JPWO2019077814A1 - 電荷検出センサおよび電位計測システム - Google Patents
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Abstract
Description
1.第1の実施の形態(白金ナノ粒子により立体電極を形成した例)
2.第2の実施の形態(電極間の絶縁部の側壁を庇形状とした例)
3.第3の実施の形態(電位計測システムへの適用例)
[電荷検出センサ]
図1は、本技術の実施の形態における電荷検出センサ10を上面から見た外観の一例を示す図である。
図3は、本技術の第1の実施の形態における電荷検出センサ10の断面図の一例を示す図である。ここでは、図2のA−A'に沿った断面を示している。
上述の実施の形態においては、絶縁部14における絶縁層140の側壁は垂直であることを想定していた。これに対し、絶縁層140の形状は以下に例示するように様々な形状が適用可能である。
図8は、本技術の第1の実施の形態の変形例における電荷検出センサ10の断面図の一例を示す図である。
上述の第1の実施の形態においては、検出電極130の表面にナノ粒子群132を立体的に成膜することにより、表面積を拡大させていた。この場合、絶縁層140の側壁に導電性膜が成膜されてしまい、隣接する検出電極130の間で導電が生じて、正常な動作が妨げられるおそれがある。そこで、この第2の実施の形態においては、成膜により連続的な被覆が生じないように絶縁を施す。なお、電荷検出センサ10の全体構成については上述の第1の実施の形態と同様であるため、詳細な説明は省略する。
図9は、本技術の第2の実施の形態における電荷検出センサ10の断面図の一例を示す図である。ここでは、図2のA−A'に沿った断面を示している。
図11は、本技術の第2の実施の形態における絶縁層140の形状の例を示す図である。
図12は、本技術の第2の実施の形態の変形例における電荷検出センサ10の断面図の一例を示す図である。
上述の実施の形態において説明したように、電荷検出センサ10によって溶液中の電荷を検出することができる。この第3の実施の形態では、電荷検出センサ10を電位計測システムに適用した場合の例について説明する。
(1)アレイ状に配列されて電荷を検出する複数の検出電極と、
前記複数の検出電極を互いに絶縁する絶縁部と、
前記複数の検出電極の表面に成膜された導電性の粒子群と
を具備する電荷検出センサ。
(2)前記粒子群は、それぞれがナノメートルオーダの大きさを有するナノ粒子群である
前記(1)に記載の電荷検出センサ。
(3)前記粒子群は、白金ナノ粒子の粒子群である
前記(2)に記載の電荷検出センサ。
(4)前記複数の検出電極は、金属を材料とする非水溶性の電極である
前記(1)から(3)のいずれかに記載の電荷検出センサ。
(5)前記複数の検出電極は、白金を材料とする電極である
前記(4)に記載の電荷検出センサ。
(6)前記絶縁部は、前記検出電極の表面から所定距離離れた部分において突出形状を有する
前記(1)から(5)のいずれかに記載の電荷検出センサ。
(7)前記絶縁部の前記突出形状は、前記粒子群の高さよりも高い位置に設けられる
前記(6)に記載の電荷検出センサ。
(8)前記絶縁部の前記突出形状は、前記粒子群の高さよりも長い突出を有する
前記(6)または(7)に記載の電荷検出センサ。
(9)前記絶縁部の前記突出形状は、前記絶縁部の他の部分とは異なる材料により形成される
前記(6)から(8)のいずれかに記載の電荷検出センサ。
(10)前記複数の検出電極の各々は、配線層と接続するための窪み部を備える
前記(1)から(9)のいずれかに記載の電荷検出センサ。
(11)前記複数の検出電極の各々と配線層とを接続するためのコンタクトをさらに具備する前記(1)から(10)のいずれかに記載の電荷検出センサ。
(12)前記コンタクトは、金属埋め込みプラグ型コンタクトである
前記(11)に記載の電荷検出センサ。
(13)前記コンタクトは、シリコン貫通電極型コンタクトである
前記(11)に記載の電荷検出センサ。
(14)前記検出電極に接する溶液中のイオンを検出する前記(1)から(13)のいずれかに記載の電荷検出センサ。
(15)前記電荷を検出することにより生体活動の測定または生体物質の特定を行うバイオセンサである前記(1)から(14)のいずれかに記載の電荷検出センサ。
(16)アレイ状に配列されて電荷を検出する複数の検出電極と、前記複数の検出電極を互いに絶縁する絶縁部と、前記複数の検出電極の表面に成膜された導電性の粒子群とを備えて電位計測を行う電荷検出センサと、
前記電荷検出センサにおける電位計測を制御する制御部と、
前記電荷検出センサによる計測結果を処理する計測結果処理部と、
前記処理された計測結果を表示する表示部と
を具備する電位計測システム。
11 検出領域
12 セル
13 検出部
14 絶縁部
15 窪み部
16 列選択部
17 行選択部
18 増幅部
19 A/D変換部
20 制御部
30 電荷検出装置
40 計測結果処理部
50 表示部
130 検出電極
131 電極
132 ナノ粒子群
140〜143、150 絶縁層
160 配線層
170 電極
180 コンタクト
Claims (16)
- アレイ状に配列されて電荷を検出する複数の検出電極と、
前記複数の検出電極を互いに絶縁する絶縁部と、
前記複数の検出電極の表面に成膜された導電性の粒子群と
を具備する電荷検出センサ。 - 前記粒子群は、それぞれがナノメートルオーダの大きさを有するナノ粒子群である
請求項1記載の電荷検出センサ。 - 前記粒子群は、白金ナノ粒子の粒子群である
請求項2記載の電荷検出センサ。 - 前記複数の検出電極は、金属を材料とする非水溶性の電極である
請求項1記載の電荷検出センサ。 - 前記複数の検出電極は、白金を材料とする電極である
請求項4記載の電荷検出センサ。 - 前記絶縁部は、前記検出電極の表面から所定距離離れた部分において突出形状を有する
請求項1記載の電荷検出センサ。 - 前記絶縁部の前記突出形状は、前記粒子群の高さよりも高い位置に設けられる
請求項6記載の電荷検出センサ。 - 前記絶縁部の前記突出形状は、前記粒子群の高さよりも長い突出を有する
請求項6記載の電荷検出センサ。 - 前記絶縁部の前記突出形状は、前記絶縁部の他の部分とは異なる材料により形成される
請求項6記載の電荷検出センサ。 - 前記複数の検出電極の各々は、配線層と接続するための窪み部を備える
請求項1記載の電荷検出センサ。 - 前記複数の検出電極の各々と配線層とを接続するためのコンタクトをさらに具備する請求項1記載の電荷検出センサ。
- 前記コンタクトは、金属埋め込みプラグ型コンタクトである
請求項11記載の電荷検出センサ。 - 前記コンタクトは、シリコン貫通電極型コンタクトである
請求項11記載の電荷検出センサ。 - 前記検出電極に接する溶液中のイオンを検出する請求項1記載の電荷検出センサ。
- 前記電荷を検出することにより生体活動の測定または生体物質の特定を行うバイオセンサである請求項1記載の電荷検出センサ。
- アレイ状に配列されて電荷を検出する複数の検出電極と、前記複数の検出電極を互いに絶縁する絶縁部と、前記複数の検出電極の表面に成膜された導電性の粒子群とを備えて電位計測を行う電荷検出センサと、
前記電荷検出センサにおける電位計測を制御する制御部と、
前記電荷検出センサによる計測結果を処理する計測結果処理部と、
前記処理された計測結果を表示する表示部と
を具備する電位計測システム。
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