先ず、移動処理Ｓ３２が実行される。この処理では、図１２に示すように、吸着ノズル６０（の胴体筒６４）を２本の保持爪１３２で保持した保持チャック１２８（の本体部１３４）が、ヘッド移動装置１２２の作動により、廃棄ボックス１４８の上方にまで移動する。その際、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０の姿勢については、吸着ノズル６０の吸着管６８が廃棄ボックス１４８の傾斜面３０４の（緩衝材３０８の）上方において上下に向いた状態にあり、さらに、吸着ノズル６０のフランジ部６６の少なくとも一部が廃棄ボックス１４８の段差部３１２の上方に位置する状態にある。そのため、廃棄ボックス１４８の段差部３１２において傾斜面３０４側の端から伸び出した垂線Ａは、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０のフランジ部６６と交わる関係にある。 When the recovery process S30 is executed, the move process S32 is first executed. In this process, as shown in FIG. 12, the holding chuck 128 (main body 134) holding the suction nozzle 60 (body cylinder 64) by the two holding claws 132 is discarded by the operation of the head moving device 122. Move up to the top of Box 148. At that time, regarding the posture of the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128, the suction tube 68 of the suction nozzle 60 is in a state of facing up and down above the inclined surface 304 (of the buffer material 308) of the waste box 148. Further, at least a part of the flange portion 66 of the suction nozzle 60 is located above the step portion 312 of the waste box 148. Therefore, the perpendicular line A extending from the end on the inclined surface 304 side in the stepped portion 312 of the waste box 148 intersects with the flange portion 66 of the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128.

次に、離脱処理Ｓ３４が行われる。この処理では、図１３に示すように、２本の保持爪１３２が離間することによって、保持チャック１２８から吸着ノズル６０を離脱させる。これにより、図１４に示すように、吸着ノズル６０が廃棄ボックス１４８に向けて落下し、吸着ノズル６０のフランジ部６６が廃棄ボックス１４８の段差部３１２に当たる状態になる。そのため、図１５に示すように、吸着ノズル６０は、その（吸着管６８の）向きが変化した後に、廃棄ボックス１４８の傾斜面３０４（の緩衝材３０８）上に落ちて転がることによって、廃棄ボックス１４８に回収される。その後は、上述した第４判定処理Ｓ２８が行われる。 Next, the withdrawal process S34 is performed. In this process, as shown in FIG. 13, the suction nozzle 60 is separated from the holding chuck 128 by separating the two holding claws 132. As a result, as shown in FIG. 14, the suction nozzle 60 falls toward the waste box 148, and the flange portion 66 of the suction nozzle 60 comes into contact with the stepped portion 312 of the waste box 148. Therefore, as shown in FIG. 15, the suction nozzle 60 falls on the inclined surface 304 (cushioning material 308) of the waste box 148 and rolls after the orientation (of the suction pipe 68) changes, so that the waste box 60 Collected at 148. After that, the above-mentioned fourth determination process S28 is performed.

なお、上述したノズル荷重は、荷重検査処理Ｓ１６において、ロードセル１４２により測定される。 The nozzle load described above is measured by the load cell 142 in the load inspection process S16.

以上より、本実施形態のノズル管理装置８０では、コントローラ２０２によって吸着ノズル管理方法２２０が行われると、乾燥処理Ｓ１４と荷重検査処理Ｓ１６が行われる。そして、コントローラ２０２は、荷重検査処理Ｓ１６の検査結果が合格となるまで、予め設定された所定回数Ｎを限度として、乾燥処理Ｓ１４と荷重検査処理Ｓ１６を繰り返す（Ｓ１８，Ｓ２０）。これにより、本実施形態のノズル管理装置８０と吸着ノズル管理方法２２０は、乾燥された吸着ノズル６０のノズル荷重を検査した後で吸着ノズル６０を再び乾燥させる際において、ヒューマンエラーの発生を防止する。 From the above, in the nozzle management device 80 of the present embodiment, when the suction nozzle management method 220 is performed by the controller 202, the drying process S14 and the load inspection process S16 are performed. Then, the controller 202 repeats the drying process S14 and the load inspection process S16 up to a predetermined number of times N set in advance until the inspection result of the load inspection process S16 passes (S18, S20). As a result, the nozzle management device 80 and the suction nozzle management method 220 of the present embodiment prevent the occurrence of human error when the suction nozzle 60 is dried again after inspecting the nozzle load of the dried suction nozzle 60. ..

ちなみに、本実施形態において、２Ｄコード７４は、識別媒体の一例である。ノズル管理装置８０は、吸着ノズル管理装置の一例である。ノズル検査装置９６は、荷重検査部の一例である。ノズル洗浄装置９８は、洗浄部の一例である。ノズル乾燥装置１００は、乾燥部の一例である。カメラ１２６は、リーダの一例である。第１判定処理Ｓ１８と第２判定処理Ｓ２０を行う際のコントローラ２０２は、リトライ制御部の一例である。フラッシュメモリ２０４は、記憶部の一例である。予め設定された所定回数Ｎは、予め設定された回数の一例である。洗浄処理Ｓ１０は、洗浄工程の一例である。乾燥処理Ｓ１４は、乾燥工程の一例である。荷重検査処理Ｓ１６は、荷重検査工程の一例である。第１判定処理Ｓ１８と第２判定処理Ｓ２０は、リトライ制御工程の一例である。 By the way, in this embodiment, the 2D code 74 is an example of the identification medium. The nozzle management device 80 is an example of a suction nozzle management device. The nozzle inspection device 96 is an example of a load inspection unit. The nozzle cleaning device 98 is an example of a cleaning unit. The nozzle drying device 100 is an example of a drying unit. The camera 126 is an example of a reader. The controller 202 when performing the first determination process S18 and the second determination process S20 is an example of the retry control unit. The flash memory 204 is an example of a storage unit. The preset predetermined number of times N is an example of the preset number of times. The cleaning process S10 is an example of a cleaning process. The drying process S14 is an example of a drying step. The load inspection process S16 is an example of a load inspection process. The first determination process S18 and the second determination process S20 are examples of the retry control process.

なお、本開示は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、所定回数Ｎは、吸着ノズル６０に付された２Ｄコード７４等で示されることによって、吸着ノズル６０（の大きさ又は種類）毎に変更可能なようにしてもよい。あるいは、所定回数Ｎは、２Ｄコード７４等で示されたＩＤと関連付けられた状態でフラッシュメモリ２０４等に予め記憶されることによって、吸着ノズル６０（の大きさ又は種類）毎に変更可能なようにしてもよい。The present disclosure is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the spirit of the present embodiment.
For example, the predetermined number of times N may be changed for each suction nozzle 60 (size or type) by being indicated by a 2D code 74 or the like attached to the suction nozzle 60. Alternatively, the predetermined number of times N can be changed for each suction nozzle 60 (size or type) by being stored in advance in the flash memory 204 or the like in a state associated with the ID indicated by the 2D code 74 or the like. It may be.

また、吸着ノズル６０は、吸着管６８が装着ヘッド２６に内蔵されたバネの弾性力で付勢されるものに代えて、吸着管６８が吸着管６８と胴体筒６４との間に設けられたバネの弾性力によって付勢されるものでもよい。但し、そのような場合には、乾燥処理Ｓ１４において、第２エアブロー装置１６６が作動しても、吸着管６８が胴体筒６４に対して上方に向かって相対移動し難く、そのため、吸着管６８が胴体筒６４の上端部から上方に延び出し難い。 Further, in the suction nozzle 60, instead of the suction tube 68 being urged by the elastic force of the spring built in the mounting head 26, the suction tube 68 is provided between the suction tube 68 and the body cylinder 64. It may be urged by the elastic force of the spring. However, in such a case, even if the second air blow device 166 is operated in the drying process S14, it is difficult for the suction pipe 68 to move upward relative to the fuselage cylinder 64, so that the suction pipe 68 It is difficult to extend upward from the upper end of the body cylinder 64.

６０吸着ノズル
６４胴体筒
６８吸着管
７４２Ｄコード
８０ノズル管理装置
９６ノズル検査装置
９８ノズル洗浄装置
１００ノズル乾燥装置
１２６カメラ
２０２コントローラ
２０４フラッシュメモリ
２２０吸着ノズル管理方法
Ｎ予め設定された所定回数
Ｓ１０洗浄処理
Ｓ１４乾燥処理
Ｓ１６荷重検査処理
Ｓ１８第１判定処理
Ｓ２０第２判定処理60 Nozzle nozzle 64 Body cylinder 68 Suction tube 74 2D code 80 Nozzle management device 96 Nozzle inspection device 98 Nozzle cleaning device 100 Nozzle drying device 126 Camera 202 Controller 204 Flash memory 220 Suction nozzle management method N Preset number of times S10 Cleaning process S14 Drying process S16 Load inspection process S18 First judgment process S20 Second judgment process

Claims

A cleaning unit for cleaning a suction nozzle having a body cylinder and a suction pipe provided so as to be movable inside the body cylinder.
A drying part that dries the suction nozzle washed by the washing part, and a drying part.
A load inspection unit that inspects the load generated when the suction pipe of the suction nozzle dried in the drying unit moves inside the fuselage cylinder, and a load inspection unit.
A suction nozzle management device including a retry control unit that repeats drying of the drying unit and inspection of the load inspection unit up to a preset number of times until the inspection result of the load inspection unit passes.

An identification medium having individual information of the suction nozzle and attached to the suction nozzle,
A reader that reads the individual information of the identification medium,
The suction nozzle management device according to claim 1, further comprising a storage unit that stores the individual information read by the reader in association with the number of times the drying of the drying unit and the inspection of the load inspection unit are repeated. ..

A cleaning step of cleaning a suction nozzle having a body cylinder and a suction pipe provided so as to be movable inside the body cylinder.
A drying step of drying the suction nozzle washed in the washing step, and a drying step of drying the suction nozzle.
A load inspection step of inspecting the load generated when the suction pipe of the suction nozzle dried in the drying step moves inside the body cylinder, and a load inspection step.
A suction nozzle management method including a retry control step of repeating the drying step and the load inspection step up to a preset number of times until the inspection result of the load inspection step is passed.