JPWO2019073875A1 - Release film for manufacturing ceramic green sheets - Google Patents

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Abstract

【課題】離型層表面の高い平滑性を維持し、かつ離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離する時にかかる力を低く、かつ均一にすることで、厚みが1μm以下の超薄層品でも剥離時にセラミックグリーンシートにダメージを与えるおそれのないセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供すること。【解決手段】無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有するポリエステルフィルムの前記表面層A上に離型層を設けた離型フィルムであって、前記離型層がカチオン硬化性物質を含むバインダーaおよび1種類以上の離型剤bを含む組成物が硬化されてなるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。【選択図】なし[PROBLEMS] To peel even an ultra-thin layer product with a thickness of 1 μm or less by maintaining high smoothness on the surface of the release layer and making the force applied when peeling the ceramic green sheet from the release film low and uniform To provide a release film for manufacturing a ceramic green sheet that sometimes does not damage the ceramic green sheet. A release film in which a release layer is provided on the surface layer A of a polyester film having a surface layer A substantially free of inorganic particles, wherein the release layer is a cationic curable substance. A release film for producing a ceramic green sheet obtained by curing a composition containing a binder a containing 1 and one or more release agents b. [Selection figure] None

Description

本発明は、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものであり、セラミックシート加工や内部電極印刷時の有機溶剤による離型層の浸食を抑制することで、剥離力の増大や剥離の均一性が損なわれるおそれがないセラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものである。   The present invention relates to a release film for producing a ceramic green sheet. By suppressing erosion of a release layer by an organic solvent during ceramic sheet processing or internal electrode printing, an increase in peeling force or uniformity of peeling can be achieved. The present invention relates to a release film for producing a ceramic green sheet that is not likely to be damaged.

従来ポリエステルフィルムを基材とし、その上に離型層を積層した離型フィルムは、積層セラミックコンデンサ、セラミック基板等のセラミックグリーンシート成型用に使用されている。近年、積層セラミックコンデンサの小型化・大容量化に伴い、セラミックグリーンシートの厚みも薄膜化する傾向にある。セラミックグリーンシートは、離型フィルム上に、チタン酸バリウムなどのセラミック成分とバインダー樹脂を含有したスラリーを塗工し乾燥することで成型される。成型したセラミックグリーンシートに電極を印刷し離型フィルムから剥離した後、セラミックグリーンシートを積層、プレスし、焼成、外部電極を塗布することで積層セラミックコンデンサが製造される。ポリエステルフィルムの離型層表面にセラミックグリーンシートを成型する場合、離型層表面の微小な突起が成型したセラミックグリーンシートに影響を与え、ハジキやピンホール等の欠点を生じやすくなるといった問題点があった。そのため、平坦性に優れた離型層表面を実現するための手法が開発されてきた(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, a release film in which a polyester film is used as a base material and a release layer is laminated thereon has been used for molding ceramic green sheets such as a laminated ceramic capacitor and a ceramic substrate. In recent years, the thickness of the ceramic green sheet tends to be reduced as the multilayer ceramic capacitor is reduced in size and capacity. The ceramic green sheet is molded by applying a slurry containing a ceramic component such as barium titanate and a binder resin on a release film and drying. After the electrode is printed on the molded ceramic green sheet and peeled from the release film, the ceramic green sheet is laminated, pressed, fired, and an external electrode is applied to produce a multilayer ceramic capacitor. When molding a ceramic green sheet on the release layer surface of a polyester film, there is a problem that minute protrusions on the surface of the release layer affect the molded ceramic green sheet and easily cause defects such as repelling and pinholes. there were. Therefore, a technique for realizing a release layer surface having excellent flatness has been developed (see, for example, Patent Document 1).

しかしながら近年、さらなるセラミックグリーンシートの薄膜化が進み、1.0μm以下、より詳しくは0.2μm〜1.0μmの厚みのセラミックグリーンシートが要求されるようになってきた。そのため、より平滑な離型層表面を持つ離型フィルムが望まれている。加えて、薄膜化に伴いセラミックグリーンシートの強度が低下するため、セラミックグリーンシートを離型フィルムから剥離するときの剥離力を低くかつ均一に行うことも望まれている。すなわち、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離するときにセラミックグリーンシートにかかる力を極力少なくし、セラミックグリーンシートにダメージを与えないようにすることがより重要になってきている。   However, in recent years, further thinning of ceramic green sheets has progressed, and ceramic green sheets having a thickness of 1.0 μm or less, more specifically 0.2 μm to 1.0 μm, have been required. Therefore, a release film having a smoother release layer surface is desired. In addition, since the strength of the ceramic green sheet is reduced as the film is made thinner, it is also desired that the peeling force when peeling the ceramic green sheet from the release film is low and uniform. That is, it is becoming more important to reduce the force applied to the ceramic green sheet as much as possible when peeling the ceramic green sheet from the release film so as not to damage the ceramic green sheet.

近年になって、活性エネルギー線照射下で反応するラジカル硬化性物質を用いることで、離型層の表面が平滑になることが見出された。また、同時に離型層に含まれるシリコーン系成分またはその硬化物によって、セラミックシートとの剥離性にも優れることが見出されている(例えば、特許文献2参照)。   In recent years, it has been found that the surface of the release layer becomes smooth by using a radical curable substance that reacts under irradiation of active energy rays. At the same time, it has been found that the silicone component or the cured product thereof contained in the release layer is also excellent in releasability from the ceramic sheet (for example, see Patent Document 2).

しかしながら、特許文献2に記載された方法によると、大気中下で加工する場合、ラジカル重合反応ゆえに酸素阻害の影響を受けてしまい、離型層表面が硬化不良となる問題があった。離型層表面の硬化不良が発生すると、セラミックグリーンシート加工や内部電極印刷時の有機溶剤によって離型層が浸食され、剥離力の増大や剥離の均一性が損なわれるために、剥離時にセラミックグリーンシートにダメージを与えるおそれがあった。   However, according to the method described in Patent Document 2, when processing in the air, there is a problem that the release layer surface is poorly cured due to the influence of oxygen inhibition due to radical polymerization reaction. When poor curing occurs on the surface of the release layer, the release layer is eroded by the organic solvent during ceramic green sheet processing and internal electrode printing, which increases the peel force and impairs the release uniformity. There was a risk of damaging the sheet.

また、ラジカル重合反応は硬化収縮が大きいために離型フィルムにカールが発生しやすいという問題があった。離型フィルムにカールが発生すると、離型フィルムの搬送性の悪化や、電極印刷精度の低下を引き起こし、不良が発生するおそれがあった。   In addition, the radical polymerization reaction has a problem that curl is easily generated in the release film due to large shrinkage in curing. When curl occurs in the release film, the transportability of the release film is deteriorated and the electrode printing accuracy is lowered, which may cause defects.

特開2000−117899号公報JP 2000-117899 A 国際公開第2013/145864号International Publication No. 2013/145864

本発明は、上記実情に鑑み鋭意検討した結果、離型層表面の高い平滑性を維持し、かつ
離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離する時にかかる力を低く、かつ均一にすることで、厚みが1μm以下の超薄層品でも剥離時にセラミックグリーンシートにダメージを与えるおそれのないセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供しようとするものである。
As a result of intensive studies in view of the above circumstances, the present invention maintains high smoothness of the surface of the release layer, and reduces the force applied when the ceramic green sheet is peeled from the release film, thereby reducing the thickness. Therefore, an object of the present invention is to provide a release film for producing a ceramic green sheet that does not cause damage to the ceramic green sheet at the time of peeling even if it is an ultra-thin layer product of 1 μm or less.

即ち、本発明は以下の構成よりなる。
1. 無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有するポリエステルフィルムの前記表面層A上に離型層を設けた離型フィルムであって、前記離型層がカチオン硬化性物質を含むバインダーaおよび1種類以上の離型剤bを含む組成物が硬化されてなるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
2. 離型層表面のジヨードメタン接触角θ1とトルエン浸漬後の離型層表面のジヨードメタン接触角θ2の差が絶対値として3.0°以下である上記第1に記載セラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
3. 少なくとも1種類の離型剤bが、シリコーン骨格を含む化合物である上記第1または第2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
4. カチオン硬化性物質を含むバインダーaが離型層の全固形分中80質量%以上含む上記第1〜第3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
5. カチオン硬化性物質を含むバインダーaが、分子内に脂環式エポキシ基を有する化合物及びオキセタン環を有する化合物から選ばれる少なくとも1つの化合物を含有する上記第1〜第4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
6. 離型剤bの少なくとも1種類が、脂環式エポキシ基を含有するシリコーンである上記第1〜第5のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
7. 離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、かつ最大突起高さ(P)が100nm以下である上記第1〜第6のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
8. 0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法であって、請求項1〜7のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いるセラミックグリーンシートの製造方法。
9. 上記第8に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。
That is, the present invention has the following configuration.
1. A release film in which a release layer is provided on the surface layer A of a polyester film having a surface layer A substantially free of inorganic particles, wherein the release layer contains a cationic curable substance. And a release film for producing a ceramic green sheet obtained by curing a composition containing at least one release agent b.
2. The mold release for producing the ceramic green sheet according to the first aspect, wherein a difference between the diiodomethane contact angle θ 1 on the surface of the release layer and the diiodomethane contact angle θ 2 on the release layer surface after immersion in toluene is 3.0 ° or less as an absolute value the film.
3. The release film for producing a ceramic green sheet according to the first or second aspect, wherein the at least one release agent b is a compound containing a silicone skeleton.
4). The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the first to third aspects, wherein the binder a containing a cationic curable substance contains 80% by mass or more in the total solid content of the release layer.
5. The ceramic according to any one of the first to fourth, wherein the binder a containing a cationic curable substance contains at least one compound selected from a compound having an alicyclic epoxy group and a compound having an oxetane ring in the molecule. Release film for green sheet manufacturing.
6). The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the first to fifth aspects, wherein at least one of the release agents b is silicone containing an alicyclic epoxy group.
7. The separation for manufacturing a ceramic green sheet according to any one of the first to sixth aspects, wherein the average surface roughness (Sa) of the release layer surface is 7 nm or less and the maximum protrusion height (P) is 100 nm or less. Mold film.
8). It is a manufacturing method of the ceramic green sheet which has thickness of 0.2 micrometer-1.0 micrometer, Comprising: The manufacturing method of the ceramic green sheet using the release film for ceramic green sheet manufacture in any one of Claims 1-7.
9. A method for producing a ceramic capacitor, which employs the method for producing a ceramic green sheet according to the eighth aspect.

本発明によれば、セラミックシート加工や内部電極印刷時の有機溶剤による離型層の浸食がないため、剥離力の増大や剥離の均一性が損なわれるおそれのないセラミックグリーンシート製造用離型フィルムの提供が可能となる。   According to the present invention, since there is no erosion of the release layer by the organic solvent during ceramic sheet processing or internal electrode printing, the release film for producing a ceramic green sheet does not have a risk of increasing the peeling force or deteriorating the uniformity of peeling. Can be provided.

本発明者らは、表面粗さを制御したポリエステルフィルムを用い、片面に離型層を設け、離型層にカチオン硬化性物質からなるバインダーaと少なくとも1種類以上の離型剤bを含有した構成にすることで、離型層が有機溶剤によって浸食されるおそれがなく、剥離性に優れたセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供できることを見出した。また、硬化収縮の少ないカチオン硬化性物質を用いるために、カールが発生しづらく、電極印刷精度を低下させる恐れのない離型フィルムが提供できることを見出した。以下、本発明について詳細に説明する。   The present inventors used a polyester film with a controlled surface roughness, provided a release layer on one side, and contained a binder a composed of a cationic curable substance and at least one release agent b in the release layer. It has been found that by using the constitution, a release film for producing a ceramic green sheet excellent in releasability can be provided without the possibility that the release layer is eroded by an organic solvent. Further, the present inventors have found that a release film that does not easily curl and does not cause a decrease in electrode printing accuracy can be provided because a cationically curable substance with little curing shrinkage is used. Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、ポリエステルフィルムの少なくとも片面に実質的に無機粒子を含有しない表面層Aを有しており、表面層A上には、少なくともカチオン硬化性物質を含有するバインダーaと1種類以上の離型剤bを含有する組成物を硬化されてなる離型層が積層されていることが好ましい。カチオン硬化性物質は、酸素による硬化阻害を受けないため、大気中においても離型層表面の硬化不良を引き起こすおそれがなく、有機溶剤による離型層の浸食を抑えることができる。また、カチオン硬化性物質は硬化収縮が小さいため、カールが発生しづらく、電極印刷精度が低下するおそれがない。なお、ここで用いるカチオン硬化性物質とは、反応系中で発生するカチオンが活性種となって硬化反応が進行する化合物を指す。   The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention has a surface layer A substantially free of inorganic particles on at least one surface of a polyester film, and contains at least a cationic curable substance on the surface layer A. It is preferable that a release layer formed by curing a composition containing a binder a and one or more release agents b is laminated. Since the cationic curable substance is not inhibited from curing by oxygen, there is no possibility of causing poor curing of the surface of the release layer even in the air, and erosion of the release layer by the organic solvent can be suppressed. In addition, since the cationic curable substance has a small curing shrinkage, curling is difficult to occur, and there is no possibility that the electrode printing accuracy is lowered. In addition, the cation curable substance used here refers to a compound in which a cation generated in a reaction system becomes an active species and a curing reaction proceeds.

本発明における離型層は、有機溶剤による浸食が少ないことが好ましい。離型層の浸食は離型フィルムを有機溶剤に浸漬させた前後の離型層の表面状態の差を評価することで確かめることができる。浸漬に用いる有機溶剤としては、セラミックグリーンシート製造工程を想定し、一般的なセラミックスラリーに用いられるトルエンを用いることが好ましい。離型層の表面状態を評価する方法の一例としては、接触角による評価が挙げられ、トルエン浸漬前後の離型層表面の接触角変化が小さいほど好ましい。   The release layer in the present invention is preferably less eroded by the organic solvent. The erosion of the release layer can be confirmed by evaluating the difference in the surface state of the release layer before and after the release film is immersed in an organic solvent. As the organic solvent used for the immersion, it is preferable to use toluene used for a general ceramic slurry assuming a ceramic green sheet manufacturing process. An example of a method for evaluating the surface state of the release layer is evaluation by contact angle, and the smaller the contact angle change of the release layer surface before and after immersion in toluene, the better.

接触角を測定する際に用いる液滴の種類は特に制限されず、水、ブロモナフタレン、エチレングリコールなどをそれぞれ好適に用いることができるが、離型層の表面状態の差がより顕著に見えるジヨードメタンを用いることが最も好ましい。   The type of droplet used for measuring the contact angle is not particularly limited, and water, bromonaphthalene, ethylene glycol, and the like can be suitably used, but diiodomethane in which the difference in the surface state of the release layer is more noticeable. Most preferably, is used.

接触角の測定に用いる液滴としてジヨードメタンを用いる際には、離型層表面のジヨードメタン接触角θと離型フィルムをトルエンに室温、5分間浸漬した後の離型層表面の接触角θの差(θ−θ)の絶対値が小さいほど、離型層表面の耐溶剤性が良く好ましい。具体的には、絶対値として3.0°以下であることが好ましく、2.0°以下であることが更に好ましく、1.0°以下であることが最も好ましい。3.0°以下であると、セラミックグリーンシート加工や内部電極印刷時の有機溶剤による離型層の浸食が抑えられ、剥離力の増大や剥離の均一性が損なわれるおそれがないため好ましい。離型層表面のジヨードメタン接触角θと離型フィルムをトルエンに室温、5分間浸漬した後の離型層表面の接触角θの差(θ−θ)の値が小さいほど好ましく0°が最も好ましいが、絶対値として0.05°以上であっても構わない。When diiodomethane is used as a droplet used for measuring the contact angle, the contact angle θ 1 of the release layer surface and the contact angle θ 2 of the release layer surface after the release film is immersed in toluene for 5 minutes at room temperature. The smaller the absolute value of the difference (θ 1 −θ 2 ), the better the solvent resistance of the release layer surface. Specifically, the absolute value is preferably 3.0 ° or less, more preferably 2.0 ° or less, and most preferably 1.0 ° or less. When the angle is 3.0 ° or less, erosion of the release layer due to the organic solvent during ceramic green sheet processing or internal electrode printing is suppressed, and there is no fear that increase in peeling force or peeling uniformity may be impaired. The smaller the difference (θ 1 −θ 2 ) between the diiodomethane contact angle θ 1 of the release layer surface and the contact angle θ 2 of the release layer surface after the release film is immersed in toluene at room temperature for 5 minutes, it is preferably 0 Although it is most preferable, it may be 0.05 ° or more as an absolute value.

(ポリエステルフィルム)
本発明において基材として用いるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム用基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム形成したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが特に好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明の離型フィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由から二軸配向ポリエステルフィルムであることが好ましい。
(Polyester film)
The polyester constituting the polyester film used as the base material in the present invention is not particularly limited, and a polyester film generally used as a base material for a release film can be used, but preferably, A crystalline linear saturated polyester composed of an aromatic dibasic acid component and a diol component is preferable. For example, polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate, or a resin thereof. A copolymer having a constituent component as a main component is more preferable, and a polyester film formed from polyethylene terephthalate is particularly preferable. In polyethylene terephthalate, the repeating unit of ethylene terephthalate is preferably 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, and other dicarboxylic acid components and diol components may be copolymerized in a small amount, but from the viewpoint of cost. Those produced only from terephthalic acid and ethylene glycol are preferred. Moreover, you may add a well-known additive, for example, antioxidant, a light stabilizer, a ultraviolet absorber, a crystallizing agent, etc. within the range which does not inhibit the effect of the release film of this invention. The polyester film is preferably a biaxially oriented polyester film for reasons such as high bidirectional elasticity.

上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの固有粘度は0.50〜0.70dl/gが好ましく、0.52〜0.62dl/gがより好ましい。固有粘度が0.50dl/g以上の場合、延伸工程で破断が多く発生することがなく好ましい。逆に、0.70dl/g以下の場合、所定の製品幅に裁断するときの裁断性が良く、寸法不良が発生しないので好ましい。また、原料は十分に真空乾燥することが好ましい。   The intrinsic viscosity of the polyethylene terephthalate film is preferably 0.50 to 0.70 dl / g, and more preferably 0.52 to 0.62 dl / g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl / g or more, it is preferable because many breakage does not occur in the stretching process. On the other hand, when it is 0.70 dl / g or less, it is preferable because cutting property when cutting to a predetermined product width is good and dimensional defects do not occur. Moreover, it is preferable that the raw material is sufficiently vacuum-dried.

本発明におけるポリエステルフィルムの製造方法は特に限定されず、従来一般に用いられている方法を用いることが出来る。例えば、前記ポリエステルを押出機にて溶融して、フィルム状に押出し、回転冷却ドラムにて冷却することにより未延伸フィルムを得て、該未延伸フィルムを二軸延伸することにより得ることが出来る。二軸延伸フィルムは、縦方向あるいは横方向の一軸延伸フィルムを横方向または縦方向に逐次二軸延伸する方法、或いは未延伸フィルムを縦方向と横方向に同時二軸延伸する方法で得ることが出来る。   The manufacturing method of the polyester film in this invention is not specifically limited, The method generally used conventionally can be used. For example, the polyester can be melted with an extruder, extruded into a film, cooled with a rotary cooling drum to obtain an unstretched film, and the unstretched film can be obtained by biaxial stretching. A biaxially stretched film can be obtained by a method of sequentially biaxially stretching a uniaxially stretched film in the longitudinal direction or the transverse direction in the transverse direction or the longitudinal direction, or a method of simultaneously biaxially stretching an unstretched film in the longitudinal direction and the transverse direction. I can do it.

本発明において、ポリエステルフィルム延伸時の延伸温度はポリエステルの二次転移点(Tg)以上とすることが好ましい。縦、横おのおのの方向に1〜8倍、特に2〜6倍の延伸をすることが好ましい。   In this invention, it is preferable that the extending | stretching temperature at the time of extending | stretching a polyester film shall be more than the secondary transition point (Tg) of polyester. It is preferable to stretch 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times in the longitudinal and lateral directions.

上記ポリエステルフィルムは、厚みが12〜50μmであることが好ましく、さらに好ましくは15〜38μmであり、より好ましくは、19μm〜33μmである。フィルムの厚みが12μm以上であれば、フィルム生産時や加工工程、成型の時に、熱により変形するおそれがなく好ましい。一方、フィルムの厚みが50μm以下であれば、使用後に廃棄するフィルムの量が極度に多くならず、環境負荷を小さくする上で好ましい。   It is preferable that the said polyester film is 12-50 micrometers in thickness, More preferably, it is 15-38 micrometers, More preferably, it is 19 micrometers-33 micrometers. If the thickness of the film is 12 μm or more, it is preferable that there is no risk of deformation due to heat during film production, processing steps, and molding. On the other hand, if the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film discarded after use is not extremely increased, which is preferable in reducing the environmental load.

上記ポリエステルフィルム基材は、単層であっても2層以上の多層であったも構わないが、少なくとも片面には実質的に無機粒子を含まない表面層Aを有することが好ましい。2層以上の多層構成からなる積層ポリエステルフィルムの場合は、実質的に無機粒子を含有しない表面層Aの反対面には、無機粒子などを含有することができる表面層Bを有することが好ましい。積層構成としては、離型層を塗布する側の層をA層、その反対面の層をB層、これら以外の芯層をC層とすると、厚み方向の層構成は離型層/A/B、あるいは離型層/A/C/B等の積層構造が挙げられる。当然ながらC層は複数の層構成であっても構わない。また、表面層Bには無機粒子を含まないこともできる。その場合、フィルムをロール状に巻き取るための滑り性付与するため、表面層B上には少なくとも無機粒子とバインダーを含んだコート層を設けることが好ましい。   The polyester film substrate may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but preferably has a surface layer A substantially free of inorganic particles on at least one side. In the case of a laminated polyester film having a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B that can contain inorganic particles and the like on the opposite surface of the surface layer A that does not substantially contain inorganic particles. As the laminated structure, when the layer on the side to which the release layer is applied is the A layer, the opposite layer is the B layer, and the core layer other than these is the C layer, the layer structure in the thickness direction is the release layer / A / B, or a laminated structure such as a release layer / A / C / B. Of course, the C layer may have a plurality of layers. Further, the surface layer B may not contain inorganic particles. In that case, it is preferable to provide a coating layer containing at least inorganic particles and a binder on the surface layer B in order to impart slipperiness for winding the film into a roll.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面を形成する表面層Aは、実質的に無機粒子を含有しないことが好ましい。このとき、表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、7nm以下が好ましい。Saが7nm以下であると、積層する超薄層セラミックグリーンシートの成型時にピンホールなどの発生が起こりにくく好ましい。表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であって構わない。ここで、表面層A上に後述のアンカーコート層などを設ける場合は、コート層に実質的に無機粒子を含まないことが好ましく、コート層積層後の領域表面平均粗さ(Sa)が前記範囲に入ることが好ましい。本発明において、「無機粒子を実質的に含有しない」とは、無機粒子が、蛍光X線分析で無機元素を定量した場合に50ppm以下、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下となる含有量を意味する。これは積極的に無機粒子をフィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。   In the polyester film substrate of the present invention, it is preferable that the surface layer A that forms the surface on which the release layer is applied does not substantially contain inorganic particles. At this time, the area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. When Sa is 7 nm or less, pinholes and the like are less likely to occur during molding of the laminated ultra-thin ceramic green sheet. Although it can be said that the region surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably as small as possible, it may be 0.1 nm or more. Here, when providing the below-mentioned anchor coat layer etc. on the surface layer A, it is preferable that an inorganic particle is not included substantially in a coat layer, and the area | region surface average roughness (Sa) after coat layer lamination | stacking is the said range. It is preferable to enter. In the present invention, “substantially free of inorganic particles” means that the inorganic particles are not more than 50 ppm, preferably not more than 10 ppm, most preferably not more than the detection limit when inorganic elements are quantified by fluorescent X-ray analysis. Means quantity. This means that even if inorganic particles are not actively added to the film, contaminants derived from foreign substances, raw material resin, or dirt attached to the line or equipment in the film manufacturing process will be peeled off and mixed into the film. This is because there are cases.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面の反対面を形成する表面層Bは、フィルムの滑り性や空気の抜けやすさの観点から、無機粒子を含有することが好ましく、特にシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることが好ましい。含有される無機粒子含有量は、表面層B中に無機粒子の合計で5000〜15000ppm含有することが好ましい。このとき、表面層Bのフィルムの領域表面平均粗さ(Sa)は、1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が5000ppm以上、Saが1nm以上の場合には、フィルムをロール状に巻き上げるときに、空気を均一に逃がすことができ、巻き姿が良好で平面性良好により、超薄層セラミックグリーンシートの製造に好適なものとなる。また、シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が15000ppm以下、Saが40nm以下の場合には、滑剤の凝集が生じにくく、粗大突起ができないため、超薄層のセラミックグリーンシート製造時に品質が安定し好ましい。   In the polyester film substrate of the present invention, the surface layer B that forms the surface opposite to the surface on which the release layer is applied preferably contains inorganic particles from the viewpoint of the slipperiness of the film and the ease of air removal, In particular, it is preferable to use silica particles and / or calcium carbonate particles. It is preferable that the inorganic particle content to be contained is 5,000 to 15,000 ppm in total in the surface layer B of the inorganic particles. At this time, it is preferable that the area | region surface average roughness (Sa) of the film of the surface layer B is the range of 1-40 nm. More preferably, it is the range of 5-35 nm. When the total of silica particles and / or calcium carbonate particles is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, when the film is rolled up, air can be released uniformly, and the winding shape is good and the flatness is good. This is suitable for the production of an ultrathin layer ceramic green sheet. In addition, when the total of silica particles and / or calcium carbonate particles is 15000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, the lubricant is less likely to agglomerate and coarse protrusions cannot be formed, so the quality is stable when manufacturing ultra-thin ceramic green sheets. It is preferable.

上記B層に含有する粒子としては、シリカ及び/又は炭酸カルシウム以外に不活性な無機粒子及び/又は耐熱性有機粒子なども用いることができるが、透明性やコストの観点からシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることがより好ましいが、他に使用できる無機粒子としては、アルミナ−シリカ複合酸化物粒子、ヒドロキシアパタイト粒子などが挙げられる。また、耐熱性有機粒子としては、架橋ポリアクリル系粒子、架橋ポリスチレン粒子、ベンゾグアナミン系粒子などが挙げられる。またシリカ粒子を用いる場合、多孔質のコロイダルシリカが好ましく、炭酸カルシウム粒子を用いる場合は、ポリアクリル酸系の高分子化合物で表面処理を施した軽質炭酸カルシウムが、滑剤の脱落防止の観点から好ましい。   As the particles contained in the layer B, inactive inorganic particles and / or heat-resistant organic particles other than silica and / or calcium carbonate can be used, but silica particles and / or from the viewpoint of transparency and cost. Although it is more preferable to use calcium carbonate particles, other usable inorganic particles include alumina-silica composite oxide particles and hydroxyapatite particles. Examples of the heat resistant organic particles include crosslinked polyacrylic particles, crosslinked polystyrene particles, and benzoguanamine particles. When silica particles are used, porous colloidal silica is preferable, and when calcium carbonate particles are used, light calcium carbonate surface-treated with a polyacrylic acid polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing the lubricant from falling off. .

上記表面層Bに添加する無機粒子の平均粒子径は、0.1μm以上2.0μm以下が好ましく、0.5μm以上1.0μm以下が特に好ましい。無機粒子の平均粒子径が0.1μm以上であれば、離型フィルムの滑り性が良好であり好ましい。また、平均粒子径が2.0μm以下であれば、離型層表面の粗大粒子によるセラミックグリーンシートにピンホールが発生するおそれがなく好ましい。   The average particle diameter of the inorganic particles added to the surface layer B is preferably 0.1 μm or more and 2.0 μm or less, and particularly preferably 0.5 μm or more and 1.0 μm or less. If the average particle diameter of the inorganic particles is 0.1 μm or more, the slipperiness of the release film is good, which is preferable. Moreover, if an average particle diameter is 2.0 micrometers or less, there is no possibility that a pinhole may generate | occur | produce in the ceramic green sheet by the coarse particle of a mold release layer surface, and it is preferable.

上記表面層Bには素材の異なる粒子を2種類以上含有させてもよい。また、同種の粒子で平均粒径の異なるものを含有させてもよい。   The surface layer B may contain two or more kinds of particles having different materials. Moreover, you may contain the same kind of particle | grains from which an average particle diameter differs.

表面層Bに粒子を含まない場合は、表面層B上に粒子を含んだコート層で易滑性を持たせることが好ましい。本コート層は、特に限定されないが、ポリエステルフィルムの製膜中に塗工するインラインコートで設けることが好ましい。表面層Bに粒子を含まず、表面層B上に粒子を含むコート層を有する場合、コート層の表面は、上述の表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)と同様の理由により、領域表面平均粗さ(Sa)が1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。   When the surface layer B does not contain particles, it is preferable that the surface layer B has a slipperiness with a coat layer containing particles. Although this coating layer is not specifically limited, It is preferable to provide with the in-line coating applied during film forming of a polyester film. When the surface layer B does not contain particles, and the surface layer B has a coat layer containing particles, the surface of the coat layer is a region for the same reason as the surface average roughness (Sa) of the surface layer B described above. The surface average roughness (Sa) is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is the range of 5-35 nm.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aには、ピンホール低減の観点から、滑剤などの無機粒子の混入を防ぐため、再生原料などを使用しないことが好ましい。   From the viewpoint of reducing pinholes, it is preferable not to use recycled materials or the like for the surface layer A, which is the layer on the side where the release layer is provided, in order to prevent the mixing of inorganic particles such as a lubricant.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aの厚み比率は、基材フィルムの全層厚みの20%以上50%以下であることが好ましい。20%以上であれば、表面層Bなどに含まれる粒子の影響をフィルム内部から受けづらく、領域表面平均粗さSaが上記の範囲を満足することが容易であり好ましい。基材フィルムの全層の厚みの50%以下であると、表面層Bにおける再生原料の使用比率を増やすことができ、環境負荷が小さく好ましい。   The thickness ratio of the surface layer A, which is the layer on the side where the release layer is provided, is preferably 20% to 50% of the total thickness of the base film. If it is 20% or more, the influence of particles contained in the surface layer B or the like is not easily received from the inside of the film, and the area surface average roughness Sa is easy to satisfy the above range, which is preferable. When the thickness is 50% or less of the total thickness of the base film, the use ratio of the recycled raw material in the surface layer B can be increased, and the environmental load is small.

また、経済性の観点から上記表面層A以外の層(表面層Bもしくは前述の中間層C)には、50〜90質量%のフィルム屑やペットボトルの再生原料を使用することができる。この場合でも、B層に含まれる滑剤の種類や量、粒径ならびに領域表面平均粗さ(Sa)は、上記の範囲を満足することが好ましい。   Further, from the viewpoint of economy, 50 to 90% by mass of film scraps and recycled materials for PET bottles can be used for layers other than the surface layer A (surface layer B or the aforementioned intermediate layer C). Even in this case, it is preferable that the type and amount of the lubricant contained in the B layer, the particle diameter, and the area surface average roughness (Sa) satisfy the above range.

また、後に塗布する離型層などの密着性を向上させたり、帯電を防止するなどのために表面層A及び/または表面層Bの表面に製膜工程内の延伸前または一軸延伸後のフィルムにコート層を設けてもよく、コロナ処理などを施すこともできる。   In addition, the film after stretching or uniaxial stretching in the film forming process on the surface of the surface layer A and / or the surface layer B in order to improve adhesion of a release layer or the like to be applied later or to prevent charging. A coating layer may be provided, and corona treatment or the like may be performed.

(離型層)
本発明における離型層には、少なくともカチオン硬化性物質を含有するバインダーaと1種類以上の離型剤b(剥離性を付与させるための添加剤)を含有する組成物が硬化されてなることが好ましい。カチオン硬化性物質を含有するバインダーaは、架橋し高弾性率な塗膜を形成することができる。離型層の弾性率を高めることで、剥離する際に離型層が変形し追随することがなくなり、セラミックグリーンシートにダメージを与えるおそれがないため好ましい。
(Release layer)
In the release layer in the present invention, a composition containing at least a binder a containing a cationic curable substance and at least one release agent b (additive for imparting peelability) is cured. Is preferred. The binder a containing a cationic curable substance can be crosslinked to form a highly elastic coating film. Increasing the elastic modulus of the release layer is preferable because the release layer does not deform and follow when peeling, and there is no risk of damaging the ceramic green sheet.

本発明の機能を損なわない範囲で、前記樹脂や添加剤以外にも添加することができる。ここで、本発明において、カチオン硬化性物質は、塗布層中で硬化された後の状態では、化合物の構造が変化していると考えられるが、カチオン硬化性物質からもたらされるその変化した構造そのものを正確に表現し記載することは極めて困難であるため、前記のように「離型層がカチオン硬化性物質を含むバインダーaおよび1種類以上の離型剤bを含有する組成物が硬化されてなる」と表現している。 It can be added in addition to the resin and additives as long as the function of the present invention is not impaired. Here, in the present invention, the cationic curable substance is considered to have changed the structure of the compound in the state after being cured in the coating layer, but the changed structure itself resulting from the cationic curable substance itself. Since it is extremely difficult to accurately express and describe the above, as described above, “a composition containing a binder a containing a cationic curable substance and one or more release agents b is cured. It is expressed.

本発明における離型層に用いるカチオン硬化性物質としては、一般的なものを使用でき特に限定されないが、ビニルエーテル化合物や環状エーテル化合物であることが好ましく、中でも、オキセタン化合物やエポキシ基を含有する化合物を用いることが好ましい。オキセタン化合物の例としては、脂肪族、芳香族、脂環式の化合物が挙げられる。エポキシ基を含有する化合物の例としては、グリシジルエーテル型、グリシジルアミン型、グリシジルエステル型のエポキシや、脂環式エポキシが挙げられるが、特に、グリシジルエーテル型のエポキシと脂環式エポキシが好ましく、反応性の観点から脂環式エポキシを用いることが最も好ましい。グリシジルエーテル型のエポキシ化合物としては、ビスフェノール型エポキシ樹脂やクレゾールノボラック型エポキシ樹脂に代表される芳香族グリシジルエーテル、水添A型グリシジルエーテルやブチルグリジシルエーテルに代表される脂肪族グリシジルエーテル等が挙げられる。脂環式エポキシとしては、エステル骨格、ジシクロペンタジエン骨格、フルオレン骨格、ε-カプロラクトン骨格等を導入したものが例として挙げられ、これ以外の骨格を有していても良い。   The cation curable substance used for the release layer in the present invention is not particularly limited and can be a general one, but is preferably a vinyl ether compound or a cyclic ether compound, and among them, a compound containing an oxetane compound or an epoxy group. Is preferably used. Examples of oxetane compounds include aliphatic, aromatic and alicyclic compounds. Examples of the compound containing an epoxy group include glycidyl ether type, glycidyl amine type, glycidyl ester type epoxy and alicyclic epoxy, and in particular, glycidyl ether type epoxy and alicyclic epoxy are preferable, It is most preferable to use an alicyclic epoxy from the viewpoint of reactivity. Examples of the glycidyl ether type epoxy compound include aromatic glycidyl ethers typified by bisphenol type epoxy resins and cresol novolac type epoxy resins, aliphatic glycidyl ethers typified by hydrogenated A type glycidyl ether and butyl glycidyl ether, and the like. It is done. Examples of the alicyclic epoxy include those having an ester skeleton, a dicyclopentadiene skeleton, a fluorene skeleton, an ε-caprolactone skeleton and the like, and may have other skeletons.

前記脂環式エポキシ化合物としては、市販されているものを用いることもできる。市販品の例としては、サイクロマー(登録商標)M100、セロキサイド(登録商標)2000(以上、ダイセル社製、1官能)、セロキサイド(登録商標)2021P、2081(以上、ダイセル社製、2官能)、エポリード(登録商標)GT401(ダイセル社製、4官能)、EHPE(登録商標)3150(ダイセル社製、多官能)などが挙げられる。   What is marketed can also be used as said alicyclic epoxy compound. Examples of commercially available products include Cyclomer (registered trademark) M100, Celoxide (registered trademark) 2000 (above, manufactured by Daicel Corp., monofunctional), Celoxide (registered trademark) 2021P, 2081 (above, manufactured by Daicel Corp., bifunctional) , Epolide (registered trademark) GT401 (manufactured by Daicel Corporation, tetrafunctional), EHPE (registered trademark) 3150 (manufactured by Daicel Corporation, multifunctional), and the like.

前記オキセタン化合物としては、市販されているものを用いることもできる。市販品の例としては、アロンオキセタン(登録商標)OXT−101、212(以上、東亞合成社製、1官能)OXT221、OXT−121(以上、東亞合成社製、2官能)、ETERNACOL(登録商標)EHO、OXMA(以上、宇部興産社製、1官能)OXTP、OXBP(以上、宇部興産社製、2官能)などが挙げられる。   As said oxetane compound, what is marketed can also be used. Examples of commercial products include Aron Oxetane (registered trademark) OXT-101, 212 (above, manufactured by Toagosei Co., Ltd., monofunctional) OXT221, OXT-121 (above, manufactured by Toagosei Co., Ltd., bifunctional), ETERNACOL (registered trademark) ) EHO, OXMA (above, Ube Industries, Ltd., monofunctional) OXTP, OXBP (above, Ube Industries, Ltd., bifunctional).

前記カチオン硬化性物質のカチオン硬化性官能基数に特に制限はなく、1つでも、2つ以上であっても構わない。離型層の架橋密度を高め、耐溶剤性を向上させるためには、2つ以上の官能基数であることが好ましい。また、カチオン硬化性官能基の導入位置としては、末端、側鎖、直鎖内の任意の位置にあってよい。なお、ここで示すカチオン硬化性官能基とは、カチオン硬化反応において架橋点となりうる官能基を指す。   The number of cation curable functional groups of the cation curable substance is not particularly limited, and may be one or two or more. In order to increase the crosslinking density of the release layer and improve the solvent resistance, the number of functional groups is preferably 2 or more. In addition, the cationic curable functional group may be introduced at any position within the terminal, side chain, or straight chain. In addition, the cation curable functional group shown here refers to a functional group that can be a crosslinking point in the cation curing reaction.

また、前記カチオン硬化性物質を1種類用いても2種類以上を混合して用いてもよい。特に限定されるわけではないが、2種類以上のカチオン硬化性物質を用いる方が、反応後のポリマーネットワーク鎖が複雑になることで架橋密度が高まり、有機溶剤による離型層の浸食を抑えることができるため好ましい。   One kind of the cationic curable substance may be used, or two or more kinds may be mixed and used. Although not particularly limited, the use of two or more types of cationic curable substances increases the crosslink density due to the complexity of the polymer network chain after the reaction, and suppresses erosion of the release layer by the organic solvent. Is preferable.

2種類以上のカチオン硬化性物質を用いる場合は、特に理論で限定されるわけではないが、官能基数が異なる2種類のカチオン硬化性物質を用いることが好ましい。官能基数が異なるものを使用することで、効果的にポリマーネットワークを構築し架橋密度の高い離型層にすることができる。例えば、官能基数が2個のカチオン硬化性物質と、官能基数が3個以上の多官能なカチオン硬化性物質を混ぜることで2官能のカチオン硬化性物質で直鎖状のポリマーを構築し、そのポリマー鎖の一部に3官能以上のカチオン硬化性物質が入ることでポリマー鎖どうしの架橋構造ができるため、架橋密度を向上させることができる。   When two or more kinds of cationic curable substances are used, although not limited by theory, it is preferable to use two kinds of cationic curable substances having different numbers of functional groups. By using those having different numbers of functional groups, a polymer network can be effectively constructed and a release layer having a high crosslinking density can be obtained. For example, a linear polymer is constructed with a bifunctional cationic curable material by mixing a cationic curable material with 2 functional groups and a polyfunctional cationic curable material with 3 or more functional groups. Since a crosslinked structure of polymer chains can be formed by entering a trifunctional or higher functional cationic curable substance into a part of the polymer chain, the crosslinking density can be improved.

2種類以上のカチオン硬化性物質を用いる場合、その最適な比率としては、一方の硬化性物質100質量部に対し、もう一方の硬化性物質を0.1質量部以上50質量部以下用いることが好ましく、より好ましくは0.5質量部以上20質量部以下であり、1質量部以上10質量部以下であることが最も好ましい。一方の硬化性物質が0.1質量部以上であると、もう一方の硬化性物質の架橋構造に取り込まれる量が極端に少なくなることがなく、架橋密度を高める効果を十分に得られるために好ましい。一方の硬化性物質を50質量部以下用いると、それぞれの硬化性物質同士の架橋構造が支配的になることなく、混合することで得られる複雑なポリマーネット鎖が形成され、架橋密度を高める効果が得られるために好ましい。   When two or more kinds of cationic curable substances are used, the optimal ratio is that the other curable substance is used in an amount of 0.1 to 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of one curable substance. More preferably, it is 0.5 to 20 parts by mass, and most preferably 1 to 10 parts by mass. When one curable substance is 0.1 part by mass or more, the amount taken into the crosslinked structure of the other curable substance is not extremely reduced, and the effect of increasing the crosslinking density can be sufficiently obtained. preferable. When one curable substance is used in an amount of 50 parts by mass or less, the crosslink structure between the curable substances is not dominant, and a complex polymer net chain obtained by mixing is formed, and the effect of increasing the crosslinking density Is preferable.

本発明における離型層は、有機溶剤による離型層の浸食を抑制するために架橋密度を高めることが好ましい。そのため、カチオン硬化性物質としては、ポリマー、オリゴマー、モノマーいずれを用いてもよいが、特にモノマーを用いるほうが、一定質量当たりの架橋点が多くなり、架橋密度を高めることができるため好ましい。   The release layer in the present invention preferably has an increased crosslinking density in order to suppress erosion of the release layer by an organic solvent. For this reason, any of polymers, oligomers, and monomers may be used as the cationic curable substance. In particular, the use of a monomer is preferable because the number of crosslinking points per certain mass increases and the crosslinking density can be increased.

本発明における離型層には、カチオン硬化性物質が離型層全体の固形分に対して、80質量%以上99.9%以下含まれることが好ましく、より好ましくは90質量%以上99.9%以下であり、さらに好ましくは95質量%以上99.9%以下である。カチオン硬化性物質を80質量%以上含むことでカチオン重合反応により、高い架橋密度を得ることができ、有機溶剤による離型層の浸食を抑えることができるため好ましい。このとき、離型層全体の固形分とは、酸発生剤は乾燥工程や活性エネルギー線照射下において分解され、その離型相中に残存する微量な質量を正確に計算することは困難であるため、バインダー成分と離型剤の固形分の合計した値として表現している。   In the release layer in the present invention, the cationic curable substance is preferably contained in an amount of 80% by mass or more and 99.9% or less, more preferably 90% by mass or more and 99.9%, based on the solid content of the entire release layer. % Or less, and more preferably 95% by mass or more and 99.9% or less. It is preferable to contain 80% by mass or more of the cationic curable substance because a high crosslinking density can be obtained by the cationic polymerization reaction and erosion of the release layer by the organic solvent can be suppressed. At this time, the solid content of the entire release layer is that the acid generator is decomposed under the drying process or irradiation with active energy rays, and it is difficult to accurately calculate a small amount of mass remaining in the release phase. Therefore, it is expressed as a total value of the solid contents of the binder component and the release agent.

(酸発生剤)
本発明における離型層にはカチオン重合反応を進行させるために、酸発生剤を用いることが好ましい。用いる酸発生剤としては、特に限定されず一般的なものが使われるが、活性エネルギー線照射下で酸が発生する光酸発生剤を用いることで、加工時の熱量を抑えることができるため好ましい。スルホン酸系やカルボン酸系のような一般的な酸を用いることでも、有機溶剤の浸食を抑えられる架橋密度の高い離型層を得ることができるが、高い加工温度が必要になるために、原反の熱収縮や平滑性の低下によって、離型層表面が荒れてしまうおそれがある。その他、金属塩系、リン酸エステル系、酸部位がブロックされたブロックタイプの酸発生剤も使用することができるが、前述の理由で光酸発生剤を用いることが、加工時の熱量の観点から最も好ましい。
(Acid generator)
In the release layer in the present invention, it is preferable to use an acid generator in order to advance the cationic polymerization reaction. The acid generator to be used is not particularly limited and a general one is used, but it is preferable to use a photoacid generator that generates an acid under irradiation of active energy rays because the amount of heat during processing can be suppressed. . Even by using a general acid such as a sulfonic acid type or a carboxylic acid type, it is possible to obtain a release layer having a high crosslinking density capable of suppressing erosion of an organic solvent, but a high processing temperature is required. There is a possibility that the surface of the release layer is roughened due to heat shrinkage of the raw fabric or a decrease in smoothness. In addition, metal salt-based, phosphate ester-based, and block-type acid generators in which acid sites are blocked can be used. However, using a photoacid generator for the reasons described above is a viewpoint of the amount of heat during processing. To most preferred.

光酸発生剤としては、オニウムイオンと非求核性アニオンから成る塩を使用することが反応性の観点から好適である。また、鉄アレーン錯体に代表される有機金属錯体や、トロピリウムに代表されるカルボカチオン塩を用いてもよく、アントラセン誘導体や電子吸引基で置換されたフェノール類、例えばペンタフルオロフェノールを用いてもよい。   As the photoacid generator, it is preferable from the viewpoint of reactivity to use a salt comprising an onium ion and a non-nucleophilic anion. Further, an organometallic complex typified by an iron arene complex or a carbocation salt typified by tropylium may be used, or an anthracene derivative or a phenol substituted with an electron withdrawing group, for example, pentafluorophenol may be used. .

前記オニウムイオンと非求核性アニオンから成る塩を光酸発生剤として用いる場合には、オニウムイオンとしては、例えば、ヨードニウム、スルフォニウム、アンモニウムが使用できる。オニウムイオンの有機基としては、トリアリール、ジアリール(モノアルキル)、モノアリール(ジアルキル)、トリアルキルを用いてよく、ベンゾフェノンや9−フルオレンを導入しても、それ以外の有機基を用いてもよい。非求核性アニオンとしては、ヘキサフルオロホスフォレート、ヘキサフルオロアンチモネート、ヘキサフルオロボレート、テトラ(ペンタフルオロフェニル)ボレートを用いることが好適である。また、テトラ(ペンタフルオロフェニル)ガリウムイオンや、フッ素アニオンのいくつかをパーフルオロアルキル基や有機基に置き換えたアニオンを用いてもよく、それ以外のアニオン成分を用いてもよい。   When a salt composed of the onium ion and a non-nucleophilic anion is used as a photoacid generator, for example, iodonium, sulfonium, or ammonium can be used as the onium ion. As the organic group of the onium ion, triaryl, diaryl (monoalkyl), monoaryl (dialkyl), or trialkyl may be used. Even if benzophenone or 9-fluorene is introduced, other organic groups may be used. Good. As the non-nucleophilic anion, it is preferable to use hexafluorophosphorate, hexafluoroantimonate, hexafluoroborate, or tetra (pentafluorophenyl) borate. Further, tetra (pentafluorophenyl) gallium ions, anions obtained by replacing some of the fluorine anions with perfluoroalkyl groups or organic groups, or other anion components may be used.

前記光酸発生剤を用いる際には、増感剤を添加することで、重合反応の反応性を高め、有機溶剤による離型層の浸食をさらに抑制することもできる。増感剤としては特に限定されず一般的なものが使われるが、アントラセン誘導体、ナフタレン誘導体が好適である。増感剤は1種類でも2種類以上を用いてもよい。   When the photoacid generator is used, by adding a sensitizer, the reactivity of the polymerization reaction can be increased, and erosion of the release layer by the organic solvent can be further suppressed. The sensitizer is not particularly limited and general ones are used, but anthracene derivatives and naphthalene derivatives are preferable. One type or two or more types of sensitizers may be used.

塗布液への光酸発生剤の添加量は、離型層に含まれるカチオン硬化性物質からなるバインダーa及び離型剤bの質量総和に対して0.1〜10質量部であることが好ましい。より好ましくは、0.5〜8質量部である。さらに好ましくは1〜5質量部である。0.1質量部以上とすることで、発生する酸の量が不十分となり硬化不足となるおそれがなく好ましい。また、10質量部以下とすることで、発生する酸の量が適量となり、成型するセラミックグリーンシートへの酸の移行量を抑えることができるために好ましい。   It is preferable that the addition amount of the photo-acid generator to a coating liquid is 0.1-10 mass parts with respect to the mass sum total of the binder a which consists of a cationic curable substance contained in a mold release layer, and the mold release agent b. . More preferably, it is 0.5-8 mass parts. More preferably, it is 1-5 mass parts. The amount of 0.1 parts by mass or more is preferable because the amount of generated acid is insufficient and there is no fear of insufficient curing. Moreover, it is preferable for the amount to be 10 parts by mass or less because an appropriate amount of acid is generated and the amount of acid transferred to the ceramic green sheet to be molded can be suppressed.

増感剤の添加量は、光酸発生剤に対して質量として0.1〜5倍であることが好ましい。より好ましくは、0.1〜2倍であることが好ましい。0.1倍よりも大きいと、十分な増感効果が得られないおそれがなく好ましい。5倍よりも小さいと、光酸発生剤の活性エネルギー線の吸収を阻害し、十分に酸が発生しないおそれがなく好ましい。   It is preferable that the addition amount of a sensitizer is 0.1-5 times as a mass with respect to a photo-acid generator. More preferably, it is 0.1 to 2 times. When it is larger than 0.1 times, there is no fear that a sufficient sensitizing effect cannot be obtained, which is preferable. When it is less than 5 times, the absorption of the active energy ray of the photoacid generator is inhibited, and there is no fear that the acid is not sufficiently generated.

(離型剤b)
本発明における離型層に用いる離型剤b(離型性を付与するための添加剤)としては、シリコーン系添加剤や、長鎖アルキル系、フッ素系などの非シリコーン系添加剤などを用いることができるが、剥離性の観点からシリコーン系添加剤を用いることが好ましい。
(Release agent b)
As the release agent b (additive for imparting releasability) used in the release layer in the present invention, a silicone-based additive, a non-silicone-based additive such as a long-chain alkyl-based, fluorine-based, or the like is used. However, it is preferable to use a silicone-based additive from the viewpoint of peelability.

シリコーン系添加剤とは、シロキサン結合に有機基がついたポリオルガノシロキサンをベースとした材料のことであり、本発明の効果を得られる範囲であれば特に限定されず、一般的なものを使用することができる。ポリオルガノシロキサンを側鎖に有するアクリル樹脂やアルキッド樹脂なども使用することができる。ポリオルガノシロキサンの中でもポリジアルキルシロキサンを好適に使用することができ、中でもポリジメチルシロキサンを用いることがより好ましく、ポリジメチルシロキサンの一部に官能基を有するものがさらに好ましい。官能基を有することでカチオン硬化性物質と水素結合などの分子間相互作用が発現しやすくなりセラミックグリーンシートへの移行がしづらくなるため好ましい。   A silicone-based additive is a material based on a polyorganosiloxane having an organic group attached to a siloxane bond, and is not particularly limited as long as the effects of the present invention can be obtained. can do. An acrylic resin or an alkyd resin having a polyorganosiloxane in the side chain can also be used. Among the polyorganosiloxanes, polydialkylsiloxanes can be preferably used. Among them, polydimethylsiloxane is more preferably used, and a polydimethylsiloxane having a functional group in a part thereof is more preferable. Having a functional group is preferable because intermolecular interactions such as a hydrogen bond and a cationic curable substance are easily developed and it is difficult to shift to a ceramic green sheet.

ポリジメチルシロキサンに導入する官能基としては特に限定されないが、反応性官能基でも非反応性官能基でも構わない。また、官能基はポリジメチルシロキサンの片末端に導入されていてもよいし、両末端でも側鎖でも構わない。また、導入される位置は1つでもよいし、複数でも構わない。   Although it does not specifically limit as a functional group introduce | transduced into polydimethylsiloxane, A reactive functional group or a non-reactive functional group may be sufficient. In addition, the functional group may be introduced at one end of polydimethylsiloxane, or both ends or side chains may be used. Moreover, the position to be introduced may be one or plural.

ポリジメチルシロキサンに導入する反応性官能基としては、環状エーテル基、ヒドロキシ基、メルカプト基、カルボキシル基、メタクリロイル基、アクリロイル基などを使用することができる。特に限定されるわけではないが、環状エーテル基を用いることが好ましく、特にグリシジルエーテル基、脂環式エポキシ基、オキセタン環といった、カチオン硬化性官能基を含有していると、前記カチオン硬化性物質の架橋構造に取り込まれ、セラミックグリーンシートへの移行がしづらくなるために好ましい。中でも、脂環式エポキシ基を含有していると、バインダー成分との相溶性にも優れるため、剥離性が発現しやすく最も好ましい。非反応性官能基としては、ポリエーテル基、アルキル基、フロロアルキル基、 長鎖アルキル基、エステル基、アミド基、フェニル基などを使用することができる   As a reactive functional group introduced into polydimethylsiloxane, a cyclic ether group, a hydroxy group, a mercapto group, a carboxyl group, a methacryloyl group, an acryloyl group, or the like can be used. Although not particularly limited, it is preferable to use a cyclic ether group, and in particular, the cationic curable substance contains a cationic curable functional group such as a glycidyl ether group, an alicyclic epoxy group, or an oxetane ring. This is preferable because it is incorporated into the cross-linked structure and it is difficult to shift to a ceramic green sheet. Among them, when an alicyclic epoxy group is contained, the compatibility with the binder component is also excellent, and thus the peelability is easily exhibited and is most preferable. As the non-reactive functional group, polyether group, alkyl group, fluoroalkyl group, long chain alkyl group, ester group, amide group, phenyl group, etc. can be used.

より詳細に好ましいシリコーン系添加剤を述べると、カチオン硬化性反応基を有するシリコーン系添加剤を用いることが好ましく、エポキシ基を有するシリコーン系添加剤を用いることがより好ましい。エポキシ基としては脂環式エポキシ基を有するシリコーン系添加剤を用いることが最も好適である。より具体的に、脂環式エポキシ基を有するシリコーン系添加剤の構造を述べると、脂環式エポキシ基を含有するポリジメチルシロキサンやポリジメチルシロキサンと脂環式エポキシ基を側鎖に有するアクリル樹脂が例として挙げられる。   In more detail, a preferable silicone-based additive is preferably a silicone-based additive having a cationic curable reactive group, and more preferably a silicone-based additive having an epoxy group. As the epoxy group, it is most preferable to use a silicone-based additive having an alicyclic epoxy group. More specifically, the structure of a silicone-based additive having an alicyclic epoxy group will be described. Polydimethylsiloxane containing an alicyclic epoxy group or an acrylic resin having a polydimethylsiloxane and an alicyclic epoxy group in the side chain. Is given as an example.

本発明に用いるシリコーン系添加剤としては、特に限定されず既存のものを使用できる。例えば、反応性官能基を有するシリコーンの市販品としては、X−22−170DX、X−22−3710、X−22−176DX、X−22−167B(以上、信越化学工業社製)、BYK−UV3500、BYK−UV3505、BYK−UV3575(以上、ビッグケミー・ジャパン社製)などが例として挙げられる。カチオン硬化性官能基を有するシリコーン系添加剤の市販品としては、X−22−173BX、X−22−173DX、X−22−4741、X−22−9002(以上、信越化学工業社製)などが挙げられ、中でも脂環式エポキシ基を有するシリコーンの市販品である、X−22−169B、KF−102、X−62−7629、X62−7660、X−62−7622(以上、信越化学工業社製)、UV9300、UV9315、UV9430(以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製)、シリコリース(登録商標)UV Poly200、201、215(以上、荒川化学工業社製)などを好適に用いることができる。   It does not specifically limit as a silicone type additive used for this invention, The existing thing can be used. For example, as a commercially available silicone having a reactive functional group, X-22-170DX, X-22-3710, X-22-176DX, X-22-167B (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), BYK- Examples include UV3500, BYK-UV3505, BYK-UV3575 (manufactured by Big Chemie Japan). Examples of commercially available silicone additives having a cationic curable functional group include X-22-173BX, X-22-173DX, X-22-4741, X-22-9002 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), etc. X-22-169B, KF-102, X-62-7629, X62-7660, X-62-7622 (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), which are commercially available silicones having an alicyclic epoxy group. ), UV9300, UV9315, UV9430 (above, manufactured by Momentive Performance Materials), Silicolyse (registered trademark) UV Poly200, 201, 215 (above, made by Arakawa Chemical Industries, Ltd.), etc. .

フッ素系添加剤としては、特に限定されず既存のものを使用できる。例えば、パーフルオロ基を有するものやパーフルオルエーテル基を有するものが好適に使用できる。市販品としては、メガファック(登録商標)(DIC社製)や、オプツール(登録商標)(ダイキン工業社製)、エフクリア(登録商標)(関東電化工業社製)などが挙げられる。   The fluorine-based additive is not particularly limited, and existing ones can be used. For example, those having a perfluoro group and those having a perfluoroether group can be suitably used. Examples of commercially available products include MegaFac (registered trademark) (manufactured by DIC), OPTOOL (registered trademark) (manufactured by Daikin Industries, Ltd.), and Fclear (registered trademark) (manufactured by Kanto Denka Kogyo).

長鎖アルキル系添加剤としては、長鎖アルキル変性された樹脂を使用することができ、ポリビニルアルコールやアクリル樹脂などの側鎖に炭素数が8〜20程度のアルキル基を有するものが好ましい。また、(メタ)アクリル酸エステルを主な繰り返し単位とする重合体であり、エステル交換された部分に炭素数8〜20の長鎖アルキル基を含む共重合体も好適に使用することができる。市販されているものの例としては、ピーロイル(登録商標)1010、ピーロイル(登録商標)1050、ピーロイル(登録商標)1070など(以上、ライオン・スペシャリティケミカルズ社)、テスファイン(登録商標)305、テスファイン(登録商標)314(以上、日立化成社製)などが挙げられる。   As the long-chain alkyl-based additive, a long-chain alkyl-modified resin can be used, and those having an alkyl group having about 8 to 20 carbon atoms in the side chain such as polyvinyl alcohol and acrylic resin are preferable. Moreover, it is a polymer which has (meth) acrylic acid ester as a main repeating unit, and the copolymer which contains a C8-C20 long-chain alkyl group in the transesterified part can also be used conveniently. Examples of commercially available products include Pyroyl (registered trademark) 1010, Pyroyl (registered trademark) 1050, Pyroyl (registered trademark) 1070 (Lion Specialty Chemicals), Tessfine (registered trademark) 305, Tessfine. (Registered trademark) 314 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.).

また、上記離型剤を2種類以上混合して用いてもよいが、少なくとも1種類の離型剤は、シリコーン系添加剤であることが好ましく、カチオン硬化性官能基を有するシリコーンであることがより好ましく、脂環式エポキシ基を有するシリコーンであることが最も好ましい。少なくとも1種類の離型剤がシリコーン系添加剤であることで、剥離性に優れた離型層となるため好ましい。   Further, two or more kinds of the above releasing agents may be mixed and used, but at least one releasing agent is preferably a silicone-based additive, and preferably a silicone having a cationic curable functional group. More preferred is silicone having an alicyclic epoxy group. It is preferable that at least one type of release agent is a silicone-based additive because a release layer having excellent peelability can be obtained.

本発明における離型層には、離型剤bが離型層全体の固形分に対して0.1質量%以上、20質量%以下含まれることが好ましい。より好ましくは、0.5質量%以上、10質量%以下、さらに好ましくは、0.5質量%以上、5質量%以下である。0.1質量%よりも多くすることで離型性が付与され、セラミックグリーンシートの剥離性が悪化するおそれがなく好ましい。20質量%よりも少なくすることで、前記カチオン硬化性物質との分子間相互作用の低下が抑えられ、セラミックグリーンシートへの移行を引き起こす恐れがなくなるため好ましい。このとき、離型層全体の固形分とは、酸発生剤は乾燥工程や活性エネルギー線照射下において分解され、その離型相中に残存する微量な質量を正確に計算することは困難であるため、バインダー成分と離型剤の固形分の合計した値として表現している。   In the release layer in the present invention, the release agent b is preferably contained in an amount of 0.1% by mass or more and 20% by mass or less with respect to the solid content of the entire release layer. More preferably, they are 0.5 mass% or more and 10 mass% or less, More preferably, they are 0.5 mass% or more and 5 mass% or less. When the content is more than 0.1% by mass, releasability is imparted, and the peelability of the ceramic green sheet is not likely to deteriorate, which is preferable. When the amount is less than 20% by mass, a decrease in intermolecular interaction with the cationic curable substance is suppressed, and there is no possibility of causing a transition to a ceramic green sheet. At this time, the solid content of the entire release layer is that the acid generator is decomposed under the drying process or irradiation with active energy rays, and it is difficult to accurately calculate a small amount of mass remaining in the release phase. Therefore, it is expressed as a total value of the solid contents of the binder component and the release agent.

本発明における離型層には、粒径が1μm以下の粒子などを含有することができるが、ピンホール発生の観点から、意図せず望まずに混入している極僅かな不純物を除いては、粒子など突起を形成するものは含有しないほうが好ましく、その種類や粒径、形状に関わらず、無機粒子や有機粒子は、溶解性、非溶解性に関わらず、含有していないことが特に好ましい。   The release layer in the present invention can contain particles having a particle size of 1 μm or less, but from the viewpoint of pinhole generation, except for a few impurities that are unintentionally mixed in unintentionally. In addition, it is preferable not to include particles that form protrusions such as particles, and it is particularly preferable that inorganic particles and organic particles are not included regardless of the type, particle size, or shape, regardless of solubility or insolubility. .

本発明における離型層には、本発明の効果を阻害しない範囲であれば、密着向上剤や、帯電防止剤などの添加剤などを添加してもよい。また、基材との密着性を向上させるために、離型塗布層を設ける前にポリエステルフィルム表面に、アンカーコート、コロナ処理、プラズマ処理、大気圧プラズマ処理等の前処理をすることも好ましい。
(離型層の特徴)
In the release layer of the present invention, an additive such as an adhesion improver or an antistatic agent may be added as long as the effect of the present invention is not impaired. In order to improve the adhesion to the substrate, it is also preferable that the polyester film surface is subjected to pretreatment such as anchor coating, corona treatment, plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment, etc. before providing the release coating layer.
(Characteristics of release layer)

本発明において、離型層の厚みは、その使用目的に応じて設定すれば良く、特に限定されないが、好ましくは、硬化後の離型塗布層の厚みが0.01〜1.0μmとなる範囲がよく、より好ましくは、0.01〜0.5μmであり、0.01〜0.2μmであればより好ましく、0.02〜0.1μmであることが最も好適である。離型層の厚みが0.01μmより大きいと十分な剥離性能が得られるため好ましい。また、1.0μm以下であると、カールの欠点を生じ難い他、硬化に必要な活性エネルギー線照射量や熱量が増加することがないため、加工速度の低下を招くおそれがなく、経済面からも好ましい。   In the present invention, the thickness of the release layer may be set according to the purpose of use and is not particularly limited. Preferably, however, the thickness of the release coating layer after curing is in the range of 0.01 to 1.0 μm. More preferably, the thickness is 0.01 to 0.5 μm, more preferably 0.01 to 0.2 μm, and most preferably 0.02 to 0.1 μm. It is preferable that the thickness of the release layer is larger than 0.01 μm because sufficient peeling performance can be obtained. Moreover, since it is hard to produce the fault of curl as it is 1.0 micrometer or less, the active energy ray irradiation amount and heat amount required for hardening do not increase, there is no possibility of causing a reduction in processing speed, and from the economical aspect. Is also preferable.

本発明の離型フィルムの離型層表面は、その上で塗布・成型するセラミックグリーンシートに欠陥を発生させないために、平坦であることが望ましく、領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であることが好ましい。また、前記Saを満足し、かつ離型層表面の最大突起高さ(P)が100nm以下であることが更に好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)が5nm以下かつ最大突起高さ80nm以下であれば特に好ましい。領域表面粗さが7nm以下、且つ、最大突起高さが100nm以下であれば、セラミックグリーンシート形成時に、ピンホールなどの欠点の発生がなく、歩留まりが良好で好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であっても構わず、0.3nm以上であっても構わない。最大突起高さ(P)も小さいほど好ましいと言えるが、1nm以上でも構わず、3nm以上であっても構わない。   The surface of the release layer of the release film of the present invention is desirably flat so as not to cause defects in the ceramic green sheet applied and molded thereon, and the surface area average roughness (Sa) is 7 nm or less. Preferably there is. Further, it is more preferable that Sa is satisfied and the maximum protrusion height (P) on the surface of the release layer is 100 nm or less. It is particularly preferable if the area surface average roughness (Sa) is 5 nm or less and the maximum protrusion height is 80 nm or less. When the surface roughness of the region is 7 nm or less and the maximum protrusion height is 100 nm or less, there is no occurrence of defects such as pinholes when forming the ceramic green sheet, and the yield is favorable. It can be said that the smaller the surface average surface roughness (Sa), the better, but it may be 0.1 nm or more, or 0.3 nm or more. It can be said that the smaller the maximum protrusion height (P) is, the better, but it may be 1 nm or more, or 3 nm or more.

本発明の離型フィルムは、セラミックグリーンシートを剥離するときの剥離力が0.5mN/mm以上、3.0mN/mm以下であることが好ましい。より好ましくは、0.8mN/mm以上、2.5mN/mm以下である。剥離力が0.5mN/mm以上であると、剥離力が軽すぎて搬送時にセラミックグリーンシートが浮いてしまうおそれがなく好ましい。剥離力が3.0mN/mm以下であると剥離時にセラミックグリーンシートがダメージを受けるおそれがなく好ましい。The release film of the present invention preferably has a peeling force of 0.5 mN / mm 2 or more and 3.0 mN / mm 2 or less when peeling the ceramic green sheet. More preferably, it is 0.8 mN / mm 2 or more and 2.5 mN / mm 2 or less. A peeling force of 0.5 mN / mm 2 or more is preferable because the peeling force is too light and the ceramic green sheet is not likely to float during transportation. When the peeling force is 3.0 mN / mm 2 or less, the ceramic green sheet is preferably not damaged during peeling.

本発明の離型フィルムは、張力をかけずに100℃で15分加熱したあとのカールが3mm以下であることが好ましく、より好ましくは1mm以下である。もちろん、全くカールしないことも好ましい。3mm以下にすることでセラミックグリーンシートを成型し電極を印刷するときにカールが少なく印刷精度を高めることができるため好ましい。
(離型層の形成方法)
In the release film of the present invention, the curl after heating at 100 ° C. for 15 minutes without applying tension is preferably 3 mm or less, more preferably 1 mm or less. Of course, it is also preferable not to curl at all. The thickness of 3 mm or less is preferable because a ceramic green sheet is molded and an electrode is printed so that curling is less and printing accuracy can be improved.
(Formation method of release layer)

本発明において、離型層の形成方法は、特に限定されず離型性の樹脂等を含む組成物を溶解もしくは分散させた塗液を、基材のポリエステルフィルムの一方の面に塗布等により展開し、溶媒等を乾燥により除去、加熱乾燥した後、活性エネルギー線の照射や熱によって硬化させる方法が用いられる。   In the present invention, the method for forming the release layer is not particularly limited, and a coating solution in which a composition containing a releasable resin or the like is dissolved or dispersed is applied to one surface of the polyester film of the substrate by coating or the like. Then, after removing the solvent and the like by drying and drying by heating, a method of curing by irradiation with active energy rays or heat is used.

光酸発生剤を用いて硬化させる際には、加熱温度は50℃以上、110℃以下であることが好ましく、60℃以上、100℃以下であることがより好ましい。その加熱時間は、30秒以下が好ましく、20秒以下がより好ましい。110℃以下の場合、フィルムへの熱的な負荷が抑えれられ、フィルムの熱収縮等の外観不良が起きづらく、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こすおそれが小さく好ましい。100℃以下であるとフィルムへの熱的な負荷が更に低下し、フィルムの平面性を損なうことなく加工することができ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こすおそれが更に低下するので特に好ましい。50℃よりも高いと塗布する際に用いた希釈溶媒の乾燥が十分となり、工程汚染等が生じるおそれがなくなるため好ましい。   When curing using a photoacid generator, the heating temperature is preferably 50 ° C. or higher and 110 ° C. or lower, and more preferably 60 ° C. or higher and 100 ° C. or lower. The heating time is preferably 30 seconds or less, and more preferably 20 seconds or less. When the temperature is 110 ° C. or lower, the thermal load on the film can be suppressed, the appearance defect such as the heat shrinkage of the film is difficult to occur, and the possibility of causing uneven thickness of the ceramic green sheet is small. When the temperature is 100 ° C. or lower, the thermal load on the film is further reduced, the film can be processed without impairing the flatness of the film, and the possibility of causing uneven thickness of the ceramic green sheet is further reduced, which is particularly preferable. When the temperature is higher than 50 ° C., the diluted solvent used for coating is sufficiently dried, and there is no possibility of causing process contamination and the like, which is preferable.

光酸発生剤を用いてカチオン硬化性物質を反応させるために用いる活性エネルギー線としては、紫外線、電子線、X線などが使用することができるが、紫外線が使用しやすく好ましい。照射する紫外線量としては積算光量で10〜1000mJ/cmが好ましく、より好ましくは、15〜500mJ/cmであり、15〜100mJ/cmがさらに好ましい。10mJ/cm以上とすることで樹脂の硬化が十分に進行するため好ましい。1000mJ/cm以下とすることで加工時の速度を向上させることができるため経済的に離型フィルムを作成することができ好ましい。As active energy rays used for reacting a cationic curable substance with a photoacid generator, ultraviolet rays, electron beams, X-rays and the like can be used, but ultraviolet rays are preferred because they are easy to use. The amount of ultraviolet rays to be irradiated is preferably 10 to 1000 mJ / cm 2 in terms of integrated light quantity, more preferably 15 to 500 mJ / cm 2 , and further preferably 15 to 100 mJ / cm 2 . Setting it to 10 mJ / cm 2 or more is preferable because curing of the resin proceeds sufficiently. Since the speed at the time of a process can be improved by setting it as 1000 mJ / cm < 2 > or less, a release film can be produced economically and it is preferable.

本発明において、離型層を塗布するときの塗液の表面張力は、特に限定されないが30mN/m以下であることが好ましい。表面張力を前記のようにすることで、塗工後の塗れ性が向上し、乾燥後の塗膜表面の凹凸を低減することができる。   In the present invention, the surface tension of the coating liquid when applying the release layer is not particularly limited, but is preferably 30 mN / m or less. By making the surface tension as described above, the paintability after coating can be improved, and the unevenness of the coating film surface after drying can be reduced.

本発明において、離型塗布層を塗布するときの塗液には、特に限定されないが、沸点が90℃以上の溶剤を添加することが好ましい。沸点が90℃以上の溶剤を添加することで、乾燥時の突沸を防ぎ、塗膜をレベリングさせることができ、乾燥後の塗膜表面の平滑性を向上させることができる。その添加量としては、塗液全体に対し、10〜80質量%程度添加することが好ましい。   In the present invention, the coating liquid for applying the release coating layer is not particularly limited, but it is preferable to add a solvent having a boiling point of 90 ° C. or higher. By adding a solvent having a boiling point of 90 ° C. or higher, bumping at the time of drying can be prevented, the coating film can be leveled, and the smoothness of the coating film surface after drying can be improved. As the addition amount, it is preferable to add about 10-80 mass% with respect to the whole coating liquid.

上記塗液の塗布法としては、公知の任意の塗布法が適用出来、例えばグラビアコート法やリバースコート法などのロールコート法、ワイヤーバーなどのバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、等の従来から知られている方法が利用できる。   As the coating method of the coating liquid, any known coating method can be applied, for example, a roll coating method such as a gravure coating method or a reverse coating method, a bar coating method such as a wire bar, a die coating method, a spray coating method, an air knife. Conventionally known methods such as a coating method can be used.

以下に、実施例を用いて本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。本発明で用いた特性値は下記の方法を用いて評価した。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples. The characteristic values used in the present invention were evaluated using the following methods.

(ポリエステル樹脂の固有粘度(dl/g))
JIS K 7367−5に準拠し、溶媒としてフェノール(60質量%)と1,1,2,2-テトラクロロエタン(40質量%)の混合溶媒を用い、30℃で測定した。
(Intrinsic viscosity of polyester resin (dl / g))
According to JIS K 7367-5, a mixed solvent of phenol (60% by mass) and 1,1,2,2-tetrachloroethane (40% by mass) was used as a solvent, and the measurement was performed at 30 ° C.

(基材フィルム厚み)
ミリトロン(電子マイクロインジケーター)を用い、測定すべきフィルムの任意の4箇所より5cm角サンプル4枚を切
り取り、一枚あたり各5点(計20点)測定して平均値を厚みとした。
(Base film thickness)
Using a Millitron (electronic microindicator), four 5 cm square samples were cut from arbitrary four locations of the film to be measured, and each sample was measured at five points (20 points in total) to obtain the average value as the thickness.

(離型層の膜厚)
離型フィルムを任意の大きさに切り取った時のフィルム断面を、透過電子顕微鏡で観察し算出した値を離型層厚みとした。
(Film thickness of release layer)
The film cross section when the release film was cut to an arbitrary size was observed with a transmission electron microscope, and the calculated value was taken as the release layer thickness.

(表面粗さ)
非接触表面形状計測システム(菱化システム社製、VertScan R550H−M100)を用いて、下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)は、5回測定の平均値を採用し、最大突起高さ(P)は7回測定し最大値と最小値を除いた5回の最大値を使用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:10倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 936μm×702μm
(解析条件)
・面補正: 4次補正
・補間処理: 完全補間
(Surface roughness)
It is the value measured on condition of the following using a non-contact surface shape measurement system (Ryoka System make, VertScan R550H-M100). The average value of the area surface roughness (Sa) was an average value of 5 measurements, and the maximum protrusion height (P) was measured 7 times and the maximum value of 5 times excluding the maximum value and the minimum value was used.
(Measurement condition)
・ Measurement mode: WAVE mode ・ Objective lens: 10 times ・ 0.5 × Tube lens ・ Measurement area: 936 μm × 702 μm
(Analysis conditions)
・ Surface correction: 4th order correction ・ Interpolation processing: Complete interpolation

(接触角)
25℃、50%RHの条件下で接触角計(協和界面科学社製、全自動接触角計 DM−701)を用いて、静置した離型フィルムの離型面上にジヨードメタン(液滴量0.9μL)の液滴を作成しその接触角を測定した。接触角は離型フィルム上に滴下後30秒後の接触角を採用し、5回測定した値の平均値を採用した。
(Contact angle)
Using a contact angle meter (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd., fully automatic contact angle meter DM-701) under conditions of 25 ° C. and 50% RH, diiodomethane (droplet amount) 0.9 μL) droplets were prepared and their contact angles were measured. As the contact angle, the contact angle 30 seconds after dropping onto the release film was adopted, and the average value of the values measured five times was adopted.

(トルエン浸漬後の接触角)
測定に用いる離型フィルムを5cm×5cmの大きさに切り取り、液温25℃のトルエン30mLが入ったガラス製のトレーの中に、離型面を下にして5分間浸漬させた。浸漬した離型フィルムを取り出し離型面を上にして15分間風乾した後、25℃で1晩真空乾燥させた。こうして得たトルエン浸漬後の離型フィルムを前記接触角の測定方法と同様の方法にて測定した。
(Contact angle after immersion in toluene)
The release film used for the measurement was cut into a size of 5 cm × 5 cm and immersed in a glass tray containing 30 mL of toluene at a liquid temperature of 25 ° C. with the release surface facing down for 5 minutes. The immersed release film was taken out and air-dried for 15 minutes with the release surface facing up, and then vacuum-dried at 25 ° C. overnight. The release film after immersion in toluene thus obtained was measured by the same method as the method for measuring the contact angle.

(接触角変化の評価)
前記方法にて測定したトルエン浸漬前の初期の離型層表面のジヨードメタン接触角をθ、トルエン浸漬後の離型層表面のジヨードメタン接触角をθとした時の、θ1−θの絶対値の値をトルエン浸漬前後の接触角変化の値とした。以下の基準で接触角変化の評価を行った。
◎:|θ1―θ2| < 1.0°
○:1.0°≦ |θ1―θ2| < 2.0°
△:2.0°≦ |θ1―θ2| ≦ 3.0°
×:|θ1―θ2| > 3.0°
(Evaluation of contact angle change)
Theta 1 diiodomethane contact angle measurements toluene before immersion initial release layer surface by the method, when the diiodomethane contact angle of the release layer surface after toluene immersion was theta 2, the theta 1 - [theta] 2 The absolute value was defined as the change in contact angle before and after immersion in toluene. The contact angle change was evaluated according to the following criteria.
◎: | θ 1 −θ 2 | <1.0 °
○: 1.0 ° ≦ | θ 1 −θ 2 | <2.0 °
Δ: 2.0 ° ≦ | θ 1 −θ 2 | ≦ 3.0 °
×: | θ 1 −θ 2 |> 3.0 °

(セラミックグリーンシートのピンホール評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、直径0.5mmのジルコニアビーズを分散質とするビーズミルを用いて30分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール 3.5質量部
(積水化学社製 エスレック(登録商標)BM−S)
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが0.8μmの厚みになるように塗布し90℃で1分乾燥後、離型フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。
得られたセラミックグリーンシートのフィルム幅方向の中央領域において25cmの範囲でセラミックスラリーの塗布面の反対面から光を当て、光が透過して見えるピンホールの発生状況を観察し、下記基準で目視判定した。測定は5回実施し、その平均値を採用した。
◎:ピンホールの発生なし
○:ピンホールの発生がほぼなし(目安:ピンホールが測定面積当たり2個以下)
△:ピンホールの発生があり(目安:ピンホールが測定面積当たり5個以下)
×:ピンホールの発生が多数あり
(Ceramic green sheet pinhole evaluation)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed, and dispersed for 30 minutes using a bead mill having zirconia beads having a diameter of 0.5 mm as a dispersoid to obtain a ceramic slurry.
Toluene 76.3 parts by mass Ethanol 76.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 35.0 parts by mass Polyvinyl butyral 3.5 parts by mass (Esreck (registered trademark) BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.)
DOP (dioctyl phthalate) 1.8 parts by mass Next, the obtained release film sample was applied to the release surface using an applicator so that the dried slurry had a thickness of 0.8 μm and dried at 90 ° C. for 1 minute. Thereafter, the release film was peeled off to obtain a ceramic green sheet.
In the central region in the film width direction of the obtained ceramic green sheet, light was applied from the opposite side of the ceramic slurry coating surface within a range of 25 cm 2 , and the occurrence of pinholes through which light was transmitted was observed. Visual judgment was made. The measurement was performed 5 times and the average value was adopted.
A: No occurrence of pinholes O: No occurrence of pinholes (Guideline: 2 or less pinholes per measurement area)
Δ: Pinholes are generated (reference: 5 pinholes per measurement area or less)
×: Many pinholes are generated

(セラミックグリーンシートの剥離性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、直径0.5mmのジルコニアビーズを分散質とするビーズミルを用いて60分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 38.3質量部
エタノール 38.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 64.8質量部
ポリビニルブチラール 6.5質量部
(積水化学社製 エスレック(登録商標)BM−S)
DOP(フタル酸ジオクチル) 3.3質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが10μmの厚みになるように塗布し90℃で2分乾燥しセラミックグリーンシートを離型フィルム上に成型した。得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを除電機(キーエンス社製、SJ−F020)を用いて除電した後に、高速剥離試験機(テスター産業社製、TE−701)を用いて、30mmの幅で剥離角度90度、剥離速度10m/minで剥離した。剥離はセラミックグリーンシート面を固定し、離型フィルム面を引っ張る方向で剥離した。この時の剥離時にかかる応力を測定し剥離力とした。
(Evaluation of peelability of ceramic green sheets)
A composition comprising the following materials was stirred and mixed, and dispersed for 60 minutes using a bead mill having zirconia beads having a diameter of 0.5 mm as a dispersoid to obtain a ceramic slurry.
Toluene 38.3 parts by mass Ethanol 38.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 64.8 parts by mass Polyvinyl butyral 6.5 parts by mass (Sekisui Chemical Co., Ltd. ESREC (registered trademark) BM-S)
3.3 parts by mass of DOP (dioctyl phthalate) Next, using an applicator, the resulting release film sample was coated so that the dried slurry had a thickness of 10 μm and dried at 90 ° C. for 2 minutes to give a ceramic. A green sheet was molded on the release film. The obtained release film with a ceramic green sheet was neutralized using a static eliminator (Keyence Co., SJ-F020), and then 30 mm wide using a high-speed peel tester (Tester Sangyo Co., Ltd., TE-701). Was peeled at a peeling angle of 90 degrees and a peeling speed of 10 m / min. Peeling was performed in a direction in which the ceramic green sheet surface was fixed and the release film surface was pulled. The stress applied at the time of peeling at this time was measured and taken as the peeling force.

(離型フィルムのカール評価)
離型フィルムサンプルを10cm×10cmサイズにカットし、離型フィルムに張力がかからないようにして熱風オーブンで100℃15分間熱処理を行った。その後、オーブンから取り出し室温まで冷却したのち、離型面が上になるようにガラス板の上に離型フィルムサンプルを置いた。この時のガラス板から各角頂点部までの高さを測定し、以下の判断基準でカール性の評価を行った。
◎:各角部の総和が1mm以下
○:各角部の総和が1mmよりも大きく、3mm以下。
△:各角部の総和が3mmよりも大きく、10mm以下。
×:各角部の総和カールが10mmよりも大きい。
(Curl evaluation of release film)
The release film sample was cut into a size of 10 cm × 10 cm, and heat-treated at 100 ° C. for 15 minutes in a hot air oven so that no tension was applied to the release film. Then, after taking out from oven and cooling to room temperature, the release film sample was set | placed on the glass plate so that a release surface might become upper. The height from the glass plate at this time to each corner apex was measured, and the curl was evaluated according to the following criteria.
A: Sum of each corner is 1 mm or less. O: Sum of each corner is larger than 1 mm and 3 mm or less.
(Triangle | delta): The sum total of each corner | angular part is larger than 3 mm, and is 10 mm or less.
X: The total curl of each corner is larger than 10 mm.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(I))の調製)
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(I)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (I)))
As the esterification reaction apparatus, a continuous esterification reaction apparatus comprising a three-stage complete mixing tank having a stirrer, a partial condenser, a raw material charging port and a product outlet was used. TPA (terephthalic acid) is 2 tons / hour, EG (ethylene glycol) is 2 moles per mole of TPA, antimony trioxide is made into an amount that makes Sb atoms 160 ppm with respect to the produced PET, and these slurries are esterified. Was continuously supplied to the first esterification reactor of the chemical reaction apparatus, and allowed to react at 255 ° C. at an average residence time of 4 hours at normal pressure. Next, the reaction product in the first esterification reaction can is continuously taken out of the system and supplied to the second esterification reaction can, and is distilled off from the first esterification reaction can in the second esterification reaction can. EG solution containing magnesium acetate tetrahydrate in an amount of 65 ppm of Mg atoms to the generated PET, and 40 ppm of P atoms to the generated PET An EG solution containing a certain amount of TMPA (trimethyl phosphate) was added and reacted at 260 ° C. at normal pressure for an average residence time of 1 hour. Next, the reaction product of the second esterification reaction can was continuously taken out of the system and supplied to the third esterification reaction can, and 39 MPa (400 kg / cm 2 ) using a high pressure disperser (manufactured by Nippon Seiki Co., Ltd.). An average particle of 0.2 mass% of porous colloidal silica having an average particle diameter of 0.9 μm and an ammonium salt of polyacrylic acid adhered to 1 mass% of calcium carbonate, which was dispersed at an average number of treatments of 5 passes under the pressure of While adding 0.4% by mass of synthetic calcium carbonate having a diameter of 0.6 μm as an EG slurry of 10%, the reaction was carried out at 260 ° C. at an average residence time of 0.5 hours at normal pressure. The esterification reaction product produced in the third esterification reaction can was continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reaction apparatus to perform polycondensation, and sintered with a stainless steel fiber having a 95% cut diameter of 20 μm. After filtering with a filter, ultrafiltration was performed and extruded into water, and after cooling, it was cut into chips to obtain PET chips with an intrinsic viscosity of 0.60 dl / g (hereinafter referred to as PET (I)). . The lubricant content in the PET chip was 0.6% by mass.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(II))の調製)
一方、上記PETチップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の無機粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(II)と略す。)。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (II)))
On the other hand, in the production of the above PET chip, a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.62 dl / g containing no inorganic particles such as calcium carbonate and silica was obtained (hereinafter abbreviated as PET (II)).

(積層フィルムX1の製造)
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流して、PET(I)を表面層B(反離型面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャスティング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(I)/PET(II)=60%/40%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX1を得た。得られたフィルムX1の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは28nmであった。
(Manufacture of laminated film X1)
These PET chips were dried, melted at 285 ° C., melted at 290 ° C. with a separate melt extruder extruder, sintered with stainless steel fibers having a 95% cut diameter of 15 μm, and a 95% cut diameter Two-stage filtration of a 15 μm stainless steel particle-sintered filter is performed and merged in the feed block, PET (I) is surface layer B (reverse mold release side layer), and PET (II) is surface Laminated so as to be layer A (release surface side layer), extruded (casting) into a sheet at a speed of 45 m / min, electrostatically adhered and cooled on a casting drum at 30 ° C. by electrostatic adhesion method, An unstretched polyethylene terephthalate sheet having an intrinsic viscosity of 0.59 dl / g was obtained. The layer ratio was adjusted so that PET (I) / PET (II) = 60% / 40% in the discharge amount calculation of each extruder. Next, this unstretched sheet was heated with an infrared heater and then stretched 3.5 times in the longitudinal direction at a roll temperature of 80 ° C. due to the speed difference between the rolls. Thereafter, the film was guided to a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction at 140 ° C. Subsequently, it heat-processed at 210 degreeC in the heat setting zone. Thereafter, a relaxation treatment of 2.3% was performed at 170 ° C. in the transverse direction to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X1 having a thickness of 31 μm. Sa of surface layer A of the obtained film X1 was 2 nm, and Sa of surface layer B was 28 nm.

(積層フィルムX2の製造)
積層フィルムX1と同様の層構成、延伸条件は変更せずに、キャスティング時の速度を変更することで厚みを調整し、25μmの厚みの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX2を得た。得られたフィルムX2の表面層AのSaは3nm、表面層BのSaは29nmであった。
(Manufacture of laminated film X2)
The layer configuration and stretching conditions similar to those of the laminated film X1 were not changed, but the thickness was adjusted by changing the speed during casting to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X2 having a thickness of 25 μm. Sa of surface layer A of the obtained film X2 was 3 nm, and Sa of surface layer B was 29 nm.

(積層フィルムX3)
積層フィルムX3としては、厚み25μmのE5101(東洋紡エステル(登録商標)フィルム、東洋紡社製)を使用した。E5101は、フィルム中に無機粒子を含有した構成になっている。積層フィルムX3の表面層AのSaは24nm、表面層BのSaは24nmであった。
(Laminated film X3)
As the laminated film X3, E5101 (Toyobo Ester (registered trademark) film, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm was used. E5101 has a structure in which inorganic particles are contained in the film. Sa of surface layer A of laminated film X3 was 24 nm, and Sa of surface layer B was 24 nm.

(実施例1)
積層フィルムX1の表面層A上に以下組成の塗布液をワイヤーバーを用いて乾燥後の離型層膜厚が50nmになるように塗工し、90℃で15秒乾燥した後、積算光量が70mJ/cmの紫外線を紫外線照射機(ヘレウス社製、LC6B、Hバルブ)を用いて照射することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムにセラミックスラリーを塗工し、離型層表面粗さ、剥離性、トルエン浸漬後の接触角変化、ピンホール、カール、などを評価したところ、良好な評価結果が得られた。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:3',4'-エポキシシクロヘキシルメチル3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート 0.90質量部
(製品名:セロキサイド(登録商標)2021P、ダイセル社製、固形分100質量%、2官能)
離型剤b:脂環式エポキシ基含有ポリジメチルシロキサン
0.10質量部
(製品名、UV Poly215、荒川化学工業社製、固形分100%)
酸発生剤:ホウ素系カチオン硬化UV触媒 0.26質量部
(製品名:UV CATA211、有効成分19質量%、荒川化学工業社製)
(Example 1)
On the surface layer A of the laminated film X1, a coating solution having the following composition is applied using a wire bar so that the release layer thickness after drying is 50 nm and dried at 90 ° C. for 15 seconds. A release film for producing an ultra-thin ceramic green sheet was obtained by irradiating with 70 mJ / cm 2 ultraviolet rays using an ultraviolet irradiator (LC6B, H bulb manufactured by Heraeus). When a ceramic slurry was applied to the obtained release film and the release layer surface roughness, peelability, contact angle change after immersion in toluene, pinholes, curls, etc. were evaluated, good evaluation results were obtained. It was.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a consisting of a cationic curable substance: 3 ', 4'-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexanecarboxylate 0.90 parts by mass
(Product name: Celoxide (registered trademark) 2021P, manufactured by Daicel, solid content of 100% by mass, bifunctional)
Release agent b: Polydimethylsiloxane containing alicyclic epoxy group
0.10 parts by mass (product name, UV Poly215, manufactured by Arakawa Chemical Industries, solid content 100%)
Acid generator: Boron-based cationic curing UV catalyst 0.26 parts by mass (Product name: UV CATA211, active ingredient 19% by mass, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.)

(実施例2)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.86質量部
ブタンテトラカルボン酸 テトラ(3,4-エポキシシクロヘキシルメチル修飾
ε−カプロラクトン 0.04質量部
(製品名:エポリード(登録商標)GT401、ダイセル社製、固形分100%、4官能)
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
(Example 2)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Celoxide (registered trademark) 2021P 0.86 parts by mass
Butanetetracarboxylic acid tetra (3,4-epoxycyclohexylmethyl modified ε-caprolactone 0.04 parts by mass
(Product name: Epolide (registered trademark) GT401, manufactured by Daicel, solid content 100%, tetrafunctional)
Release agent b: UV Poly215 0.10 parts by mass Acid generator: UV CATA211 (active ingredient 19% by mass)
0.26 parts by mass

(実施例3)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(塗布液3)
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.63質量部
エポリード(登録商標)GT401 0.27質量部
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
(Example 3)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
(Coating liquid 3)
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Celoxide (registered trademark) 2021P 0.63 parts by mass
Epolide (registered trademark) GT401 0.27 parts by mass Release agent b: UV Poly215 0.10 parts by mass Acid generator: UV CATA211 (active ingredient 19% by mass)
0.26 parts by mass

(実施例4)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.45質量部
エポリード(登録商標)GT401 0.45質量部
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
(Example 4)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Celoxide (registered trademark) 2021P 0.45 parts by mass
Epolide (registered trademark) GT401 0.45 parts by mass Release agent b: UV Poly215 0.10 parts by mass Acid generator: UV CATA211 (active ingredient 19% by mass)
0.26 parts by mass

(実施例5)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.86質量部
2−エチルヘキシルオキセタン 0.04質量部
(製品名:アロンオキセタン(登録商標)OXT−221、東亜合成社製、固形分100質量%、2官能)
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
(Example 5)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Celoxide (registered trademark) 2021P 0.86 parts by mass
0.04 part by mass of 2-ethylhexyloxetane
(Product name: Aron Oxetane (registered trademark) OXT-221, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd., solid content 100% by mass, bifunctional)
Release agent b: UV Poly215 0.10 parts by mass Acid generator: UV CATA211 (active ingredient 19% by mass)
0.26 parts by mass

(実施例6)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
エポリード(登録商標)GT401 0.90質量部
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
(Example 6)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Epolide (registered trademark) GT401 0.90 parts by mass Release agent b: UV Poly215 0.10 parts by mass Acid generator: UV CATA211 (active ingredient 19% by mass)
0.26 parts by mass

(実施例7)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
多官能脂環式エポキシ基含有ポリマー 0.90質量部
(製品名:EHPE(登録商標)3150、ダイセル社製、固形分100質量%、多官能)
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
光酸発生剤:ヘキサフルオロアンチモネートトリアリールスルフォニウム塩
0.10質量部
(製品名:CPI(登録商標)101A、有効成分50質量%、サンアプロ社製)
(Example 7)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
0.90 parts by mass of polyfunctional alicyclic epoxy group-containing polymer
(Product name: EHPE (registered trademark) 3150, manufactured by Daicel Corporation, solid content 100% by mass, multifunctional)
Release agent b: UV Poly215 0.10 parts by mass Photoacid generator: hexafluoroantimonate triarylsulfonium salt
0.10 parts by mass (product name: CPI (registered trademark) 101A, active ingredient 50% by mass, manufactured by San Apro)

(実施例8)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.90質量部
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
光酸発生剤:ヘキサフルオロアンチモネートトリアリールスルフォニウム塩
0.10質量部
(製品名:CPI(登録商標)101A、有効成分50質量%、サンアプロ社製)
(Example 8)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Celoxide (registered trademark) 2021P 0.90 parts by mass Release agent b: UV Poly215 0.10 parts by mass Photoacid generator: hexafluoroantimonate triarylsulfonium salt
0.10 parts by mass (product name: CPI (registered trademark) 101A, active ingredient 50% by mass, manufactured by San Apro)

(実施例9)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.90質量部
離型剤b:UV Poly215 0.05質量部
アクリロイル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン
0.05質量部
(製品名:BYK−UV3500、ビックケミー・ジャパン社製、固形分100%)
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
Example 9
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Celoxide (registered trademark) 2021P 0.90 parts by mass Release agent b: 0.05 parts by mass of UV Poly215
Polyether-modified polydimethylsiloxane containing acryloyl groups
0.05 parts by mass (Product name: BYK-UV3500, manufactured by Big Chemie Japan, solid content 100%)
Acid generator: UV CATA211 (active ingredient 19% by mass)
0.26 parts by mass

(実施例10)
実施例1の離型剤bを下記のように調製して得た長鎖アルキル基含有離型剤に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(長鎖アルキル基含有離型剤の調製方法)
ステアリルアクリレート95モル%とヒドロキシエチル(メタ)アクリレート5モル%の比になるように混合し、固形分濃度が40質量%になるようにトルエンで希釈し、窒素気流下でアゾビスイソブチロニトリルを0.5モル%添加し共重合させ、離型剤Aを得た。このとき得られたポリマーの重量平均分子量は30000であった。
(Example 10)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the release agent b of Example 1 was changed to a long-chain alkyl group-containing release agent obtained as follows. Obtained.
(Preparation method of long-chain alkyl group-containing release agent)
Mix in a ratio of 95 mol% stearyl acrylate and 5 mol% hydroxyethyl (meth) acrylate, dilute with toluene to a solids concentration of 40% by mass, and azobisisobutyronitrile under nitrogen flow. Was added at 0.5 mol% for copolymerization to obtain release agent A. The weight average molecular weight of the polymer obtained at this time was 30000.

(実施例11)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.90質量部
離型剤b:片末端エポキシ変性ポリジメチルシロキサン
0.10質量部
(製品名:X22−173DX、信越化学工業社製、固形分100%)
酸発生剤:UV CATA211 0.26質量部
(Example 11)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Celoxide (registered trademark) 2021P 0.90 parts by weight Release agent b: One-end epoxy-modified polydimethylsiloxane
0.10 parts by mass (Product name: X22-173DX, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., solid content 100%)
Acid generator: 0.26 parts by mass of UV CATA211

(実施例12)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.90質量部
離型剤b:パーフルオロ系離型剤 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
(Example 12)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Celoxide (registered trademark) 2021P 0.90 parts by weight Release agent b: Perfluoro-type release agent 0.10 parts by weight Acid generator: UV CATA211 (active ingredient 19% by weight)
0.26 parts by mass

(実施例13)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.95質量部
離型剤b:UV Poly215 0.05質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
(Example 13)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Celoxide (registered trademark) 2021P 0.95 parts by weight Release agent b: UV Poly215 0.05 parts by weight Acid generator: UV CATA211 (active ingredient 19% by weight)
0.26 parts by mass

(実施例14)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.80質量部
離型剤b:UV Poly215 0.20質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
(Example 14)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Celoxide (registered trademark) 2021P 0.80 parts by mass Release agent b: UV Poly215 0.20 parts by mass Acid generator: UV CATA211 (active ingredient 19% by mass)
0.26 parts by mass

(実施例15)
実施例1のフィルム厚みが25μmの積層フィルムX2に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 15)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the film thickness of Example 1 was changed to the laminated film X2 having a thickness of 25 μm.

(実施例16)
離型層膜厚が30nmになるように塗工した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 16)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that coating was performed so that the release layer thickness was 30 nm.

(実施例17)
離型層膜厚が200nmになるように塗工した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 17)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that coating was performed so that the release layer thickness was 200 nm.

(実施例18)
離型層膜厚が0.8μmになるように塗工した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 18)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that coating was performed so that the release layer thickness was 0.8 μm.

(比較例1)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 1.00質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
(Comparative Example 1)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid was changed to the coating composition shown below.
Methyl ethyl ketone 49.43 parts by mass Toluene 49.43 parts by mass Binder a comprising a cationic curable substance:
Celoxide (registered trademark) 2021P 1.00 parts by mass Acid generator: UV CATA211 (active ingredient 19% by mass)
0.26 parts by mass

(比較例2)
積層フィルムX1の代わりに、積層フィルムX3(E5101−25μm、東洋紡製)に変更した以外は、実施例1と同様の方法で超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。E5101は、表面層A、表面層Bともに無機粒子を含有しており、表面層A、表面層Bの両層のSaがともに24nmであった。
(Comparative Example 2)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the laminated film X1 was changed to a laminated film X3 (E5101-25 μm, manufactured by Toyobo Co., Ltd.). E5101 contained inorganic particles in both the surface layer A and the surface layer B, and the Sa of both the surface layer A and the surface layer B was 24 nm.

(比較例3)
下記に示した組成である塗布液に変更し、離型層の膜厚が0.8μmになるように塗工した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 44.75質量部
トルエン 44.75質量部
光ラジカル硬化性物質からなるバインダー:
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
9.90質量部
(製品名:A−DPH、新中村化学工業社製、固形分100質量%)
離型剤b:BYK−UV3500 0.10質量部
光ラジカル重合開始剤:
メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン
0.50質量部
(製品名:IRGACURE(登録商標)907、BASF社製、有効成分100質量%)
(Comparative Example 3)
Mold release for producing ultra-thin ceramic green sheets in the same manner as in Example 1 except that the coating solution was changed to the composition shown below and coating was performed so that the film thickness of the release layer was 0.8 μm. A film was obtained.
Methyl ethyl ketone 44.75 parts by mass Toluene 44.75 parts by mass Binder comprising a photo-radical curable substance:
Dipentaerythritol hexaacrylate
9.90 parts by mass
(Product name: A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., solid content 100% by mass)
Release agent b: BYK-UV3500 0.10 parts by mass Photoradical polymerization initiator:
Methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one
0.50 parts by mass (Product name: IRGACURE (registered trademark) 907, manufactured by BASF, 100% by mass of active ingredient)

Figure 2019073875
Figure 2019073875

Figure 2019073875
Figure 2019073875

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、離型層表面が大変平滑であり、かつ有機溶剤によって離型層が浸食されるおそれがないため、厚みが1μm以下の超薄層でも剥離力が低くピンホールなどの欠点が少ないセラミックグリーンシートを成型することが可能である。また、硬化収縮の小さいカチオン硬化性物質を用いることで、カール等の外観不良が抑制されるため、電極印刷の精度が低下するおそれのないセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供することができる。
The release film for producing the ceramic green sheet of the present invention has a very smooth release layer surface and there is no risk of the release layer being eroded by an organic solvent. It is possible to mold a ceramic green sheet that is low and has few defects such as pinholes. Further, by using a cationic curable substance having a small curing shrinkage, it is possible to provide a release film for producing a ceramic green sheet that does not cause a decrease in the accuracy of electrode printing because appearance defects such as curling are suppressed. .

Claims (9)

無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有するポリエステルフィルムの前記表面層A上に離型層を設けた離型フィルムであって、前記離型層がカチオン硬化性物質を含むバインダーaおよび1種類以上の離型剤bを含む組成物が硬化されてなるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   A release film in which a release layer is provided on the surface layer A of a polyester film having a surface layer A substantially free of inorganic particles, wherein the release layer contains a cationic curable substance. And a release film for producing a ceramic green sheet obtained by curing a composition containing at least one release agent b. 離型層表面のジヨードメタン接触角θ1とトルエン浸漬後の離型層表面のジヨードメタン接触角θ2の差が絶対値として3.0°以下である請求項1に記載セラミックグリーンシート製造用離型フィルム。2. The mold release for producing ceramic green sheets according to claim 1, wherein a difference between the diiodomethane contact angle θ 1 of the release layer surface and the diiodomethane contact angle θ 2 of the release layer surface after immersion in toluene is 3.0 ° or less in absolute value. the film. 少なくとも1種類の離型剤bが、シリコーン骨格を含む化合物である請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1 or 2, wherein at least one release agent b is a compound containing a silicone skeleton. カチオン硬化性物質を含むバインダーaが離型層の全固形分中80質量%以上含む請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the binder a containing a cationic curable substance contains 80% by mass or more in the total solid content of the release layer. カチオン硬化性物質を含むバインダーaが、分子内に脂環式エポキシ基を有する化合物及びオキセタン環を有する化合物から選ばれる少なくとも1つの化合物を含有する請求項1〜4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The ceramic green according to any one of claims 1 to 4, wherein the binder a containing a cationic curable substance contains at least one compound selected from a compound having an alicyclic epoxy group in its molecule and a compound having an oxetane ring. Release film for sheet manufacturing. 離型剤bの少なくとも1種類が、脂環式エポキシ基を含有するシリコーンである請求項1〜5のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 5, wherein at least one of the release agents b is a silicone containing an alicyclic epoxy group. 離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、かつ最大突起高さ(P)が100nm以下である請求項1〜6のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The mold release for producing ceramic green sheets according to any one of claims 1 to 6, wherein the average surface roughness (Sa) of the release layer surface is 7 nm or less and the maximum protrusion height (P) is 100 nm or less. the film. 0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法であって、請求項1〜7のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いるセラミックグリーンシートの製造方法。   It is a manufacturing method of the ceramic green sheet which has thickness of 0.2 micrometer-1.0 micrometer, Comprising: The manufacturing method of the ceramic green sheet using the release film for ceramic green sheet manufacture in any one of Claims 1-7. 請求項8に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。
The manufacturing method of the ceramic capacitor which employ | adopts the manufacturing method of the ceramic green sheet of Claim 8.
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