JPWO2019159349A1 - コンタクトプローブおよびそれを備えた検査ソケット - Google Patents

Abstract

【課題】電極と電極に接触する接触端子の頂部の接触ミスを無くし、検査機能を十分発揮できて検査ソケットの信頼性を向上させることができるコンタクトプローブおよびそれを備えた検査ソケットを提供する。【解決手段】電極３に接触する第２の接触端子７を互いに摩擦接触しながら摺動する一対の第２接触要素１２ａと一対の第３接触要素１３ａにより構成することにより、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔと第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔが、電極３の半球状の先端部３ａに十分接触して倣うことができるので、電極３と第２接触端子１２ａの頂部の接触ミスを無くすことができる。【選択図】図１

Description

本発明は、例えば、半導体集積回路の電気的特性を検査する際に使用されるコンタクトプローブおよびそれを備えた検査ソケットに関する。

近年、この種のコンタクトプローブは、被検査体に設けられた電極とプリント基板に設けられたランドとを電気的に接続するものであり、ランドに接触する第１の接触端子と、電極に接触する第２の接触端子と、第１の接触端子と第２の接触端子の間に設けられ、第１の接触端子と第２の接触端子を離反するよう付勢する弾性体と、を備えている。電極は、第２の接触端子の頂部に接触する半球状の先端部を有している。半導体集積回路の電気的特性を検査する際、電極と第２の接触端子の頂部の接触ミスが起生すると、本来合格と判定すべき被検査体が不合格と判定されたり、また逆に本来不合格と判定すべき被検査体が合格と判定されたりして、検査機能を発揮できず検査の信頼性が失われることにもなっていた。前述の電極と第２の接触端子の頂部の接触ミスは、電極と第２の接触端子の頂部の形状のばらつきがあったり、検査ソケットを組み立てたときの電極と第２の接触端子の頂部の位置関係が所定の位置からずれていた場合には、発生することになっていた。

この原因は、電極が半球状であり、また第２の接触端子の頂部が固定された二股状突起からなっているためである（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１６−７５７０９号公報

しかしながら、従来のコンタクトプローブは、以下に示すような課題があった。

従来のコンタクトプローブにおいては、第２の接触端子の頂部が二股状の突起からなっており、この突起は固定されている。

このため、半球状の電極と突起がずれていた場合、すなわち、突起の中心線と電極の中心線がずれていた場合には、前述したように半導体集積回路の電気的特性を検査する際、電極と第２の接触端子の頂部の接触ミスが起生して、検査機能を十分発揮できず検査ソケットの信頼性を失うことになっていた。

本発明は、従来の課題を解決するためになされたものであり、第２の接触端子を互いに摩擦接触しながら摺動する第２接触要素と第３接触要素により構成することにより、電極と第２接触端子の頂部の接触ミスを無くし、検査機能を十分発揮できて検査ソケットの信頼性を向上させるようにすることができるコンタクトプローブおよびそれを備えた検査ソケットを提供することを目的とする。

本発明に係わるコンタクトプローブは、被検査体に設けられた電極とプリント基板に設けられたランドとを電気的に接続するコンタクトプローブであって、前記ランドに接触する第１の接触端子と、前記電極に接触する第２の接触端子と、第１の接触端子と第２の接触端子の間に設けられ、第１の接触端子と第２の接触端子を離反するよう付勢する弾性体と、を備え、前記第１の接触端子は、平面状の金属板で形成された第１接触要素によって構成され、前記第２の接触端子は、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第１接触要素の一部を挟持し、前記第１接触要素に摩擦接触するよう設けられた一対の第２接触要素と、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の外側に位置し、前記第２接触要素に摩擦接触するよう設けられた一対の第３接触要素と、によって構成され、前記第１接触要素、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、相互に摩擦接触しながら前記電極と前記ランドに相対的に接近および離隔するよう移動することができ、前記弾性体は、第３接触要素の一部を囲むよう設けられ、前記第１接触要素を前記ランドに弾性的に押し当てるとともに前記第２接触要素および第３接触要素を前記電極に弾性的に押し当てるようにしたコイルばねによって構成されている。

本発明に係わるコンタクトプローブは、前述のように構成されているので、
前記第１接触要素、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、相互に摩擦接触しながら前記電極と前記ランドに相対的に接近および離隔するよう移動することができるので、前記電極への接触要素の数が増えることになり、前記電極への接触ミスを皆無にすることができる。その結果、前記コンタクトプローブによる検査性能を確実に向上させることができる。

さらに、本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記電極が前記第２接触要素および前記第３接触要素に接触する半球状の先端部を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、それぞれ前記電極の先端部に接触する少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の頂点の間隔は、前記第３接触要素の頂点の間隔よりも小さくしているので、本発明に係わるコンタクトプローブは、前述の効果に加え次のような効果を得ることができる。すなわち、前記第２接触要素および前記第３接触要素の頂点が電極の半球状の先端部の形状に倣うことができる。この結果、前記第２接触要素および前記第３接触要素の前記電極への接触ミスを皆無にして前記第２接触要素および前記第３接触要素を前記電極に安定して接触させることができる。

さらに、本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記電極が前記第２接触要素および前記第３接触要素に接触する半球状の先端部を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、それぞれ前記電極の先端部に接触する少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の頂点の高さは、前記第３接触要素の高さより低くして前記第２接触要素の頂点および前記第３接触要素の頂点に高低差をつけている。

本発明に係わるコンタクトプローブは、前述の効果に加え次のような効果を得ることができる。すなわち、前記第２接触要素および前記第３接触要素のそれぞれの２つの頂点が半球状の先端部の形状に倣うことができ、前記第２接触要素および前記第３接触要素の前記電極への接触ミスを皆無にして前記第２接触要素および前記第３接触要素を前記電極に安定して接触させることができる。

本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記電極が前記第２接触要素および前記第３接触要素に接触する半球状の先端部を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、それぞれ前記電極に接触する少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の頂点の間隔は、前記第３接触要素の頂点の間隔よりも小さく、前記第２接触要素の頂点の高さは、前記第３接触要素の高さより低く、前記第２接触要素および前記第３接触要素の頂点が半球状の先端部の形状に倣うことができるよう前記第２接触要素の頂点および前記第３接触要素の頂点に高低差をつけている。

本発明に係わるコンタクトプローブは、前述の効果に加え次のような効果を得ることができる。すなわち、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、それぞれ前記電極に接触する前記第２接触要素および前記第３接触要素のそれぞれの２つの頂点が半球状の先端部の形状に良好に倣うことができ、前記第２接触要素および前記第３接触要素の前記電極への接触ミスを皆無にして前記第２接触要素および前記第３接触要素を前記電極に安定して接触させることができる。

本発明に係わるコンタクトプローブは、被検査体に設けられた電極とプリント基板に設けられたランドとを電気的に接続するコンタクトプローブであって、 前記ランドに接触する第１の接触端子と、前記電極に接触する第２の接触端子と、第１の接触端子と第２の接触端子の間に設けられ、第１の接触端子と第２の接触端子を離反するよう付勢する弾性体と、を備え、前記第１の接触端子は、平面状の金属板で形成された第１接触要素によって構成され、前記第２の接触端子は、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第１接触要素の一部を挟持し、前記第１接触要素に摩擦接触するよう設けられた一対の第２接触要素と、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の外側に位置し、前記第２接触要素に摩擦接触するよう設けられた一対の第３接触要素と、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第３接触要素の外側に位置し、前記第３接触要素に摩擦接触した一対の第４接触要素と、によって構成され、前記第１接触要素、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、相互に摩擦接触しながら前記電極と前記ランドに相対的に接近および離隔するよう移動することができ、前記弾性体は、前記第４接触要素の一部を囲むよう設けられ、前記第１接触要素を前記ランドに弾性的に押し当てるとともに前記第２接触要素、第３接触要素および前記第４接触要素を前記電極に弾性的に押し当てるようにしたコイルばねによって構成されている。

本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記第１の接触端子は、さらに、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第３接触要素の外側に位置し、前記第３接触要素に摩擦接触した第４接触要素と、平面状の金属板で形成され、先端が尖った１つの頂点を有し、前記第２接触要素の内側に位置し、前記第２接触要素に摩擦接触し、前記電極と第１接触要素の間で前記第１接触要素によって前記電極側に押圧されるよう設けられた中央センター接触要素と、を有し、前記第４接触要素および前記中央センター接触要素は、前記第３接触要素、前記第１接触要素に相互に摩擦接触しながら前記電極と前記ランドに相対的に接近および離隔するよう移動することができる。

本発明に係わるコンタクトプローブは、前述の効果に加え次のような効果を得ることができる。すなわち、第４接触要素と前記中央センター接触要素をさらに追加することにより、前記第２接触要素、前記第３接触要素、前記第４接触要素および前記中央センター接触要素を前記電極に接触させることができるので、前記電極に接触する接触要素の数を増やすことができ前記接触要素の前記電極への接触ミスを皆無にして前記接触要素を前記電極にさらに確実に接触させることができる。

本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記電極に近接した前記第２接触要素の先端部と前記第３接触要素の先端部を囲むよう設けられ、前記第２接触要素および第３接触要素の先端部を放射外方に移動しないよう保持した保持部材をさらに備えている。

本発明に係わるコンタクトプローブは、前述の効果に加え次のような効果を得ることができる。すなわち、前記保持部材を追加することによって前記第２接触要素の先端部および前記第３接触要素の先端部を放射外方に移動しないよう、すなわち、前記第２接触要素の先端部および前記第３接触要素の先端部がばらけないよう、前記第２接触要素の先端部および前記第３接触要素の先端部の前記電極への接触力を低下させないよう、前記第２接触要素の先端部および前記第３接触要素の先端部の前記電極への接触ミスを皆無にすることができる。この結果、前記第２接触要素の先端部および前記第３接触要素の先端部を前記電極に確実に接触させることができる。

本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記電極に近接した前記第２接触要素の先端部、前記第３接触要素の先端部および前記第４接触要素の先端部を囲むよう設けられた保持部材をさらに備え、前記保持部材が、前記第２接触要素の先端部、前記第３接触要素の先端部および前記第４接触要素の先端部を放射外方に移動しないよう保持するようにしている。

本発明に係わるコンタクトプローブは、前述の効果に加え次のような効果を得ることができる。すなわち、前記保持部材を追加することによって前記第２接触要素の先端部、前記第３接触要素の先端部および前記第４接触要素の先端部を放射外方に移動しないよう、すなわち、前記第２接触要素の先端部、前記第３接触要素の先端部および前記第４接触要素の先端部がばらけないよう、すなわち、前記第２接触要素の先端部および前記第３接触要素の先端部の前記電極への接触力を低下させないよう、にすることができる。この結果、前記第２接触要素の先端部、前記第３接触要素の先端部および前記第４接触要素の先端部を前記電極に確実に接触させることができる。

本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記第１接触要素は、前記コイルばねの外方に突出するよう少なくともその両側面に前記コイルばねの下部に係合して前記コイルばねを支持する第１接触要素突起部を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、前記コイルばねの外方に突出するよう少なくともその両側面に形成され、前記コイルばねにより前記電極側に付勢される第２接触要素突起部および第３接触要素突起部を有し、前記コイルばねは、前記第２接触要素および前記第３接触要素が前記ランドに接近するよう前記第１接触要素に対して移動したとき、前記第２接触要素突起部および前記第３接触要素突起部が前記第１接触要素突起部に接近することにより圧縮され、前記第２接触要素および前記第３接触要素が前記ランドから離隔するように前記第１接触要素が対して移動したとき、第２接触要素突起部および前記第３接触要素突起部が前記第１接触要素突起部から離隔することにより伸長されるようにしている。

本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記コイルばねの圧縮時および伸長時に前記第１接触要素、前記第２接触要素および前記第３接触要素が、相互に独立して摺動できるようにしている。

本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記第１接触要素は、前記コイルばねの外方に突出するよう少なくともその両側面に前記コイルばねの下部に係合して前記コイルばねを支持する第１接触要素突起部を有し、前記第２接触要素、前記第３接触要素および前記第４接触要素は、前記コイルばねの外方に突出するよう少なくともその両側面に形成され、前記コイルばねにより前記電極側に付勢される第２接触要素突起部、第３接触要素突起部および第４接触要素突起部を有し、前記コイルばねは、前記第２接触要素、前記第３接触要素および前記第４接触要素が前記ランドに接近するよう前記第１接触要素に対して移動したとき、前記第１接触要素突起部と第２接触要素突起部，前記第３接触要素突起部および前記第４接触要素突起部が互いに接近することにより圧縮され、前記第２接触要素、前記第３接触要素および前記第４接触要素が前記ランドから離隔するように前記第１接触要素が対して移動したとき、前記第１接触要素突起部と第２接触要素突起部、前記第３接触要素突起部および前記第４接触要素突起部が互いに離隔することにより伸長されるようにしている。

本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記コイルばねの圧縮時および伸長時に前記第１接触要素、前記第２接触要素、前記第３接触要素および第４接触要素が、相互に独立して摺動できるようにしている。
本発明に係わるコンタクトプローブは、前述の効果に加え次のような効果を得ることができる。すなわち、前記コイルばねの弾性の作用により前記第２接触要素および前記第３接触要素の頂点が半球状の先端部の形状に相互に独立して摺動しながら倣うことができるため、前記第２接触要素および前記第３接触要素の前記電極への接触ミスを皆無にして前記第２接触要素および前記第３接触要素を前記電極に安定して接触させることができる。

本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記コイルばねは、前記第３接触要素を囲んで密集して巻かれた密集巻部と、前記密集部と前記第３接触要素の先端部の間に位置し、前記第３接触要素の先端部を囲んで粗く巻かれた第１粗巻部と、前記密集部と前記第１接触要素の底部の間に位置し、前記第１接触要素の底部を囲んで粗く巻かれた第２粗巻部と、を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、少なくともその両側面に前記第１粗巻部から外方に突出する突起部を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素が、相互に独立して摺動できるようにしている。

本発明に係わるコンタクトプローブは、前述の効果に加え次のような効果を得ることができる。すなわち、本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記コイルばねは、前記第４接触要素を囲んで密集して巻かれた密集巻部と、前記密集部と前記第４接触要素の先端部の間に位置し、前記第４接触要素の先端部を囲んで粗く巻かれた第１粗巻部と、前記密集部と前記第１接触要素の底部の間に位置し、前記第１接触要素の底部を囲んで粗く巻かれた第２粗巻部と、を有し、前記第４接触要素は、少なくともその両側面に前記第１粗巻部から外方に突出する突起部を有し、前記第２接触要素、前記第３接触要素および前記第４接触要素が、相互に独立して摺動できるようにしている。

本発明に係わる検査ソケットは、前述のコンタクトプローブと、コンタクトプローブを収納する収納部が形成された筐体と、電極が設けられた被検査体を保持する被検査体保持部と、ランドが設けられたプリント基板と、を備え、電極およびランドがコンタクトプローブの中心線上に位置している。

本発明に係わるコンタクトプローブの第１実施例を示し、その一部断面で示した側面図である。 本発明に係わるコンタクトプローブの第１実施例を示し、図１のＡ−Ａ矢視図である。 本発明に係わるコンタクトプローブの第１実施例を示し、図１のＢ−Ｂ矢視図である。 本発明に係わるコンタクトプローブの第１実施例を示し、コンタクトプローブの斜視図である。 本発明に係わるコンタクトプローブの第１実施例を示し、本発明に係わるコンタクトプローブの構成要素である第１接触要素、第２接触要素および第３接触要素の平面図である。 図６Ａおよび図６Ｂは、本発明に係わるコンタクトプローブの第１実施例を示し、図６Ａは、第２接触要素および第３接触要素がランドに接近するよう第１接触要素に対して移動したとき、第２接触要素突起部および第３接触要素突起部が下側の第１接触要素突起部に距離Ｓ１まで接近することにより圧縮された圧縮状態を示し、図６Ｂは、第２接触要素および第３接触要素が下側の第１接触要素突起部から距離Ｓ２まで離隔するように第１接触要素に対して移動したとき、第２接触要素突起部および第３接触要素突起部が下側の第１接触要素突起部から離隔することにより伸長される伸長状態を、示す。 本発明に係わるコンタクトプローブの第１実施例を示し、コンタクトプローブの構成要素であるコイルばねが、密巻部、第１粗巻部および第２粗巻部からなることを示したその側面図である。 図８Ａ乃至図８Ｄは、第１実施例のコンタクトプローブを用いて被検査体を検査する工程を示し、図８Ａは、被検査体２がコンタクトプローブに未装着状態である第１工程、図８Ｂは、被検査体がコンタクトプローブに装着された装着状態である第２工程、図８Ｃは、被検査体が下降して半田ボールが第２接触要素および第３接触要素に接触した状態である第３工程、および、図８Ｄは、被検査体がさらに下降して第２接触要素および第３接触要素を押圧し、コイルばねを圧縮した第４工程を示す。 本発明に係わるコンタクトプローブの第２実施例を示し、その一部断面で示した側面図である。 本発明に係わるコンタクトプローブの第２実施例を示し、図９のＣ−Ｃ矢視図である。 本発明に係わるコンタクトプローブの第２実施例を示し、図９のＤ−Ｄ矢視図である。 本発明に係わるコンタクトプローブの第２実施例を示し、コンタクトプローブの斜視図である。 本発明に係わるコンタクトプローブの第２実施例を示し、コンタクトプローブの構成要素である第１接触要素、第２接触要素、第３接触要素および第４接触要素の平面図である。 本発明に係わるコンタクトプローブの第３実施例を示し、中央センター接触要素１１ｂの一実施例を示すその断面図である。 図１４のＥ−Ｅ矢視図である。 本発明に係わるコンタクトプローブの第４実施例を示し、第２接触要素の先端部と第３接触要素の先端部がばらけないよう保持する保持部材の側面図である。 本発明に係わるコンタクトプローブの第５実施例を示し、第２接触要素の先端部、第３接触要素の先端部および第４接触要素の先端部がばらけないよう保持する保持部材の側面図である。

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。
第１実施例

図１乃至図５は、第１実施例のコンタクトプローブを示し、図１乃至図５において、コンタクトプローブ１は、被検査体２に設けられた半田ボール３と、プリント基板５に設けられたランド４とを電気的に接続するものである。半田ボール３は、本発明における電極を構成する。

コンタクトプローブ１は、ランド４に接触する第１の接触端子６と、半田ボール３に接触する第２の接触端子７と、第１の接触端子６と第２の接触端子７の間に設けられ、第１の接触端子６と第２の接触端子７を離反するよう付勢する弾性体１５と、を備えている。第１の接触端子６および第２の接触端子７は、筐体８内に収納されている。コンタクトプローブ１は、被検査体２の検査時には、半田ボール３およびランド４の中心線上に位置している。

第１の接触端子６は、平面状の金属板で形成された第１接触要素１１ａによって構成される。第１接触要素１１ａは、その両側、すなわち、半田ボール３に近接した上部とランド４に近接した下部に互いに上下に離隔し、両側に突出して形成された２つの第１接触要素突起部１１ａｐを有する。上側の第１接触要素突起部１１ａｐは、筐体８の上部に形成された筐体突起部８ａの下面に係合できるようにして第１接触要素１１ａが筐体８に収納されている。下側の第１接触要素突起部１１ａｐは、後述するコイルばね１６の下部係合部１６ｈに係合してコイルばね１６を支持している。

また、第２の接触端子７は、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点１２ａｔを有し、第１接触要素１１ａの一部を挟持し、第１接触要素１１ａに摩擦接触するよう設けられた一対の第２接触要素１２ａと、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点１３ａｔを有し、第２接触要素１２ａの外側に位置し、第２接触要素１２ａに摩擦接触するよう設けられた一対の第３接触要素１３ａと、によって構成されている。

第２接触要素１２ａは、その両側、すなわち、半田ボール３に近接した上部とランド４に近接した下部に互いに上下に離隔し、両側に突出して形成された第２接触要素突起部１２ａｐを有する。上側の第２接触要素突起部１２ａｐは、筐体８の上部に形成された筐体突起部８ａの下面に係合できるようにして第２接触要素１２ａが筐体８に収納されている。下側の第２接触要素突起部１２ａｐは、後述するコイルばね１６の下部係合部１６ｈに係合してコイルばね１６を支持している。

また、同様に、第３接触要素１３ａは、その両側、すなわち、半田ボール３に近接した上部とランド４に近接した下部に互いに上下に離隔し、両側に突出して形成された第３接触要素突起部１３ａｐを有する。上側の第３接触要素突起部１３ａｐは、筐体８の上部に形成された筐体突起部８ａの下面に係合できるようにして第３接触要素１３ａが筐体に８に収納されている。下側の第３接触要素突起部１３ａｐは、後述するコイルばね１６の下部係合部１６ｈに係合してコイルばね１６を支持している。

第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａは、図５に詳示するように、平面状である。このため、第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａは、相互に面接触で摩擦接触することができ、半田ボール３とランド４に相対的に接近および離隔するよう容易に移動することができるようになっている。

半田ボール３は、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａに接触する半球状の先端部３ａを有する。第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔの間隔ｄは、第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔの間隔Ｄよりも小さくしている。第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔの間隔ｄと第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔの間隔Ｄを前述のようにしたため、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔと第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔが、半田ボール３の半球状の先端部３ａに十分接触して倣うことができる。

また、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔの高さｈは、第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔの高さＨより低くして、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔと第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔに高低差をつけている。ここで、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔの高さｈとは、第２接触要素突起部１２ａｐの上面から頂点１２ａｔまでの長さであり、また、第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔの高さＨとは、第３接触要素突起部１３ａｐの上面から頂点１３ａｔまでの長さである。

前述した第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔの間隔ｄと第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔの間隔Ｄが異なることによる効果に加えて、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔと第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔの高低差により、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔと第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔが、半田ボール３の半球状の先端部３ａにより十分接触して倣うことができる。

また、弾性体１５は、第３接触要素１３ａの一部を囲むよう設けられ、第１接触要素１１ａをランド４に弾性的に押し当てるとともに第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａを半田ボール３に弾性的に押し当てるようにしたコイルばね１６によって構成されている。コイルばね１６は、第３接触要素１３ａの一部を囲んで、筐体８内に収納されている。

コイルばね１６は、均一な線材で同一の巻ピッチで巻いたものでもよいが、図７に示すように構成されたものでもよい。

すなわち、コイルばね１６は、図７に示すように、第３接触要素１３ａの中央部を囲んで密集して巻かれた密巻部１６ａと、密巻部１６ａと第３接触要素１３ａの上側の第３接触要素突起部１３ａｐの間に位置し、第３接触要素１３ａの上部を囲んで粗く巻かれた第１粗巻部１６ｂと、密巻部１６ａと第３接触要素１３ａの下側の第３接触要素突起部１３ａｐの間に位置し、第３接触要素１３ａの下部を囲んで粗く巻かれた第２粗巻部１６ｃと、を有する。

密巻部１６ａは、第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａがばらけないよう第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａを保持しており、第１粗巻部１６ｂおよび第２粗巻部１６ｃは、第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａを摩擦接触させながら第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａを相互に独立して摺動させるよう保持している。

さらに、コイルばね１６は、第１接触要素突起部１１ａｐ、第２接触要素突起部１２ａｐ、第３接触要素突起部１３ａｐの下面に係合する上部係合部１６ｇと、第１接触要素突起部１１ａｐ、第２接触要素突起部１２ａｐ、第３接触要素突起部１３ａｐの上面に係合する下部係合部１６ｈと、を有する。

コイルばね１６は、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａがランド４に接近するよう第１接触要素１１ａに対して移動したとき、第２接触要素突起部１２ａｐおよび第３接触要素突起部１３ａｐが下側の第１接触要素突起部１１ａｐに距離Ｓ１まで接近することにより圧縮され（図６Ａ参照）、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａが下側の第１接触要素突起部１１ａｐから距離Ｓ２まで離隔するように第１接触要素１１ａが対して移動したとき、第２接触要素突起部１２ａｐおよび第３接触要素突起部１３ａｐが下側の第１接触要素突起部１１ａｐから離隔することにより伸長される（図６Ｂ参照）。

このように、コイルばね１６の圧縮は、半田ボール３が第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａを下方に押圧してランド４に接近するよう移動させることにより行われる。また、コイルばね１６の伸長は、半田ボール３が第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａの下方への押圧を解放してランド４から離隔するよう移動させることにより行われる。

このように、コイルばね１６の圧縮時に、第１接触要素１１ａがランド４に弾性的に押し当てられるとともに第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａが半田ボール３に弾性的に押し当てられる。このため、半田ボール３は、第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａを通して、すなわち、コンタクトプローブ１を通して、ランド４に電気的に接続されるように半田ボール３、第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａ、第３接触要素１３ａおよびコイルばね１６を配置している。

このように構成された第１実施例のコンタクトプローブにおいては、次のような効果を有する。

すなわち、一対の第２接触要素１２ａおよび一対の第３接触要素１３ａのそれぞれの２つ、合計８つの頂点１２ａｔおよび１３ａｔが、前述のように、異なる間隔、高低差があり、半田ボール３の先端部３ａに対して可動であるため、半田ボール３の先端部３ａの形状に倣うことができ、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａの半田ボール３への接触ミスを皆無にして第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａを半田ボール３に安定して接触させることができる。

図８Ａ乃至図８Ｄは、第１実施例のコンタクトプローブ１を用いて被検査体２を検査する工程を示し、図８Ａは、被検査体２がコンタクトプローブ１に未装着状態である第１工程、図８Ｂは、被検査体２がコンタクトプローブ１に装着された装着状態である第２工程、図８Ｃは、被検査体２が下降して半田ボール３が第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａに接触した状態である第３工程、および、図８Ｄは、被検査体２がさらに下降して第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａを押圧し、コイルばね１６を圧縮した第４工程を示す。

図８Ａに示す第１工程においては、被検査体２がコンタクトプローブ１に未装着状態である。図示の通りであり、説明の必要がない。

図８Ｂに示す第２工程においては、被検査体２がコンタクトプローブ１に装着された装着状態である。被検査体２の半田ボール３は、コンタクトプローブ１およびランド４の直上、すなわち、第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａの直上に位置する。

図８Ｃに示す第３工程においては、半田ボール３が第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａに接触しているので、第２接触要素突起部１２ａｐおよび第３接触要素突起部１３ａｐは、同一高さに位置している。

したがって、コイルばね１６は、伸長したままで圧縮されていないので、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａは、第１接触要素１１ａに対して相対移動していない、すなわち、静止している。このため、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔおよび第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔが半球状の半田ボール３の先端部３ａに接触する。第１接触要素１１ａの上面は、半田ボール３の先端部３ａから離隔している。

第４工程においては、被検査体２がさらに下降して第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａを押圧し、コイルばね１６が圧縮されるので、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａは、互に摩擦接触しながらコイルばね１６に対抗して第１接触要素１１ａに対して相対移動し、第２接触要素突起部１２ａｐおよび第３接触要素突起部１３ａｐは第１接触要素突起部１１ａｐに距離Ｓ１まで接近する。すなわち、第１接触要素１１ａがランド４に弾性的に押し当てられるとともに第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａが半田ボール３に弾性的に押し当てられる。

このとき、半田ボール３がコンタクトプローブ１からずれていた場合、半田ボール３の中心線がコンタクトプローブ１の中心線に一致しないでずれていた場合には、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔおよび第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔが半田ボール３の先端部３ａに接触しない接触ミスが発生し、半導体集積回路の電気的特性を検査する際、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａが半田ボール３に電気的接続されない可能性がある。

しかしながら、第１実施例のコンタクトプローブ１は、下記のように構成されているので、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔおよび第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔが半球状の半田ボール３の先端部３ａに接触して倣うことができ、半導体集積回路の電気的特性を検査する際、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａが半田ボール３に電気的接続される。
（１）第２の接触端子７は、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点１２ａｔを有し、第１接触要素１１ａの一部を挟持し、第１接触要素１１ａに摩擦接触するよう設けられた一対の第２接触要素１２ａと、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点１３ａｔを有し、第２接触要素１２ａの外側に位置し、第２接触要素１２ａに摩擦接触するよう設けられた一対の第３接触要素１３ａによって構成され、第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａは、相互に摩擦接触しながら半田ボール３とランド４に相対的に接近および離隔するよう移動することができ、
（２）半田ボール３が第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａに接触する半球状の先端部３ａを有し、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａは、それぞれ半田ボール３に接触する少なくとも２つの頂点１２ａｔおよび１３ａｔを有し、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔの間隔は、第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔの間隔よりも小さくし、
（３）第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔの高さは、第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔの高さより低くして第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔおよび第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔに高低差をつけている。

この結果、第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａの半田ボール３への接触ミスを皆無にして第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａを半田ボール３に安定して接触させることができる。したがって、検査機能を十分発揮でき検査ソケットの信頼性を向上させることができる。

第２実施例
図９乃至図１３は、コンタクトプローブの第２実施例を示すものである。

第２実施例におけるコンタクトプローブおいては、図９乃至図１３に示すように、第２の接触端子７は、さらに、第４接触要素１４ａを有している。
第４接触要素１４ａは、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点１４ａｔを有し、第３接触要素１３ａの外側に位置し、第３接触要素１３ａに相互に摩擦接触しながら半田ボール３に相対的に接近および離隔するよう移動するようになっている。

第４接触要素１４ａは、第２接触要素１２ａ、第３接触要素１３ａの形状と同様に、その両側、すなわち、半田ボール３に近接した上部とランド４に近接した下部に互いに上下に離隔し、両側に突出して形成された第４接触要素突起部１４ａｐを有する。第４接触要素１４ａの頂点１４ａｔの間隔Ｑ（図１１参照）は、第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔの間隔Ｄよりも大きくしている。また、第４接触要素１４ａの頂点１４ａｔの高さＲ（図１０参照）は、第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔの高さＨ（図１０参照）より高くして、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔ、第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔおよび第４接触要素１４ａの頂点１４ａｔに高低差をつけて第４接触要素１４ａを第２接触要素１２ａ、第３接触要素１３ａに対して配置している。ここで、第４接触要素１４ａの頂点１４ａｔの高さＲとは、第４接触要素突起部１４ａｐの上面から頂点１４ａｔまでの長さである。このため、第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔ、第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔおよび第４接触要素１４ａの頂点１４ａｔが半田ボール３の先端部３ａの形状に十分倣うことができる。

コイルばね１６は、第１実施例と同様に、第４接触要素１４ａの中央部を囲んで密集して巻かれた密巻部１６ａと、密巻部１６ａと第４接触要素１４ａの上側の第４接触要素突起部１４ａｐの間に位置し、第４接触要素１４ａの上部を囲んで粗く巻かれた第１粗巻部１６ｂと、密巻部１６ａと第４接触要素１４ａの下側の第４接触要素突起部１４ａｐの間に位置し、第４接触要素１４ａの下部を囲んで粗く巻かれた第２粗巻部１６ｃと、を有する。

密巻部１６ａは、第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａ、第３接触要素１３ａおよび第４接触要素１４ａがばらけないよう第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａ、第３接触要素１３ａおよび第４接触要素１４ａを保持しており、第１粗巻部１６ｂおよび第２粗巻部１６ｃは、第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａ、第３接触要素１３ａおよび第４接触要素１４ａを摩擦接触させながら第１接触要素１１ａ、第２接触要素１２ａ、第３接触要素１３ａおよび第４接触要素１４ａを相互に独立して摺動させるよう保持している。

このように、コイルばね１６の弾性作用により、第１接触要素１１ａをランド４に弾性的に押し当てるとともに第２接触要素１２ａ、第３接触要素１３ａ、および第４接触要素１４ａを半田ボール３に弾性的に押し当てることができる。

第１実施例に第４接触要素１４ａが加わった第２実施例の作用は、第１実施例の作用に第４接触要素１４ａの作用が加わっただけであるので、第２実施例の作用の説明は、以下省略する。

なお、第２実施例のコンタクトプローブおいては、半田ボール３への接触要素の数をさらに増加させてもよい、すなわち、ｎ個まで増加させてもよい。ｎ個まで増加した接触要素は、半田ボール３への接触ミスをさらに確実に皆無にすることができる。

第３実施例
図１４および図１５は、コンタクトプローブの第３実施例を示すものである。

第３実施例に係わるコンタクトプローブおいては、第１の接触端子６は、図１４および図１５に示すように、さらに、中央センター接触要素１１ｂを有する。中央センター接触要素１１ｂは、平面状の金属板で形成され、一対の第２接触要素１２ａの内側に位置し、第２接触要素１２ａに摩擦接触し、半田ボール３と第１接触要素１１ａの間で第１接触要素１１ａによって半田ボール３側に弾性的に押圧されるよう第１接触要素１１ａの上部に設けられている。

第１接触要素１１ａの上部には中央センター接触要素１１ｂの下部が収納される溝１１ａｂ（図１４参照）が形成されており、この溝１１ａｂの深さは、中央センター接触要素１１ｂの往復動ができる程度にしている。第４接触要素１４ａおよび中央センター接触要素１１ｂは、それぞれ第３接触要素１３ａおよび第２接触要素１２ａに相互に摩擦接触しながら半田ボール３とランド４に相対的に接近および離隔するよう移動するようにしている。

中央センター接触要素１１ｂは、その両側に突出して形成された２つの中央センター接触要素突起部１１ｂｐを有する。中央センター接触要素突起部１１ｂｐは、筐体８の上部に形成された筐体突起部８ａの下面に係合できるようにして筐体に８に収納されている。中央センター接触要素突起部１１ｂｐは、コイルばね１６の上部係合部１６ｇに係合している。

中央センター接触要素１１ｂが前述のように構成されているので、図８Ｄに示すように、被検査体２がさらに下降して第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａが半田ボール３に押圧したときには、中央センター接触要素１１ｂも第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａと一緒になってコイルばね１６を圧縮することができる。

このため、中央センター接触要素１１ｂも第２接触要素１２ａおよび第３接触要素１３ａとともに半田ボール３に弾性的に押圧して、中央センター接触要素１１ｂの頂点１１ｂｔも第２接触要素１２ａの頂点１２ａｔおよび第３接触要素１３ａの頂点１３ａｔと一緒に半田ボールを押圧するため、半田ボール３への接触ミスを皆無にして半田ボール３に安定して接触させることができる。したがって、検査機能を十分発揮でき検査ソケットの信頼性を向上させることができる。
第４実施例および第５実施例

図１６および図１７は、それぞれコンタクトプローブの第４実施例および第５実施例を示すものである。

また、図１６に示す第４実施例のコンタクトプローブは、半田ボール３に近接した第２接触要素１２ａの先端部１２ａｓおよび第３接触要素１３ａの先端部１３ａｓを囲むよう設けられた保持部材２１を備えている。この保持部材２１は、第２接触要素１２ａの先端部１２ａｓおよび第３接触要素１３ａの先端部１３ａｓを放射外方に移動しないよう、すなわち、ばらけないよう保持するようにしている。

また、図１７に示す第５実施例のコンタクトプローブは、半田ボール３に近接した第２接触要素１２ａの先端部１２ａｓ、第３接触要素１３ａの先端部１３ａｓおよび第４接触要素１４ａの先端部１４ａｓを囲むよう設けられた保持部材２１をさらに備えている。この保持部材２１は、第２接触要素１２ａの先端部１２ａｓ、第３接触要素１３ａの先端部１３ａｓおよび第４接触要素１４ａの先端部１４ａｓを放射外方に移動しないよう、すなわち、ばらけないよう保持するようにしている。

この以上説明したように、本発明に係わるコンタクトプローブは、被検査体に設けられた電極とプリント基板に設けられたランドとを電気的に接続するコンタクトプローブであって、前記ランドに接触する第１の接触端子と、前記電極に接触する第２の接触端子と、第１の接触端子と第２の接触端子の間に設けられ、第１の接触端子と第２の接触端子を離反するよう付勢する弾性体と、を備え、前記第１の接触端子は、平面状の金属板で形成された第１接触要素によって構成され、前記第２の接触端子は、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第１接触要素の一部を挟持し、第１接触要素に摩擦接触するよう設けられた一対の第２接触要素と、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の外側に位置し、前記第２接触要素に摩擦接触するよう設けられた一対の第３接触要素と、によって構成され、前記第１接触要素、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、相互に摩擦接触しながら前記電極と前記ランドに相対的に接近および離隔するよう移動することができ、前記弾性体は、第３接触要素の一部を囲むよう設けられ、前記第１接触要素を前記ランドに弾性的に押し当てるとともに前記第２接触要素および第３接触要素を前記電極に弾性的に押し当てるようにしたコイルばねによって構成されているので、前記第１接触要素、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、相互に摩擦接触しながら前記電極と前記ランドに相対的に接近および離隔するよう移動することができるので、前記電極への接触要素の数が増えることになり、前記第２接触要素および前記第３接触要素の頂点が電極の半球状の先端部の形状に良好に倣うことができ、前記電極への接触ミスを皆無にすることができる。その結果、前記コンタクトプローブによる検査性能を確実に向上させることができる。

また、本発明に係わるコンタクトプローブは、前記電極が前記第２接触要素および前記第３接触要素に接触する半球状の先端部を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、それぞれ前記電極に接触する少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の頂点の間隔は、前記第３接触要素の頂点の間隔よりも小さく、前記第２接触要素の頂点の高さは、前記第３接触要素の高さより低く、前記第２接触要素および前記第３接触要素の頂点が前記電極の半球状の先端部の形状に倣うことができるよう前記第２接触要素の頂点および前記第３接触要素の頂点に高低差をつけているので、前記第２接触要素および前記第３接触要素の頂点が電極の半球状の先端部の形状にさらに良好に倣うことができ、前記第２接触要素および前記第３接触要素の前記電極への接触ミスをさらに皆無にして前記第２接触要素および前記第３接触要素を前記電極に安定して接触させることができる。

また、本発明に係わるコンタクトプローブにおいては、前記第１の接触端子は、さらに、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第３接触要素の外側に位置し、前記第３接触要素に摩擦接触した第４接触要素と、平面状の金属板で形成され、先端が尖った１つの頂点を有し、前記第２接触要素の内側に位置し、前記第２接触要素に摩擦接触し、前記電極と第１接触要素の間で前記コイルばねによって前記電極側に押圧されるよう設けられた中央センター接触要素と、を有し、前記第４接触要素および前記中央センター接触要素は、前記第３接触要素、前記第１接触要素に相互に摩擦接触しながら前記電極と前記ランドに相対的に接近および離隔するよう移動することができるので、前記電極への接触要素の数がさらに増えることになり、前記第２接触要素および前記第３接触要素の頂点が電極の半球状の先端部の形状にさらに良好に倣うことができ、前記電極への接触ミスを皆無にすることができる。その結果、前記コンタクトプローブによる検査性能を確実に向上させることができる。

本発明に係わるコンタクトプローブおよびそれを備えた検査ソケットは、電極と第２接触端子の頂部の接触ミスを無くして電極とランドの完全な電気的接続を達成することにより、検査機能を十分発揮できて検査ソケットの信頼性を向上させるようにすることができるので、コンタクトプローブおよびそれを備えた検査ソケットとして、有用である。

１ コンタクトプローブ
２ 被検査体
３ 半田ボール（電極）
３ａ 半田ボール（電極）の先端部
４ ランド
５ プリント基板
６ 第１の接触端子
７ 第２の接触端子
８ 筐体
８ａ 筐体突起部
１１ａ 第１接触要素
１１ａｔ 第１接触要素の頂点
１１ａｐ 第１接触要素突起部
１１ｂ 中央センター接触要素
１１ａｂ 溝
１１ｂｔ 中央センター接触要素の頂点
１１ｂｐ 中央センター接触要素突起部
１２ａ 第２接触要素
１２ａｔ 第２接触要素の頂点
１２ａｐ 第２接触要素突起部
１２ａｓ 第２接触要素の先端部
１３ａ 第３接触要素
１３ａｔ 第３接触要素の頂点
１３ａｐ 第３接触要素の突起部
１３ａｓ 第３接触要素の先端部
１４ａ 第４接触要素
１４ａｔ 第４接触要素の頂点
１４ａｐ 第４接触要素の突起部
１４ａｓ 第４接触要素の先端部
１５ 弾性体
１６ コイルばね
１６ａ 密巻部
１６ｂ 第１粗巻部
１６ｃ 第２粗巻部
１６ｇ コイルばねの上部係合部
１６ｈ コイルばねの下部係合部
２１ 保持部材

Claims (16)

1. 被検査体に設けられた電極とプリント基板に設けられたランドとを電気的に接続するコンタクトプローブであって、
   前記ランドに接触する第１の接触端子と、
   前記電極に接触する第２の接触端子と、
   前記第１の接触端子と前記第２の接触端子の間に設けられ、前記第１の接触端子と前記第２の接触端子を離反するよう付勢する弾性体と、
   を備え、
   前記第１の接触端子は、平面状の金属板で形成された第１接触要素によって構成され、
   前記第２の接触端子は、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第１接触要素の一部を挟持し、前記第１接触要素に摩擦接触するよう設けられた一対の第２接触要素と、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の外側に位置し、前記第２接触要素に摩擦接触するよう設けられた一対の第３接触要素と、によって構成され、前記第１接触要素、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、相互に摩擦接触しながら前記電極と前記ランドに相対的に接近および離隔するよう移動することができ、
   前記弾性体は、前記第３接触要素の一部を囲むよう設けられ、前記第１接触要素を前記ランドに弾性的に押し当てるとともに前記第２接触要素および前記第３接触要素を前記電極に弾性的に押し当てるようにしたコイルばねによって構成されたことを特徴とするコンタクトプローブ。
   
2. 前記電極が前記第２接触要素および前記第３接触要素に接触する半球状の先端部を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、それぞれ前記電極の先端部に接触する少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の頂点の間隔は、前記第３接触要素の頂点の間隔よりも小さくしたことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
3. 前記電極が前記第２接触要素および前記第３接触要素に接触する半球状の先端部を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、それぞれ前記電極の先端部に接触する少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の頂点の高さは、前記第３接触要素の高さより低くして前記第２接触要素の頂点および前記第３接触要素の頂点に高低差をつけたことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
4. 前記電極が前記第２接触要素および前記第３接触要素に接触する半球状の先端部を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、それぞれ前記電極に接触する少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の頂点の間隔は、前記第３接触要素の頂点の間隔よりも小さく、前記第２接触要素の頂点の高さは、前記第３接触要素の高さより低く、前記第２接触要素および前記第３接触要素の頂点が前記電極の半球状の先端部の形状に倣うことができるよう前記第２接触要素の頂点および前記第３接触要素の頂点に高低差をつけたことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
5. 被検査体に設けられた電極とプリント基板に設けられたランドとを電気的に接続するコンタクトプローブであって、
   前記ランドに接触する第１の接触端子と、
   前記電極に接触する第２の接触端子と、
   前記第１の接触端子と前記第２の接触端子の間に設けられ、前記第１の接触端子と前記第２の接触端子を離反するよう付勢する弾性体と、
   を備え、
   前記第１の接触端子は、平面状の金属板で形成された第１接触要素によって構成され、
   前記第２の接触端子は、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第１接触要素の一部を挟持し、前記第１接触要素に摩擦接触するよう設けられた一対の第２接触要素と、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第２接触要素の外側に位置し、前記第２接触要素に摩擦接触するよう設けられた一対の第３接触要素と、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第３接触要素の外側に位置し、前記第３接触要素に摩擦接触した一対の第４接触要素と、によって構成され、前記第１接触要素、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、相互に摩擦接触しながら前記電極と前記ランドに相対的に接近および離隔するよう移動することができ、
   前記弾性体は、前記第４接触要素の一部を囲むよう設けられ、前記第１接触要素を前記ランドに弾性的に押し当てるとともに前記第２接触要素、前記第３接触要素および前記第４接触要素を前記電極に弾性的に押し当てるようにしたコイルばねによって構成されたことを特徴とするコンタクトプローブ。
6. 前記第４接触要素の頂点の間隔は、前記第３接触要素の頂点の間隔よりも大きく、前記第４接触要素の頂点の高さは、前記第３接触要素の高さより高く、前記第２接触要素の頂点、前記第３接触要素の頂点および前記第４接触要素の頂点が前記電極の半球状の先端部の形状に倣うことができるよう前記第２接触要素の頂点、前記第３接触要素の頂点および前記第４接触要素の頂点に高低差をつけたことを特徴とする請求項５に記載のコンタクトプローブ。
7. 前記第１の接触端子は、さらに、平面状の金属板で形成され、先端が二股状に分かれて少なくとも２つの頂点を有し、前記第３接触要素の外側に位置し、前記第３接触要素に摩擦接触した第４接触要素と、平面状の金属板で形成され、先端が尖った１つの頂点を有し、前記第２接触要素の内側に位置し、前記第２接触要素に摩擦接触し、前記電極と前記第１接触要素の間で前記コイルばねによって前記電極側に押圧されるよう設けられた中央センター接触要素と、を有し、前記第４接触要素および前記中央センター接触要素は、前記第３接触要素、前記第１接触要素に相互に摩擦接触しながら前記電極と前記ランドに相対的に接近および離隔するよう移動することができることを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
8. 前記電極に近接した前記第２接触要素の先端部と前記第３接触要素の先端部を囲むよう設けられ、前記第２接触要素および前記第３接触要素の先端部を放射外方に移動しないよう保持した保持部材をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
9. 前記電極に近接した前記第２接触要素の先端部、前記第３接触要素の先端部および前記第４接触要素の先端部を囲むよう設けられた保持部材をさらに備え、前記保持部材が、前記第２接触要素の先端部、前記第３接触要素の先端部および前記第４接触要素の先端部を放射外方に移動しないよう保持するようにしたことを特徴とする請求項５に記載のコンタクトプローブ。
10. 前記第１接触要素は、前記コイルばねの外方に突出するよう少なくともその両側面に前記コイルばねの下部に係合して前記コイルばねを支持する第１接触要素突起部を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、前記コイルばねの外方に突出するよう少なくともその両側面に形成され、前記コイルばねにより前記電極側に付勢される第２接触要素突起部および第３接触要素突起部を有し、前記コイルばねは、前記第２接触要素および前記第３接触要素が前記ランドに接近するよう前記第１接触要素に対して移動したとき、前記第２接触要素突起部および前記第３接触要素突起部が前記第１接触要素突起部に接近することにより圧縮され、前記第２接触要素および前記第３接触要素が前記ランドから離隔するように前記第１接触要素が対して移動したとき、第２接触要素突起部および前記第３接触要素突起部が前記第１接触要素突起部から離隔することにより伸長されるようにしたことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
11. 前記コイルばねの圧縮時および伸長時に前記第１接触要素、前記第２接触要素および前記第３接触要素が、相互に独立して摺動できるようにしたことを特徴とする請求項１０に記載のコンタクトプローブ。
12. 前記第１接触要素は、前記コイルばねの外方に突出するよう少なくともその両側面に前記コイルばねの下部に係合して前記コイルばねを支持する第１接触要素突起部を有し、前記第２接触要素、前記第３接触要素および前記第４接触要素は、前記コイルばねの外方に突出するよう少なくともその両側面に形成され、前記コイルばねにより前記電極側に付勢される第２接触要素突起部、第３接触要素突起部および第４接触要素突起部を有し、前記コイルばねは、前記第２接触要素、前記第３接触要素および前記第４接触要素が前記ランドに接近するよう前記第１接触要素に対して移動したとき、前記第１接触要素突起部と第２接触要素突起部、前記第３接触要素突起部および前記４接触要素突起部が互いに接近することにより圧縮され、前記第２接触要素、前記第３接触要素および前記第４接触要素が前記ランドから離隔するように前記第１接触要素が対して移動したとき、前記第１接触要素突起部と第２接触要素突起部、前記第３接触要素突起部および前記４接触要素突起部が互いに離隔することにより伸長されるようにしたことを特徴とする請求項５に記載のコンタクトプローブ。
13. 前記コイルばねの圧縮時および伸長時に前記第１接触要素、前記第２接触要素、前記第３接触要素および前記第４接触要素が、相互に独立して摺動できるようにしたことを特徴とする請求項１２に記載のコンタクトプローブ。
14. 前記コイルばねは、前記第３接触要素を囲んで密集して巻かれた密集巻部と、前記密集部と前記第３接触要素の先端部の間に位置し、前記第3接触要素の先端部を囲んで粗く巻かれた第１粗巻部と、前記密集部と前記第１接触要素の底部の間に位置し、前記第１接触要素の底部を囲んで粗く巻かれた第２粗巻部と、を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素は、少なくともその両側面に前記第１粗巻部から外方に突出する突起部を有し、前記第２接触要素および前記第３接触要素が、相互に独立して摺動できるようにしたことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
15. 前記コイルばねは、前記第４接触要素を囲んで密集して巻かれた密集巻部と、前記密集部と前記第４接触要素の先端部の間に位置し、前記第４接触要素の先端部を囲んで粗く巻かれた第１粗巻部と、前記密集部と前記第１接触要素の底部の間に位置し、前記第１接触要素の底部を囲んで粗く巻かれた第２粗巻部と、を有し、前記第４接触要素は、少なくともその両側面に前記第１粗巻部から外方に突出する突起部を有し、前記第２接触要素、前記第３接触要素および前記第４接触要素が、相互に独立して摺動できるようにしたことを特徴とする請求項５に記載のコンタクトプローブ。
16. 請求項１から請求項１５までのいずれか１項に記載のコンタクトプローブと、
    前記コンタクトプローブを収納する収納部が形成された筐体と、
    前記電極が設けられた前記被検査体を保持する被検査体保持部と、
    前記ランドが設けられた前記プリント基板と、
    を備え、
    前記電極および前記ランドが前記コンタクトプローブの中心線上に位置していることを特徴とする検査ソケット。

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