JPWO2018235747A1 - 被覆工具、切削工具及び切削加工物の製造方法 - Google Patents

被覆工具、切削工具及び切削加工物の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2018235747A1
JPWO2018235747A1 JP2019525581A JP2019525581A JPWO2018235747A1 JP WO2018235747 A1 JPWO2018235747 A1 JP WO2018235747A1 JP 2019525581 A JP2019525581 A JP 2019525581A JP 2019525581 A JP2019525581 A JP 2019525581A JP WO2018235747 A1 JPWO2018235747 A1 JP WO2018235747A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
alti
thickness
alti layers
layer
layers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019525581A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7029452B2 (ja
Inventor
聡史 森
聡史 森
理沙 幸田
理沙 幸田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Publication of JPWO2018235747A1 publication Critical patent/JPWO2018235747A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7029452B2 publication Critical patent/JP7029452B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/148—Composition of the cutting inserts
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/18—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B1/00—Methods for turning or working essentially requiring the use of turning-machines; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B29/00—Holders for non-rotary cutting tools; Boring bars or boring heads; Accessories for tool holders
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/06—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/34—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/36—Carbonitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/02—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/02—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
    • C23C28/021—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material including at least one metal alloy layer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/02—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
    • C23C28/023—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material only coatings of metal elements only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/44—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by a measurable physical property of the alternating layer or system, e.g. thickness, density, hardness
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2222/00—Materials of tools or workpieces composed of metals, alloys or metal matrices
    • B23B2222/04—Aluminium
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/10—Coatings

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

一態様の被覆工具は、基体と、被覆層とを備えている。被覆層は、Ａｌ１−ｘ１Ｔｉｘ１で示される複数の第１ＡｌＴｉ層と、Ａｌ１−ｘ２Ｔｉｘ２で示される複数の第２ＡｌＴｉ層とを有し、第１ＡｌＴｉ層及び第２ＡｌＴｉ層が基体から離れる方向に交互に位置する構成であって、ｘ１がｘ２よりも大きい。複数の第１ＡｌＴｉ層は、隣り合う２つの第１ＡｌＴｉ層において、基体の近くに位置するものより、基体から離れて位置するものの厚みが薄い第１領域を有している。

Description

本開示は、切削加工において用いられる被覆工具に関する。
旋削加工及び転削加工のような切削加工に用いられる被覆工具としては、例えば特開２０１６−１３０３４４号公報（特許文献１）に記載の硬質被膜を備えた被覆工具が知られている。特許文献１に記載の硬質被膜は、Ｔｉ１−ｘ１Ａｌｘ１Ｎ相（第１相）と、Ａｌｘ２Ｔｉ１−ｘ２Ｎ相（第２相）とが交互に積層された構造を含んでいる。このとき、各相におけるＴｉ及びＡｌの原子比での含有比率を示すｘ１及びｘ２の値は、０．１≦ｘ１≦０．７、０．７≦ｘ２≦０．９５である。
第１相は、Ａｌを比較的多く含有しているため、硬度が高い相となっている。また、第２相は、Ｔｉを比較的多く含有しているため、靭性に優れた相となっている。特許文献１に記載の硬質被膜は、第１相及び第２相が交互に積層された構造であるため、耐摩耗性及び接合性に優れた被膜（被覆層）となっている。
近年、耐摩耗性及び接合性がさらに優れた被覆層を備えた被覆工具が求められている。このとき、耐摩耗性を高めるべく第１相の厚みを大きくすると、基体と被覆層との接合性が低下する。また、接合性を高めるべく第２相の厚みを大きくすると、被覆層の耐摩耗性が低下する。そのため、耐摩耗性及び接合性の両方をさらに優れたものとすることが困難であった。
第１態様に基づく被覆工具は、基体と、該基体の上に位置する被覆層とを備え、該被覆層は、アルミニウム及びチタンの原子比での含有比率がＡｌ１−ｘ１Ｔｉｘ１で示される、複数の第１ＡｌＴｉ層と、アルミニウム及びチタンの原子比での含有比率がＡｌ１−ｘ２Ｔｉｘ２で示される、複数の第２ＡｌＴｉ層とを有し、前記第１ＡｌＴｉ層及び前記第２ＡｌＴｉ層が前記基体から離れる方向に交互に位置する構成を含んでいる。さらに、前記ｘ１が前記ｘ２よりも大きく、複数の前記第１ＡｌＴｉ層は、隣り合う２つの前記第１ＡｌＴｉ層において、前記基体の近くに位置するものより、前記基体から離れて位置するものの厚みが薄い第１領域を有している。
また、第２態様に基づく被覆工具は、基体と、該基体の上に位置する被覆層とを備え、該被覆層は、アルミニウム及びチタンの原子比での含有比率がＡｌ１−ｘ１Ｔｉｘ１で示される、複数の第１ＡｌＴｉ層と、アルミニウム及びチタンの原子比での含有比率がＡｌ１−ｘ２Ｔｉｘ２で示される、複数の第２ＡｌＴｉ層とを有し、前記第１ＡｌＴｉ層及び前記第２ＡｌＴｉ層が前記基体から離れる方向に交互に位置する構成を含んでいる。さらに、前記ｘ１が前記ｘ２よりも大きく、複数の前記第２ＡｌＴｉ層は、隣り合う２つの前記第２ＡｌＴｉ層において、前記基体の近くに位置するものより、前記基体から離れて位置するものの厚みが厚い第２領域を有している。
第１実施形態の被覆工具を示す斜視図である。 図１に示す被覆工具におけるＡ１−Ａ１断面の断面図である。 図２に示す領域Ｂ１における拡大図である。 図３に示す領域Ｂ２における拡大図である。 図１に示す被覆工具における第１ＡｌＴｉ層の厚みを示すグラフである。 図５に示す被覆工具の第１変形例における第１ＡｌＴｉ層の厚みを示すグラフである。 図５に示す被覆工具の第２変形例における第１ＡｌＴｉ層の厚みを示すグラフである。 第２実施形態の被覆工具を示す斜視図である。 図８に示す被覆工具におけるＡ２−Ａ２断面の断面図である。 図９に示す領域Ｂ３における拡大図である。 図１０に示す領域Ｂ４における拡大図である。 図８に示す被覆工具における第２ＡｌＴｉ層の厚みを示すグラフである。 図１２に示す被覆工具の第３変形例における第２ＡｌＴｉ層の厚みを示すグラフである。 図１２に示す被覆工具の第４変形例における第２ＡｌＴｉ層の厚みを示すグラフである。 第３実施形態の被覆工具を示す斜視図である。 図１５に示す被覆工具におけるＡ３−Ａ３断面の断面図である。 図１６に示す領域Ｂ５における拡大図である。 図１７に示す領域Ｂ６における拡大図である。 図１５に示す被覆工具における第１ＡｌＴｉ層及び第２ＡｌＴｉ層の厚みを示すグラフである。 図１９に示す被覆工具の第５変形例における第１ＡｌＴｉ層及び第２ＡｌＴｉ層の厚みを示すグラフである。 図１９に示す被覆工具の第６変形例における第１ＡｌＴｉ層及び第２ＡｌＴｉ層の厚みを示すグラフである。 実施形態の切削工具を示す平面図である。 図２２に示す領域Ｂ７における拡大図である。 実施形態の切削加工物の製造方法の一工程を示す概略図である。 実施形態の切削加工物の製造方法の一工程を示す概略図である。 実施形態の切削加工物の製造方法の一工程を示す概略図である。
以下、複数の実施形態の被覆工具について、それぞれ図面を用いて詳細に説明する。但し、以下で参照する各図は、説明の便宜上、各実施形態を説明する上で必要な主要部材のみを簡略化して示したものである。したがって、被覆工具は、参照する各図に示されていない任意の構成部材を備え得る。また、各図中の部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各部材の寸法比率等を忠実に表したものではない。
＜第１実施形態＞
第１実施形態の被覆工具１は、四角板形状であって、四角形の第１面３（図１における上面）と、第２面５（図１における側面）と、第１面３及び第２面５が交わる稜線の少なくとも一部に位置する切刃７とを有している。
図１に示す一例の被覆工具１のように、第１面３の外周の全体に切刃７が位置していてもよく、また、第１面３の外周の一部のみに切刃７が位置していてもよい。例えば、四角形の第１面３における１辺のみ、若しくは、部分的に切刃７を有するものであってもよい。
第１面３は、少なくとも一部にすくい面領域３ａを有していてもよい。図１に示す一例においては、第１面３における切刃７に沿った領域がすくい面領域３ａである。第２面５は、少なくとも一部に逃げ面領域５ａを有していてもよい。図１に示す一例においては、第２面５における切刃７に沿った領域が逃げ面領域５ａである。そのため、すくい面領域３ａ及び逃げ面領域５ａが交わる部分に切刃７が位置していると言い換えてもよい。
図１では、第１面３におけるすくい面領域３ａ及びそれ以外の領域の境界と、第２面５における逃げ領域及びそれ以外の領域の境界とを一点鎖線で示している。図１においては、第１面３及び第２面５が交差する稜線の全てが切刃７である例が示されている。そのため、第１面３において切刃７に沿った環状の一点鎖線が示されている。
被覆工具１の大きさは特に限定されるものではないが、例えば、第１面３の一辺の長さが３〜２０ｍｍ程度に設定されてもよい。また、第１面３から第１面３の反対側に位置する面（図１における下面）までの高さは、５〜２０ｍｍ程度に設定されてもよい。
図１に示す一例の被覆工具１は、四角板形状の基体９と、この基体９の表面を被覆する被覆層１１とを備えている。被覆層１１は、基体９の表面の全体を覆っていてもよく、また、一部のみを覆っていてもよい。被覆層１１が基体９の一部のみを被覆していてもよいことから、被覆層１１は、基体９の上の少なくとも一部に位置していると言い換えてもよい。
図１に示す一例における被覆層１１は、少なくとも、第１面３における切刃７に沿ったすくい面領域３ａ及び第２面５における切刃７に沿った逃げ面領域５ａに位置している。図１においては、すくい面領域３ａを含む第１面３の全体及び逃げ面領域５ａを含む第２面５の全体に被覆層１１が存在する例が示されている。被覆層１１の厚みとしては、例えば、０．１〜１０μｍ程度に設定できる。なお、被覆層１１の厚みは一定であっても、場所によって異なっていてもよい。
被覆層１１は、図３及び図４に示すように、アルミニウム及びチタンを主成分として含有する複数の第１ＡｌＴｉ層１３と、アルミニウム及びチタンを主成分として含有する複数の第２ＡｌＴｉ層１５とを有している。被覆層１１は、複数の第１ＡｌＴｉ層１３及び複数の第２ＡｌＴｉ層１５が基体９から離れる方向に交互に位置する構成を含んでいる。このような場合には、被覆層１１が複数の第１ＡｌＴｉ層１３及び複数の第２ＡｌＴｉ層１５が交互に積層された構成を含んでいる、と言い換えてもよい。
第１ＡｌＴｉ層１３におけるアルミニウム及びチタンの原子比での含有比率はＡｌ１−ｘ１Ｔｉｘ１（０＜ｘ１＜１）で示される。また、第２ＡｌＴｉ層１５におけるアルミニウム及びチタンの原子比での含有比率はＡｌ１−ｘ２Ｔｉｘ２（０＜ｘ２＜１）で示される。ｘ１及びｘ２の値は、特定の値に限定されるものではないが、例えば、０．４≦ｘ１≦０．９５、０．２≦ｘ２≦０．７に設定できる。
第１実施形態の被覆工具１においては、ｘ１がｘ２よりも大きい。そのため、第２ＡｌＴｉ層１５と比較して第１ＡｌＴｉ層１３におけるＴｉの含有比率が高く、第２ＡｌＴｉ層１５と比較して第１ＡｌＴｉ層１３は接合性に優れている。また、第１ＡｌＴｉ層１３と比較して第２ＡｌＴｉ層１５におけるＡｌの含有比率が高く、第１ＡｌＴｉ層１３と比較して第２ＡｌＴｉ層１５は耐摩耗性に優れている。
なお、ｘ１が０．５より大きく、且つ、ｘ２が０．５より小さい場合には、第１ＡｌＴｉ層１３の接合性が特に優れているとともに、第２ＡｌＴｉ層１５の耐摩耗性が特に優れている。
被覆層１１の積層構造は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Scanning Electron Microscopy）又は透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Transmission Electron Microscopy）を用いた断面測定によって評価することが可能である。
第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５は、それぞれアルミニウム及びチタンのみによって構成されていてもよく、また、アルミニウム及びチタンに加えて、Ｓｉ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｖ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｃｒ及びＷなどの金属成分を含有していてもよい。
ただし、第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５はアルミニウム及びチタンを主成分として含有していることから、上記の金属成分と比較してアルミニウム及びチタンの含有比率が高い。なお、上記における「含有比率」とは、原子比での含有比率を意味している。
第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５は、アルミニウム及びチタンを含む金属成分のみによって構成されていてもよく、また、アルミニウム及びチタンを含む金属成分の窒化物、炭化物又は炭窒化物などによって構成されていてもよい。
第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５の組成は、例えば、エネルギー分散型Ｘ線分光分析法（ＥＤＳ）又はＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）によって測定することが可能である。
第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５の数は、特定の値に限定されない。第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５の数は、それぞれ２つ以上であればよく、例えば、２〜５００に設定されてもよい。
第１ＡｌＴｉ層１３の厚みは、特定の値に限定されない。例えば、複数の第１ＡｌＴｉ層１３のそれぞれの厚みは、５ｎｍ〜１００ｎｍに設定されてもよい。第１実施形態における複数の第１ＡｌＴｉ層１３のそれぞれの厚みは一定ではなく、複数の第１ＡｌＴｉ層１３のうち隣り合う２つの第１ＡｌＴｉ層１３において、基体９の近くに位置するものより、基体９から離れて位置するものの厚みが薄い領域を有している。複数の第１ＡｌＴｉ層１３のうち、隣り合う２つの第１ＡｌＴｉ層１３において、上述した厚みの関係を満たす領域を第１領域１３ａという。第１領域１３ａは、言い換えれば、複数の第１ＡｌＴｉ層１３のうち隣り合う２つの第１ＡｌＴｉ層１３において、基体９から離れて位置するものより、基体９の近く位置するものの厚みが厚い領域ともいえる。
被覆層１１が上記の第１領域１３ａを有している場合には、この第１領域１３ａの基体９から離れた側においては、第１ＡｌＴｉ層１３に対する第２ＡｌＴｉ層１５の比率が高く、また、第１領域１３ａの基体９に近い側においては、第２ＡｌＴｉ層１５に対する第１ＡｌＴｉ層１３の比率が高い。
第１領域１３ａにおける基体９に近い側では、接合性に優れた第１ＡｌＴｉ層１３の比率が高いことから、被覆層１１の接合性が高い。また、第１領域１３ａにおける基体９から離れた側では、耐摩耗性に優れた第２ＡｌＴｉ層１５の比率が高いことから、被覆層１１の耐摩耗性が高い。そのため、第１実施形態の被覆工具１は、耐摩耗性及び接合性の両方に優れている。
複数の第１ＡｌＴｉ層１３の全てにおいて、基体から離れて位置するものほど厚みが薄くなっていてもよく、また、複数の第１ＡｌＴｉ層１３の一部のみにおいて、基体から離れて位置するものほど厚みが薄くなっていてもよい。言い換えれば、複数の第１ＡｌＴｉ層１３の全てが第１領域１３ａに含まれていてもよく、また、複数の第１ＡｌＴｉ層１３における一部のみが第１領域１３ａに含まれていてもよい。
図３に示す一例においては、複数の第１ＡｌＴｉ層１３の全てにおいて、基体から離れて位置するものほど厚みが薄くなっていることから、複数の第１ＡｌＴｉ層１３の全てが第１領域１３ａに含まれていると言える。この場合には、被覆層１１の接合性及び耐摩耗性がさらに高い。
第１領域１３ａにおいては、基体９から離れて位置する第１ＡｌＴｉ層１３ほど厚みが薄い。このとき、第１領域１３ａに含まれる複数の第１ＡｌＴｉ層１３の厚みの変化は、特に限定されるものではなく、その変化量が一定であっても、また、一定でなくてもよい。
図５に示す一例の第１領域１３ａにおいては、複数の第１ＡｌＴｉ層１３の厚みの変化量が一定である。すなわち、第１領域１３ａに３以上の第１ＡｌＴｉ層１３があるとき、隣り合う２つの第１ＡｌＴｉ層１３における厚みの差が同じである。
上記のように複数の第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが変化している場合には、第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが急激に変化することが避けられ、被覆層１１における一部に応力が集中しにくい。そのため、被覆層１１の耐久性が高い。なお、第１領域１３ａにおける第１ＡｌＴｉ層１３の厚みの変化量が一定であるとは、図５に示すように、第１領域１３ａに含まれる第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが概ね直線上に位置していることを意味している。
ここで、第１領域１３ａに含まれる第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが厳密に直線上に位置している必要はない。第１領域１３ａに含まれる第１ＡｌＴｉ層１３のうち最も基体９の近くに位置する第１ＡｌＴｉ層１３の厚みと、第１領域１３ａに含まれる第１ＡｌＴｉ層１３のうち最も基体９から離れて位置する第１ＡｌＴｉ層１３の厚みと、を直線で結んだ場合に、各第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが、上記の直線で示される厳密な値に対して９０〜１１０％の範囲の数値であればよい。
図６に示す変形例においては、複数の第１ＡｌＴｉ層１３における一部のみが第１領域１３ａに含まれている。具体的には、被覆層１１を構成する複数の第１ＡｌＴｉ層１３のうち、基体９の近くに位置する一部の第１ＡｌＴｉ層１３ｂの厚みが一定である。このように、第１領域１３ａよりも基体９の近くに位置する第１ＡｌＴｉ層１３ｂの厚みが一定である場合には、この厚みが一定である第１ＡｌＴｉ層１３ｂの一部に応力が集中しにくい。そのため、被覆層１１の耐久性が高い。
また、図６に示す変形例においては、被覆層１１を構成する複数の第１ＡｌＴｉ層１３のうち、基体９から離れて位置する一部の第１ＡｌＴｉ層１３ｃの厚みが一定である。このように、第１領域１３ａよりも基体９から離れて位置する第１ＡｌＴｉ層１３ｃの厚みが一定である場合には、この厚みが一定である第１ＡｌＴｉ層１３ｃの一部に応力が集中しにくい。そのため、被覆層１１の耐久性が高い。
なお、第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが一定であるとは、厳密に厚みが同じであることを要求するものではない。対象となる複数の第１ＡｌＴｉ層１３において、厚みの最も薄い第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが、厚みの最も厚い第１ＡｌＴｉ層１３の厚みに対して９５％以上である場合に厚みが一定であると見做す。
例えば、図６に示す変形例のように、複数の第１ＡｌＴｉ層１３が、隣り合う２つの第１ＡｌＴｉ層１３における互いの厚みが同じであるか、又は、基体９から離れて位置するものの厚みが薄い構成である場合には、被覆層１１が、耐摩耗性及び接合性の両方に特に優れている。
これは、被覆層１１の全体にわたって、基体９から離れた側では耐摩耗性に優れた第２ＡｌＴｉ層１５の比率が高く、また、基体９に近い側では接合性に優れた第１ＡｌＴｉ層１３の比率が高いからである。
図７に示す変形例においては、被覆層１１を構成する複数の第１ＡｌＴｉ層１３が、積層方向において複数の部位に区分されている。各区分に含まれる第１ＡｌＴｉ層１３の厚みは一定であり、また、基体９から離れて位置する区分であるほど、含まれる第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが薄い。図７に示す変形例においては、隣り合う区分の境界に位置する一対の第１ＡｌＴｉ層１３によって第１領域１３ａが構成される。
被覆層１１を構成する複数の第１ＡｌＴｉ層１３が、上記の構成である場合には、第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが段階的に変化しているため、第１ＡｌＴｉ層１３を形成する際に第１ＡｌＴｉ層１３の厚みの調整が容易である。そのため、複雑な工程に依らずに接合性及び耐摩耗性に優れた被覆層１１を形成できる。
第２ＡｌＴｉ層１５の厚みは、特定の値に限定されないが、例えば、それぞれ５ｎｍ〜１００ｎｍに設定してもよい。複数の第２ＡｌＴｉ層１５のそれぞれの厚みは一定であっても、また、一部の第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが互いに異なっていてもよい。
被覆層１１の基体９に近い側において、第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが第２ＡｌＴｉ層１５の厚みよりも厚い場合には、被覆層１１の接合性がさらに高い。具体的には、例えば、被覆層１１における積層方向の中心よりも基体９側に位置する第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５について、第１ＡｌＴｉ層１３の厚みの平均値が、第２ＡｌＴｉ層１５の厚みの平均値よりも大きい場合には、被覆層１１の接合性がさらに高い。
また、被覆層１１の基体９から離れた側において、第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが第１ＡｌＴｉ層１３の厚みよりも厚い場合には、被覆層１１の耐摩耗性がさらに高い。具体的には、例えば、被覆層１１における積層方向の中心よりも基体９から離れて位置する第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５について、第２ＡｌＴｉ層１５の厚みの平均値が、第１ＡｌＴｉ層１３の厚みの平均値よりも大きい場合には、被覆層１１の耐摩耗性がさらに高い。
被覆層１１は、基体９に直接に接合していてもよいが、基体９及び被覆層１１の接合性を高めるため、基体９及び被覆層１１の間に、被覆層１１を構成する第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５よりも厚みの厚い下地層（不図示）などの他の層が位置していてもよい。
図１に示す一例における被覆工具１は、四角板形状であるが、被覆工具１の形状は、このような形状に限定されない。例えば、第１面３が四角形ではなく、三角形、六角形又は円形であっても何ら問題無い。
被覆工具１は、図１に示すように、貫通孔１７を有していてもよい。図１に示す一例における貫通孔１７は、第１面３から第１面３の反対側に位置する面（図１における下面）にかけて位置しており、これらの面において開口している。貫通孔１７は、被覆工具１をホルダに保持する際に、ねじ又はクランプ部材を取り付けるために用いられてもよい。なお、貫通孔１７は、第２面５における互いに反対側に位置する領域において開口する構成であっても何ら問題無い。
基体９の材質としては、例えば、超硬合金、サーメット及びセラミックスなどの無機材料が挙げられる。超硬合金の組成としては、例えば、ＷＣ（炭化タングステン）−Ｃｏ、ＷＣ−ＴｉＣ（炭化チタン）−Ｃｏ及びＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ（炭化タンタル）−Ｃｏが挙げられる。
ここで、ＷＣ、ＴｉＣ及びＴａＣは硬質粒子であり、Ｃｏは結合相である。また、サーメットは、セラミック成分に金属を複合させた焼結複合材料である。具体的には、サーメットとして、ＴｉＣ又はＴｉＮ（窒化チタン）を主成分とした化合物が挙げられる。なお、基体９の材質は、これらに限定されない。
被覆層１１は、例えば、物理蒸着（ＰＶＤ）法を用いることによって、基体９の上に位置させてもよい。例えば、貫通孔１７の内周面で基体９を保持した状態で上記の蒸着法を利用して被覆層１１を形成する場合には、貫通孔１７の内周面を除く基体９の表面の全体を覆うように被覆層１１を位置させることができる。
物理蒸着法としては、例えば、イオンプレーティング法及びスパッタリング法等が挙げられる。一例として、イオンプレーティング法で作製する場合には、下記の方法によって第１実施形態の被覆層１１を作製してもよい。
第１の手順として、アルミニウム及びチタンをそれぞれ独立に含有する金属ターゲット、複合化した合金ターゲット又は焼結体ターゲットを準備する。金属源である上記のターゲットをアーク放電及びグロー放電などによって蒸発させてイオン化する。イオン化したターゲットを、窒素源の窒素（Ｎ２）ガス、炭素源のメタン（ＣＨ４）ガス又はアセチレン（Ｃ２Ｈ２）ガスと反応させるとともに、基体９の表面に蒸着させる。以上の手順によって第１ＡｌＴｉ層１３を形成してもよい。
第２の手順として、アルミニウム及びチタンをそれぞれ独立に含有する金属ターゲット、複合化した合金ターゲット又は焼結体ターゲットを準備する。このとき、第１の手順において準備したターゲットよりもアルミニウムの含有比率が高いターゲットを準備する。金属源である上記のターゲットをアーク放電及びグロー放電などによって蒸発させてイオン化する。イオン化したターゲットを、窒素源の窒素ガス、炭素源のメタンガス又はアセチレンガスと反応させるとともに、基体９の表面に蒸着させる。以上の手順によって第２ＡｌＴｉ層１５を形成してもよい。
上記の第１の手順及び第２の手順を交互に繰り返すことによって、複数の第１ＡｌＴｉ層１３及び複数の第２ＡｌＴｉ層１５が基体９から離れる方向に交互に位置する構成を含む被覆層１１を形成してもよい。なお、まず第２の手順を行った後に第１の手順を行っても何ら問題無い。
ここで、例えば、第１の手順を繰り返す際に、アーク放電及びグロー放電などの放電時の電流値を変化させることによって複数の第１ＡｌＴｉ層１３の厚みを変化させることができる。具体的には、第１の手順を繰り返す際に、上記の電流値を小さくすることによって、隣り合う２つの第１ＡｌＴｉ層１３のうち基体９の近くに位置するものより基体９から離れて位置するものの厚みが薄い第１領域１３ａを作製してもよい。
例えば、第１の手順を繰り返す際に、最初に第１の手順を行うときから最後に第１の手順を行うときにかけて、徐々に放電時の電流値を小さくすることによって、基体９から離れて位置する第１ＡｌＴｉ層１３ほど厚みを薄くすることが可能である。
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態の被覆工具１について図面を用いて説明する。ただし、以下においては、第２実施形態の被覆工具１における第１実施形態の被覆工具１との相違点について主に説明し、第１実施形態の被覆工具１と同様の構成を有している点については説明を省略する場合がある。
第２実施形態の被覆工具１は、四角板形状であって、四角形の第１面３（図８における上面）と、第２面５（図８における側面）と、第１面３及び第２面５が交わる稜線の少なくとも一部に位置する切刃７とを有している。また、図８に示す被覆工具１は、図１に示す一例と同様に、四角板形状の基体９と、この基体９の表面を被覆する被覆層１１とを備えている。被覆層１１は、基体９の表面の全体を覆っていてもよく、また、一部のみを覆っていてもよい。
被覆層１１は、図１０及び図１１に示すように、アルミニウム及びチタンを主成分として含有する複数の第１ＡｌＴｉ層１３と、アルミニウム及びチタンを主成分として含有する複数の第２ＡｌＴｉ層１５とを有している。被覆層１１は、複数の第１ＡｌＴｉ層１３及び複数の第２ＡｌＴｉ層１５が基体９から離れる方向に交互に位置する構成を含んでいる。
第２ＡｌＴｉ層１５の厚みは、特定の値に限定されない。例えば、複数の第２ＡｌＴｉ層１５のそれぞれの厚みは、５ｎｍ〜１００ｎｍに設定されてもよい。第２実施形態における複数の第２ＡｌＴｉ層１５のそれぞれの厚みは一定ではなく、複数の第２ＡｌＴｉ層１５のうち隣り合う２つの第２ＡｌＴｉ層１５において、基体９の近くに位置するものより、基体９から離れて位置するものの厚みが厚い第２領域１５ａを有していてもよい。
被覆層１１が上記の第２領域１５ａを有している場合には、この第２領域１５ａの基体９から離れた側においては、第１ＡｌＴｉ層１３に対する第２ＡｌＴｉ層１５の比率が高く、また、第２領域１５ａの基体９に近い側においては、第２ＡｌＴｉ層１５に対する第１ＡｌＴｉ層１３の比率が高い。
第２領域１５ａにおける基体９に近い側では、接合性に優れた第１ＡｌＴｉ層１３の比率が高いことから、被覆層１１の接合性が高い。また、第２領域１５ａにおける基体９から離れた側では、耐摩耗性に優れた第２ＡｌＴｉ層１５の比率が高いことから、被覆層１１の耐摩耗性が高い。そのため、第２実施形態の被覆工具１は、第１実施形態の被覆工具１と同様に、耐摩耗性及び接合性の両方に優れる。
複数の第２ＡｌＴｉ層１５の全てが第２領域１５ａに含まれていてもよく、また、複数の第２ＡｌＴｉ層１５における一部のみが第２領域１５ａに含まれていてもよい。図１０に示す一例においては、複数の第２ＡｌＴｉ層１５の全てが第２領域１５ａに含まれている。この場合には、被覆層１１の接合性及び耐摩耗性がさらに高い。
第２領域１５ａにおいては、基体９から離れて位置する第２ＡｌＴｉ層１５ほど厚みが厚い。このとき、第２領域１５ａに含まれる複数の第２ＡｌＴｉ層１５の厚みの変化は、特に限定されるものではなく、その変化量が一定であっても、また、一定でなくてもよい。
図１０及び図１１に示す一例の第２領域１５ａにおいては、複数の第２ＡｌＴｉ層１５の厚みの変化量が一定である。すなわち、第２領域１５ａに３以上の第２ＡｌＴｉ層１５があるとき、隣り合う２つの第２ＡｌＴｉ層１５における厚みの差が同じである。
上記のように複数の第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが変化している場合には、第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが急激に変化することが避けられ、被覆層１１における一部に応力が集中しにくい。そのため、被覆層１１の耐久性が高い。なお、第２領域１５ａにおける第２ＡｌＴｉ層１５の厚みの変化量が一定であるとは、図１２に示すように、第２領域１５ａに含まれる第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが概ね直線上に位置していることを意味している。
ここで、第２領域１５ａに含まれる第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが厳密に直線上に位置している必要はない。第２領域１５ａに含まれる第２ＡｌＴｉ層１５のうち最も基体９の近くに位置する第２ＡｌＴｉ層１５の厚みと、第２領域１５ａに含まれる第２ＡｌＴｉ層１５のうち最も基体９から離れて位置する第２ＡｌＴｉ層１５の厚みと、を直線で結んだ場合に、各第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが、上記の直線で示される厳密な値に対して９０〜１１０％の範囲の数値であればよい。
図１３に示す変形例においては、複数の第２ＡｌＴｉ層１５における一部のみが第２領域１５ａに含まれている。具体的には、被覆層１１を構成する複数の第２ＡｌＴｉ層１５のうち、基体９の近くに位置する一部の第２ＡｌＴｉ層１５ｂの厚みが一定である。このように、第２領域１５ａよりも基体９の近くに位置する第２ＡｌＴｉ層１５ｂの厚みが一定である場合には、この厚みが一定である第２ＡｌＴｉ層１５ｂの一部に応力が集中しにくい。そのため、被覆層１１の耐久性が高い。
また、図１３に示す変形例においては、被覆層１１を構成する複数の第２ＡｌＴｉ層１５のうち、基体９から離れて位置する一部の第２ＡｌＴｉ層１５ｃの厚みが一定である。このように、第２領域１５ａよりも基体９から離れて位置する第２ＡｌＴｉ層１５ｃの厚みが一定である場合には、この厚みが一定である第２ＡｌＴｉ層１５ｃの一部に応力が集中しにくい。そのため、被覆層１１の耐久性が高い。
なお、第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが一定であるとは、厳密に厚みが同じであることを要求するものではない。対象となる複数の第２ＡｌＴｉ層１５において、厚みの最も薄い第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが、厚みの最も厚い第２ＡｌＴｉ層１５の厚みに対して９５％以上である場合に厚みが一定であると見做す。
例えば、図１３に示す変形例のように、複数の第２ＡｌＴｉ層１５が、隣り合う２つの第２ＡｌＴｉ層１５における互いの厚みが同じであるか、又は、基体９から離れて位置するものの厚みが厚い構成である場合には、被覆層１１が、耐摩耗性及び接合性の両方に特に優れている。
これは、被覆層１１の全体にわたって、基体９から離れた側では耐摩耗性に優れた第２ＡｌＴｉ層１５の比率が高く、また、基体９に近い側では、接合性に優れた第１ＡｌＴｉ層１３の比率が高いからである。
図１４に示す変形例においては、被覆層１１を構成する複数の第２ＡｌＴｉ層１５が、積層方向において複数の部位に区分されている。各区分に含まれる第２ＡｌＴｉ層１５の厚みは一定であり、また、基体９から離れて位置する区分であるほど、含まれる第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが厚い。図１４に示す変形例においては、隣り合う区分の境界に位置する一対の第２ＡｌＴｉ層１５によって第２領域１５ａが構成される。
被覆層１１を構成する複数の第２ＡｌＴｉ層１５が、上記の構成である場合には、第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが段階的に変化しているため、第２ＡｌＴｉ層１５を形成する際に第２ＡｌＴｉ層１５の厚みの調整が容易である。そのため、複雑な工程に依らずに接合性及び耐摩耗性に優れた被覆層１１を形成できる。
第１ＡｌＴｉ層１３の厚みは、特定の値に限定されないが、例えば、それぞれ５ｎｍ〜１００ｎｍに設定してもよい。複数の第１ＡｌＴｉ層１３のそれぞれの厚みは一定であっても、また、一部の第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが互いに異なっていてもよい。
被覆層１１は、第１実施形態と同様に、物理蒸着法を用いることによって、基体９の上に位置させてもよい。一例として、イオンプレーティング法で作製する場合には、下記の方法によって第２実施形態の被覆層１１を作製してもよい。
第１の手順として、第１実施形態と同様に、アルミニウム及びチタンをそれぞれ独立に含有する金属ターゲット、複合化した合金ターゲット又は焼結体ターゲットを準備する。イオン化したターゲットを、窒素源の窒素ガス、炭素源のメタンガス又はアセチレンガスと反応させるとともに、基体９の表面に蒸着させる。以上の手順によって第１ＡｌＴｉ層１３を形成してもよい。
第２の手順として、第１実施形態と同様に、アルミニウム及びチタンをそれぞれ独立に含有する金属ターゲット、複合化した合金ターゲット又は焼結体ターゲットを準備する。このとき、第１の手順において準備したターゲットよりもアルミニウムの含有比率が高いターゲットを準備する。イオン化したターゲットを、窒素源の窒素ガス、炭素源のメタンガス又はアセチレンガスと反応させるとともに、基体９の表面に蒸着させる。以上の手順によって第２ＡｌＴｉ層１５を形成してもよい。
上記の第１の手順及び第２の手順を交互に繰り返すことによって、複数の第１ＡｌＴｉ層１３及び複数の第２ＡｌＴｉ層１５が基体９から離れる方向に交互に位置する構成を含む被覆層１１を形成してもよい。なお、まず第２の手順を行った後に第１の手順を行っても何ら問題無い。
ここで、例えば、第２の手順を繰り返す際に、アーク放電及びグロー放電などの放電時の電流値を変化させることによって複数の第２ＡｌＴｉ層１５の厚みを変化させることができる。具体的には、第２の手順を繰り返す際に、上記の電流値を大きくすることによって、隣り合う２つの第２ＡｌＴｉ層１５のうち基体９の近くに位置するものより基体９から離れて位置するものの厚みが厚い第２領域１５ａを作製してもよい。
＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態の被覆工具１について図面を用いて説明する。ただし、以下においては、第３実施形態の被覆工具１における第１実施形態及び第２実施形態の被覆工具１との相違点について主に説明し、第１実施形態及び第２実施形態の被覆工具１と同様の構成を有している点については説明を省略する場合がある。
第３実施形態の被覆工具１は、四角板形状であって、四角形の第１面３（図１５における上面）と、第２面５（図１５における側面）と、第１面３及び第２面５が交わる稜線の少なくとも一部に位置する切刃７とを有している。
図１５に示す被覆工具１は、図１に示す一例と同様に、四角板形状の基体９と、この基体９の表面を被覆する被覆層１１とを備えている。被覆層１１は、基体９の表面の全体を覆っていてもよく、また、一部のみを覆っていてもよい。
被覆層１１は、図１７及び図１８に示すように、アルミニウム及びチタンを主成分として含有する複数の第１ＡｌＴｉ層１３と、アルミニウム及びチタンを主成分として含有する複数の第２ＡｌＴｉ層１５とを有している。被覆層１１は、複数の第１ＡｌＴｉ層１３及び複数の第２ＡｌＴｉ層１５が基体９から離れる方向に交互に位置する構成を含んでいる。
第３実施形態においては、複数の第１ＡｌＴｉ層１３が、隣り合う２つの第１ＡｌＴｉ層１３のうち基体９の近くに位置するものよりも基体９から離れて位置するものの厚みが薄い第１領域１３ａを有している。また、複数の第２ＡｌＴｉ層１５が、隣り合う２つの第２ＡｌＴｉ層１５のうち基体９の近くに位置するものよりも基体９から離れて位置するものの厚みが厚い第２領域１５ａを有している。
このように、第３実施形態の被覆工具１は、第１実施形態における複数の第１ＡｌＴｉ層１３の特徴的な構成及び第２実施形態における複数の第２ＡｌＴｉ層１５の特徴的な構成を兼ね備えた構成となっている。
被覆層１１が上記の第１領域１３ａを有している場合には、この第１領域１３ａの基体９から離れた側においては、第１ＡｌＴｉ層１３に対する第２ＡｌＴｉ層１５の比率が高く、また、第１領域１３ａの基体９に近い側においては、第２ＡｌＴｉ層１５に対する第１ＡｌＴｉ層１３の比率が高い。
さらに、被覆層１１が上記の第２領域１５ａを有している場合には、この第２領域１５ａの基体９から離れた側においては、第１ＡｌＴｉ層１３に対する第２ＡｌＴｉ層１５の比率がさらに高く、また、第２領域１５ａの基体９に近い側においては、第２ＡｌＴｉ層１５に対する第１ＡｌＴｉ層１３の比率がさらに高い。
このように、被覆層１１が第１領域１３ａ及び第２領域１５ａの両方を有している場合には、被覆層１１は、耐摩耗性及び接合性の両方に非常に優れる。
複数の第１ＡｌＴｉ層１３の全てが第１領域１３ａに含まれていてもよく、また、複数の第１ＡｌＴｉ層１３における一部のみが第１領域１３ａに含まれていてもよい。複数の第２ＡｌＴｉ層１５の全てが第２領域１５ａに含まれていてもよく、また、複数の第２ＡｌＴｉ層１５における一部のみが第２領域１５ａに含まれていてもよい。
図１７に示す一例においては、複数の第１ＡｌＴｉ層１３の全てが第１領域１３ａに含まれているとともに、複数の第２ＡｌＴｉ層１５の全てが第２領域１５ａに含まれている。この場合には、被覆層１１の接合性及び耐摩耗性がさらに高い。
図１７及び図１８に示す一例の第１領域１３ａにおいては、複数の第１ＡｌＴｉ層１３の厚みの変化量が一定である。すなわち、第１領域１３ａに３以上の第１ＡｌＴｉ層１３があるとき、隣り合う２つの第１ＡｌＴｉ層１３における厚みの差が同じである。また、図１７及び図１８に示す一例の第２領域１５ａにおいては、複数の第２ＡｌＴｉ層１５の厚みの変化量が一定である。すなわち、第２領域１５ａに３以上の第２ＡｌＴｉ層１５があるとき、隣り合う２つの第２ＡｌＴｉ層１５における厚みの差が同じである。
第１領域１３ａでの隣り合う２つの第１ＡｌＴｉ層１３における厚みの差は、第２領域１５ａでの隣り合う２つの第２ＡｌＴｉ層１５における厚みの差と異なっていてもよいが、同じであってもよい。これらの厚みの差が同じである場合には、被覆層１１の耐摩耗性及び接合性の両方が優れたものでありつつ、さらに被覆層１１の耐久性が高い。
これは、積層方向において隣り合う第１ＡｌＴｉ層１３の厚みの差及び積層方向において隣り合う第２ＡｌＴｉ層１５の厚みの差が過度に大きくなることを避けつつ、第１領域１３ａにおける基体９から離れた側では、耐摩耗性に優れた第２ＡｌＴｉ層１５の比率が高く、また、第１領域１３ａにおける基体９の側では、接合性に優れた第１ＡｌＴｉ層１３の比率が高いからである。
図２０に示す変形例においては、複数の第１ＡｌＴｉ層１３における一部のみが第１領域１３ａに含まれており、また、複数の第２ＡｌＴｉ層１５における一部のみが第２領域１５ａに含まれている。具体的には、被覆層１１を構成する複数の第１ＡｌＴｉ層１３及び複数の第２ＡｌＴｉ層１５のうち、基体９の近くに位置する一部の第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが一定となっている。
また、図２０に示す変形例においては、被覆層１１を構成する複数の第１ＡｌＴｉ層１３及び複数の第２ＡｌＴｉ層１５のうち、基体９から離れて位置する一部の第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが一定となっている。
図２１に示す変形例においては、被覆層１１を構成する複数の第１ＡｌＴｉ層１３及び複数の第２ＡｌＴｉ層１５が、積層方向において複数の部位に区分されている。各区分に含まれる複数の第１ＡｌＴｉ層１３及び第２ＡｌＴｉ層１５の厚みは一定であり、また、基体９から離れて位置する区分であるほど、当該区分に含まれる第１ＡｌＴｉ層１３の厚みが薄く、且つ、第２ＡｌＴｉ層１５の厚みが厚い。図２１に示す変形例においては、隣り合う区分の境界に位置する一対の第１ＡｌＴｉ層１３によって第１領域１３ａが構成され、また、隣り合う区分の境界に位置する一対の第２ＡｌＴｉ層１５によって第２領域１５ａが構成される。
次に、実施形態の切削工具１０１について図面を用いて説明する。
実施形態の切削工具１０１は、図２２に示すように、第１端（図２２における上端）から第２端（図２２における下端）に向かって延びる棒状体であり、図２３に示すように、第１端側にポケット１０３を有するホルダ１０５と、ポケット１０３に位置する上記の実施形態に代表される被覆工具１とを備えている。
ポケット１０３は、被覆工具１が装着される部分であり、ホルダ１０５の下面に対して平行な着座面と、着座面に対して傾斜する拘束側面とを有している。また、ポケット１０３は、ホルダ１０５の第１端側において開口している。
ポケット１０３には被覆工具１が位置している。このとき、被覆工具１の下面がポケット１０３に直接に接していてもよく、また、被覆工具１とポケット１０３との間にシート（不図示）が挟まれていてもよい。
被覆工具１は、第１面及び第２面が交わる稜線における切刃として用いられる部分の少なくとも一部がホルダ１０５から外方に突出するように装着される。本実施形態においては、被覆工具１は、固定ネジ１０７によって、ホルダ１０５に装着されている。すなわち、被覆工具１の貫通孔に固定ネジ１０７を挿入し、この固定ネジ１０７の先端をポケット１０３に形成されたネジ孔（不図示）に挿入してネジ部同士を螺合させることによって、被覆工具１がホルダ１０５に装着されている。
ホルダ１０５としては、鋼、鋳鉄などを用いることができる。特に、これらの部材の中で靱性の高い鋼を用いることが好ましい。
実施形態においては、いわゆる旋削加工に用いられる切削工具を例示している。旋削加工としては、例えば、内径加工、外径加工及び溝入れ加工が挙げられる。なお、切削工具としては旋削加工に用いられるものに限定されない。例えば、転削加工に用いられる切削工具に上記の実施形態の被覆工具１を用いてもよい。
＜切削加工物の製造方法＞
次に、実施形態の切削加工物の製造方法について図面を用いて説明する。
切削加工物は、被削材２０１を切削加工することによって作製される。実施形態における切削加工物の製造方法は、以下の工程を備えている。すなわち、
（１）被削材２０１を回転させる工程と、
（２）回転している被削材２０１に上記の実施形態に代表される切削工具１０１を接触させる工程と、
（３）切削工具１０１を被削材２０１から離す工程と、
を備えている。
より具体的には、まず、図２４に示すように、被削材２０１を軸Ｏ２の周りで回転させるとともに、被削材２０１に切削工具１０１を相対的に近付ける。次に、図２５に示すように、切削工具１０１における切刃を被削材２０１に接触させて、被削材２０１を切削する。そして、図２６に示すように、切削工具１０１を被削材２０１から相対的に遠ざける。
実施形態においては、軸Ｏ２を固定するとともに被削材２０１を軸Ｏ２の周りで回転させた状態で切削工具１０１をＹ１方向に移動させることによって被削材２０１に近づけている。また、図２５においては、回転している被削材２０１にインサート１における切刃を接触させることによって被削材２０１を切削している。また、図２６においては、被削材２０１を回転させた状態で切削工具１０１をＹ２方向に移動させることによって遠ざけている。
なお、実施形態の製造方法における切削加工では、それぞれの工程において、切削工具１０１を動かすことによって、切削工具１０１を被削材２０１に接触させる、あるいは、切削工具１０１を被削材２０１から離しているが、当然ながらこのような形態に限定されるものではない。
例えば（１）の工程において、被削材２０１を切削工具１０１に近づけてもよい。同様に（３）の工程において、被削材２０１を切削工具１０１から遠ざけてもよい。切削加工を継続する場合には、被削材２０１を回転させた状態を維持して、被削材２０１の異なる箇所にインサート１における切刃を接触させる工程を繰り返せばよい。
なお、被削材２０１の材質の代表例としては、炭素鋼、合金鋼、ステンレス、鋳鉄、または非鉄金属などが挙げられる。
１・・・被覆工具
３・・・第１面
３ａ・・すくい面領域
５・・・第２面
５ａ・・逃げ面領域
７・・・切刃
９・・・基体
１１・・・被覆層
１３・・・第１ＡｌＴｉ層
１３ａ・・第１領域
１５・・・第２ＡｌＴｉ層
１５ａ・・第２領域
１７・・・貫通孔
１０１・・・切削工具
１０３・・・ポケット
１０５・・・ホルダ
１０７・・・固定ネジ
２０１・・・被削材

Claims (11)

  1. 基体と、該基体の上に位置する被覆層とを備え、
    該被覆層は、アルミニウム及びチタンの原子比での含有比率がＡｌ１−ｘ１Ｔｉｘ１で示される、複数の第１ＡｌＴｉ層と、アルミニウム及びチタンの原子比での含有比率がＡｌ１−ｘ２Ｔｉｘ２で示される、複数の第２ＡｌＴｉ層とを有し、前記第１ＡｌＴｉ層及び前記第２ＡｌＴｉ層が前記基体から離れる方向に交互に位置する構成を含み、
    前記ｘ１が前記ｘ２よりも大きく、
    複数の前記第１ＡｌＴｉ層は、隣り合う２つの前記第１ＡｌＴｉ層において、前記基体の近くに位置するものより、前記基体から離れて位置するものの厚みが薄い第１領域を有している、被覆工具。
  2. 前記第１領域に３以上の前記第１ＡｌＴｉ層があるとき、隣り合う２つの前記第１ＡｌＴｉ層における厚みの差が同じである、請求項１に記載の被覆工具。
  3. 複数の前記第１ＡｌＴｉ層は、隣り合う２つの前記第１ＡｌＴｉ層における互いの厚みが同じであるか、又は、前記基体から離れて位置するものの厚みが薄い構成である、請求項１又は２に記載の被覆工具。
  4. 基体と、該基体の上に位置する被覆層とを備え、
    該被覆層は、アルミニウム及びチタンの原子比での含有比率がＡｌ１−ｘ１Ｔｉｘ１で示される、複数の第１ＡｌＴｉ層と、アルミニウム及びチタンの原子比での含有比率がＡｌ１−ｘ２Ｔｉｘ２で示される、複数の第２ＡｌＴｉ層とを有し、前記第１ＡｌＴｉ層及び前記第２ＡｌＴｉ層が前記基体から離れる方向に交互に位置する構成を含み、
    前記ｘ１が前記ｘ２よりも大きく、
    複数の前記第２ＡｌＴｉ層は、隣り合う２つの前記第２ＡｌＴｉ層において、前記基体の近くに位置するものより、前記基体から離れて位置するものの厚みが厚い第２領域を有している、被覆工具。
  5. 前記第２領域に３以上の前記第２ＡｌＴｉ層があるとき、隣り合う２つの前記第２ＡｌＴｉ層における厚みの差が同じである、請求項４に記載の被覆工具。
  6. 複数の前記第２ＡｌＴｉ層は、隣り合う２つの前記第２ＡｌＴｉ層における互いの厚みが同じであるか、又は、前記基体から離れて位置するものの厚みが厚い構成である、請求項４又は５に記載の被覆工具。
  7. 複数の前記第１ＡｌＴｉ層は、隣り合う２つの前記第１ＡｌＴｉ層において、前記基体の近くに位置するものより、前記基体から離れて位置するものの厚みが薄い第１領域を有している、請求項４〜６のいずれか１つに記載の被覆工具。
  8. 前記第１領域に３以上の前記第１ＡｌＴｉ層があるとき、隣り合う２つの前記第１ＡｌＴｉ層における厚みの差が同じであり、
    前記第２領域に３以上の前記第２ＡｌＴｉ層があるとき、隣り合う２つの前記第２ＡｌＴｉ層における厚みの差が同じである、請求項７に記載の被覆工具。
  9. 前記ｘ１が０．５より大きく、且つ、前記Ｘｘ２が０．５より小さい、請求項１〜８のいずれか１つに記載の被覆工具。
  10. 先端側にポケットを有するホルダと、
    前記ポケットに位置する請求項１〜９のいずれか１つに記載の被覆工具とを備えた切削工具。
  11. 被削材を回転させる工程と、
    前記被削材に請求項１０に記載の切削工具を接触させる工程と、
    前記切削工具を前記被削材から離す工程とを備えた切削加工物の製造方法。
JP2019525581A 2017-06-20 2018-06-15 被覆工具、切削工具及び切削加工物の製造方法 Active JP7029452B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017120677 2017-06-20
JP2017120677 2017-06-20
PCT/JP2018/022998 WO2018235747A1 (ja) 2017-06-20 2018-06-15 被覆工具、切削工具及び切削加工物の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2018235747A1 true JPWO2018235747A1 (ja) 2020-04-16
JP7029452B2 JP7029452B2 (ja) 2022-03-03

Family

ID=64736971

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019525581A Active JP7029452B2 (ja) 2017-06-20 2018-06-15 被覆工具、切削工具及び切削加工物の製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11478858B2 (ja)
JP (1) JP7029452B2 (ja)
CN (1) CN110769956B (ja)
DE (1) DE112018003157T5 (ja)
WO (1) WO2018235747A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7211656B2 (ja) * 2019-02-01 2023-01-24 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013518734A (ja) * 2010-02-11 2013-05-23 デグテック エルティーディー 切削工具
WO2015147241A1 (ja) * 2014-03-27 2015-10-01 株式会社タンガロイ 被覆工具
WO2018100849A1 (ja) * 2016-11-29 2018-06-07 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6660133B2 (en) * 2002-03-14 2003-12-09 Kennametal Inc. Nanolayered coated cutting tool and method for making the same
CN101690978B (zh) * 2009-09-30 2011-01-26 株洲钻石切削刀具股份有限公司 周期性沉积的多涂层刀具及其制备方法
JP5483067B2 (ja) * 2009-10-19 2014-05-07 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP5093530B2 (ja) * 2010-03-31 2012-12-12 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
EP3363568B1 (en) * 2014-06-06 2023-08-30 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated tool and method of manufacturing same
CN104131256B (zh) * 2014-07-25 2017-01-11 广东工业大学 一种多层纳米复合刀具涂层及其制备方法
CN104385751B (zh) * 2014-08-29 2016-07-06 株洲钻石切削刀具股份有限公司 含CrAlVN层和CrAlSiN层的复合涂层刀具及其制备方法
JP6349581B2 (ja) 2015-01-14 2018-07-04 住友電工ハードメタル株式会社 硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013518734A (ja) * 2010-02-11 2013-05-23 デグテック エルティーディー 切削工具
WO2015147241A1 (ja) * 2014-03-27 2015-10-01 株式会社タンガロイ 被覆工具
WO2018100849A1 (ja) * 2016-11-29 2018-06-07 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具

Also Published As

Publication number Publication date
JP7029452B2 (ja) 2022-03-03
US20210060658A1 (en) 2021-03-04
DE112018003157T5 (de) 2020-03-05
CN110769956A (zh) 2020-02-07
CN110769956B (zh) 2021-02-26
WO2018235747A1 (ja) 2018-12-27
US11478858B2 (en) 2022-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5542925B2 (ja) 切削工具
CN111032260B (zh) 涂层刀具以及具备该涂层刀具的切削刀具
CN111032261B (zh) 涂层刀具和具备其的切削刀具
US11167356B2 (en) Coated tool and cutting tool including same
JP6865277B2 (ja) 被覆工具及びこれを備えた切削工具
US11471948B2 (en) Coated tool and cutting tool including same
JP7029452B2 (ja) 被覆工具、切削工具及び切削加工物の製造方法
JP6878195B2 (ja) 被覆工具、切削工具及び切削加工物の製造方法
JP7165594B2 (ja) 被覆工具及びこれを備えた切削工具
JP7211656B2 (ja) 被覆工具及びこれを備えた切削工具
JP6092735B2 (ja) 表面被覆工具

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191218

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20201124

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210114

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210309

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210507

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20211013

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211111

C60 Trial request (containing other claim documents, opposition documents)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60

Effective date: 20211111

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20211124

C21 Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21

Effective date: 20211201

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220126

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220218

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7029452

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150