JPWO2019156005A1 - 薄膜形成方法、薄膜形成装置及びリチウム電池 - Google Patents
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- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 100
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 24
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 144
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 59
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 37
- 229910052808 lithium carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 37
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 29
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 19
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 12
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 11
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 11
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 8
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 7
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 6
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 5
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 3
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000033444 hydroxylation Effects 0.000 description 1
- 238000005805 hydroxylation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007773 negative electrode material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
前記リチウム金属膜の表面は、前記真空チャンバ内で酸化される。
酸化された前記リチウム金属膜の表面は、前記真空チャンバ内で炭酸化される。
つまり、上記炭酸化処理により、リチウム金属膜表面の酸化リチウムのすべてが炭酸化リチウムに変換されてもよいし、酸化リチウムの表層の所定の厚み範囲が炭酸化リチウムに変換されてもよい。
前記成膜部は、リチウム金属の蒸発源を含み、基材上にリチウム金属膜を形成する。
前記第1の処理部は、前記リチウム金属膜の表面を酸化する第1の処理室を含む。
前記第2の処理部は、酸化された前記表面を炭酸化する第2の処理室を含む。
前記リチウム電極は、前記基材の上に配置されたリチウム金属層と、炭酸リチウム層と、前記リチウム金属層と前記炭酸リチウム層との間に位置する酸化リチウム層とを有する。
図1は、本発明の一実施形態に係る薄膜形成方法を示す工程図、図2は、上記薄膜形成方法の処理手順を示すフローチャートである。
本実施形態では、リチウム電池の負極を構成するリチウム電極11(図1C参照)の形成方法について説明する。
図1Aに示すように、成膜処理では、基材10の表面にリチウム金属膜11Aが形成される。
酸化処理では、図1Bに示すように、リチウム金属膜11Aの表面を酸化することで、所定厚みの酸化リチウム膜11Bが形成される。
酸化ガスは特に限定されず、典型的には酸素あるいは酸素とアルゴン等との混合ガスが用いられる。
つまり、酸化リチウム膜11Bの厚みが10nm未満の場合、リチウム金属膜11Aの表面に均一に酸化リチウム膜11Bを形成しつつ、炭酸リチウム膜11Cを所定以上の厚みで形成することが困難である。一方、酸化リチウム膜11Bの厚みが150nmを超えると、十分な厚みの炭酸リチウム膜11Cを形成することは可能になるが、リチウムイオン伝導度が低下するおそれがある。
炭酸化処理では、図1Cに示すように、リチウム金属膜11Aの表面を炭酸化することで、所定厚みの炭酸リチウム膜11Cが形成される。炭酸化ガスは特に限定されず、典型的には、一酸化炭素、二酸化炭素あるいはこれらとアルゴン等との混合ガスが用いられる。
リチウム電極11は、基材10の上に配置されたリチウム金属層111(11A)と、炭酸リチウム層113(11C)と、リチウム金属層111と炭酸リチウム層113との間に位置する酸化リチウム層112(11B)とを有する積層膜で構成される。
続いて、上述のリチウム電極11の形成装置について説明する。
第1の処理部21Bは、酸素を導入可能な酸素供給ライン23を有し、リチウム金属膜11Aの表面を酸化して酸化リチウム膜11Bを形成することが可能に構成される。
第2の処理部21Cは、二酸化炭素(あるいは一酸化炭素)を導入可能な炭酸ガス供給ライン24を有し、酸化されたリチウム金属膜の表面を炭酸化して炭酸リチウム膜11Cを形成することが可能に構成される。
11…リチウム電極
11A…リチウム金属膜
11B…酸化リチウム膜
11C…炭酸リチウム膜
21A,120…成膜部
21B,140…第1の処理部
21C,150…第2の処理部
100…リチウム金属電池用負極
201,202…薄膜形成装置
Claims (6)
- 基材上にリチウム金属膜を真空チャンバ内で成膜し、
前記リチウム金属膜の表面を前記真空チャンバ内で酸化し、
酸化された前記リチウム金属膜の表面を前記真空チャンバ内で炭酸化する
薄膜形成方法。 - 請求項1に記載の薄膜形成方法であって、
前記リチウム金属膜の表面を酸化する工程は、前記表面に第1の厚みの酸化リチウム膜を形成し、
前記リチウム金属膜の表面を炭酸化する工程は、前記表面に前記第1の厚み以下の第2の厚みで炭酸リチウム膜を形成する
薄膜形成方法。 - 請求項2に記載の薄膜形成方法であって、
前記第1の厚みは、10nm以上150nm以下である
薄膜形成方法。 - 請求項3に記載の薄膜形成方法であって、
前記第2の厚みは、10nm以上50nm以下である
薄膜形成方法。 - リチウム金属の蒸発源を含み、基材上にリチウム金属膜を形成する成膜部と、
前記リチウム金属膜の表面を酸化する第1の処理室を含む第1の処理部と、
酸化された前記リチウム金属膜の表面を炭酸化する第2の処理室を含む第2の処理部と
を具備する薄膜形成装置。 - 金属製の基材と、
前記基材の上に配置されたリチウム金属層と、炭酸リチウム層と、前記リチウム金属層と前記炭酸リチウム層との間に位置する酸化リチウム層とを有するリチウム電極と
を具備するリチウム電池。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018019784 | 2018-02-07 | ||
JP2018019784 | 2018-02-07 | ||
PCT/JP2019/003723 WO2019156005A1 (ja) | 2018-02-07 | 2019-02-01 | 薄膜形成方法、薄膜形成装置及びリチウム電池 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6547089B1 JP6547089B1 (ja) | 2019-07-17 |
JPWO2019156005A1 true JPWO2019156005A1 (ja) | 2020-02-27 |
Family
ID=67297625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019518126A Active JP6547089B1 (ja) | 2018-02-07 | 2019-02-01 | 薄膜形成方法、薄膜形成装置及びリチウム電池 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6547089B1 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2664394B2 (ja) * | 1988-02-19 | 1997-10-15 | 三洋電機株式会社 | リチウム電池及びその製造方法 |
JP3232710B2 (ja) * | 1992-10-08 | 2001-11-26 | 松下電器産業株式会社 | 非水電解液二次電池の製造方法 |
JP5461561B2 (ja) * | 2009-08-10 | 2014-04-02 | 株式会社アルバック | 薄膜リチウム二次電池の製造方法、薄膜リチウム二次電池 |
JP2012017478A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Honjo Metal Co Ltd | リチウム積層部材およびその製造方法 |
-
2019
- 2019-02-01 JP JP2019518126A patent/JP6547089B1/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6547089B1 (ja) | 2019-07-17 |
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A621 | Written request for application examination |
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