JPWO2019093329A1 - 流体装置 - Google Patents

Abstract

液が流れる流路（１１）の途中に弁座（１１０）と弁体（２５）とが設けられ、弁座（１１０）に弁体（２５）が押し当たって閉弁し、弁座（１１０）と弁体（２５）との間に隙間が生じて開弁する流体装置である電磁弁（１）は、流路（１１）中における弁座（１１０）及び弁体（２５）の上流側の液と下流側の液との電気的な導通度合いを計測するための電極として、上流側の液と電気的に導通する第１の電極（１４１）と、下流側の液と電気的に導通する第２の電極（１４２）と、を備え、第１及び第２の電極（１４１、１４２）を用いて液漏れの検出を容易に実施できる。

Description

本発明は、液が流れる流路を備える流体装置に関する。

従来より、液の流路を有する各種の流体装置が知られている。このような流体装置としては、例えば、バルブや三方弁や四方弁などの切替弁、流体を流路に圧送したり流体を吸引するポンプや、複数の流路を設けたマニフォールド等がある。例えば薬液やサンプル液などを取り扱う各種の分析装置や検査装置などでは、液の流量を精度高く管理する必要があるため、流体装置として精密なバルブが採用されている（例えば特許文献１参照）。

例えば、このバルブとしては、電磁力によって進退駆動される弁体と、この弁体が押し当たる弁座と、を備えるものがある。このバルブ等では、弁座に弁体が押し当たって流路が閉じられる一方、弁座から弁体が後退すると両者間に隙間が生じて流路が開かれる。

特開２０１６−７５３００号公報

しかしながら、前記バルブなどの従来の流体装置では、次のような問題がある。すなわち、取り扱う液によっては結晶が析出し易い性状を有するものがあり、定期的なメンテナンスが必要である一方、メンテナンスが不十分であると、液漏れや詰まり等のトラブルが発生するおそれがある。

本発明は、前記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、液が流れる状態が適切か否かを検知する機能を備えた流体装置を提供しようとするものである。

本発明は、液が流れる流路を備える流体装置であって、
流入する上流側の流路中の液と、流出する下流側の流路中の液と、の電気的な導通度合いを計測するための電極として、前記上流側の液と電気的に接する第１の電極と、前記下流側の液と電気的に接する第２の電極と、を設けた流体装置にある。

本発明の流体装置は、前記上流側の液と電気的に導通する第１の電極と、前記下流側の液と電気的に導通する第２の電極と、を備えている。該第１の電極と該第２の電極との組み合わせは、上流側の液と下流側の液との電気的な導通度合いの計測に利用できる。

本発明の流体装置では、前記第１及び前記第２の電極を利用することで比較的容易に、前記上流側の液と前記下流側の液との電気的な導通度合いを計測できる。この電気的な導通度合いは、流体装置の流路を流れる液の有無や流量に応じたものである。したがって、この電気的な導通度合いを計測すれば、液漏れや液の流量等の検知が可能となる。

このように本発明の流体装置は、前記上流側の液と前記下流側の液との電気的な導通度合いの計測に適したものであり、液漏れや詰まりなどの検知が容易である。

実施例１における、電磁弁の断面構造を示す断面図。 実施例１における、流路部の断面構造を示す斜視図。 実施例１における、電磁弁に組み込まれる制御ユニットのブロック図。 実施例１における、開弁状態を示す説明図。 実施例１における、他の流路部の断面構造を示す斜視図。 実施例１における、スライダーを備える電磁弁の断面構造を示す断面図（閉状態）。 実施例１における、スライダーを備える電磁弁の断面構造を示す断面図（開状態）。 実施例１における、スプール弁を備える電磁弁の断面構造を示す断面図（閉状態）。 実施例２における、マニフォールドを示す斜視図。 実施例２における、チューブ接続面側から見込むマニフォールドの斜視図。 実施例２における、マニフォールドの電極を示す断面図。 実施例３における、電極間の電気的な経路の等価回路を示す回路図。 実施例３における、交流信号、中間信号、検出信号を示すグラフ。 実施例４における、制御ユニットのブロック図。 実施例４における、交流信号、中間信号、検出信号を示すグラフ。

本発明の流体装置としては、バルブや三方弁や四方弁などの切替弁、流体を流路に圧送したり流体を吸引するポンプのほか、流路を有するパイプやチューブ、複数の流路を設けたマニフォールド等がある。さらに、流路を有するパイプやチューブとしては、直線的な単管であっても良く、流路の分岐箇所や合流箇所を有する分岐管あるいは集合管であっても良い。本発明の対象は、流体が流れる流路を有する様々な流体装置である。

本発明における好適な一態様の流体装置は、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気的な導通度合いを計測して前記流路を流れる液の有無を検知する回路を備えている。
例えば前記流体装置が液の流れを遮断するバルブ等の場合、流れを遮断する状態のときに流路を流れる液が有るときには、液漏れを検知できる。

本発明における好適な一態様の流体装置は、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気的な導通度合いを計測して前記流路を流れる液の量を検知する回路を備えている。
前記流路は、液が流れる経路であると共に、液を媒体とした電気の経路となる。そのため、前記電気的な導通度合いは、例えば前記流路の面積等に応じて異なってくる。前記流路の面積（特に最小面積）が大きくなれば、流量が増えると共に、前記電気的な導通度合いが大きくなる。前記電気的な導通度合いを計測すれば、前記流路を流れる液の量を検知できる。

本発明における好適な一態様の流体装置は、液の流れが遮断された状態を設定可能であり、当該液の流れが遮断された状態において、前記上流側の液と前記下流側の液とが電気的に絶縁される構造を備えている。
この場合には、液の流れが遮断された状態において前記第１の電極と前記第２の電極とが電気的に絶縁される。例えば遮断状態において前記第１の電極と前記第２の電極とが電気的に導通する場合には、液の流れが生じているという判断が可能となり、液漏れの判断が容易になる。

例えば液の流れが遮断された遮断状態と流路が開放された開放状態とを切り替え可能な流体装置の場合、遮断状態と開放状態とを速い周期で交互に切り替えることで、流量を調節できる。このように遮断状態と開放状態とを交互に切り替える場合、前記流路が開放されて前記電気的な導通度合いが大きくなる期間と、前記液の流れが遮断されて前記電気的な導通度合いが小さくなる期間と、が周期的に繰返し発生する。一周期をなす期間のうち、前記流路が開放されて前記電気的な導通度合いが大きくなる期間の占有割合が大きくなると、前記電気的な導通度合いの平均的な値が大きくなると共に、前記流路を流れる液の量（流量）が大きくなる。したがって、前記電気的な導通度合いを計測すれば、前記流路を流れる液の量を検知できる。

本発明における好適な一態様の流体装置は、液の流れを遮断するためのシール部が前記流路の途中に設けられたバルブであり、
前記第１及び第２の電極は、前記流路中において前記シール部を挟んで隣り合う上流側の液と下流側の液との電気的な導通度合いを計測するための電極である。
この場合には、前記シール部を挟んで隣り合う上流側の液と下流側の液との電気的な導通度合いの計測が可能になる。バルブとしては、薬液やサンプル液などを取り扱う各種の分析装置や検査装置などのバルブのほか、油圧等を駆動源として動作する液圧装置や流体を媒体とする冷凍装置などの産業機械のバルブや、キッチンや洗面台等の水栓などの一般消費者向けの製品のバルブ等でも有用である。

バルブにおけるシール部は、弁座と弁体とを含み、弁座に弁体が押し当たって閉弁して液の流れを遮断し、弁座と弁体との間に隙間が生じたときに開弁するものであっても良い。
このシール部の場合、弁座と弁体との接触箇所に結晶が析出し、弁座と弁体との接触箇所に結晶が挟まった状態に陥ることがあり、これに起因して微少な液漏れが生じるおそれがある。この微少な液漏れを精度高く検出すれば、析出した結晶を取り除くメンテナンス作業の必要性を早期に把握できる。そして、早期のメンテナンス作業によれば、トラブルの重症化等を未然に回避できる。

通電に応じて生じる電磁力の作用によって変位する可動部材を含み、該可動部材の変位によって前記弁体を駆動する駆動部と、前記流路をなす孔が穿設されていると共に前記弁座が形成された非導電性材料よりなる流路部と、を有するバルブであっても良い。前記駆動部は、電線が巻回されたコイルを利用するソレノイドであっても良く、積層鋼板を利用するソレノイドであっても良い。前記可動部材の変位としては、直線的に進退する変位であっても良いし、回転変位であっても良いし、回動変位などであっても良い。
また、電線が巻回された筒状のコイル及び該コイルに内挿配置された柱状のプランジャ、を含み、該プランジャの軸方向の進退によって前記弁体を駆動する駆動部と、前記流路をなす孔が穿設されていると共に前記弁座が形成された非導電性材料よりなる流路部と、を有するバルブであっても良い。

前記非導電性材料よりなる流路部を採用する場合には、閉弁した状態において前記上流側の液と前記下流側の液とが電気的に絶縁される構造や、両者が電気的に短絡しない構造等の実現が容易である。例えば、前記上流側の液および前記下流側の液のうちのいずれか一方の側の液が前記駆動部を構成する導電性部材と電気的に接触する場合であっても、当該導電性部材と他方の側の液との電気的な絶縁を前記流路部によって確保すれば、当該導電性部材を介在した前記上流側の液と前記下流側の液との電気的な短絡を回避できる。

本発明の実施の形態につき、以下の実施例を用いて具体的に説明する。
（実施例１）
本例では、漏れ検知機能を備える小型の電磁弁１（バルブ）を流体装置の一例として例示している。この内容について、図１〜図８を参照して説明する。
流体装置の一例をなす電磁弁１は、液が流れる流路１１の途中に弁座１１０と弁体２５とを含むシール部１Ｓが設けられ、液の流れを遮断可能なバルブである。この電磁弁１は、弁座１１０に弁体２５が押し当たって閉弁し、弁座１１０と弁体２５との間に隙間が生じて開弁するように構成されている。

電磁弁１は、流路１１の上流側の液と下流側の液、ここでは流路１１中の弁座１１０及び弁体２５の上流側の液と下流側の液との電気的な導通度合いを計測するための電極１４として、上流側の液と電気的に導通する第１の電極１４１と、下流側の液と電気的に導通する第２の電極１４２と、を備えている。
以下に、この内容について詳しく説明する。

図１に例示する電磁弁１は、弁体２５を駆動するためのプランジャ２１を含む駆動部２と、流路１１が形成された流路部１０と、制御ユニット３（図３を参照して後述する。）と、を含んで構成されている。なお、図１において図示を省略する制御ユニット３の組付け構造としては、駆動部２の外周面に取り付ける構造や、駆動部２（ケース２０）の内側にスペースを設けて内部に収容する構造等を採用できる。

駆動部２は、電線が巻回された円筒状のコイル２２の内側に、円柱状のプランジャ２１を内挿配置して構成されている。コイル２２は、有底円筒状の金属製のケース２０の内側に固定されている。コイル２２の両端の巻回端は、例えばケース２０の外側に固定される制御ユニット３に結線できるよう、ケース２０の外側に取り出される。

プランジャ２１は、強磁性材料よりなる円柱状の部品である。このプランジャ２１は、ケース２０の底側に圧縮状態で配置された円筒状のスプリング２１０に対して同軸をなすように組み込まれている。プランジャ２１は、このスプリング２１０の付勢力により軸方向における突出側に付勢された状態となっている。プランジャ２１の先端面には、円柱状の弁体２５を螺入するためのネジ孔２１１が穿設されている。

弁体２５は、樹脂成型品である軸部２５２に対してゴム製のシール部材２５１を組み合わせた部品である。軸部２５２では、軸方向の中間部分に膜状のフランジ２５３が一体成形されていると共に、シール部材２５１を取り付けるための取付構造が先端に設けられている。シール部材２５１は、円盤状をなし、軸部２５２とは反対側の表面が弁座１１０に押し当たるシール面となっている。シール部材２５１やフランジ２５３等を含めて弁体２５はすべて、非導電性材料によって形成されている。

弁体２５のフランジ２５３は、駆動部２に対して流路部１０を取り付けたとき、その外周部が駆動部２と流路部１０との間で液密に固定されるように構成されている。このフランジ２５３は、組付け状態において、駆動部２側への液漏れを防止すると共に、弾性変形に応じて弁体２５の軸方向の変位を許容するように機能する。

流路部１０は、図１及び図２のごとく、背の低い略円柱状の外形状を呈しており、同様に略円柱状を呈する駆動部２の端面に取り付けられる。この流路部１０は、非導電性樹脂材料による樹脂加工品である。流路部１０の表面のうち、駆動部２に対する取付面に当たる表面１０Ａでは、中心に有底孔１５が穿設されており、他方の表面１０Ｂには、電極１４を取り付ける取付孔１４０が２か所穿設されている。また、流路部１０の外周面では、対向して位置する２か所に流路１１の開口部１１１、１１７が形成されている。各開口部１１１、１１７の内周面には、ネジ山が形成されており、図示しない配管を螺合可能である。

流路部１０では、一方の開口部１１１をなす流入側の流路１１Ａと、他方の開口部１１７をなす流出側の流路１１Ｂと、により流路１１が形成されている。この流路１１は直線的なものではなく、流路部１０では、流入側の流路１１Ａと流出側の流路１１Ｂとが、駆動部２に対する取付面をなす表面１０Ａの有底孔１５を介して連通している。

流入側の流路１１Ａは、流路部１０の外周面から中心まで達する径方向の横孔１１２と、この横孔１１２に対して直交して連通するように有底孔１５の中心に穿孔された軸方向の縦孔１１３と、により構成されている。流入側の流路１１Ａを構成するこの縦孔１１３は、有底孔１５の底面から立設された円筒状の縁部に取り囲まれた状態で有底孔１５に開口している。この円筒状の縁部は、上記の弁体２５が押し当たる弁座１１０として機能する。

流入側の流路１１Ａは、流路部１０の外周面の開口部１１１から流路部１０の内部を経由して弁座１１０に至るまでの経路となっている。流入側の流路１１Ａの内周面はすべて非導電性樹脂材料により形成されており、これにより、駆動部２側との電気的な絶縁が実現されている。

一方、流出側の流路１１Ｂは、流路部１０の外周面から中心の手前の位置までの横孔１１６と、この横孔１１６に対して直交して連通するように有底孔１５の底面の外周に穿孔された縦孔１１５と、により構成されている。なお、流出側の流路１１Ｂをなすこの縦孔１１５と、流入側の流路１１Ａをなす上記の縦孔１１３とは、弁座１１０として機能する円筒状の縁部により区画されている。

流出側の流路１１Ｂは、流路部１０の外周面の開口部１１７から流路部１０の内部を経て有底孔１５に連通し、有底孔１５内部の弁座１１０に至る経路となっている。有底孔１５は、駆動部２に対する取付面をなす表面１０Ａに開口していることから、流出側の流路１１Ｂでは、弁体２５を利用した後述の液密構造が採用されている。

詳細な図示及び詳しい説明は省略するが、駆動部２に対する流路部１０の取付面に当たる表面１０Ａには、駆動部２に対する固定構造が設けられている。流路部１０は、この固定構造を利用して駆動部２に確実性高く組み付けられる。さらに、流路部１０の表面１０Ａにおいて、有底孔１５の外周には、駆動部２の端面との組み合わせにより弁体２５のフランジ２５３の外周部を固定するための保持部１５０が形成されている。この保持部１５０は、流路部１０を駆動部２に固定したとき、フランジ２５３の外周部を液密に保持する。このフランジ２５３は、有底孔１５の液の駆動部２側への漏出を規制するように作用し、流出側の流路１１Ｂの液密構造を構成している。

流出側の流路１１Ｂは、流路部１０の外周面の開口部１１７から流路部１０の内部を経由して有底孔１５に至るまでの経路となっている。有底孔１５の内周面を含めて流出側の流路１１Ｂの内周面はすべて非導電性樹脂材料により形成されている。また、有底孔１５の内部空間は、非導電性樹脂材料よりなるフランジ２５３（弁体２５）によって液密に保持され、内部の液が駆動部２側と接触しないようになっている。そのため、流出側の流路１１Ｂの液は、駆動部２側と電気的にも絶縁されている。

駆動部２に流路部１０を組み付けたとき、フランジ２５３の外周部が保持部１５０によって保持された状態の弁体２５が有底孔１５の内側に突出する状態となる。この状態では、弁体２５の先端をなすシール部材２５１が、流入側の流路１１Ａを取り囲む弁座１１０に押し当たる。このように駆動部２により進退駆動される弁体２５が流路部１０の弁座１１０に押し当たることで、流入側の流路１１Ａと、流出側の流路１１Ｂと、が遮断されて閉弁状態を設定できる。なお、このシール部材２５１が弁座１１０に押し当たった閉弁状態の時、弁座１１０の上流側に液が溜まると共に、下流側にも液が溜まって残る構造になっている。したがって、閉弁状態のときには、第１電極１４１が上流側の液に浸っていると共に、第２電極１４２が下流側の液に浸る状態となる。

電磁弁１では、上記の通り、流入側の流路１１Ａ及び流出側の流路１１Ｂが、共に駆動部２側から電気的に絶縁されている。さらに、流路１１Ａと流路１１Ｂとの連通箇所を形成する弁体２５及び弁座１１０が非導電性材料により形成されている。これにより電磁弁１では、流入側の流路１１Ａと流出側の流路１１Ｂとが遮断される閉弁状態において、流入側の流路１１Ａと流出側の流路１１Ｂとが電気的にも遮断（絶縁）される構造が実現されている。

流路部１０では、駆動部２に対する取付面とは反対側の表面１０Ｂの２か所の取付孔１４０に一対の電極１４が埋設されている。一方の電極１４１は、流路での液の流れ方向における上流側である流入側の流路１１Ａをなす横孔１１２の内周壁面を貫通して流路１１内に突出している。他方の電極１４２は、流路での液の流れ方向における下流側である流出側の流路１１Ｂをなす横孔１１６の内周壁面を貫通して流路１１内に突出している。各電極１４は、ガスケット１４５を介して取付孔１４０に液密に保持されている。なお、各電極１４から延設された信号線は制御ユニット３に結線されている。

図３に例示の制御ユニット３は、コイル２２への通電に応じてプランジャ２１を電磁駆動すると共に、閉弁時の液漏れ発生を表すリーク信号を出力するユニットである。上記のように、この制御ユニット３は、例えば、図示しないケースに収容された状態で駆動部２のケース２０の外側に取り付けられる。

制御ユニット３は、コイル２２への通電を制御する駆動回路３１と、閉弁時の液漏れを検知するための検知回路（回路）３２と、を含んで構成されている。
駆動回路３１は、流路部１０とは反対側の軸方向にプランジャ２１を後退駆動するための回路である。駆動回路３１は、外部機器４からの開信号の受信に応じてコイル２２への通電を実行し、これによりプランジャ２１（図１参照。）を電磁的に駆動する。

流路部１０とは反対側にプランジャ２１が後退駆動されると、流路部１０の弁座１１０から弁体２５が離れて隙間が生じ、この隙間を介して流入側の流路１１Ａと流出側の流路１１Ｂが連通する開弁状態となる（図４参照。）。一方、コイル２２への非通電時では、スプリング２１０の付勢力によりプランジャ２１が流路部１０側に軸方向に突出し、これにより流路部１０の弁座１１０に対して弁体２５が押し当たって流入側の流路１１Ａと流出側の流路１１Ｂとが遮断される閉弁状態となる。

検知回路３２は、交流信号を生成する信号生成部３２１、検出信号を処理する信号処理部３２２、及び液漏れを判定する判定部３２３、を含めて構成された回路である。検知回路３２は、所定電圧に調整された交流信号を第１の電極１４１に印加する一方、第２の電極１４２に生じる電流の大きさに応じて液漏れを検知する。

信号生成部３２１は、第１の電極１４１に印加するための所定電圧の交流信号を生成する回路部である。交流信号としては、例えば周波数１ＫＨｚで周期的に変化する信号などを利用できる。交流信号を電極１４１に印加すれば、電極で起こり得る電解や結晶の析出を未然に抑制できる。結晶の析出を抑制できれば塩などの蓄積を回避でき、電極の感度特性の変化等を抑制できる。また、電解を抑制すれば、流通する液体の性質の変化等を抑制できる。このように交流信号を電極１４１に印加することで電極で起こり得る電解や結晶の析出を未然に抑制すれば、種々のトラブルの発生を未然に回避できる。

なお、本例では、第１の電極１４１に作用する交流信号として、正値の期間と負値の期間が周期的に交互に現れる方形波交流（電圧）を採用している。交流信号としては、正弦波、三角波、パルス波など、様々な信号を採用できる。本例では、周波数１ｋＨｚの交流信号を採用しているが、交流信号の周波数は適宜選択的に設定すると良い。また、所定電圧の交流信号を印加すれば、電源電圧の変動等の影響が検知回路３２の出力電位に及ぶおそれを抑制でき、検知の精度を向上できる。なお、第１の電極１４１に交流信号を作用する、あるいは第１の電極１４１に電圧を印加する等の表現は、第１の電極１４１と第２の電極１４２との間に電圧を印加することを意味している。

信号処理部３２２は、第２の電極１４２に生じる電流を検出信号として取り込み、判定部３２３が取り扱いし易い検出信号（電圧）に変換する回路部である。ここで、第２の電極１４２に生じる電流は、第１の電極１４１と第２の電極１４２との間に印加した電圧に応じて、第１の電極１４１と第２の電極１４２との間に流れる電流を意味している。信号処理部３２２は、第１の電極１４１に上記の交流信号（電圧）を作用したとき、第２の電極１４２に生じる交流の検出信号（電流）を増幅する機能と、増幅後の検出信号の大きさを電圧値に変換して中間信号（交流電圧）を生成する機能と、この中間信号の振幅の大きさを示す計測値の一例である検出信号を生成する機能と、を備えている。検出信号を生成する機能は、中間信号の最大値を保持するピークホールド回路と、中間信号の最小値を保持するピークホールド回路と、これら最大値と最小値との差分値を生成する差分回路と、を含む信号処理部３２２により実現される。

上記の３つの機能を備える信号処理部３２２は、第２の電極１４２に生じた交流の検出信号（交流電流）を元にして、電流／電圧変換によって交流電圧の中間信号を得、その中間信号の振幅の大きさを表す直流電圧の検出信号に変換して出力する。

なお、上記の中間信号（交流電圧）を生成する機能に、バンドパスフィルタによって低周波成分及び高周波成分を除去する機能を含めることも良い。このバンドパスフィルタの周波数的な特性については、信号生成部３２１が生成する交流信号の周波数に対応して設定すると良い。例えば周波数１ＫＨｚで周期的に変化する交流信号を電極１４１に作用する場合であれば、１ｋＨｚ近傍の周波数を選択的に通過させるバンドパスフィルタを採用すると良い。

判定部３２３は、信号処理部３２２が変換した検出信号（電圧値）に関する閾値処理を実行し、液漏れを判定する回路部である。判定部３２３は、上記の開信号を受信していない閉弁の期間において、検出信号の閾値処理を実行する。そして、検出信号の電圧値が予め定めた閾値を超えていれば、液漏れと判定する。判定部３２３が液漏れと判定したとき、制御ユニット３は、液漏れを検知した旨を表すリーク信号を外部機器４へ出力する。

以上のような構成の本例の流体装置としての電磁弁１であれば、流入側の流路１１Ａ内の上流側の液と、流出側の流路１１Ｂ内の下流側の液と、の電気的な導通度合いに応じて、閉弁状態下の液漏れを検知可能である。この電磁弁１によれば、例えば、結晶が析出し易い液の取り扱いにおいても、弁座１１０に析出した結晶に起因するシール不良によって起こり得る液漏れを早期に検知可能である。

液漏れを表すリーク信号の発生に応じて電磁弁１のメンテナンス等を実施すれば、弁座１１０や弁体２５等に生じた液漏れ症状の重症化や、電磁弁１から液の供給を受けて動作する図示しない外部装置のトラブル等を未然に回避できる。

本例では、制御ユニット３を備える電磁弁１を例示したが、制御ユニット３を省略しても良い。この場合には、コイル２２に通電する電力線を介して電磁弁１の開閉制御を実施し、電極１４に接続された信号線を介して液漏れの検知等を行うと良い。この場合、ノイズ対策を十分に施した上、コイル２２への駆動回路３１側と、液漏れの検知回路３２側と、でＧＮＤ線を共用することもできる。

本例の電磁弁１では、非導電性材料の一例をなす樹脂材料よりなる流路部１０を採用すると共に、流路１１の液が駆動部２の金属製の部品とは接触しない構造を採用している。この電磁弁１では、弁座１１０及び弁体２５よりも上流側の流入側の液と、下流側の流出側の液と、が流路部１０の形成材料や駆動部２を介して電気的に導通することがない。閉弁状態においては、上流側の流入側の液と、下流側の流出側の液と、の電気的な絶縁を確実性高く確保できる。

このような構成に代えて、閉弁状態において、流入側の液と流出側の液とが電磁弁１の構成部品を介在して電気的に導通する構成であっても良い。この場合、この構成部品を介する電気的抵抗の大きさとの比較において、液の電気的抵抗が十分に小さいものであるか否かが問題となる。電磁弁１の構成部品を介する電気的抵抗の大きさが、液の電気的抵抗を有限の値として取り扱いできる程度の大きさであれば良い。さらに、電磁弁１の構成部品を介する電気的抵抗の大きさが、液の電気的抵抗に比して十分に大きいこと（液の電導度に対して、電磁弁１の構成部品の電導度を無視できること）が望ましい。

この場合には、上記のように電磁弁１の構成部品を介在して電磁弁１の流入側の液と流出側の液とが電気的に導通する構成であっても、両者間の電気的抵抗など電気的な導通度合いを表す指標値が計測可能である。そして、この指標値の変化に応じて液漏れ等を検知できる。

電磁的に弁体２５を駆動して開弁させる電磁弁１を例示したが、流入側の液と流出側の液との電気的な導通度合いを計測して液漏れを検知するという構成は、手動バルブや、ステッピングモータを利用したバルブなど各種のバルブに適用可能である。

本例では、検出信号の電圧値に関する閾値処理により検知回路３２が液漏れの有無を判定する構成を例示している。これに代えて、検出信号の電圧値の大小に応じて液の流量を計測することも良い。また、例えば、開と閉とが周期的に繰り返されるデューティー制御で電磁弁１を駆動する場合であれば、検出信号の電圧値の時間的な平均値に応じて弁開度を推定して流量を算出することも良く、検出信号の電圧値がＨｉの期間とＬｏの期間との比率から弁開度を推定して流量を算出することも良い。

さらに、上記の閾値処理に適用する閾値を適切に設定するための閾値設定部を、検知回路３２に設けることも良い。この閾値設定部による閾値の設定方法としては、例えば、以下の方法がある。
（設定方法１）
電磁弁１が閉弁時の検出信号の大きさ（電圧値）に対して、係数を乗算して閾値を設定する方法。この係数としては、例えば、１．１や１．２など、１．０を超える値を設定できる。
（設定方法２）
電磁弁１が開弁時の検出信号の大きさ（電圧値）に係数を乗算して閾値を設定する方法。この係数としては、例えば、１／１０や１／１００などの値を設定できる。
（設定方法３）
電磁弁１が閉弁時の検出信号の大きさ（電圧値）を、電磁弁１が開弁時の検出信号の大きさ（電圧値）で除算した値に、係数を乗算して閾値を設定する方法。この係数としては、例えば、１．１や１．２など、１．０を超える値を設定できる。なお、この場合の閾値処理の対象は、電磁弁１が開弁時の検出信号の大きさ（電圧値）により対象の検出信号の大きさを除算した値である。
なお、上記のように設定した閾値を利用する閾値処理は、デジタル回路による処理であっても良く、アナログ回路による処理であっても良い。

電極１４に生じた交流の検出信号を増幅する信号処理部３２２の機能について、増幅率を複数種類設けることも良い。増幅率１を含めて増幅率が小さいと微弱な検出信号を見逃すおそれが生じる一方、増幅率が大きいと大きな検出信号が発生したときに飽和を生じるおそれがある。増幅率を複数種類設ける場合であれば、増幅後の大きさが適切な範囲にある検出信号を選択して処理できる。このような構成は、取り扱う液の電気伝導度が不明であったり、様々であったりする場合に有効であり、汎用性の向上に役立つ。

なお、本例では、信号処理部３２２が生成し、判定部３２３が液漏れ判定に利用する検出信号として、電圧値の検出信号を例示している。電圧値の検出信号であれば、例えば、この検出信号をそのまま外部機器に出力する場合であっても、受け取り側での取り扱いが比較的容易であり、検出信号を取り扱うための回路構成をシンプルにできる。

信号処理部３２２の検出信号、あるいは制御ユニット３のリーク信号を、信号線等で接続されていない外部に出力する手段を設けることも良い。例えば、無線ＬＡＮ等を介してインターネット等の通信回線網に出力すれば、外部から電磁弁１の動作状態を監視できるようになる。

本例では、取付孔１４０に金属製の電極１４を嵌入した流路部１０を例示している。インサート成形により電極１４を設けることも良い。あるいは、図５のように、例えば、導電性を呈する第１の樹脂材料と、電気的な絶縁性を備える第２の樹脂材料と、による２色成形により流路部１０を作製することも良い。流路部１０の本体部分を上記の第２の樹脂材料により形成する一方、電極１４として機能する電気的な経路を上記の第１の樹脂材料により形成すると良い。

さらに、例えばカーボンナノチューブなどの導電性材料が練り込まれて導電性が高められたゴムを電極として採用することも良い。ゴムよりなる電極は、例えば、インサート成形等により樹脂材料中に配置しても良く、予め穿設された取付孔１４０に圧入等しても良い。圧入の場合には、ゴムよりなる電極が適度に変形してシール材として機能するため、電極のほかに別途シール材を設ける必要がなくなり部品点数を削減できる。

本例では、弁座１１０及び弁体２５を含むシール部１Ｓを例示している。本願発明の構成は、スライダー２７を含むシール部１Ｓ（図６及び図７）や、スプール弁２８を含むシール部１Ｓ（図８）、等を備える流体装置であるバルブにも適用可能である。
図６の電磁弁１はスライダーバルブと呼ばれるスライド式のバルブである。この電磁弁１では、流路孔２７０が穿設されたスライダー２７と呼ばれる仕切り板を利用してシール部１Ｓが構成されている。電磁駆動によりこのスライダー２７が上下動して流路孔２７０が流路１１Ａ・Ｂに一致すると流路１１Ａ・Ｂが連通し（図７）、流路孔２７０が流路１１Ａ・Ｂに連通しないときに流路が遮断される（図６）。図６及び図７のスライダーバルブでは、スライダー２７の上下動による流路１１Ａ・Ｂの容積変化が構造上ゼロであるため、ポンピングボリュームを回避できるという優れた特性が実現される。
図８の電磁弁１は、円柱状のスプール弁２８を備えるスライド式のバルブである。電磁駆動により上下に進退するスプール弁２８の中間部分には、小径の首部２８０が設けられている。この首部２８０が上記のスライダー２７の流路孔２７０と同様に機能し、流路１１Ａ・Ｂの連通、遮断を切り替える。
これらスライド式のバルブの場合、シール部１Ｓに析出した結晶によりスライダー２７あるいはスプール弁２８の動きが阻害されるおそれが生じる。微少な液漏れを検出すれば、メンテナンス作業の必要性を早期に把握できる。そして、早期のメンテナンス作業によれば、スライダー２７等の動きが阻害されて上下動のストロークが不十分になる等の症状が顕在化する状況を未然に回避できる。

なお、本例では、閉弁状態の時、弁座１１０の上流側に液が溜まると共に、下流側にも液が溜まって残る構造の流体装置（電磁弁１）を例示している。この流体装置では、閉弁状態のとき、第１電極１４１が上流側の液に浸っていると共に、第２電極１４２が下流側の液に浸る状態となる。流体装置の中には、閉弁状態のとき、弁の下流側の液体が排出されて流路が空になる装置もある。このような流体装置の場合、下流側に第１電極１４１及び第２電極１４２を設けることも良い。閉弁状態のときに液漏れがあれば、電極１４１、１４２間の電気的抵抗が低下するので、液漏れの検知が可能である。また、液が流れる状態において流路が液で満たされる一方、液が流れない状態では流路から液が排出されて空になるパイプやチューブなどの流体装置の場合についても、上流側、下流側を区別することなく、流路中に第１電極１４１と第２電極１４２とを設けると良い。電極１４１、１４２間の電気的抵抗などによって、液が流れる状態か否かを判別できる。この場合、第１電極１４１と第２電極１４２とは、液が流れる方向における同じ位置であっても良く、異なる位置であっても良い。

（実施例２）
本例は、実施例１の構成に基づいて、流体装置としてのマニフォールド５８に電極５６を設けた構成例である。この内容について図９〜図１１を参照して説明する。

図９及び図１０のマニフォールド５８は、樹脂製の平板に複数の流路５８８（図１１）を設けたプレート形状のマニフォールドである。マニフォールド５８の両面のうちの一方の表面は、電磁弁５８１や四方弁５８５やポンプ５８３などの機器を取り付ける設置面５８Ａである。接地面５８Ａの開口孔５８０は、これらの機器へ液を供給するか、あるいはこれらの機器から流出した液を還流するための孔である。このマニフォールド５８では、設置面５８Ａに取り付ける機器の種類や、取り付ける箇所に応じてマニフォールド５８の機能を変更できる。

設置面５８Ａとは反対側のマニフォールド５８の表面であるチューブ接続面５８Ｂには、検知回路５７（図１０）が取り付けられていると共に、複数のチューブ５２１が接続されている。なお、図１０では、ポンプ５８３等の機器の図示を省略している。

チューブ接続面５８Ｂでは、図１１のごとく、テーパー状の先端部を有すると共に中間部にネジ部を設けたニップル５５２が流路５８８毎に立設されている。テーパー状の先端部にチューブ５２１が外挿されたニップル５５２に対して締付ナット５２を螺入することで、マニフォールド５８の各流路５８８に対してチューブ５２１が液密に接続されている。

マニフォールド５８では、一方の端部にコネクタ部５６０を設けたカギ形状の電極５６が各流路５８８に対応して埋設されている。インサート成形により埋設された各電極５６は、コネクタ部５６０とは反対側の先端が流路５８８の内周壁面に露出する一方、ニップル５５２の外周側に当たるチューブ接続面５８Ｂから他端のコネクタ部５６０が突出している。各コネクタ部５６０は、図示しない信号線を介して検知回路５７と電気的に接続されている。マニフォールド５８では、コネクタ部５６０の組み合わせを適宜変更することで、液間の電気的な導通度合いを計測する対象の流路５８８の組み合わせを切替可能である。

例えば図９のように、設置面５８Ａの隣接する２つの開口孔５８０に、機器である電磁弁５８１の流入口と流出口をそれぞれ接続することで、電磁弁５８１の流入口と接続された開口孔５８０に対応するチューブ５２１が上流側チューブとなり、電磁弁５８１の流出口と接続された開口孔５８０に対応するチューブ５２１が下流側チューブとなる。この場合、上流側チューブ５２１→流路５８８→電磁弁５８１→流路５８８→下流側チューブ５２１の流路が形成される。そして、その流路に２つの電極５６が電磁弁５８１を挟んで上流側と下流側に配設された「流体装置」が形成される。

ここで、従来のマニフォールドなどでは、異常が発生した場合、液漏れ等の異常発生箇所の特定が難しく、どこで液漏れが発生しているのか分からないという問題がある。一方、電極５６を備える本例のマニフォールド５８であれば、液漏れ等の異常が発生した際、異常発生箇所の特定が容易であり、異常発生箇所に該当するバルブを交換する等のメンテナンス作業を迅速、かつ、的確に実施できる。
なお、その他の構成及び作用効果については、実施例１と同様である。

（実施例３）
本例は、実施例１の電磁弁に基づいて、漏れ検知の精度向上のために信号処理の内容を変更した例である。この内容について、図３、図１２及び図１３を参照して説明する。

本例の構成を説明するに当たって、まず、第１の電極１４１と第２の電極１４２との間の電気的な経路について説明する。第１の電極１４１と第２の電極１４２との間の電気的な経路には、電極１４１、１４２が液に接する界面の存在等に起因し、電荷を蓄える電子部品であるコンデンサと同様の電気的な作用を生じる浮遊容量や、電気的な抵抗などが存在している。第１の電極１４１と第２の電極１４２との間の電気的な経路は、図１２の等価回路で表現できる。この等価回路のうちの抵抗Ｒ１は、液や弁座１１０などを介在する電極１４１、１４２間の経路の電気的な抵抗である。静電容量Ｃは、電極１４１、１４２間の浮遊容量である。抵抗Ｒ２は、電極１４１、１４２の内部抵抗や電気配線などで生じる電気的な抵抗である。なお、上記内部抵抗や電気配線にも図示しない浮遊容量が存在している。

電極１４１、１４２間に静電容量Ｃが存在する場合、第１の電極１４１に印加する交流電圧（交流信号）の正負の切り換わりに応じて、静電容量Ｃの充放電のために第２の電極１４２に僅かな電流が流れる。また、交流信号が正から負への切り換わったときと、交流信号が負から正に切り換わったときと、では、第２の電極１５２に生じる電流の向きが異なる。それ故、電磁弁の正常な閉弁時であっても、第１の電極１４１に交流信号を作用すると第２の電極１４２に交流電流（中間信号）が生じる。これにより、液漏れが発生していない正常な閉弁状態であっても中間信号の振幅である検出信号がゼロにならず、これに起因して液漏れの誤検知が発生するおそれが生じている。

ここで前出の実施例１では、第２の電極１４２側で生じる中間信号（交流電圧）の振幅の大きさを表す検出信号を生成するために、中間信号の最大値を保持するピークホールド回路や、中間信号の最小値を保持するピークホールド回路などを利用している。そして、差分回路により中間信号の最大値と最小値との差分値を求め、この差分値に相当する電圧値を検出信号としている。上記のように電磁弁の閉弁時であっても中間信号に振幅が生じるため、検出信号はゼロにならない。そのため、実施例１の構成では、液漏れによって生じた検出信号か、正常な閉弁状態での検出信号か、の区別する処理の難易度が高くなっている。漏れ検知の際、正常な閉弁状態下の誤検知を抑制するためには、検出信号（電圧値）に閾値処理を適用する際、正常な閉弁状態での検出信号の大きさを考慮して閾値を設定する必要がある。

これに対して、本例では、適切に設定された２点の計測時点での計測値の差分値を検出信号とすることで、正常な閉弁状態における検出信号の大きさがほぼゼロになっている。これにより、漏れ検知の際の閾値処理に適用する閾値の設定が容易となっており、適切な閾値設定によって漏れ検知の精度が向上している。以下、本例における計測時点の設定方法について説明する。

図１２の等価回路における抵抗Ｒ１は、電磁弁が開弁状態であるか閉弁状態であるかによって大きく変動する。開弁状態であれば流路中の液を介在して電極１４１、１４２が接触するので、抵抗Ｒ１が小さくなる。一方、閉弁状態では、上流側の液と下流側の液とが弁座１１０及び弁体２５等によって分断されるので、抵抗Ｒ１が大きくなる。このような抵抗Ｒ１の大小は、第２の電極１４２側の中間信号の位相に影響を与える。閉弁時の抵抗Ｒ１が十分に大きい状態での中間信号と、開弁時の抵抗Ｒ１が小さい状態での中間信号と、を比較すると、９０度の位相差が発生する（図１３参照。）。なお、開弁時のＲ１をＲＬｏ、閉弁時のＲ１をＲ１ｃ、電極間容量によるリアクタンス値をＸｃと表記すると、９０度の位相差を生じる条件は、Ｒ１ｃ＞＞Ｘｃ＞＞ＲＬｏである。

開弁時の中間信号（図１３（ｂ））と、閉弁時の中間信号（同図（ｃ））との位相差が９０度の場合、開弁時の中間信号が最大値のとき閉弁時の中間信号がゼロとなり、開弁時の中間信号が最小値のとき閉弁時の中間信号がゼロとなる。そこで、本例の構成では、閉弁時の検出信号（中間信号の振幅の大きさを表す電圧値）がゼロとなるよう、開弁時の中間信号が最大値及び最小値となる２点を計測時点に設定している。

一方、図１３に示す通り、第１の電極１４１に印加する交流電圧（図１３（ａ）の交流信号）に対して閉弁時の中間信号の位相ずれは、約９０度である。したがって、上記の２点の計測時点は、方形波の交流信号が負から正に切り換わる第１の時点を基準として１／４周期に相当する所定時間の分だけ経過した第１の計測時点と、交流信号が正から負に切り換わる第２の時点を基準として１／４周期に相当する所定時間の分だけ経過した第２の計測時点と、の組合せとなる。そして、本例では、第１の計測時点での中間信号の大きさである第１の計測値と、第２の計測時点での中間信号の大きさである第２の計測値と、の差分値を検出信号としている。

本例の構成によれば、電磁弁の閉弁時において、第１の電極１４１に交流電圧（交流信号）を印加したときの中間信号に振幅を生じても、検出信号の大きさがゼロとなる。一方、電磁弁の閉弁時に液漏れが発生したときには、開弁時の中間信号に近づくため、上記の第１及び第２の計測時点の中間信号の絶対値が大きくなり、差分値である検出信号の値が大きくなる。したがって、本例の構成では、例えばゼロに近い閾値による閾値処理を検出信号の大きさに適用することで、精度高く液漏れを検知可能である。

さらに、本例では、２点の計測時点で中間信号の大きさを計測し、差分をとって検出信号を生成する構成を採用している。この構成であれば、ピークホールド回路が必要ではないので、検知回路３２の回路構成を簡略化でき、コスト削減が容易になる。
なお、上記の中間信号（交流電圧）を生成する際、バンドパスフィルタを適用して低周波成分及び高周波成分を除去すると良い。このバンドパスフィルタの周波数的な特性については、信号生成部３２１が生成する交流信号の周波数に対応して設定すると良い。例えば周波数１ＫＨｚで周期的に変化する交流信号を電極１４１に作用する場合であれば、１ｋＨｚ近傍の周波数を選択的に通過させるバンドパスフィルタを採用すると良い。
また、本例では、第１の電極１４１に印加する交流信号（交流電圧）として方形波を例示しているが、交流信号は正弦波等であっても良い。
なお、その他の構成及び作用効果については、実施例１と同様である。

（実施例４）
本例は、実施例３の構成に基づいて、検出信号を生成するための中間信号の計測時点の設定を変更した例である。この内容について図１４、図１５を参照して説明する。
第１の電極１４１に印加する交流電圧（交流信号）と閉弁時の中間信号との位相差は約９０度である一方、第１の電極１４１に印加する交流電圧（交流信号）に対する開弁時の中間信号の位相ずれは、実施例３で例示した９０度まで変動する場合がある。

本例では、図１４に示す通り、上記の位相ずれに相当するずれ時間を計測するための時間計測部３２５が、液漏れを検知する検知回路３２１に追加されている。時間計測部３２５は、図１５のように、電磁弁が開弁状態のとき、第１の電極１４１に印加する交流電圧（交流信号）が負から正に切り換わる第１の時点、あるいは正から負に切り換わる第２の時点を基準として、中間信号が最大値あるいは最小値に至るまでのずれ時間を計測する。時間計測部３２５は、例えば、交流信号の周波数である１ｋＨｚよりも十分に速い周期で中間信号の計測を繰り返すことで、最大値となる時点、最小値となる時点を特定し、これにより上記のずれ時間を計測する。

本例の構成では、このずれ時間を、計測時点を設定するための所定時間として取り扱う。図１５のごとく、第１の電極１４１に印加する交流電圧（交流信号）が負値から正値に切り替わる第１の時点を基準として上記のずれ時間の分ずらした時点を第１の計測時点に設定すると共に、交流電圧が正値から負値に切り替わる第２の時点を基準として上記のずれ時間の分ずらした時点を第２の計測時点に設定している。そして、第１の計測時点で中間信号の第１の計測値を取得すると共に、第２の計測時点で中間信号の第２の計測値を取得し、第１及び第２の計測値の差分値を検出信号としている。

電磁弁が開弁時の中間信号と、電磁弁が閉弁時の中間信号と、の位相ずれは９０度ではないが（図１５参照。）、開弁時の中間信号が最大値となる前記第１の計測時点、および最小値となる前記第２の計測時点では（図１５中の計測パターンＡ）、検出信号を最大にできる。ノイズレベルがランダム且つほぼ一定と仮定すると、前記第１の計測時点と前記第２の計測時点とを設定すれば、ノイズに対するシグナルの比（Ｓ／Ｎ比）を最大にできる。

本例では開弁時の中間信号の最大値と最小値の時点を計測時点に設定している（図１５中の計測パターンＡ）。例えばノイズレベルが相対的に低く開弁と閉弁との判別に影響を与えない条件下では、閉弁時の中間信号が正から負に切り換わってゼロをクロスする時点を第１の計測時点、負から正にクロスする時点を第２の計測時点に設定することもできる（図１５中の計測パターンＢ）。これにより、閉弁状態から漏れの度合いに応じた検出信号を高感度に得ることもできる。

以上のように、本例の構成によれば、第１の電極１４１に印加する交流電圧（交流信号）に対する中間信号（閉弁時）の位相ずれが約９０度からずれた場合であっても、中間信号の計測時点を適切に設定でき、これにより閉弁時の検出信号の大きさをゼロに近づけることが可能である。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例３と同様である。

以上、実施例のごとく本発明の具体例を詳細に説明したが、これらの具体例は、特許請求の範囲に包含される技術の一例を開示しているにすぎない。実施例では、バルブなどの機器が流路に介在している流体装置の構成例を説明したが、ポンプや切換弁などの機器が流路に介在している流体装置であっても良く、あるいはバルブやポンプや切換弁などの機器が設けられていない流路である流体装置であっても良い。さらに言うまでもなく、具体例の構成や数値等によって、特許請求の範囲が限定的に解釈されるべきではない。特許請求の範囲は、公知技術や当業者の知識等を利用して前記具体例を多様に変形、変更あるいは適宜組み合わせた技術を包含している。

１ 電磁弁（バルブ、流体装置）
１Ｓ シール部
１０ 流路部
１１ 流路
１１Ａ 流入側の流路
１１Ｂ 流出側の流路
１１０ 弁座
１４１ 第１の電極
１４２ 第２の電極
１５ 有底孔
２ 駆動部
２１ プランジャ
２２ コイル
２５ 弁体
２７ スライダー
２８ スプール弁
３ 制御ユニット
３１ 駆動回路
３２ 検知回路（回路）
５６ 電極
５８ マニフォールド（流体装置）

Claims (11)

1. 液が流れる流路を備える流体装置であって、
   流入する上流側の流路中の液と、流出する下流側の流路中の液と、の電気的な導通度合いを計測するための電極として、前記上流側の液と電気的に接する第１の電極と、前記下流側の液と電気的に接する第２の電極と、を設けた流体装置。
2. 請求項１において、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気的な導通度合いを計測して前記流路を流れる液の量あるいは有無を検知する回路を備える流体装置。
3. 請求項２において、前記回路は、正値の電圧と負値の電圧とが周期的に交互に入れ替わる方形波交流の電圧を、前記第１の電極と前記第２の電極との間に印加する信号生成部と、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電流の大きさを表す計測値を取得する信号処理部と、前記流路を流れる液の量あるいは有無を判定する判定部と、を備える流体装置。
4. 請求項３において、前記信号処理部は、前記信号生成部が印加する電圧が負値から正値に切り替わる第１の時点を基準として所定時間ずれた時点で第１の計測値を取得すると共に、前記信号生成部が印加する電圧が正値から負値に切り替わる第２の時点を基準として前記所定時間ずれた時点で第２の計測値を取得し、
   前記回路は、前記第１の計測値と前記第２の計測値との差分値の大きさを、前記電気的な導通度合いを表す指標として計測する流体装置。
5. 請求項４において、前記回路は、前記流路を液が流れる状態で、前記第１あるいは第２の時点の後、前記信号処理部が取得する計測値が最大値あるいは最小値に至るまでのずれ時間を計測する時間計測部を備え、当該ずれ時間を前記所定時間として設定する流体装置。
6. 請求項４または５において、前記判定部は、前記差分値に閾値処理を施して前記流路を流れる液の有無を検知するように構成され、
   前記回路は、前記閾値処理に適用する閾値を設定する閾値設定部を備えている流体装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１項において、前記流体装置は、液の流れが遮断された状態を設定可能であり、当該液の流れが遮断された状態において、前記上流側の液と前記下流側の液とが電気的に絶縁される構造を備える流体装置。
8. 請求項１〜７のいずれか１項において、前記流体装置は、液の流れを遮断するためのシール部が前記流路の途中に設けられたバルブであり、
   前記第１及び第２の電極は、前記流路中において前記シール部を挟んで隣り合う上流側の液と下流側の液との電気的な導通度合いを計測するための電極である流体装置。
9. 請求項８において、前記シール部は、弁座と弁体とを含み、弁座に弁体が押し当たって閉弁して液の流れを遮断し、弁座と弁体との間に隙間が生じたときに開弁するように構成されている流体装置。
10. 請求項９において、通電に応じて生じる電磁力の作用によって変位する可動部材を含み、該可動部材の変位によって前記弁体を駆動する駆動部と、前記流路をなす孔が穿設されていると共に前記弁座が形成された非導電性材料よりなる流路部と、を有する流体装置。
11. 請求項１０において、前記駆動部は、電線が巻回された筒状のコイルに対して、前記可動部材である柱状のプランジャを内挿配置したものであり、該プランジャの軸方向の進退によって前記弁体を駆動するように構成されている流体装置。
    
    

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