JPWO2019009345A1 - 摺動部材 - Google Patents

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Abstract

【課題】摺動面に形成された複数のディンプルの性能を十分に引き出すことができ、延いては潤滑性能及び密封性能を向上させた摺動部品を提供することを目標とする。【解決手段】互いに相対摺動する摺動面Ｓを有する一対の摺動部品であって、少なくとも一方側の摺動面Ｓは、複数のディンプル１０を備え、ディンプル１０は、凹部１５と、凹部１５の外周部に、かつ、凹部１５より浅い周縁部１１と、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、たとえば、メカニカルシール、すべり軸受、その他、摺動部に適した摺動部
品に関する。特に、摺動面に流体を介在させて摩擦を低減させるとともに、摺動面から流
体が漏洩するのを防止するための密封環または軸受などの摺動部品に関する。
メカニカルシール等の摺動部にディンプルと呼ばれる凹部を設け、潤滑性や密封性を向上させることがしばしば行われている。（特許文献１、特許文献２）
特開２００３−３４３７４１号公報 特許５５１８５２７号公報
近年、ノンフロン冷媒としてＣＯ２等の自然冷媒の普及が進んでいる。しかし、これら自然冷媒の使用圧力は非常に高く、従来のディンプルを設けたメカニカルシールでは焼き付き等が発生し、十分な密封性を発揮できない場合がある。
本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、摺動面に形成された複数のディンプルの性能を十分に引き出すことができ、延いては潤滑性能及び密封性能を向上させた摺動部品を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、本発明の摺動部品は、
互いに相対摺動する摺動面を有する一対の摺動部品であって、少なくとも一方側の摺動面は、複数のディンプルを備え、
前記ディンプルは、凹部と、前記凹部の外周部に、かつ、前記凹部より浅い周縁部と、を備えることを特徴としている。
この特徴によれば、凹部の外周部の浅い周縁部に高い圧力を発生させて、凹部による流体潤滑効果及び密封効果をさらに向上させ、密封性及び潤滑性に優れた摺動部品を提供することができる。
本発明の摺動部品は、
前記周縁部は、前記摺動面に連なり前記凹部の壁部より小さな勾配を有する傾斜壁部を備えることを特徴としている。
この特徴によれば、凹部の外周部の傾斜壁部によって形成されるくさび部を利用してさらに高い圧力発生させて、ディンプルの流体潤滑効果及び密封効果を高めることができる。
本発明の摺動部品は、
前記傾斜壁部は、少なくとも一部に曲面を備えることを特徴としている。
この特徴によれば、曲面を利用して極めて小さな勾配を容易に形成することができる。
本発明の摺動部品は、
前記周縁部の前記勾配は１／１００以下であることを特徴としている。
この特徴によれば、周縁部は小さな勾配を有するくさび部を常に形成でき、確実に高圧を発生させることができる。
本発明の摺動部品は、
前記周縁部は、レイリーステップ又は逆レイリーステップを備えることを特徴としている。
この特徴によれば、逆レイリーステップにより流体を吸込み、レイリーステップにより高圧を発生させ、ディンプルの流体潤滑効果及び密封効果を高めることができる。
本発明の摺動部品は、
前記凹部の深さをＧ、前記摺動面における前記凹部の開口径をＤとしたとき、前記深さと前記開口径との比Ｇ／Ｄは０．２５から１であることを特徴としている。
この特徴によれば、凹部に貯蔵された流体を周縁部に供給して周縁部で流体膜を形成することができる。
本発明の摺動部品は、
前記周縁部の巾をＥとしたき、前記巾と前記開口径との比Ｅ／Ｄは０．１５から０．５であることを特徴としている。
この特徴によれば、高圧を発生する周縁部の面積を大きくして負荷容量を高めることができる。
本発明の摺動部品は、
前記凹部の前記深さＧは５μｍから５０μｍであることを特徴としている。
凹部に貯められた流体を周縁部に十分に供給して、周縁部に高い圧力の流体膜を形成することができる。
本発明に係る摺動部品を適用したメカニカルシールの一例を示す縦断面図である。 図１のＷ−Ｗ矢視図であり、本発明の実施例１に係る摺動部品の摺動面の一例である。 図２の断面Ａ−Ａであり、本発明の実施例１に係るディンプルの断面形状を示す。 本発明の実施例１に係るディンプルにおける圧力分布を示す図である。 図２の断面Ａ−Ａであり、本発明の実施例２に係るディンプルの断面形状を示す。 図２の断面Ａ−Ａであり、本発明の実施例３に係るディンプルの断面形状を示す。 （ａ）は図５のＣ部の変形例、（ｂ）は図６のＤ部の変形例を示す。
本発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置などは、特に明示的な記載がない限り、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
図１ないし図４を参照して、本発明の実施例１に係る摺動部品について説明する。なお、以下の実施例においては、摺動部品の一例であるメカニカルシールを例にして説明するが、これに限定されることなく、例えば、円筒状摺動面の軸方向一方側に潤滑油を密封しながら回転軸と摺動する軸受の摺動部品として利用することも可能である。なお、メカニカルシールを構成する摺動部品の外周側を高圧流体側（被密封流体側）、内周側を低圧流体側（漏れ側）として説明する。
図１は、メカニカルシール１の一例を示す縦断面図であって、摺動面の外周から内周方向に向かって漏れようとする高圧流体側の被密封流体を密封する形式のインサイド形式のものであり、高圧流体側のポンプインペラ（図示省略）を駆動させる回転軸９側にスリーブ２を介してこの回転軸９と一体的に回転可能な状態に設けられた一方の摺動部品である円環状の回転側密封環３と、ポンプのハウジング４に非回転状態かつ軸方向移動可能な状態で設けられた他方の摺動部品である円環状の固定側密封環５とが設けられ、固定側密封環５を軸方向に付勢するコイルドウェーブスプリング６及びベローズ７によって、摺動面Ｓ同士で密接摺動するようになっている。すなわち、このメカニカルシールは、回転側密封環３と固定側密封環５との互いの摺動面Ｓにおいて、被密封流体が回転軸９の外周側から内周側へ流出するのを防止するものである。なお、図１では、回転側密封環３の摺動面の幅が固定側密封環５の摺動面の幅より広い場合を示しているが、これに限定されることなく、逆の場合においても本発明を適用できることはもちろんである。
回転側密封環３及び固定側密封環５の材質は、耐摩耗性に優れた炭化ケイ素（ＳｉＣ）及び自己潤滑性に優れたカーボンなどから選定されるが、例えば、両者がＳｉＣ、あるいは、回転側密封環３がＳｉＣであって固定側密封環５がカーボンの組合せが可能である。相対摺動する回転側密封環３あるいは固定側密封環５の少なくともいずれか一方の摺動面には、ディンプルが配設される。
本発明において、「ディンプル」とは、平坦な摺動面Ｓ（ランド部）に囲まれた開口部を有し、摺動面Ｓよりへこんだ底部を有する窪みのことであり、その形状は特に限定されるものではない。例えば、くぼみの開口部の形状は円形、三角形、楕円形、長円形、もしくは矩形が包含され、くぼみの断面形状も円錐状、円錐台状、半円状、お椀状、または、方形など種々の形が包含される。
本例では、固定側密封環５の摺動面Ｓに複数のディンプルが配置される場合について説明する。この場合、回転側密封環３にはディンプルは設けられなくても、設けられてもよい。なお、複数のディンプルは、摺動面Ｓに規則的に配置して整列ディンプル群として形成してもよいし、また不規則に配置してランダムディンプル群として形成してもよし、さらには整列ディンプル群とランダムディンプル群とを組み合わせて配置してもよい。
図２に示すように、固定側密封環５の摺動面Ｓのほぼ全面に、略円形の開口部を有する複数のディンプル１０が配置される。
図３に示すように、ディンプル１０は、段面形状が円錐状の凹部１５と凹部１５の壁部１５ａの外周部に連なりラッパ状に拡がる周縁部１１とから主に構成される。凹部１５は、その中央に深さＧを有する底部１５ｂ、底部１５ｂ近傍から摺動面に向かって略一定の勾配で傾斜し、徐々に開口が大きくなる壁部１５ａを有する。以下、摺動面Ｓにおける凹部１５の開口径Ｄは、壁部１５ａを区画する面を延長した延長面１５ｃと摺動面Ｓとが交差してなる架空の図形の直径として定義する。周縁部１１は、凹部１５の開口径Ｄの外側において摺動面Ｓに滑らかに連なる外周縁部１１ａ、外周縁部１１ａから凹部１５の中央部に向かう下り傾斜で、相手摺動面（ディンプル１０の内部）に向かって凸状の曲面で、かつ、壁部１５ａより小さな勾配を備える傾斜壁部１１ｂ、及び、傾斜壁部１１ｂと壁部１５ａとが連なる内周縁部１１ｃからなる。外周縁部１１ａ、傾斜壁部１１ｂ、内周縁部１１ｃ及び壁部１５ａは全体としてディンプル１０の内部に向かう凸状の曲面としてもよい。また、凹部１５の底部１５ｂは尖った形状を有しているが、これに限らず半球面であっても、平坦面であってもよい。
また、ディンプル１０の深さＧ、すなわち凹部１５の深さＧ、周縁部１１の径方向幅Ｅ１、及び、凹部１５の開口径Ｄの関係は、０．２５≦Ｇ／Ｄ≦１、０．１５≦Ｅ１／Ｄ≦０．５程度に設定される。また、周縁部１１の勾配は１／１００以下に設定される。たとえば、図３のディンプル１０においては、開口径Ｄは約３６μｍ、ディンプル深さＧは約２５μｍ、周縁部１１の径方向幅Ｅ１は約８μｍ程度に形成されている。特に、凹部１５の開口径Ｄを１０μｍから６０μｍ、周縁部１１の径方向幅Ｅ１を５μｍから２０μｍ、凹部１５の深さＧを５μｍから５０μｍとするのが好ましい。また、ディンプル１０の周縁部１１は曲面から形成されるので、周縁部１１が摺動面Ｓに滑らかに連なる外周縁部１１ａにおいて容易に１／１０００程度の勾配を形成できる。
このように構成されたディンプル１０を有するメカニカルシール１は、以下のような作用効果を奏する。
図４に示すように、相手側摺動面の回転側密封環３が矢印方向へ固定側密封環５に対して相対移動すると、回転側密封環３と固定側密封環５との間の流体は粘性により図４の矢印方向、すなわち左側（以下、「上流側」と記す。）から右側（以下、「下流側」と記す。）に流れる。この結果、摺動面Ｓからディンプル１０内へ流体の粘性によって流体が吸い込まれ、ディンプル１０の上流側では負圧Ｐ１が発生し、ディンプル１０の下流側ではくさび効果によって流体は昇圧して正圧Ｐ２が発生する。その際、ディンプル１０の上流側の負圧部分ではキャビテーションが発生し、キャビテーション領域では流体の蒸気圧に依存した圧力となるので負圧Ｐ１のピークが小さくなる。この結果、ディンプル１０内では正圧Ｐ２の影響が支配的となり、負荷能力が発生して摺動面Ｓが持ち上がる。そして摺動面Ｓが持ち上がると、相対摺動する２つの摺動面の間隙が大きくなり、摺動面Ｓに流体が流入し、潤滑機能が得られる。
ここで、ディンプル１０の周縁部１１は、勾配１／１００以下の非常に小さな勾配に形成されるので、回転側密封環３の摺動面Ｓと固定側密封環５の摺動面Ｓとの間に常にくさび部を形成することができる。これにより、ディンプル１０の上流側において、摺動面Ｓからディンプル１０内に吸い込まれた流体は、下流側において周縁部１１のくさび部で効率よく正圧を発生させ、しかも正圧Ｐ２のピークＰmaxも高めることができる。
また、径方向幅Ｅ１は０．１５≦Ｅ１／Ｄ≦０．５の範囲で幅広に形成されることで、高い正圧Ｐ２が発生する領域の面積を大きくすることができるので、摺動面Ｓが持ち上げる力、すなわちディンプル１０の負荷能力を向上させることができる。これにより、被密封流体の圧力が１ＭＰａ以上、たとえば５ＭＰａ程度の高圧流体であっても、摺動面Ｓは確実に潤滑機能を得ることができる。
さらに、ディンプル１０の深さＧは、凹部１５の開口径Ｄに対し０．２５≦Ｇ／Ｄ≦１の範囲で深く形成されるので、凹部１５の容積を大きくできる。これにより、ディンプル１０内に吸い込まれた流体は凹部１５に十分に貯蔵され、凹部１５から周縁部１１の正圧領域へ安定して流体を供給できるので、流体膜が切れることなく安定した潤滑機能を発揮できる。
加えて、流体を吸込み、昇圧された流体を吐き出すディンプル１０が摺動面Ｓに複数配列されていると、摺動面の内周側に配置されたディンプル１０内へ吸い込まれ、吐き出された昇圧流体は、さらに外径側に配置された複数のディンプル１０による吸い込み、吐き出しが繰り返され、流体は摺動面Ｓの内周部から外周部へ運ばれ、摺動面Ｓ全体として密封機能が向上する。
以上説明したように、本発明のディンプル１０は、深く形成された凹部１５と、凹部１５の外周部に非常に小さな勾配で、かつ、幅広の周縁部１１とを備えるので、ディンプル１０の負荷能力を効率よく高めることができる。また、負荷能力を高めたディンプル１０を摺動面Ｓに複数配列することにより、摺動部品全体として潤滑性能及び密封性能を高めることができる。
次に、実施例２に係る摺動部品につき、図１、図２及び図５を参照して説明する。実施例１の周縁部１１の傾斜壁部１１ｂは曲面からなるのに対し、実施例２の周縁部２１の傾斜壁部２１ｂは一定の勾配を有する傾斜面からなる点で異なる。なお、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分に付いては同一符号を付して重複する説明を省略する。
図５に示すように、ディンプル１０は円錐状の凹部１５と、凹部１５の壁部１５ａの外周部に連なるとともに壁部１５ａより小さな勾配を有する周縁部２１とから主に構成される。凹部１５は、その中央部に深さＧを有する底部１５ｂ、底部１５ｂ近傍から摺動面に向かって略一定の勾配で傾斜し、徐々に開口が大きくなる壁部１５ａを有する。以下、円錐形状の凹部１５の開口径Ｄは、壁部１５ａを区画する面を延長した延長面１５ｃと摺動面Ｓとが交差してなる架空の図形の直径である。周縁部２１は、凹部１５の開口径Ｄの外側において摺動面Ｓに連なる外周縁部２１ａ、外周縁部２１ａから凹部１５の中央に向かって一定の下り傾斜で、かつ、壁部１５ａより小さな勾配を備える傾斜壁部２１ｂ、及び、傾斜壁部２１ｂと壁部１５ａとが連なる内周縁部２１ｃからなる。
また、ディンプル１０の深さＧ、周縁部２１の径方向幅Ｅ２、及び、凹部１５の開口径Ｄの関係は、０．２５≦Ｇ／Ｄ≦１、０．１５≦Ｅ２／Ｄ≦０．５程度に設定される。また、周縁部２１の勾配は１／１００以下に設定される。たとえば、図５のディンプル１０においては、開口径Ｄは約３６μｍ、ディンプル深さＧは約２５μｍ、周縁部２１の径方向幅Ｅ２は約８μｍ程度に形成されている。特に、凹部１５の開口径Ｄを１０μｍから６０μｍ、周縁部１１の径方向幅Ｅ２を５μｍから２０μｍ、凹部１５の深さＧを５μｍから５０μｍとするのが好ましい。
実施例１と同じく、ディンプル１０の周縁部２１は、勾配１／１００以下の非常に小さな勾配に形成されるので、回転側密封環３の摺動面Ｓと固定側密封環５の摺動面Ｓとの間に常にくさび部を形成できる。これにより、ディンプル１０の上流側において、摺動面Ｓからディンプル１０内に吸い込まれた流体は、下流側において周縁部１１のくさび部で効率よく正圧を発生させ、しかも正圧Ｐ２のピークＰmaxも高めることができる。
また、径方向幅Ｅ２は０．１５≦Ｅ２／Ｄ≦０．５の範囲で幅広に形成されることで、高い正圧Ｐ２が発生する領域の面積を大きくすることができるので、ディンプル１０の負荷能力を向上させることができる。
さらに、ディンプル１０の深さＧは、凹部１５の開口径Ｄに対し０．２５≦Ｇ／Ｄ≦１の範囲で深く形成されるので、凹部１５の容積を大きくできる。これにより、ディンプル１０内に吸い込まれた流体は凹部１５に十分に貯蔵され、凹部１５から周縁部１１の正圧領域へ安定して流体を供給できるので、流体膜が切れることなく安定した潤滑性能を発揮できる。
以上説明したように、実施例２においても、ディンプル１０は、深く形成された凹部１５と、凹部１５の外周部に非常に小さな勾配で、かつ、幅広の周縁部２１とを備えるので、ディンプル１０の負荷能力を効率よく高めることができる。また、負荷能力を高めたディンプル１０を摺動面Ｓに複数配列することにより、摺動部品全体として潤滑性能及び密封性能を高めることができる。
なお、図５において、周縁部２１の傾斜壁部２１ｂは一定の勾配を有する傾斜面としたがこれに限らない。たとえば、図７（ａ）に示すように、傾斜壁部２１ｂと壁部１５ａとが連なる内周縁部２１ｄを曲面として、流体がくさび部に流入するときの流入抵抗を低減することができる。これにより、ディンプル１０の周縁部２１においてさらに効率よく高圧を発生させ、ディンプル１０の負荷容量を向上させることができる。
次に、実施例３に係る摺動部品につき、図１、図２及び図６を参照して説明する。実施例１の周縁部１１の傾斜壁部１１ｂは曲面からなり、実施例２の周縁部２１の傾斜壁部２１ｂは一定勾配を有する傾斜面からなるのに対し、実施例３の周縁部３１の底部壁３１ｂは一定深さの底部を有する点で異なる。なお、前記実施例に示される構成部分と同一構成部分に付いては同一符号を付して重複する説明を省略する。
図６に示すように、ディンプル１０は円錐状の凹部１５と凹部１５の壁部１５ａの外側に凹部１５より浅いくぼみを有する周縁部３１とから主に構成される。実施例１及び２と同じく、凹部１５は、その中央部に深さＧを有する底部１５ｂ、底部１５ｂ近傍から摺動面に向かって略一定の勾配で傾斜し、徐々に開口が大きくなる壁部１５ａを有する。以下、円錐形状の凹部１５の開口径Ｄは、壁部１５ａを区画する面を延長した延長面１５ｃと摺動面Ｓとが交差してなる架空の図形の直径として定義する。周縁部３１は、凹部１５の開口径Ｄの外側において摺動面Ｓに連なる外周縁部３１ａ、外周縁部３１ａに立設される周壁３１ｅ、周壁３１ｅに連なり一定の深さδを有する底部壁３１ｂ、及び、底部壁３１ｂと壁部１５ａとが連なる内周縁部３１ｃからなる。
また、ディンプル１０の深さＧ（凹部１５の深さＧ）、周縁部３１の径方向幅Ｅ３、及び、凹部１５の開口径Ｄの関係は、０．２５≦Ｇ／Ｄ≦１、０．１５≦Ｅ３／Ｄ≦０．５程度に設定される。たとえば、図６のディンプル１０においては、開口径Ｄは約３６μｍ、ディンプル深さＧは約２５μｍ、周縁部２１の径方向幅Ｅ３は約８μｍ程度に形成されている。特に、凹部１５の開口径Ｄを１０μｍから６０μｍ、周縁部１１の径方向幅Ｅ３を５μｍから２０μｍ、凹部１５の深さＧを５μｍから５０μｍ、周縁部３１の底部壁３１ｂの深さδは１μｍから５μｍ程度に形成するのが好ましい。
ディンプル１０の周縁部３１の底部壁３１ｂは一定の深さδを有するので、ディンプル１０の上流側において、逆レイリーステップとして機能して負圧を発生して摺動面Ｓからディンプル１０内に流体を低損失で吸い込み、下流側において、レイリーステップとして機能して正圧を発生させることができる。
また、径方向幅Ｅ３は０．１５≦Ｅ３／Ｄ≦０．５の範囲で幅広に形成されることで、正圧が発生する領域の面積を大きくすることができるので、ディンプル１０の負荷能力を向上させることができる。
さらに、ディンプル１０の深さＧは、凹部１５の開口径Ｄに対し０．２５≦Ｇ／Ｄ≦１の範囲で深く形成されるので、凹部１５の容積を大きくできる。これにより、ディンプル１０内に吸い込まれた流体は凹部１５に十分に貯蔵され、凹部１５から周縁部１１の正圧領域へ安定して流体を供給できるので、流体膜が切れることなく安定した潤滑性能を発揮できる。
このように、実施例３の周縁部３１は一定深さδの底部壁３１ｂを有するので容易に製作でき、ディンプル１０の負荷能力を効率よく高めることができる。また、負荷能力を高めたディンプル１０を摺動面Ｓに複数配列することにより、摺動部品全体として潤滑性能及び密封性能を高めることができる。
なお、図６において、周縁部３１の底部壁３１ｂは一定の深さを有していたが、これに限らない。たとえば、図７（ｂ）に示すように、底部壁３１ｂと壁部１５ａとが連なる内周縁部３１ｄを曲面として、流体がレイリーステップに流入するときの流入抵抗を低減することができる。これにより、ディンプル１０の周縁部３１においてさらに効率よく高圧を発生させ、ディンプル１０の負荷容量を向上させることができる。
以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。
例えば、上記実施例において、ディンプル１０は摺動面Ｓの全面に設けられていたが、これに限らない。たとえば、複数のディンプル１０を摺動面Ｓで囲んで島状のディンプル群を形成し、摺動面Ｓの負荷の高い部分に島状のディンプル群を配置することによって、密封性、潤滑性を向上させてもよい。また、島状のディンプル群を低圧流体側に連通させて、低圧流体側から吸込み量を増加させて密封性をさらに向上させてもよいし、島状のディンプル群を高圧流体側に連通させて、高圧流体側からの流体供給量を増加させて潤滑性をさらに向上させてもよい。さらに、島状のディンプル群を低圧流体側及び高圧流体側に連通させて密封性及び潤滑性をさらに向上させてもよい。
実施例１〜実施例３において、摺動部品をメカニカルシール装置における一対の回転用密封環及び固定用密封環の少なくともいずれか一方に用いる例について説明したが、円筒状摺動面の軸方向一方側に潤滑油を密封しながら回転軸と摺動する軸受の摺動部品として利用することも可能である。
また、実施例１〜実施例３において、摺動部品の外周側を高圧流体側（被密封流体側
）、内周側を低圧流体側（漏れ側）として説明しているが、本発明はこれに限定されるこ
となく、摺動部品の外周側を低圧流体側（漏れ側）、内周側を高圧流体側（被密封流体側
）の場合にも適用可能である。
１ メカニカルシール
２ スリーブ
３ 回転側密封環
４ ハウジング
５ 固定側密封環
６ コイルドウェーブスプリング
７ ベローズ
９ 回転軸
１０ ディンプル
１１ 周縁部
１１ａ 外周縁部
１１ｂ 傾斜壁部
１１ｃ 内周縁部
１５ 凹部
１５ａ 壁部
１５ｂ 底部
１５ｃ 延長面
２１ 周縁部
２１ａ 外周縁部
２１ｂ 傾斜壁部
２１ｃ 内周縁部
２１ｄ 内周縁部
３１ 周縁部
３１ａ 外周縁部
３１ｂ 底部壁
３１ｃ 内周縁部
３１ｅ 周壁
Ｄ 摺動面における凹部の開口径
Ｅ１ 周縁部の径方向幅
Ｅ２ 周縁部の径方向幅
Ｅ３ 周縁部の径方向幅
Ｓ 摺動面

Claims (10)

  1. 互いに相対摺動する摺動面を有する一対の摺動部品であって、少なくとも一方側の摺動面は、複数のディンプルを備え、
    前記ディンプルは、凹部と、前記凹部の外周部に、かつ、前記凹部より浅い周縁部と、を備えることを特徴とする摺動部品。
  2. 前記周縁部は、前記摺動面に連なり、前記凹部の壁部より小さな勾配を有する傾斜壁部を備えることを特徴とする請求項１に記載の摺動部品。
  3. 前記傾斜壁部は、少なくとも一部に曲面を備えることを特徴とする請求項２に記載の摺動部品。
  4. 前記周縁部の前記勾配は１／１００以下であることを特徴とする請求項２又は３に記載の摺動部品。
  5. 前記周縁部は、レイリーステップ又は逆レイリーステップを備えることを特徴とする請求項１に記載の摺動部品。
  6. 前記凹部の深さをＧ、前記摺動面における前記凹部の開口径をＤとしたとき、前記深さと前記開口径との比Ｇ／Ｄは０．２５から１であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の摺動部品。
  7. 前記周縁部の巾をＥとしたき、前記巾と前記開口径との比Ｅ／Ｄは０．１５から０．５であることを特徴とする請求項６に記載の摺動部品。
  8. 前記凹部の前記深さＧは５μｍから５０μｍであることを特徴とする請求項６又は７に記載の摺動部品。
  9. 前記周縁部の巾Ｅは５μｍから２０μｍであることを特徴とする請求項７又は８に記載の摺動部品。
  10. 前記開口径Ｄを１０μｍから６０μｍ、前記巾Ｅを５μｍから２０μｍ及び前記深さＧを５μｍから５０μｍとすることを特徴とする請求項７ないし９のいずれかに記載の摺動部品。
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