JP7111518B2

JP7111518B2 - Suction nozzle recovery device and suction nozzle recovery method

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Publication number: JP7111518B2
Application number: JP2018115171A
Authority: JP
Inventors: 実可子大野
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2018-06-18
Filing date: 2018-06-18
Publication date: 2022-08-02
Anticipated expiration: 2038-06-18
Also published as: JP2019220520A

Description

本開示は、吸着ノズルを回収する吸着ノズルの回収装置と吸着ノズルの回収方法に関するものである。 The present disclosure relates to a suction nozzle recovery device for recovering a suction nozzle and a suction nozzle recovery method.

従来より、吸着ノズルの回収に関し、種々の技術が提案されている。 Conventionally, various techniques have been proposed for collection of suction nozzles.

例えば、下記特許文献１に記載の回収方法は、吸着ノズルを、保持具によって保持する保持工程と、傾斜面と、前記傾斜面の下方側の端から連続する傾斜の無い平面とによって構成される底面を有する回収ボックスの前記傾斜面の上方に、前記保持工程において前記吸着ノズルを保持した前記保持具を、移動装置によって移動させる移動工程と、前記移動工程において前記保持具が前記傾斜面の上方に移動した後に、前記保持具が前記吸着ノズルを離脱する離脱工程とを含むことを特徴とする。 For example, the recovery method described in Patent Literature 1 below includes a holding step of holding a suction nozzle with a holder, an inclined surface, and a non-inclined plane continuous from the lower end of the inclined surface. a moving step of moving the holder holding the suction nozzle in the holding step above the inclined surface of a collection box having a bottom surface by a moving device; and moving the holder above the inclined surface in the moving step. and a detachment step of detaching the holding tool from the suction nozzle after moving to.

これにより、吸着ノズルは、傾斜面に落下し、平面まで転がり落ちて、平面に留まる。このため、吸着ノズルが、順次、回収ボックス内に投入された場合であっても、吸着ノズルは、傾斜面の上方で離脱されるため、落下した吸着ノズルが、回収ボックス内の吸着ノズルに勢いよく衝突することを防止できる。 As a result, the suction nozzle falls on the inclined surface, rolls down to the flat surface, and stays on the flat surface. Therefore, even if the suction nozzles are successively thrown into the collection box, the suction nozzles are released above the inclined surface, so that the suction nozzles that have fallen are forced into the suction nozzles in the collection box. It can prevent frequent collisions.

国際公開第２０１５／１６２７００号WO2015/162700

しかしながら、落下した吸着ノズルが回収ボックスに突き刺さる虞があり、このようなケースでは、回収ボックスに突き刺さった吸着ノズルに対して、その後に落下した吸着ノズルが衝突することになる。 However, there is a risk that the dropped suction nozzle will pierce the recovery box, and in such a case, the dropped suction nozzle will collide with the suction nozzle that has stuck into the recovery box.

そこで、本開示は、上述した点を鑑みてなされたものであり、吸着ノズルがボックスに回収される際において、吸着ノズルがボックスに突き刺さることを防止する吸着ノズルの回収装置と吸着ノズルの回収方法を提供することを課題とする。 Therefore, the present disclosure has been made in view of the above points, and includes a suction nozzle recovery device and a suction nozzle recovery method that prevent the suction nozzle from sticking into the box when the suction nozzle is recovered in the box. The task is to provide

本明細書は、胴体筒と、前記胴体筒の外面から張り出したフランジ部を有する吸着ノズルを回収する吸着ノズルの回収装置であって、前記吸着ノズルが回収されるボックスと、前記吸着ノズルを保持する複数の保持爪と、前記複数の保持爪を移動する移動ヘッドと、前記複数の保持爪と前記移動ヘッドを駆動制御する制御部とを備え、前記ボックスは段差部を備え、前記制御部は、前記移動ヘッドにより、前記複数の保持爪に保持させた前記吸着ノズルを前記フランジ部の周方向での一部が前記ボックスの前記段差部の上方に位置するように移動させる移動処理と、前記複数の保持爪を離間させることで前記吸着ノズルを落下させる落下処理とを実行する吸着ノズルの回収装置を、開示する。 The present specification relates to a suction nozzle recovery apparatus for recovering a suction nozzle having a body cylinder and a flange portion protruding from the outer surface of the body cylinder, wherein the box in which the suction nozzle is recovered and the suction nozzle are held. a moving head for moving the plurality of holding claws ; and a control unit for driving and controlling the plurality of holding claws and the moving head, wherein the box has a stepped portion, and the control unit comprises a moving process of moving the suction nozzle held by the plurality of holding claws by the moving head so that a part of the flange portion in the circumferential direction is positioned above the stepped portion of the box; Disclosed is a suction nozzle recovery device that performs a dropping process of dropping the suction nozzle by separating a plurality of holding claws.

本開示によれば、吸着ノズルの回収装置は、吸着ノズルがボックスに回収される際において、吸着ノズルがボックスに突き刺さることを防止する。 According to the present disclosure, the suction nozzle recovery device prevents the suction nozzle from sticking into the box when the suction nozzle is recovered in the box.

電子部品装着装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an electronic component mounting apparatus. 吸着ノズルを示す斜視図である。It is a perspective view showing a suction nozzle. ノズル管理装置の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of a nozzle management apparatus. ノズル管理装置の内部構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the internal structure of a nozzle management apparatus. ノズル乾燥装置を示す断面図である。It is a sectional view showing a nozzle dryer. ノズル乾燥装置を示す断面図である。It is a sectional view showing a nozzle dryer. ノズル管理装置の備える制御装置を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control apparatus with which a nozzle management apparatus is provided. 廃棄ボックスを示す断面図である。It is a sectional view showing a disposal box. 吸着ノズル管理方法の制御プログラムを示すフローチャートである。4 is a flow chart showing a control program of a suction nozzle management method; データテーブルを示す図である。It is a figure which shows a data table. 回収処理の制御プログラムを示すフローチャートである。4 is a flow chart showing a control program for collection processing. 廃棄ボックスを示す断面図である。It is a sectional view showing a disposal box. 廃棄ボックスを示す断面図である。It is a sectional view showing a disposal box. 廃棄ボックスを示す断面図である。It is a sectional view showing a disposal box. 廃棄ボックスを示す断面図である。It is a sectional view showing a disposal box.

以下、本開示の好適な実施形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。 Preferred embodiments of the present disclosure will be described in detail below with reference to the drawings.

図１に、電子部品装着装置１０を示す。先ず、電子部品装着装置１０の構成について説明する。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、装着機と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。 FIG. 1 shows an electronic component mounting apparatus 10. As shown in FIG. First, the configuration of the electronic component mounting apparatus 10 will be described. The electronic component mounting apparatus 10 has one system base 12 and two electronic component mounting machines (hereinafter sometimes abbreviated as mounting machines) 14 adjacent to the system base 12 . The direction in which the mounters 14 are arranged is called the X-axis direction, and the horizontal direction perpendicular to that direction is called the Y-axis direction.

各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、移動装置と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。 Each mounting machine 14 mainly includes a mounting machine main body 20, a conveying device 22, a mounting head moving device (hereinafter sometimes abbreviated as a moving device) 24, a mounting head 26, a supply device 28, and a nozzle station 30. . The mounting machine main body 20 is composed of a frame portion 32 and a beam portion 34 mounted on the frame portion 32 .

搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって保持される。 The transport device 22 comprises two conveyor devices 40,42. These two conveyor devices 40 and 42 are arranged on the frame portion 32 so as to extend parallel to each other and in the X-axis direction. Each of the two conveyor devices 40 and 42 conveys the circuit board supported by each conveyor device 40 and 42 in the X-axis direction by an electromagnetic motor (not shown). Also, the circuit board is held at a predetermined position by a board holding device (not shown).

移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。 The moving device 24 is an XY robot type moving device. The moving device 24 includes an electromagnetic motor (not shown) for sliding the slider 50 in the X-axis direction and an electromagnetic motor (not shown) for sliding in the Y-axis direction. A mounting head 26 is attached to the slider 50, and the mounting head 26 is moved to an arbitrary position on the frame portion 32 by the operation of two electromagnetic motors.

装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６の下端面には、吸着ノズル６０が設けられている。吸着ノズル６０は、図２に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６と吸着管６８と掛止ピン７０とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒６４に軸線方向に移動可能に保持されている。掛止ピン７０は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６０は、掛止ピン７０を利用して、装着ヘッド２６にワンタッチで着脱可能
に取り付けられる。なお、掛止ピン７０の図示は、後述する図５、図６、図１３乃至図１５では省略される。また、装着ヘッド２６には、バネ（図示省略）が内蔵されており、そのバネは、装着ヘッド２６に取り付けられる吸着ノズル６０の吸着管６８に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管６８は、装着ヘッド２６に内蔵されたバネの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。また、フランジ部６６の上面には、２Ｄコード７４が付されている。２Ｄコード７４には、個別情報として、吸着ノズル６０のＩＤ（identification ）や、後述するエアの吹き付けの態様（例え
ば、エアの吹き付け方向、エアの吹き付けの時間、エアの吹き付けの繰り返し回数）等が示されている。なお、２Ｄコード７４に代えて、バーコード又はＲＦタグがフランジ部６６の上面に付されてもよい。但し、ＲＦタグがフランジ部６６の上面に付される場合には、ＲＦタグから個別情報を取得するためのリーダが、後述するノズル管理装置（図３参照）８０の移載ヘッド（図４参照）１２０に取り付けられる。 The mounting head 26 mounts electronic components on the circuit board. A suction nozzle 60 is provided on the lower end surface of the mounting head 26 . The suction nozzle 60 is composed of a body tube 64, a flange portion 66, a suction tube 68, and a locking pin 70, as shown in FIG. The body tube 64 has a cylindrical shape, and the flange portion 66 is fixed so as to protrude from the outer peripheral surface of the body tube 64 . The adsorption tube 68 has a thin pipe shape and is held by the body tube 64 so as to be movable in the axial direction while extending downward from the lower end of the body tube 64 . The locking pin 70 is provided at the upper end portion of the body tube 64 so as to extend in the radial direction of the body tube 64 . The suction nozzle 60 is detachably attached to the mounting head 26 with one touch using a locking pin 70 . Illustration of the locking pin 70 is omitted in FIGS. 5, 6, and 13 to 15 described later. A spring (not shown) is incorporated in the mounting head 26 , and the spring imparts elastic force to the suction tube 68 of the suction nozzle 60 attached to the mounting head 26 . As a result, the suction tube 68 is urged downward from the lower end of the body tube 64 by the elastic force of the spring built into the mounting head 26 . A 2D code 74 is attached to the upper surface of the flange portion 66 . The 2D code 74 includes, as individual information, the ID (identification) of the suction nozzle 60, the mode of air blowing (for example, air blowing direction, air blowing time, number of repetitions of air blowing), etc., which will be described later. It is shown. A bar code or an RF tag may be attached to the upper surface of the flange portion 66 instead of the 2D code 74 . However, when the RF tag is attached to the upper surface of the flange portion 66, the reader for acquiring individual information from the RF tag is the transfer head (see FIG. 4) of the nozzle management device (see FIG. 3) 80 described later. ) 120 .

また、吸着ノズル６０は、負圧エア、正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させるノズル昇降装置（図示省略）を有している。そのノズル昇降装置によって、装着ヘッド２６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。 Also, the suction nozzle 60 communicates with a positive/negative pressure supply device (not shown) via negative pressure air and positive pressure air passages. The suction nozzle 60 sucks and holds an electronic component with negative pressure, and releases the held electronic component with positive pressure. The mounting head 26 also has a nozzle lifting device (not shown) that lifts and lowers the suction nozzle 60 . The nozzle lifting device allows the mounting head 26 to change the vertical position of the electronic component it holds.

供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、複数のテープフィーダ７２を有している。テープフィーダ７２は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７２は、送り装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。 The supply device 28 is a feeder type supply device, and has a plurality of tape feeders 72 as shown in FIG. The tape feeder 72 accommodates taped components in a wound state. A taped component is an electronic component taped. Then, the tape feeder 72 feeds out taped components by a feeding device (not shown). Thereby, the feeder-type supply device 28 supplies the electronic components at the supply position by feeding the taped components.

ノズルステーション３０は、ノズルトレイ７６を有している。ノズルトレイ７６には、複数の吸着ノズル６０が収容されている。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７６は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７６に収容された吸着ノズル６０の回収や、ノズルトレイ７６への吸着ノズル６０の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。 The nozzle station 30 has a nozzle tray 76 . The nozzle tray 76 accommodates a plurality of suction nozzles 60 . In this nozzle station 30, exchange of the suction nozzles 60 attached to the mounting head 26 and the suction nozzles 60 housed in the nozzle tray 76, etc., is performed as necessary. The nozzle tray 76 is detachable from the nozzle station 30 , and collection of the suction nozzles 60 accommodated in the nozzle tray 76 and replenishment of the suction nozzles 60 to the nozzle tray 76 can be performed outside the mounter 14 . is possible.

次に、装着機１４による装着作業について説明する。装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が、作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって保持される。また、テープフィーダ７２は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。 Next, the mounting work by the mounting machine 14 will be described. With the configuration described above, the mounting machine 14 can mount the circuit board held by the conveying device 22 with the mounting head 26 . Specifically, the circuit board is conveyed to the working position by a command from a control device (not shown) of the mounting machine 14, and is held by the board holding device at that position. In addition, the tape feeder 72 feeds taped components and supplies electronic components at the supply position in accordance with a command from the control device. Then, the mounting head 26 moves above the supply position of the electronic component, and the suction nozzle 60 sucks and holds the electronic component. Subsequently, the mounting head 26 moves above the circuit board and mounts the held electronic component on the circuit board.

装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７２によって供給された電子部品を、吸着ノズル６０によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル６０に不具合が生じている場合には、装着作業を適切に行うことができない虞があるため、吸着ノズル６０を適切に管理する必要がある。そこで、以下に説明するノズル管理装置により、吸着ノズル６０の管理が行われる。 In the mounter 14, as described above, the electronic component supplied by the tape feeder 72 is sucked and held by the suction nozzle 60, and the electronic component is mounted on the circuit board. Therefore, if there is a problem with the suction nozzle 60, there is a possibility that the mounting operation cannot be properly performed, so the suction nozzle 60 needs to be properly managed. Therefore, the suction nozzles 60 are managed by a nozzle management device described below.

次に、ノズル管理装置の構成について説明する。ノズル管理装置８０は、図３に示すよ
うに、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ７６をノズル管理装置８０内に収納、若しくは、ノズル管理装置８０からノズルトレイ７６を取り出すための扉８２が設けられている。その扉８２の上方には、各種情報を表示し、各操作が行われるタッチパネル８６等が配設されている。 Next, the configuration of the nozzle management device will be described. As shown in FIG. 3, the nozzle management device 80 has a generally rectangular parallelepiped shape. A door 82 is provided. Above the door 82, a touch panel 86 or the like is arranged to display various information and perform various operations.

ノズル管理装置８０は、図４に示すように、管理装置本体９０、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８、ノズル乾燥装置１００を有している。なお、図４は、ノズル管理装置８０の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置８０の内部構造を示している。また、ノズル管理装置８０には、制御装置２００が接続されている。さらに、制御装置２００は、フラッシュメモリ２０４を備えている。なお、制御装置２００の詳細な説明は、後述する。 The nozzle management device 80 has a management device main body 90, a pallet storage device 92, a nozzle transfer device 94, a nozzle inspection device 96, a nozzle cleaning device 98, and a nozzle drying device 100, as shown in FIG. 4 is a perspective view showing a state in which the outer shell member of the nozzle management device 80 is removed, and shows the internal structure of the nozzle management device 80. As shown in FIG. A control device 200 is also connected to the nozzle management device 80 . Furthermore, the control device 200 has a flash memory 204 . A detailed description of the control device 200 will be given later.

管理装置本体９０は、フレーム部１０２と、そのフレーム部１０２に上架されたビーム部１０４とによって構成されている。フレーム部１０２は、中空構造とされており、フレーム部１０２内にパレット収容装置９２が配設され、パレット収容装置９２の上端部が、フレーム部１０２の上面に露出している。 The management device main body 90 is composed of a frame portion 102 and a beam portion 104 mounted on the frame portion 102 . The frame portion 102 has a hollow structure.

パレット収容装置９２は、複数のパレット載置棚１０６と、支持アーム１０８とを含む。パレット載置棚１０６は、ノズルパレット１１０を載置するための棚であり、複数のパレット載置棚１０６が、フレーム部１０２の内部において、上下方向に並んで配設されている。なお、ノズルパレット１１０には、複数の吸着ノズル６０が収容される。また、支持アーム１０８は、アーム移動装置（図示省略）の作動により、複数のパレット載置棚１０６の前方において、上下方向に移動するとともに、パレット載置棚１０６に接近・離間する。これにより、パレット載置棚１０６へのノズルパレット１１０の収納、パレット載置棚１０６からのノズルパレット１１０の取出しが、支持アーム１０８によって行われる。なお、パレット載置棚１０６から取り出されたノズルパレット１１０は、支持アーム１０８が上方に移動することで、フレーム部１０２の上面側に移動する。 Pallet storage device 92 includes a plurality of pallet placement shelves 106 and support arms 108 . The pallet mounting shelf 106 is a shelf for mounting the nozzle pallet 110 , and a plurality of pallet mounting shelves 106 are arranged vertically inside the frame portion 102 . Note that the nozzle palette 110 accommodates a plurality of suction nozzles 60 . In addition, the support arm 108 moves vertically in front of the plurality of pallet racks 106 and approaches/separates from the pallet racks 106 by the operation of an arm moving device (not shown). As a result, the nozzle pallet 110 is stored in the pallet mounting shelf 106 and the nozzle pallet 110 is taken out from the pallet mounting shelf 106 by the support arm 108 . The nozzle pallet 110 taken out from the pallet placing shelf 106 moves to the upper surface side of the frame part 102 by moving the support arm 108 upward.

ノズル移載装置９４は、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との間で吸着ノズル６０を移載するための装置であり、ビーム部１０４に配設されている。ノズル移載装置９４は、移載ヘッド１２０とヘッド移動装置１２２とを有している。移載ヘッド１２０の下端面には、下方を向いた状態のカメラ１２６と、吸着ノズル６０を保持するための保持チャック１２８と、エア供給装置１３０とが取り付けられている。 The nozzle transfer device 94 is a device for transferring the suction nozzles 60 between the nozzle tray 76 and the nozzle pallet 110 and is arranged in the beam section 104 . The nozzle transfer device 94 has a transfer head 120 and a head moving device 122 . A downward facing camera 126 , a holding chuck 128 for holding the suction nozzle 60 , and an air supply device 130 are attached to the lower end surface of the transfer head 120 .

保持チャック１２８は、図５に示すように、２本の保持爪１３２を有しており、それら２本の保持爪１３２を接近させることで、吸着ノズル６０を胴体筒６４において保持し、２本の保持爪１３２を離間させることで、保持した吸着ノズル６０を離脱する。また、保持チャック１２８の本体部１３４には、エア流路１３６が形成されている。そのエア流路１３６の下端部は、２本の保持爪１３２の間に開口しており、上端部は、エア供給装置１３０に接続されている。このため、保持チャック１２８が吸着ノズル６０を保持した状態において、エア供給装置１３０によってエア流路１３６にエアが供給されることで、吸着ノズル６０の内部に向かってエアが、エア流路１３６の下端部から吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の内部にエアが吹きこまれ、吸着管６８の先端部からエアが吹き出す。さらに、保持チャック１２８は、自身を自転させる自転装置（図７参照）１３８を有している。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が回転する。なお、図５において、符号Ｄの方向は、上下方向を示している。この点は、後述する図６、図８、図１２乃至図１５においても、同様である。 The holding chuck 128 has two holding claws 132, as shown in FIG. By separating the holding claws 132, the held suction nozzle 60 is released. Also, an air flow path 136 is formed in the body portion 134 of the holding chuck 128 . The lower end of the air channel 136 is open between the two holding claws 132 and the upper end is connected to the air supply device 130 . Therefore, in a state where the holding chuck 128 holds the suction nozzle 60 , air is supplied to the air flow path 136 by the air supply device 130 . Blow out from the bottom edge. As a result, air is blown into the suction nozzle 60 and blown out from the tip of the suction tube 68 . Furthermore, the holding chuck 128 has a rotation device (see FIG. 7) 138 that rotates itself. As a result, the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 rotates. In addition, in FIG. 5, the direction of the code|symbol D has shown the up-down direction. This point also applies to FIGS. 6, 8, and 12 to 15, which will be described later.

また、ヘッド移動装置１２２は、図４に示すように、移載ヘッド１２０をフレーム部１０２の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である
。なお、フレーム部１０２の前方側の上面には、ノズルトレイ７６をセットするための固定ステージ１３１が設けられており、固定ステージ１３１にセットされたノズルトレイ７６と、パレット収容装置９２の支持アーム１０８に支持されたノズルパレット１１０との間で、吸着ノズル６０が移載される。 4, the head moving device 122 is an XYZ moving device that moves the transfer head 120 on the frame portion 102 in the front-rear direction, the left-right direction, and the up-down direction. A fixed stage 131 for setting the nozzle tray 76 is provided on the upper surface of the front side of the frame portion 102 . The suction nozzle 60 is transferred between the nozzle pallet 110 supported by the .

ノズル検査装置９６は、カメラ１４０とロードセル１４２とジョイント１４６とを有している。カメラ１４０は、上方を向いた状態でフレーム部１０２の上面に配設されており、カメラ１４０を用いて、吸着ノズル６０の先端部が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、下方からカメラ１４０によって撮像される。これにより、吸着ノズル６０の先端部の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着ノズル６０の先端部の状態が検査される。 The nozzle inspection device 96 has a camera 140 , a load cell 142 and a joint 146 . The camera 140 is arranged on the upper surface of the frame portion 102 while facing upward, and the tip portion of the suction nozzle 60 is inspected using the camera 140 . Specifically, the suction nozzle 60 to be inspected is held by the holding chuck 128, and the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is imaged by the camera 140 from below. As a result, imaging data of the tip portion of the suction nozzle 60 is obtained, and the state of the tip portion of the suction nozzle 60 is inspected based on the imaging data.

また、ロードセル１４２は、カメラ１４０の隣に配設されており、ロードセル１４２を用いて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の先端部がロードセル１４２に当接される。吸着ノズル６０の先端部は、伸縮可能とされており、ロードセル１４２により測定された荷重に基づいて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。 Also, the load cell 142 is arranged next to the camera 140 , and using the load cell 142 , the expansion/contraction state of the tip of the suction nozzle 60 is inspected. Specifically, the suction nozzle 60 to be inspected is held by the holding chuck 128 , and the tip of the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is brought into contact with the load cell 142 . The tip portion of the suction nozzle 60 is extendable, and the extension state of the tip portion of the suction nozzle 60 is inspected based on the load measured by the load cell 142 .

また、ジョイント１４６は、エア供給装置１３０の下面に配設され、そのエア供給装置１３０からエアが供給される。そして、エア供給装置１３０からジョイント１４６に供給されるエアを用いて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。詳しくは、ジョイント１４６が、ヘッド移動装置１２２の作動により、後述する洗浄パレット１５８に載置された吸着ノズル６０の上方に移動する。そして、ジョイント１４６が、検査対象の吸着ノズル６０に接続され、エア供給装置１３０からエアが供給される。この際にエア圧が測定され、そのエア圧に基づいて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。 Also, the joint 146 is arranged on the lower surface of the air supply device 130 and is supplied with air from the air supply device 130 . Then, air flow rate inspection of the suction nozzle 60 is performed using air supplied to the joint 146 from the air supply device 130 . Specifically, the joint 146 is moved above the suction nozzle 60 placed on the cleaning pallet 158 to be described later by the operation of the head moving device 122 . The joint 146 is connected to the suction nozzle 60 to be inspected, and air is supplied from the air supply device 130 . At this time, the air pressure is measured, and the air flow rate inspection of the suction nozzle 60 is performed based on the air pressure.

なお、フレーム部１０２の上面には、複数の廃棄ボックス１４８が配設されており、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０は、廃棄ボックス１４８に廃棄される。また、上記検査により正常なノズルと判定された吸着ノズル６０は、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻される。 A plurality of disposal boxes 148 are arranged on the upper surface of the frame portion 102 , and suction nozzles 60 determined as defective nozzles by the above inspection are discarded in the disposal boxes 148 . Also, the suction nozzles 60 determined to be normal nozzles by the above inspection are returned to the nozzle tray 76 or the nozzle palette 110 .

ノズル洗浄装置９８は、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置９２の隣に配設されている。ノズル洗浄装置９８は、洗浄・乾燥機構１５０と洗浄パレット移動機構１５２とを備えている。洗浄・乾燥機構１５０は、内部において吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う機構である。また、洗浄パレット移動機構１５２は、洗浄パレット１５８が露出する露出位置（図４で洗浄パレット１５８が図示されている位置）と、洗浄・乾燥機構１５０の内部との間で、洗浄パレット１５８を移動させる機構である。 The nozzle cleaning device 98 is a device that cleans and dries the suction nozzles 60 and is arranged next to the pallet storage device 92 . The nozzle cleaning device 98 has a cleaning/drying mechanism 150 and a cleaning pallet moving mechanism 152 . The cleaning/drying mechanism 150 is a mechanism that cleans and dries the suction nozzle 60 inside. Also, the cleaning pallet moving mechanism 152 moves the cleaning pallet 158 between the exposure position where the cleaning pallet 158 is exposed (the position where the cleaning pallet 158 is shown in FIG. 4) and the inside of the cleaning/drying mechanism 150. It is a mechanism that allows

ノズル乾燥装置１００は、吸着ノズル６０の乾燥を行う装置であり、露出位置に位置する洗浄パレット１５８の隣に配設されている。ノズル乾燥装置１００は、図５に示すように、ハウジング１６０と第１エアブロー装置１６４と第２エアブロー装置１６６を有している。ハウジング１６０は、概して有底円筒状をなしている。 The nozzle drying device 100 is a device that dries the suction nozzles 60, and is arranged next to the cleaning palette 158 located at the exposure position. The nozzle drying device 100 has a housing 160, a first air blow device 164 and a second air blow device 166, as shown in FIG. The housing 160 is generally cylindrical with a bottom.

第１エアブロー装置１６４は、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す装置である。詳しくは、ハウジング１６０の側壁には、２つの貫通穴１７０，１７２が形成されている。第１の貫通穴１７０は、ハウジング１６０の径方向に延びるように、ハウジング１６０の側壁を貫通している。なお、第１の貫通穴１７０は、ハウジング１６０の外壁
面から内壁面に向かって斜め上方に貫通している。一方、第２の貫通穴１７２は、第１の貫通穴１７０の上方において、ハウジング１６０の径方向、かつ水平方向に延びるように、ハウジング１６０の側壁を貫通している。そして、第１の貫通穴１７０および、第２の貫通穴１７２に、配管１７６，１７８を介して、第１エアブロー装置１６４が接続されている。これにより、第１エアブロー装置１６４は、貫通穴１７０，１７２を介して、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す。第２エアブロー装置１６６は、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す装置である。詳しくは、ハウジング１６０の底壁の中央には、１つの貫通穴１８０が形成されている。そして、その貫通穴１８０に、配管１８２を介して、第２エアブロー装置１６６が接続されている。これにより、第２エアブロー装置１６６は、貫通穴１８０を介して、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す。 The first air blow device 164 is a device that blows air toward the interior of the housing 160 . Specifically, two through holes 170 and 172 are formed in the side wall of the housing 160 . The first through hole 170 penetrates the side wall of the housing 160 so as to extend in the radial direction of the housing 160 . The first through hole 170 penetrates obliquely upward from the outer wall surface of the housing 160 toward the inner wall surface. On the other hand, the second through hole 172 penetrates the side wall of the housing 160 above the first through hole 170 so as to extend in the radial and horizontal directions of the housing 160 . A first air blow device 164 is connected to the first through hole 170 and the second through hole 172 via pipes 176 and 178 . Thereby, the first air blow device 164 blows air toward the inside of the housing 160 through the through holes 170 and 172 . The second air blow device 166 is a device that blows air toward the interior of the housing 160 . Specifically, one through hole 180 is formed in the center of the bottom wall of the housing 160 . A second air blow device 166 is connected to the through hole 180 via a pipe 182 . Thereby, the second air blow device 166 blows air toward the inside of the housing 160 through the through hole 180 .

次に、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥について説明する。ノズル洗浄装置９８により、吸着ノズル６０の洗浄が行われる際には、洗浄対象の吸着ノズル６０が、ノズル移載装置９４によって、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０から、洗浄パレット１５８に移載される。そして、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、洗浄・乾燥機構１５０の内部に移動し、洗浄・乾燥機構１５０の内部において、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が行われる。洗浄・乾燥機構１５０による吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、露出位置に移動する。 Next, cleaning and drying of the suction nozzle 60 will be described. When the suction nozzles 60 are cleaned by the nozzle cleaning device 98 , the suction nozzles 60 to be cleaned are transferred from the nozzle tray 76 or the nozzle palette 110 to the cleaning palette 158 by the nozzle transfer device 94 . be. Then, the cleaning pallet 158 is moved into the cleaning/drying mechanism 150 by the operation of the cleaning pallet moving mechanism 152 , and the suction nozzle 60 is cleaned and dried inside the cleaning/drying mechanism 150 . When the cleaning and drying of the suction nozzle 60 by the cleaning/drying mechanism 150 is completed, the cleaning pallet 158 is moved to the exposed position by the operation of the cleaning pallet moving mechanism 152 .

この際、吸着ノズル６０は、ある程度乾燥しているが、洗浄・乾燥機構１５０内では、洗浄パレット１５８に搭載された状態で吸着ノズル６０の乾燥が行われるため、吸着ノズル６０に水分が残存している虞がある。特に、吸着ノズル６０では、上述したように、胴体筒６４と吸着管６８とが相対移動可能となっており、胴体筒６４と吸着管６８との間に水が浸入するため、胴体筒６４と吸着管６８との間に浸入した水が残存している場合がある。このように胴体筒６４と吸着管６８との間に水分が残存した吸着ノズル６０は、上記ロードセル１４２を用いた検査において、不良ノズルと判定される虞がある。詳しくは、ロードセル１４２を用いた検査は、上述したように、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態の検査であり、胴体筒６４と吸着管６８との間に水分が残存した吸着ノズル６０では、水分によって胴体筒６４と吸着管６８との摺動抵抗が大きくなり、ロードセル１４２により測定される荷重が高くなる。このため、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が適切でないと判定され、その吸着ノズル６０は、不良ノズルと判定される虞がある。 At this time, the suction nozzles 60 are dried to some extent, but in the cleaning/drying mechanism 150, the suction nozzles 60 are dried while being mounted on the cleaning pallet 158, so moisture remains in the suction nozzles 60. There is a risk that In particular, in the suction nozzle 60, as described above, the body tube 64 and the suction tube 68 are relatively movable, and water enters between the body tube 64 and the suction tube 68. Water that has entered between the adsorption tube 68 and the adsorption tube 68 may remain. The suction nozzle 60 in which moisture remains between the body tube 64 and the suction tube 68 in this way may be determined as a defective nozzle in the inspection using the load cell 142 . Specifically, the inspection using the load cell 142 is, as described above, an inspection of the expansion/contraction state of the tip of the suction nozzle 60. In the suction nozzle 60 in which moisture remains between the body cylinder 64 and the suction tube 68, Moisture increases the sliding resistance between the body tube 64 and the adsorption tube 68 and increases the load measured by the load cell 142 . Therefore, it may be determined that the expansion/contraction state of the tip of the suction nozzle 60 is not appropriate, and the suction nozzle 60 may be determined to be a defective nozzle.

このようなことに鑑みて、ノズル管理装置８０では、洗浄・乾燥機構１５０による吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、ノズル乾燥装置１００を用いて、吸着ノズル６０の乾燥が行われる。詳しくは、洗浄・乾燥機構１５０により洗浄・乾燥された吸着ノズル６０が、洗浄パレット１５８から保持チャック１２８によって保持される。次に、保持チャック１２８が、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズル乾燥装置１００の上方に移動し、下降する。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、図５に示すように、ノズル乾燥装置１００のハウジング１６０の内部に挿入される。なお、吸着ノズル６０のフランジ部６６と吸着管６８が、貫通穴１７０，１７２の横方向に位置する箇所まで、保持チャック１２８は下降する。これにより、ハウジング１６０の内部では、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、吸着管６８を上下に向けた状態で収納される。 In view of this, in the nozzle management device 80 , when the cleaning and drying of the suction nozzles 60 by the cleaning/drying mechanism 150 are completed, the nozzle drying device 100 is used to dry the suction nozzles 60 . Specifically, the suction nozzle 60 cleaned and dried by the cleaning/drying mechanism 150 is held by the holding chuck 128 from the cleaning palette 158 . Next, the holding chuck 128 is moved above the nozzle drying device 100 and lowered by the operation of the head moving device 122 . As a result, the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is inserted into the housing 160 of the nozzle drying device 100, as shown in FIG. The holding chuck 128 descends to a point where the flange portion 66 of the suction nozzle 60 and the suction pipe 68 are positioned laterally of the through holes 170 and 172 . As a result, the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is housed inside the housing 160 with the suction tube 68 facing up and down.

その後、ハウジング１６０の内部において、吸着ノズル６０が回転し、エアが、貫通穴１７０，１７２，１８０とエア流路１３６の少なくとも１つから吹き出す。つまり、保持チャック１２８が自転装置１３８の作動により自転することにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が回転する。さらに、第１エアブロー装置１６４が作動され
ると、貫通穴１７０，１７２からハウジング１６０の内部に向かってエアが吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の横方から吹き出したエアが、回転中の吸着ノズル６０の周囲全体に吹き付けられる。また、エア供給装置１３０が作動されると、エア流路１３６から、保持チャック１２８の２本の保持爪１３２の間（つまり、ハウジング１６０の内部）に向かってエアが吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の上方から吹き出したエアが、回転中の吸着ノズル６０の内部に吹き付けられる。このような、吸着ノズル６０の上方から内部へのエアの吹き付けによって、吸着管６８が胴体筒６４に対して下方に向かって相対移動し、下方に延び出す。これにより、胴体筒６４の下側において、吸着管６８の胴体筒６４に対する摺動面が露出し、その摺動面の全周に渡ってエアが吹き付けられる。これに対して、第２エアブロー装置１６６が作動されると、貫通穴１８０からハウジング１６０の内部に向かってエアが吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の下方から吹き出したエアが、回転中の吸着ノズル６０の内部に吹き付けられる。このような、吸着ノズル６０の下方から内部へのエアの吹き付けによって、図６に示すように、吸着管６８が胴体筒６４に対して上方に向かって相対移動し、上方に延び出す。これにより、胴体筒６４の上側において、吸着管６８の胴体筒６４に対する摺動面が露出し、その摺動面の全周に渡ってエアが吹き付けられる。このように、ハウジング１６０の内部に挿入された状態の吸着ノズル６０の横方、上方、又は下方から内部（特に、吸着管６８）にエアが吹き付けられるとともに、吸着ノズル６０が回転することで、胴体筒６４と吸着管６８との間に残存している水分を好適に除去することが可能となる。なお、ノズル乾燥装置１００は、水分以外の付着物、具体的には、例えば、油分、埃、電子部品又はその一部、半田、接着剤等を除去することも可能である。また、第１エアブロー装置１６４、エア供給装置１３０、及び第２エアブロー装置１６６は、上述したエアに代えて、他の気体、具体的には、例えば、窒素等のガスを吹き付けてもよい。 After that, the suction nozzle 60 rotates inside the housing 160 , and air is blown out from at least one of the through holes 170 , 172 , 180 and the air flow path 136 . That is, when the holding chuck 128 is rotated by the operation of the rotation device 138, the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is rotated. Furthermore, when the first air blow device 164 is actuated, air is blown toward the interior of the housing 160 from the through holes 170 and 172 . As a result, the air blown from the sides of the suction nozzle 60 is blown to the entire periphery of the rotating suction nozzle 60 . Also, when the air supply device 130 is actuated, air is blown out from the air flow path 136 toward between the two holding claws 132 of the holding chuck 128 (that is, inside the housing 160). As a result, the air blown from above the suction nozzle 60 is blown into the rotating suction nozzle 60 . By blowing air from above the suction nozzle 60 to the inside, the suction tube 68 moves downward relative to the body tube 64 and extends downward. As a result, the sliding surface of the adsorption tube 68 with respect to the body tube 64 is exposed on the lower side of the body tube 64, and air is blown over the entire circumference of the sliding surface. On the other hand, when the second air blow device 166 is actuated, air is blown from the through hole 180 toward the interior of the housing 160 . As a result, the air blown from below the suction nozzle 60 is blown into the rotating suction nozzle 60 . By blowing air from below the suction nozzle 60 to the inside in this manner, the suction tube 68 moves upward relative to the body tube 64 and extends upward, as shown in FIG. As a result, the sliding surface of the adsorption tube 68 with respect to the body tube 64 is exposed on the upper side of the body tube 64, and air is blown over the entire circumference of the sliding surface. In this way, air is blown to the inside (particularly, the suction tube 68) from the lateral, upper, or lower side of the suction nozzle 60 inserted into the housing 160, and the suction nozzle 60 rotates. Moisture remaining between the body tube 64 and the adsorption tube 68 can be preferably removed. Note that the nozzle drying device 100 can also remove adherents other than water, specifically, for example, oil, dust, electronic components or parts thereof, solder, adhesives, and the like. Also, the first air blow device 164, the air supply device 130, and the second air blow device 166 may blow another gas, specifically, a gas such as nitrogen, instead of the air described above.

そして、ノズル乾燥装置１００による乾燥が完了した吸着ノズル６０は、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との何れかに戻される。 The suction nozzles 60 that have been dried by the nozzle drying device 100 are returned to either the nozzle tray 76 or the nozzle palette 110 by the operation of the head moving device 122 .

さらに、ノズル管理装置８０は、図７に示すように、上述した制御装置２００を備えている。制御装置２００は、コントローラ２０２と複数の駆動回路２０６とを備えている。複数の駆動回路２０６は、パレット収容装置９２、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８、エア供給装置１３０、自転装置１３８、第１エアブロー装置１６４、第２エアブロー装置１６６に接続されている。コントローラ２０２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路２０６に接続されている。これにより、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル乾燥装置１００等の作動が、コントローラ２０２によって制御される。また、コントローラ２０２は、交互エアブロー部２１０と同期エアブロー部２１２と同時エアブロー部２１４と変更エアブロー部２１６とを有している。交互エアブロー部２１０は、エア供給装置１３０の作動によるエアの吹き付けと、第２エアブロー装置１６６の作動によるエアの吹き付けを交互に行うための機能部である。同期エアブロー部２１２は、第１エアブロー装置１６４の作動によるエアの吹き付けを、第２エアブロー装置１６６の作動によるエアの吹き付けと同期させて行うための機能部である。同時エアブロー部２１４は、吸着ノズル６０の乾燥を開始する時又は終了する時において、エア供給装置１３０の作動によるエアの吹き付け、第２エアブロー装置１６６の作動によるエアの吹き付け、及び第１エアブロー装置１６４の作動によるエアの吹き付けを同時に行うための機能部である。変更エアブロー部２１６は、カメラ１２６で２Ｄコード７４から取得した吸着ノズル６０の個別情報に応じて、吸着ノズル６０の吸着管６８にエアを吹き付ける態様を変更するための機能部である。つまり、変更エアブロー部２１６は、エア供給装置１３０、第２エアブロー装置１６６、又は第１エアブロー装置１６４について、作動の時間、作動の順番、又は同時に作動させる組合せ等を、吸着ノズル６０の２Ｄコード７４に示された個別情報に従って変更する。 Further, the nozzle management device 80 includes the control device 200 described above, as shown in FIG. The control device 200 comprises a controller 202 and a plurality of drive circuits 206 . A plurality of drive circuits 206 are connected to the pallet storage device 92 , the nozzle inspection device 96 , the nozzle cleaning device 98 , the air supply device 130 , the rotation device 138 , the first air blow device 164 and the second air blow device 166 . The controller 202 includes a CPU, ROM, RAM, etc., is mainly a computer, and is connected to a plurality of drive circuits 206 . Accordingly, the controller 202 controls the operations of the pallet storage device 92, the nozzle transfer device 94, the nozzle drying device 100, and the like. The controller 202 also has an alternate air blow section 210 , a synchronous air blow section 212 , a simultaneous air blow section 214 and a variable air blow section 216 . The alternate air blow unit 210 is a functional unit that alternately blows air by operating the air supply device 130 and blowing air by operating the second air blow device 166 . The synchronous air blow unit 212 is a functional unit for synchronizing the blowing of air by the operation of the first air blow device 164 with the blowing of air by the operation of the second air blow device 166 . The simultaneous air blow unit 214 blows air by operating the air supply device 130, blows air by operating the second air blow device 166, and blows air by operating the first air blow device 164 when drying the suction nozzle 60 is started or finished. It is a functional part for simultaneously blowing air by the operation of . The change air blow unit 216 is a functional unit for changing the mode of blowing air to the suction tube 68 of the suction nozzle 60 according to the individual information of the suction nozzle 60 acquired from the 2D code 74 by the camera 126 . In other words, the change air blow unit 216 changes the operation time, the order of operation, or a combination of simultaneous operations of the air supply device 130, the second air blow device 166, or the first air blow device 164 to the 2D code 74 of the suction nozzle 60. Change according to the individual information indicated in

次に、廃棄ボックス１４８について説明する。図８に示すように、廃棄ボックス１４８の上方には、吸着ノズル６０を２本の保持爪１３２で保持した保持チャック１２８（の本体部１３４）が、ヘッド移動装置１２２の作動により移動する。これにより、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０が、廃棄ボックス１４８に廃棄される。 Next, the disposal box 148 will be described. As shown in FIG. 8 , (the body portion 134 of) a holding chuck 128 holding the suction nozzle 60 with two holding claws 132 is moved above the disposal box 148 by the operation of the head moving device 122 . As a result, the sucking nozzle 60 that is determined to be defective by the above inspection is disposed of in the disposal box 148 .

廃棄ボックス１４８は、枠体３００と、スポンジ等のクッション材３０２とを備えている。枠体３００は、上面が開放された箱体である。クッション材３０２は、枠体３００の内部に配置されており、傾斜面３０４と平面３０６とを備えている。傾斜面３０４の下降側では、傾斜面３０４と平面３０６とが連続している。 The disposal box 148 includes a frame 300 and cushioning material 302 such as sponge. The frame 300 is a box with an open top. The cushion material 302 is arranged inside the frame 300 and has an inclined surface 304 and a flat surface 306 . The inclined surface 304 and the flat surface 306 are continuous on the descending side of the inclined surface 304 .

傾斜面３０４は、その全体が緩衝材３０８で覆われている。緩衝材３０８には、テープ材又はブラシ材等が使用される。これにより、吸着ノズル６０は、緩衝材３０８を介して傾斜面３０４に落下するので、傾斜面３０４に直に落下する場合と比べて、勢いよく転がることが可能である。なお、テープ材には、例えば、ポリテトラフルオロエチレン製のテープ等がある。また、ブラシ材には、例えば、静電気除去ブラシの毛材等がある。 The inclined surface 304 is entirely covered with a cushioning material 308 . A tape material, a brush material, or the like is used for the cushioning material 308 . As a result, the suction nozzle 60 drops onto the inclined surface 304 via the cushioning material 308 , so that it can roll more vigorously than when it drops directly onto the inclined surface 304 . Note that the tape material includes, for example, a tape made of polytetrafluoroethylene. Further, the brush material includes, for example, bristle material of a static elimination brush.

傾斜面３０４の上端部３１０においては、傾斜面３０４から上方に向けて突出した段差部３１２が設けられている。つまり、段差部３１２は、クッション材３０２で形成されている。段差部３１２の突出高さＨは、吸着ノズル６０のフランジ部６６から吸着管６８の先端までの最大長さＬ以上とされる。ここで、最大長さＬとは、吸着ノズル６０において、吸着管６８が胴体筒６４の下端（つまり、フランジ部６６の下面）から最大に伸び出した際の、フランジ部６６から吸着管６８の先端までの長さをいう。 A stepped portion 312 protruding upward from the inclined surface 304 is provided at an upper end portion 310 of the inclined surface 304 . That is, the stepped portion 312 is formed of the cushion material 302 . The protrusion height H of the stepped portion 312 is equal to or greater than the maximum length L from the flange portion 66 of the suction nozzle 60 to the tip of the suction tube 68 . Here, the maximum length L is the maximum length of the suction tube 68 from the flange portion 66 when the suction tube 68 in the suction nozzle 60 extends maximally from the lower end of the body cylinder 64 (that is, the lower surface of the flange portion 66). Refers to the length to the tip.

次に、図９のフローチャートを用いて、吸着ノズル管理方法２２０の制御プログラムについて説明する。図９のフローチャートで示された制御プログラムは、制御装置２００が備えているフラッシュメモリ２０４に記憶されており、オペレータがタッチパネル８６で所定の操作を行うと、コントローラ２０２のＣＰＵにより実行される。 Next, the control program of the suction nozzle management method 220 will be described using the flowchart of FIG. The control program shown in the flowchart of FIG. 9 is stored in the flash memory 204 provided in the control device 200, and is executed by the CPU of the controller 202 when the operator performs a predetermined operation on the touch panel 86.

吸着ノズル管理方法２２０が実行されると、先ず、洗浄処理Ｓ１０が行われる。この処理では、ノズル洗浄装置９８において、上述したようにして、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が行われる。 When the suction nozzle management method 220 is executed, first, the cleaning process S10 is performed. In this process, the nozzle cleaning device 98 cleans and dries the suction nozzle 60 as described above.

続いて、流量検査処理Ｓ１２が行われる。この処理では、ノズル検査装置９６において、上述したようにして、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。なお、この検査において不良ノズル（つまり、不合格）と判定された吸着ノズル６０は、洗浄パレット１５８から保持チャック１２８で保持され、後述する回収処理Ｓ３０と同様にして、廃棄ボックス１４８に廃棄される。 Subsequently, a flow rate inspection process S12 is performed. In this process, the nozzle inspection device 96 inspects the air flow rate of the suction nozzle 60 as described above. A suction nozzle 60 determined as a defective nozzle (that is, failed) in this inspection is held by the holding chuck 128 from the cleaning pallet 158, and is discarded in the disposal box 148 in the same manner as the recovery processing S30 described later. .

続いて、乾燥処理Ｓ１４が行われる。この処理では、ノズル乾燥装置１００において、上述したようにして、吸着ノズル６０の乾燥が行われる。なお、吸着ノズル６０の乾燥が行われるために、洗浄パレット１５８上の吸着ノズル６０が移載ヘッド１２０の保持チャック１２８で保持される際には、吸着ノズル６０の２Ｄコード７４が移載ヘッド１２０のカメラ１２６で撮像される。これにより、２Ｄコード７４に示された吸着ノズル６０の個別情報が取得される。さらに、その取得された個別情報に対応した態様で、交互エアブロー部２１０、同期エアブロー部２１２、同時エアブロー部２１４、又は変更エアブロー部２１６が機能することによって、吸着ノズル６０の乾燥が行われる。なお、吸着ノズル６０の乾燥は、吸着ノズル６０のフランジ部６６の上面が最初に乾燥される態様で行われてもよい。 Subsequently, a drying process S14 is performed. In this process, the nozzle drying device 100 dries the suction nozzle 60 as described above. In addition, since the suction nozzle 60 is dried, when the suction nozzle 60 on the cleaning pallet 158 is held by the holding chuck 128 of the transfer head 120, the 2D code 74 of the suction nozzle 60 is transferred to the transfer head 120. is imaged by the camera 126 of . Thereby, the individual information of the suction nozzle 60 indicated by the 2D code 74 is acquired. Further, the suction nozzle 60 is dried by the alternate air blow section 210, the synchronous air blow section 212, the simultaneous air blow section 214, or the change air blow section 216 functioning in a mode corresponding to the acquired individual information. The drying of the suction nozzle 60 may be performed in such a manner that the upper surface of the flange portion 66 of the suction nozzle 60 is dried first.

続いて、荷重検査処理Ｓ１６が行われる。この処理では、ノズル検査装置９６において、上述したようにして、ロードセル１４２を用いた検査が行われる。その後は、第１判定処理Ｓ１８が行われる。この処理では、ロードセル１４２を用いた検査において、検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）であるか否かが判定される。 Subsequently, a load inspection process S16 is performed. In this process, an inspection using the load cell 142 is performed in the nozzle inspection device 96 as described above. After that, the first determination process S18 is performed. In this process, in the inspection using the load cell 142, it is determined whether or not the suction nozzle 60 to be inspected is a normal nozzle (that is, passed).

検査対象の吸着ノズル６０が不良ノズル（つまり、不合格）である場合には（Ｓ１８：ＮＯ）、第２判定処理Ｓ２０が行われる。この処理では、ロードセル１４２を用いた検査について、検査対象の吸着ノズル６０の不合格回数がＮ＋１回であるか否かが判定される。ここで、Ｎとは、予め設定された所定回数であり、フラッシュメモリ２０４に記憶されている。なお、所定回数Ｎは、オペレータがタッチパネル８６で操作することによって、吸着ノズル管理方法２２０が実行される前に変更することが可能である。 If the suction nozzle 60 to be inspected is a defective nozzle (that is, failed) (S18: NO), a second determination process S20 is performed. In this process, it is determined whether or not the number of failures of the suction nozzle 60 to be inspected in the inspection using the load cell 142 is N+1 times. Here, N is a preset number of times, which is stored in the flash memory 204 . Note that the predetermined number of times N can be changed by the operator through the touch panel 86 before the suction nozzle management method 220 is executed.

検査対象の吸着ノズル６０の不合格回数がＮ＋１回でない場合には（Ｓ２０：ＮＯ）、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０について、上述した乾燥処理Ｓ１４、荷重検査処理Ｓ１６、及び第１判定処理Ｓ１８が繰り返される。 If the suction nozzle 60 to be inspected does not pass N+1 times (S20: NO), the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 undergoes the drying process S14, the load inspection process S16, and the first The determination process S18 is repeated.

これに対して、検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）である場合には（Ｓ１８：ＹＥＳ）、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０について、画像検査処理Ｓ２２が行われる。この処理では、ノズル検査装置９６において、上述したようにして、カメラ１４０を用いた検査が行われる。その後は、第３判定処理Ｓ２４が行われる。この処理では、カメラ１４０を用いた検査において、検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）であるか否かが判定される。 On the other hand, if the suction nozzle 60 to be inspected is a normal nozzle (that is, passed) (S18: YES), image inspection processing S22 is performed for the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128. . In this process, inspection using the camera 140 is performed in the nozzle inspection device 96 as described above. After that, the third determination process S24 is performed. In this process, in the inspection using the camera 140, it is determined whether or not the suction nozzle 60 to be inspected is a normal nozzle (that is, passed).

検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）である場合には（Ｓ２４：ＹＥＳ）、記憶処理Ｓ２６が行われる。この処理では、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０について、そのＩＤと、上述した乾燥処理Ｓ１４（、荷重検査処理Ｓ１６、及び第１判定処理Ｓ１８）が繰り返された回数（以下、繰返回数と称す）とが関連付けて記憶される。 If the suction nozzle 60 to be inspected is a normal nozzle (that is, passed) (S24: YES), storage processing S26 is performed. In this process, the ID of the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 and the number of repetitions of the above-described drying process S14 (load inspection process S16 and first determination process S18) (hereinafter referred to as repetition number number) are stored in association with each other.

具体的には、例えば、図１０に示すデータテーブル２０８のように、吸着ノズル６０のＩＤの１００１に対しては、繰返回数の２が関連付けられ記憶され、吸着ノズル６０のＩＤの１００２に対しては、繰返回数の１が関連付けられ記憶され、吸着ノズル６０のＩＤの１００３に対しては、繰返回数の３が関連付けられ記憶される。なお、データテーブル２０８は、フラッシュメモリ２０４に記憶されている。また、データテーブル２０８においては、繰返回数に加えて、上述した流量検査処理Ｓ１２、荷重検査処理Ｓ１６、及び画像検査処理Ｓ２２の各検査結果が、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０のＩＤに関連付けて記憶されてもよい。 Specifically, for example, as in the data table 208 shown in FIG. , the number of repetitions of 1 is associated and stored, and the ID of the suction nozzle 60, 1003, is associated with the number of repetitions of 3 and stored. Note that the data table 208 is stored in the flash memory 204 . Further, in the data table 208, in addition to the number of repetitions, each inspection result of the flow rate inspection process S12, the load inspection process S16, and the image inspection process S22 described above is included in the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128. It may be stored in association with the ID.

続いて、第４判定処理Ｓ２８が行われる。この処理では、洗浄パレット１５８に搭載された全ての吸着ノズル６０について、ノズル乾燥装置１００による乾燥が終了したか否かが判定される。 Subsequently, a fourth determination process S28 is performed. In this process, it is determined whether drying by the nozzle drying device 100 has been completed for all the suction nozzles 60 mounted on the cleaning pallet 158 .

洗浄パレット１５８に搭載された全ての吸着ノズル６０について、ノズル乾燥装置１００による乾燥が終了していない場合には（Ｓ２８：ＮＯ）、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０がノズルトレイ７６又はノズルパレット１１０に戻された後において、洗浄パレット１５８から吸着ノズル６０が保持チャック１２８で保持される。さらに、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０について、上述した乾燥処理Ｓ１４が行われる。なお、洗浄パレット１５８に搭載された全ての吸着ノズル６０について、ノズル乾燥装置１００による乾燥が終了した場合には（Ｓ２８：ＹＥＳ）、吸着ノズル管理方法２２０は終了する。 If drying by the nozzle drying device 100 is not completed for all the suction nozzles 60 mounted on the cleaning pallet 158 (S28: NO), the suction nozzles 60 held by the holding chuck 128 remain in the nozzle tray 76 or After being returned to the nozzle pallet 110 , the suction nozzle 60 is held by the holding chuck 128 from the cleaning pallet 158 . Furthermore, the drying process S14 described above is performed on the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 . Note that when drying by the nozzle drying device 100 is completed for all the suction nozzles 60 mounted on the cleaning pallet 158 (S28: YES), the suction nozzle management method 220 ends.

これに対して、ロードセル１４２を用いた検査が連続して不合格となった回数がＮ＋１回となる場合や（Ｓ２０：ＹＥＳ）、カメラ１４０を用いた検査が不合格となった場合には（Ｓ２４：ＮＯ）には、回収処理Ｓ３０が行われる。図１１に示すように、回収処理Ｓ３０は、移動処理Ｓ３２と離脱処理Ｓ３４を有する。 On the other hand, if the number of consecutive failures in the inspection using the load cell 142 is N+1 (S20: YES), or if the inspection using the camera 140 fails ( In S24: NO), a recovery process S30 is performed. As shown in FIG. 11, the recovery process S30 has a move process S32 and a leaving process S34.

回収処理Ｓ３０が実行されると、先ず、移動処理Ｓ３２が実行される。この処理では、図１２に示すように、吸着ノズル６０（の胴体筒６４）を２本の保持爪１３２で保持した保持チャック１２８（の本体部１３４）が、ヘッド移動装置１２２の作動により、廃棄ボックス１４８の上方にまで移動する。その際、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０の姿勢については、吸着ノズル６０の吸着管６８が廃棄ボックス１４８の傾斜面３０４の（緩衝材３０８の）上方において上下に向いた状態にあり、さらに、吸着ノズル６０のフランジ部６６の少なくとも一部が廃棄ボックス１４８の段差部３１２の上方に位置する状態にある。そのため、廃棄ボックス１４８の段差部３１２において傾斜面３０４側の端から伸び出した垂線Ａは、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０のフランジ部６６と交わる関係にある。 When the collecting process S30 is executed, first, the moving process S32 is executed. In this process, as shown in FIG. 12, (the main body portion 134 of) a holding chuck 128 holding (the body cylinder 64 of) the suction nozzle 60 with two holding claws 132 is discarded by the operation of the head moving device 122. Move up to box 148 . At this time, the posture of the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 is such that the suction tube 68 of the suction nozzle 60 faces up and down above the inclined surface 304 (of the cushioning material 308 ) of the disposal box 148 . Further, at least part of the flange portion 66 of the suction nozzle 60 is positioned above the stepped portion 312 of the disposal box 148 . Therefore, the vertical line A extending from the end of the stepped portion 312 of the disposal box 148 on the inclined surface 304 side intersects the flange portion 66 of the suction nozzle 60 held by the holding chuck 128 .

次に、離脱処理Ｓ３４が行われる。この処理では、図１３に示すように、２本の保持爪１３２が離間することによって、保持チャック１２８から吸着ノズル６０を離脱させる。これにより、図１４に示すように、吸着ノズル６０が廃棄ボックス１４８に向けて落下し、吸着ノズル６０のフランジ部６６が廃棄ボックス１４８の段差部３１２に当たる状態になる。そのため、図１５に示すように、吸着ノズル６０は、その（吸着管６８の）向きが変化した後に、廃棄ボックス１４８の傾斜面３０４（の緩衝材３０８）上に落ちて転がることによって、廃棄ボックス１４８に回収される。その後は、上述した第４判定処理Ｓ２８が行われる。 Next, a leaving process S34 is performed. In this process, as shown in FIG. 13, the suction nozzle 60 is separated from the holding chuck 128 by separating the two holding claws 132 . As a result, as shown in FIG. 14 , the suction nozzle 60 drops toward the disposal box 148 , and the flange portion 66 of the suction nozzle 60 hits the stepped portion 312 of the disposal box 148 . Therefore, as shown in FIG. 15, after the orientation (of the suction tube 68) is changed, the suction nozzle 60 drops and rolls on (the cushioning material 308 of) the inclined surface 304 of the waste box 148, thereby 148 is recovered. After that, the above-described fourth determination process S28 is performed.

以上より、本実施形態のノズル管理装置８０では、回収処理Ｓ３０が行われることによって、保持チャック１２８から吸着ノズル６０を離脱させると、吸着ノズル６０が廃棄ボックス１４８に向けて落下する。そして、吸着ノズル６０のフランジ部６６が廃棄ボックス１４８の段差部３１２に当たって、吸着ノズル６０の（吸着管６８の）向きが変化した後に、吸着ノズル６０が廃棄ボックス１４８に落ちる。これにより、本実施形態のノズル管理装置８０と回収処理Ｓ３０は、吸着ノズル６０が廃棄ボックス１４８に回収される際において、吸着ノズル６０が廃棄ボックス１４８に突き刺さることを防止する。 As described above, in the nozzle management device 80 of the present embodiment, when the suction nozzle 60 is detached from the holding chuck 128 by performing the recovery process S30, the suction nozzle 60 drops toward the disposal box 148. FIG. After the flange portion 66 of the suction nozzle 60 hits the stepped portion 312 of the waste box 148 and the direction of the suction nozzle 60 (the suction pipe 68 ) changes, the suction nozzle 60 drops into the waste box 148 . As a result, the nozzle management device 80 and the collection processing S30 of this embodiment prevent the suction nozzle 60 from sticking into the disposal box 148 when the suction nozzle 60 is collected into the disposal box 148 .

ちなみに、本実施形態において、ノズル管理装置８０は、吸着ノズルの回収装置の一例である。保持チャック１２８は、保持具の一例である。廃棄ボックス１４８は、ボックスの一例である。コントローラ２０２は、制御部の一例である。吸着ノズル６０のフランジ部６６から吸着管６８の先端までの最大長さＬは、吸着ノズルのフランジ部から吸着管の先端までの長さの一例である。回収処理Ｓ３０は、吸着ノズルの回収方法の一例である。移動処理Ｓ３２は、移動工程の一例である。離脱処理Ｓ３４は、離脱工程の一例である。 Incidentally, in the present embodiment, the nozzle management device 80 is an example of a suction nozzle recovery device. The holding chuck 128 is an example of a holding tool. Disposal box 148 is an example of a box. Controller 202 is an example of a control unit. The maximum length L from the flange portion 66 of the suction nozzle 60 to the tip of the suction pipe 68 is an example of the length from the flange portion of the suction nozzle to the tip of the suction pipe. The recovery process S30 is an example of a suction nozzle recovery method. The moving process S32 is an example of a moving step. The detachment process S34 is an example of a detachment step.

なお、本開示は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、廃棄ボックス１４８において、吸着ノズル６０のフランジ部６６が段差部３１２に当たることが確保できれば、段差部３１２の突出高さＨは、上記最大長さＬより低くてもよい。 Note that the present disclosure is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible without departing from the scope of the present disclosure.
For example, in the disposal box 148, the protrusion height H of the stepped portion 312 may be lower than the maximum length L as long as the flange portion 66 of the suction nozzle 60 can be ensured to contact the stepped portion 312 .

また、保持チャック１２８から離脱して落下中の吸着ノズル６０のフランジ部６６が、廃棄ボックス１４８の段差部３１２に当たることが確保できれば、保持チャック１２８から離脱する際の吸着ノズル６０の姿勢については、吸着管６８が上下方向から傾いた状態
にあってもよい。 Further, if it is possible to ensure that the flange portion 66 of the suction nozzle 60 falling after being separated from the holding chuck 128 hits the stepped portion 312 of the disposal box 148, the posture of the suction nozzle 60 when it is separated from the holding chuck 128 is The adsorption tube 68 may be tilted vertically.

また、廃棄ボックス１４８において、傾斜面３０４と平面３０６と段差部３１２は、クッション材３０２以外のもので形成されてもよい。 Also, in the disposal box 148 , the inclined surface 304 , the flat surface 306 and the stepped portion 312 may be formed of materials other than the cushion material 302 .

また、保持チャック１２８から離脱して落下中の吸着ノズル６０の（吸着管６８の）向きが、廃棄ボックス１４８の上方で水平方向に吹き付けられた気体によって変化するのであれば、段差部３１２は廃棄ボックス１４８に設けられなくてもよい。 Further, if the orientation of the suction nozzle 60 (the suction tube 68) that is falling after being separated from the holding chuck 128 is changed by the gas that is blown horizontally above the disposal box 148, the stepped portion 312 is discarded. It does not have to be provided in box 148 .

また、吸着ノズル６０は、吸着管６８が装着ヘッド２６に内蔵されたバネの弾性力で付勢されるものに代えて、吸着管６８が吸着管６８と胴体筒６４との間に設けられたバネの弾性力によって付勢されるものでもよい。但し、そのような場合には、乾燥処理Ｓ１４において、第２エアブロー装置１６６が作動しても、吸着管６８が胴体筒６４に対して上方に向かって相対移動し難く、そのため、吸着管６８が胴体筒６４の上端部から上方に延び出し難い。 Further, the suction nozzle 60 is provided between the suction tube 68 and the body tube 64 instead of the suction tube 68 being urged by the elastic force of the spring built in the mounting head 26 . It may be biased by the elastic force of a spring. However, in such a case, even if the second air blow device 166 operates in the drying process S14, it is difficult for the adsorption tube 68 to move upward relative to the body cylinder 64. It is difficult to extend upward from the upper end portion of the body tube 64 .

６０吸着ノズル
６４胴体筒
６６フランジ部
６８吸着管
８０ノズル管理装置
１２０移動ヘッド
１２８保持チャック
１４８廃棄ボックス
２０２コントローラ
３０４傾斜面
３０８緩衝材
３１０傾斜面の上端部
３１２段差部
Ｈ段差部の突出高さ
Ｌ吸着ノズルのフランジ部から吸着管の先端までの最大長さ
Ｓ３０回収処理
Ｓ３２移動処理
Ｓ３４離脱処理 60 Suction nozzle 64 Body cylinder 66 Flange 68 Suction tube 80 Nozzle management device 120 Moving head 128 Holding chuck 148 Waste box 202 Controller 304 Inclined surface 308 Cushioning material 310 Upper end 312 of inclined surface Stepped portion H Projection height of stepped portion L Maximum length from the flange portion of the suction nozzle to the tip of the suction tube S30 recovery processing S32 movement processing S34 detachment processing

Claims

A suction nozzle recovery device for recovering a suction nozzle having a body tube and a flange portion protruding from the outer surface of the body tube,
a box in which the suction nozzle is collected;
a plurality of holding claws holding the suction nozzle;
a moving head that moves the plurality of holding claws ;
A controller for driving and controlling the plurality of holding claws and the moving head,
The box has a stepped portion,
The control unit
a moving process of moving the suction nozzle held by the plurality of holding claws by the moving head so that a part of the flange portion in the circumferential direction is positioned above the stepped portion of the box;
and a dropping process of dropping the suction nozzle by separating the plurality of holding claws.

A suction nozzle recovery method for recovering a suction nozzle having a body tube and a flange portion protruding from the outer surface of the body tube into a box with a plurality of holding claws , comprising:
The box has a stepped portion,
The collection method of the suction nozzle includes:
a moving step of moving the suction nozzle held by the plurality of holding claws so that a part of the flange portion in the circumferential direction is positioned above the stepped portion of the box;
and a dropping step of dropping the suction nozzle by separating the plurality of holding claws.