JPWO2019087347A1 - 飛行時間型質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図12において、図示しないイオン源で試料から生成されたイオンは図中に矢印で示すようにZ軸方向にイオン射出部1に導入される。イオン射出部1は、対向して配置されている平板状の押出電極11とグリッド状の引出電極12とを含む。制御部6からの制御信号に基づいて加速電圧発生部7は、所定のタイミングで押出電極11若しくは引出電極12又はその両電極にそれぞれ所定の高電圧パルスを印加する。これにより、押出電極11と引出電極12との間を通過するイオンはZ軸に直交するX軸方向に加速エネルギを付与され、イオン射出部1から射出されて飛行空間2に送り込まれる。イオンは無電場である飛行空間2中を飛行したあとリフレクタ3に入射する。
a)直流高電圧を発生する直流電源部と、
b)前記直流電源部による直流高電圧をスイッチングすることで前記高電圧パルスを生成し電圧出力端に出力するスイッチング素子を含むスイッチ回路と
c)イオンを射出するためのパルス信号に応じて前記スイッチング素子をオン/オフ駆動するスイッチング素子駆動部と、
d)前記スイッチング素子駆動部から前記スイッチング素子の制御端子に至る信号経路上で該制御端子に直列に挿入された抵抗を少なくとも含み、該制御端子の電圧を所定の過渡特性を有する電圧とする調整回路と、
を備えることを特徴としている。
なお、自然放電によるスイッチング素子の制御端子電圧の低下が大きい場合には、適宜の容量のゲートコンデンサを追加してもよい。
前記スイッチング素子駆動部は、第1のパルス信号に応じて前記プラス側スイッチング素子がオン状態となる電圧又はオン状態を維持する電圧に制御端子を充電する第1のスイッチング素子駆動部と、第2のパルス信号に応じて前記マイナス側スイッチング素子がオン状態となる電圧又はオン状態を維持する電圧に制御端子を充電する第2のスイッチング素子駆動部とを含み、
オン状態であるプラス側スイッチング素子又はマイナス側スイッチング素子の制御端子を再充電するために、前記高電圧パルスの出力起動のためのパルス信号とは別に前記第1のパルス信号及び前記第2のパルス信号を生成する制御部、をさらに備える構成とすることができる。
図1は本実施例のOA−TOFMSの概略構成図、図3はそのOA−TOFMSにおける加速電圧発生部の概略回路構成図である。先に説明した図12と同じ構成要素には同じ符号を付して詳しい説明を省略する。また、煩雑さを避けるために、図12では記載していたデータ処理部5を図1では省略している。
[ゲート電圧]≒{[パルストランス72の一次側電圧]/[スイッチ回路74のMOSFET741の直列段数]}×[パルストランス72の二次巻線数] …(1)
例えば、パルストランス72の一次側電圧(VDD)を175V、スイッチ回路74のMOSFET741の直列段数を12段、パルストランス72の二次巻線数を1ターンとすると、175/14=14V程度の電圧が各MOSFET741のゲート端子に印加される。
図13は、調整回路742を有さない、従来のOA−TOFMSにおける加速電圧発部7の一段分の二次側駆動部73及びMOSFET741の回路構成図であり、図19は図13に示した回路のMOSFETのゲート端子側の概略的な等価回路である。さらに、図14はこの場合の実測のゲート電圧波形を示す図である。
この場合、複数のイオン射出周期(測定周期)をイオン射出最小周期tpの整数倍にする。例えばイオン射出最小周期tpが125μsであれば、イオン出射周期を125μs、250μs、500μsに定める。一方、ダミーパルス信号b’を生成する周期であるゲート充電周期tgcは、イオン射出最小周期tpよりも若干短く又は若干長く定める。例えばイオン射出最小周期tpが125μsであれば、ゲート充電周期tgcを105μs又は150μsに定める。
これは、例えばイオン射出最小周期tpが125μs、ゲート充電周期tgcが105μsである場合である。イオン射出最小周期tp>ゲート充電周期tgcであるため、図6に示すように、測定周期に拘わらず、1回の測定周期内に少なくとも1回はダミーパルス信号b’が入力される。この場合、図6(b)に示すように、測定周期が長くなるほど、ゲート端子が充電された直近の時点から高電圧パルスが発生する時点までの時間が長くなる。そのため、自然放電による充電電圧の低下が大きくなる。そこで、この電圧低下をキャンセルするために、調整回路742のゲート抵抗742aの抵抗値を上述した最良の状態(臨界制動状態、つまりはオーバーシュートが生じず、立ち上がり、立ち下がり波形の鈍りも小さい状態)よりもやや過制動状態となるように抵抗値を少し大きく(ここではRg=4.7Ω)することで、意図的にゲート電圧の立ち下がり波形に鈍りが生じるようにしている(図6(d)参照)。この波形鈍りの状態とダミーパルス信号b’の入力によるMOSFET741のゲート端子の充電のタイミングとを合わせることにより、測定周期に依らず、高電圧パルス生成直前のゲート電圧をほぼ一定に揃えることができる。それによって、高電圧パルス発生の時間ズレをより一層抑えることができる。
なお、必要に応じてゲートコンデンサを追加し、自然放電による充電電圧の低下を調整することで、高電圧パルス生成直前の時点でのゲート電圧をさらに一層一定に揃えることもできる。
これは、例えばイオン射出最小周期tpが125μs、ゲート充電周期tgcが150μsである場合である。イオン射出最小周期tp<ゲート充電周期tgcであるため、図7(b)に示すように、測定周期が長くなるほど、ゲート端子が充電された直近の時点から高電圧パルスが発生する時点までの時間が短くなる。そのため、自然放電による充電電圧の低下が小さくなる。そこで、これをキャンセルするために、調整回路742のゲート抵抗742aの抵抗値を上述した最良の状態よりもやや制動不足状態となるように少し小さく(ここではRg=2.7Ω)することで、意図的にゲート電圧の立ち下がり時にオーバーシュートが生じるようにしている(図7(d)参照)。このオーバーシュートの状態とダミーパルス信号b’の入力によるMOSFET741のゲート端子の充電のタイミングとを合わせることにより、測定周期に依らず、高電圧パルス生成直前のゲート電圧をほぼ一定に揃えることができる。それによって、高電圧パルス発生の時間ズレをより一層抑えることができる。
なお、この場合にも、必要に応じてゲートコンデンサを追加し、自然放電による充電電圧の低下を調整することで、高電圧パルス生成直前の時点でのゲート電圧をさらに一層一定に揃えることもできる。
11…押出電極
12…引出電極
2…飛行空間
3…リフレクタ
31…反射電極
32…バックプレート
4…検出器
5…データ処理部
6…制御部
7…加速電圧発生部
71…一次側駆動部
711、712、715〜718、731、732、741…MOSFET
713、72…トランス
72a…一次巻線
72b…二次巻線
73…二次側駆動部
730…トランス負荷抵抗
733…ゲート放電抵抗
74…スイッチ回路
742…調整回路
742a…ゲート抵抗
742b…ゲートコンデンサ
75…高電圧電源部
76…一次側電源部
771…プラス側パルス信号入力端
772…マイナス側パルス信号入力端
79…電圧出力端
8…反射電圧発生部
a)直流高電圧を発生する直流電源部と、
b)前記直流電源部による直流高電圧をスイッチングすることで前記高電圧パルスを生成し電圧出力端に出力するスイッチング素子を含む回路であって、オン状態であるときに前記直流電源部によるプラス側電圧を電圧出力端に出力する一又は複数のプラス側スイッチング素子と、オン状態であるときに前記直流電源部によるマイナス側電圧を前記電圧出力端に出力する一又は複数のマイナス側スイッチング素子とが直列に接続されてなるスイッチ回路と、
c)イオンを射出するためのパルス信号に応じて前記スイッチング素子をオン/オフ駆動するものであって、第1のパルス信号に応じて前記プラス側スイッチング素子がオン状態となる電圧又はオン状態を維持する電圧に該スイッチング素子の制御端子を充電する第1のスイッチング素子駆動部と、第2のパルス信号に応じて前記マイナス側スイッチング素子がオン状態となる電圧又はオン状態を維持する電圧に該スイッチング素子の制御端子を充電する第2のスイッチング素子駆動部とを含むスイッチング素子駆動部と、
d)前記スイッチング素子駆動部から前記スイッチング素子の制御端子に至る信号経路上で該制御端子に直列に挿入された抵抗を含み、該制御端子の電圧を所定の過渡特性を有する電圧とする調整回路と、
e)オン状態である前記プラス側スイッチング素子又は前記マイナス側スイッチング素子の制御端子を再充電するために、前記高電圧パルスを立ち上げるためのパルス信号とは別に前記第1のパルス信号及び前記第2のパルス信号を生成する制御部と、
を備えることを特徴としている。
なお、本明細書において、プラス側電圧及びマイナス側電圧とは正負の極性を有する電圧を指すのではなく、前者が後者に対して相対的に高い電圧であることを意味する。したがって、例えばプラス側電圧及びマイナス側電圧が共に正極性である場合もあればプラス側電圧及びマイナス側電圧が共に負極性である場合もあり得る。また、プラス側スイッチング素子における「プラス側」という用語は、例えばこのスイッチング素子がプラス側電圧と電圧出力端との間に配置されることで、オン状態となったときに電圧出力端にプラス側電圧を出力するように機能するものであることを意味する。またマイナス側スイッチング素子における「マイナス側」という用語は、例えばこのスイッチング素子がマイナス側電圧と電圧出力端の間に配置されることで、オン状態となったときに電圧出力端にマイナス側の電圧を出力するように機能するものであることを意味する。
[ゲート電圧]≒{[パルストランス72の一次側電圧]/[スイッチ回路74のMOSFET741の直列段数]}×[パルストランス72の二次巻線数] …(1)
例えば、パルストランス72の一次側電圧(VDD)を175V、スイッチ回路74のMOSFET741の直列段数を12段、パルストランス72の二次巻線数を1ターンとすると、175/12=14V程度の電圧が各MOSFET741のゲート端子に印加される。
図13は、調整回路742を有さない、従来のOA−TOFMSにおける加速電圧発生部7の一段分の二次側駆動部73及びMOSFET741の回路構成図であり、図19は図13に示した回路のMOSFETのゲート端子側の概略的な等価回路である。さらに、図14はこの場合の実測のゲート電圧波形を示す図である。
Claims (8)
- 電極に印加される電圧によって形成される電場の作用により、測定対象のイオンに加速エネルギを与えて飛行空間へ向けて射出するイオン射出部と、前記電極にイオン射出用の高電圧パルスを印加する高電圧パルス生成部と、を具備する飛行時間型質量分析装置において、前記高電圧パルス生成部は、
a)直流高電圧を発生する直流電源部と、
b)前記直流電源部による直流高電圧をスイッチングすることで前記高電圧パルスを生成し電圧出力端に出力するスイッチング素子を含むスイッチ回路と
c)イオンを射出するためのパルス信号に応じて前記スイッチング素子をオン/オフ駆動するスイッチング素子駆動部と、
d)前記スイッチング素子駆動部から前記スイッチング素子の制御端子に至る信号経路上で該制御端子に直列に挿入された抵抗を含み、該制御端子の電圧を所定の過渡特性を有する電圧とする調整回路と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 - 請求項1に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記イオン射出部からイオンを射出して飛行空間を飛行させて検出するという測定を所定の測定周期で以て繰り返し行う装置であり、且つ該測定周期が可変であることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 - 請求項2に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記調整回路における抵抗の抵抗値は臨界制動条件をほぼ満たすように定められていることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 - 請求項2に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記スイッチ回路は、オン状態であるときに前記直流電源部によるプラス側電圧を電圧出力端に出力する一又は複数のプラス側スイッチング素子と、オン状態であるときに前記直流電源部によるマイナス側電圧を前記電圧出力端に出力する一又は複数のマイナス側スイッチング素子とが直列に接続されたものであり、
前記スイッチング素子駆動部は、第1のパルス信号に応じて前記プラス側スイッチング素子がオン状態となる電圧又はオン状態を維持する電圧に制御端子を充電する第1のスイッチング素子駆動部と、第2のパルス信号に応じて前記マイナス側スイッチング素子がオン状態となる電圧又はオン状態を維持する電圧に制御端子を充電する第2のスイッチング素子駆動部とを含み、
オン状態であるプラス側スイッチング素子又はマイナス側スイッチング素子の制御端子を再充電するために、前記高電圧パルスを立ち上げるためのパルス信号とは別に前記第1のパルス信号及び前記第2のパルス信号を生成する制御部、をさらに備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 - 請求項4に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記制御部は、プラス側電圧の高電圧パルスを出力する場合、高電圧パルスの出力起動のためのパルス信号を生成する時点よりも一定時間前に、再充電のための第2のパルス信号を生成して前記マイナス側スイッチング素子がオン状態となる電圧又はオン状態を維持する電圧に制御端子を再充電し、マイナス側電圧の高電圧パルスを出力する場合、高電圧パルスの出力起動のためのパルス信号を生成する時点よりも一定時間前に、再充電のための第1のパルス信号を生成して前記プラス側スイッチング素子がオン状態となる電圧又はオン状態を維持する電圧に制御端子を再充電することを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 - 請求項4に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
複数の測定周期をイオン射出最小周期の略整数倍に定め、該イオン射出最小周期、及び、前記制御部により再充電用のパルス信号を繰り返し供給する制御端子再充電周期、に応じて、前記調整回路における抵抗の抵抗値が定められていることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 - 請求項6に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記制御端子再充電周期が前記イオン射出最小周期よりも短く、且つ前記調整回路における抵抗の抵抗値は過制動状態となるように定められていることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。 - 請求項6に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記制御端子再充電周期が前記イオン射出最小周期よりも長く、且つ前記調整回路における抵抗の抵抗値は制動不足状態となるように定められていることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
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