JPWO2018003314A1 - Resin composition, resin sheet, multilayer printed wiring board and semiconductor device - Google Patents
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Abstract
多層プリント配線板に用いた際に、塗膜性及び耐熱性に優れ、めっき密着性、現像性に優れる樹脂組成物、支持体付き樹脂シート、それらを用いた多層プリント配線板、半導体装置を提供する。下記式(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、光硬化開始剤(B)、下記式(2)で表される化合物(C)及び該(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)を含有する、樹脂組成物。
【化1】
【化2】
Provided is a resin composition which is excellent in coating property and heat resistance and excellent in plating adhesion and developability when used for a multilayer printed wiring board, a resin sheet with a support, a multilayer printed wiring board using them, and a semiconductor device. Do. Biphenyl aralkyl type epoxy resin (A) represented by the following formula (1), photo-curing initiator (B), compound (C) represented by the following formula (2), and ethylenic non-compound other than the component (C) Resin composition containing the compound (D) which has a saturated group.
[Chemical formula 1]
[Chemical formula 2]
Description
本発明は、樹脂組成物、それを用いた樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置に関する。 The present invention relates to a resin composition, a resin sheet using the same, a multilayer printed wiring board, and a semiconductor device.
多層プリント配線板の小型化、高密度化により、多層プリント配線板に用いられる積層板を薄型化する検討が盛んに行なわれている。薄型化に伴い、絶縁層についても薄型化が求められ、ガラスクロスを含まない樹脂シートが求められている。絶縁層の材料となる樹脂組成物は熱硬化性樹脂が主流であり、絶縁層間で導通を得るための穴あけは一般的にレーザー加工にて行われている。また、熱硬化性樹脂を用いた樹脂シートでは、絶縁層上に導体回路を形成する方法として、銅めっきで導体回路を形成する方法が一般的である。 Due to the miniaturization and densification of multilayer printed wiring boards, studies for thinning the laminates used for multilayer printed wiring boards are actively conducted. With the reduction in thickness, a reduction in thickness is also required for the insulating layer, and a resin sheet not containing glass cloth is also required. The resin composition to be the material of the insulating layer is mainly a thermosetting resin, and drilling for obtaining conduction between the insulating layers is generally performed by laser processing. Moreover, in the resin sheet using thermosetting resin, the method of forming a conductor circuit by copper plating as a method of forming a conductor circuit on an insulating layer is common.
一方、レーザー加工による穴あけは、穴数が多い高密度基板になるほど加工時間が長くなるという問題がある。そのため、近年は光線等により硬化し、現像で溶解する樹脂組成物を用いることにより、現像工程で一括穴あけ加工することが可能となる樹脂シートが求められている。さらに、絶縁層上に銅めっきで導体回路を形成するため、導体回路が剥がれないよう絶縁層に対して銅めっき密着性が高いことが求められている。 On the other hand, in the case of drilling by laser processing, there is a problem that the processing time is longer as the density of the substrate is larger than the number of holes. Therefore, in recent years, there is a demand for a resin sheet which can be collectively subjected to a hole-piercing process in a developing step by using a resin composition which is cured by light or the like and dissolved by development. Furthermore, in order to form a conductor circuit by copper plating on an insulating layer, it is calculated | required that copper plating adhesiveness is high with respect to an insulating layer so that a conductor circuit may not peel off.
このような積層板や樹脂シートに用いられる樹脂組成物においては、アルカリ現像タイプが主流であり、現像を可能にするために酸無水物基やカルボキシル基含有のアクリレートが使用されている。加えて、銅めっき密着性のためエポキシ樹脂が使用されている。たとえば、特許文献1には、ビスフェノール型エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸とを反応させた後、酸無水物を反応させて得られるカルボキシル変性エポキシ(メタ)アクリレート樹脂と、ビフェニル型エポキシ樹脂と、光重合開始剤と、希釈剤とを含有する感光性熱硬化型樹脂組成物が記載されている。また、特許文献2には、エポキシ樹脂と、硬化剤と、シリカ粒子がシランカップリング剤により表面処理されているシリカ成分とを含有し、硬化促進剤を含有しないか、又は前記エポキシ樹脂及び前記硬化剤の合計100重量部に対して硬化促進剤を3.5重量部以下の含有量で含有し、前記シリカ粒子の平均粒子径が1μm以下であり、前記シリカ成分における前記シリカ粒子1g当たりの前記シランカップリング剤の表面処理量B(g)が、式(X)(C(g)/シリカ粒子1g=[シリカ粒子の比表面積(m2/g)/シランカップリング剤の最小被覆面積(m2/g)]・・・式(X))により算出されるシリカ粒子1g当たりの値C(g)に対して10〜80%の範囲内にある、エポキシ樹脂組成物が開示されている。In the resin composition used for such a laminated board or a resin sheet, an alkali development type is the mainstream, and in order to enable development, an acrylate containing an acid anhydride group or a carboxyl group is used. In addition, epoxy resin is used for copper plating adhesion. For example, in Patent Document 1, a carboxyl-modified epoxy (meth) acrylate resin obtained by reacting a bisphenol type epoxy resin and (meth) acrylic acid and then reacting an acid anhydride, and a biphenyl type epoxy resin, A photosensitive thermosetting resin composition is described which comprises a photoinitiator and a diluent. In addition, Patent Document 2 contains an epoxy resin, a curing agent, and a silica component whose silica particles are surface-treated with a silane coupling agent, and does not contain a curing accelerator, or the epoxy resin and the above The curing accelerator is contained at a content of 3.5 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the total of the curing agent, the average particle diameter of the silica particles is 1 μm or less, and 1 g of the silica particles The surface treatment amount B (g) of the silane coupling agent is represented by the formula (X) (C (g) / 1 g of silica particles = [specific surface area of silica particles (m 2 / g) / minimum coverage area of silane coupling agent (M 2 / g)] Disclosed is an epoxy resin composition in the range of 10 to 80% with respect to the value C (g) per 1 g of silica particles calculated by the formula (X) There is.
しかしながら、従来のエポキシ樹脂を用いた硬化物では十分な物性が得られず、高い現像性を有しつつ、銅めっき密着性の高い保護膜、及び層間絶縁層の形成には限界があった。 However, in a cured product using a conventional epoxy resin, sufficient physical properties can not be obtained, and there is a limit to the formation of a protective film having high adhesion to copper plating and an interlayer insulating layer while having high developability.
また、特許文献1に記載の樹脂組成物から得られる硬化物は、その用途はプリント配線板用のエッチングレジストやソルダーレジストに限られており、可とう性、耐熱性には優れるが層間絶縁層として用いるには銅めっき密着性が十分ではなかった。 Moreover, the hardened | cured material obtained from the resin composition of patent document 1 is limited to the etching resist and solder resists for printed wiring boards, and the use is excellent in flexibility and heat resistance, but it is an interlayer insulation layer. The copper plating adhesion was not sufficient for use as
特許文献2に記載の樹脂組成物から得られる硬化物では、銅めっき密着性に優れるものの、穴あけはレーザー加工に限るため、現像工程による一括穴あけができないものとなっている。 Although the cured product obtained from the resin composition described in Patent Document 2 is excellent in copper plating adhesion, since drilling is limited to laser processing, collective drilling can not be performed in the developing step.
そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、多層プリント配線板に用いた際に、塗膜性及び耐熱性に優れ、現像性、銅めっき密着性に優れる樹脂組成物、支持体付き樹脂シート、それらを用いた多層プリント配線板、半導体装置を提供することにある。 Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and when used for a multilayer printed wiring board, a resin composition which is excellent in coating property and heat resistance, and excellent in developability and copper plating adhesion, Provided are a resin sheet with a support, a multilayer printed wiring board using them, and a semiconductor device.
本発明者らは、下記式(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、光硬化開始剤(B)、下記式(2)で表される化合物(C)及び該(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)を含有する樹脂組成物を用いることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。 The present inventors have found that a biphenyl aralkyl type epoxy resin (A) represented by the following formula (1), a photo-curing initiator (B), a compound (C) represented by the following formula (2) and the (C) By using a resin composition containing a compound (D) having an ethylenically unsaturated group other than the components, it is found that the above-mentioned problems can be solved, and the present invention has been completed.
(式(1)中、nは0〜15の整数を示す。)。 (In formula (1), n shows the integer of 0-15.).
(式(2)中、複数のR1は、各々独立に、水素原子又はメチル基を表し、複数のR2は、各々独立に、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数1〜22の炭化水素基を表し、複数のR3は、各々独立に、下記式(3)で表される置換基、下記式(4)で表される置換基又はヒドロキシ基を表す。)。(In formula (2), a plurality of R 1 's each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and a plurality of R 2 ' s each independently have a hydrogen atom or a carbon atom which may have a substituent) And a plurality of R 3 each independently represent a substituent represented by the following formula (3), a substituent represented by the following formula (4) or a hydroxy group).
(式(4)中、R4は、水素原子又はメチル基を表す。)。(In formula (4), R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group.).
すなわち、本発明は以下の内容を含む。
〔1〕前記式(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、光硬化開始剤(B)、前記式(2)で表される化合物(C)及び前記式(2)で表される化合物(C)以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)を含有する、樹脂組成物。
〔2〕マレイミド化合物(E)を更に含有する、〔1〕に記載の樹脂組成物。
〔3〕充填材(F)を更に含む、〔1〕又は〔2〕に記載の樹脂組成物。
〔4〕シアン酸エステル化合物、フェノール樹脂、オキセタン樹脂、ベンゾオキサジン化合物及び前記(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂からなる群から選択されるいずれか一種以上の化合物(G)を更に含有する、〔1〕〜〔3〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。That is, the present invention includes the following contents.
[1] Biphenylaralkyl Type Epoxy Resin (A) Represented by Formula (1), Photo-curing Initiator (B), Compound (C) Represented by Formula (2), and Formula (2) A resin composition containing a compound (D) having an ethylenically unsaturated group other than the compound (C) to be
[2] The resin composition according to [1], further comprising a maleimide compound (E).
[3] The resin composition according to [1] or [2], further comprising a filler (F).
[4] Any one or more selected from the group consisting of a cyanate ester compound, a phenol resin, an oxetane resin, a benzoxazine compound and an epoxy resin different from the biphenyl aralkyl type epoxy resin (A) represented by (1) The resin composition as described in any one of [1]-[3] which further contains a compound (G).
〔5〕前記式(2)で表される化合物(C)の酸価が、30mgKOH/g以上120mgKOH/g以下である、〔1〕〜〔4〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
〔6〕成分(A)の含有量が、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、3質量部以上50質量部以下である、〔1〕〜〔5〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
〔7〕前記エチレン性不飽和基を有する化合物(D)が、(メタ)アクリロイル基を有する化合物及び/又はビニル基を有する化合物である、〔1〕〜〔6〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
〔8〕前記充填材(F)が、シリカ、ベーマイト、硫酸バリウム、シリコーンパウダー、フッ素樹脂系充填材、ウレタン樹脂系充填材、アクリル樹脂系充填材、ポリエチレン系充填材、スチレン・ブタジエンゴム及びシリコーンゴムからなる群から選択されるいずれか一種類以上である、〔3〕に記載の樹脂組成物。[5] The resin composition according to any one of [1] to [4], wherein the acid value of the compound (C) represented by the formula (2) is 30 mg KOH / g to 120 mg KOH / g. .
[6] Any one of [1] to [5], wherein the content of the component (A) is 3 parts by mass or more and 50 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition The resin composition as described in.
[7] The compound according to any one of [1] to [6], wherein the compound (D) having an ethylenically unsaturated group is a compound having a (meth) acryloyl group and / or a compound having a vinyl group Resin composition.
[8] The filler (F) is silica, boehmite, barium sulfate, silicone powder, fluorocarbon resin filler, urethane resin filler, acrylic resin filler, polyethylene filler, styrene butadiene rubber, silicone The resin composition as described in [3] which is any one or more types selected from the group which consists of rubber | gum.
〔9〕熱硬化促進剤(H)を更に含有する、〔1〕〜〔8〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
〔10〕
下記式(5)で表されるナフタレン型エポキシ樹脂を更に含有する、〔1〕〜〔9〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。[9] The resin composition according to any one of [1] to [8], which further contains a heat curing accelerator (H).
[10]
The resin composition as described in any one of [1]-[9] which further contains the naphthalene type epoxy resin represented by following formula (5).
〔11〕
前記光硬化開始剤(B)が、下記式(6)で表されるホスフィンオキサイド化合物を含有する、〔1〕〜〔10〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。[11]
The resin composition as described in any one of [1]-[10] in which the said photocuring initiator (B) contains the phosphine oxide compound represented by following formula (6).
(式(6)中、R5〜R10は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を示し、R11は、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数6〜20のアリール基を示す。)。
〔12〕支持体及び該支持体の表面に配された、〔1〕〜〔11〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物を有する、樹脂シート。
〔13〕〔1〕〜〔11〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物を有する、多層プリント配線板。
〔14〕〔1〕〜〔11〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物を有する、半導体装置。In formula (6), R 5 to R 10 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and R 11 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or 6 to 20 carbon atoms The aryl group of
[12] A resin sheet comprising the support and the resin composition according to any one of [1] to [11] disposed on the surface of the support.
[13] A multilayer printed wiring board comprising the resin composition according to any one of [1] to [11].
The semiconductor device which has a resin composition as described in any one of [14] [1]-[11].
本発明によれば、めっき密着性、塗膜性、耐熱性及び現像性に優れ、多層プリント配線板に好適な物性を有する活性エネルギー線で硬化する樹脂組成物、支持体付き樹脂シート、それらを用いた多層プリント配線板、半導体装置を提供することができる。 According to the present invention, a resin composition which is excellent in plating adhesion, coating property, heat resistance and developability and which is cured with an active energy ray having physical properties suitable for a multilayer printed wiring board, a resin sheet with a support, The multilayer printed wiring board used and the semiconductor device can be provided.
以下、本発明を実施するための形態(以下、「本実施形態」という。)について詳細に説明する。以下の本実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明を以下の内容に限定する趣旨ではない。本発明はその要旨の範囲内で、適宜に変形して実施できる。 Hereinafter, modes for carrying out the present invention (hereinafter, referred to as “the present embodiment”) will be described in detail. The following present embodiment is an example for describing the present invention, and is not intended to limit the present invention to the following contents. The present invention can be appropriately modified and implemented within the scope of the present invention.
なお、本明細書における「(メタ)アクリロイル基」とは「アクリロイル基」及びそれに対応する「メタクリロイル基」の両方を意味し、「(メタ)アクリレート」とは「アクリレート」及びそれに対応する「メタクリレート」の両方を意味し、「(メタ)アクリル酸」とは「アクリル酸」及びそれに対応する「メタクリル酸」の両方を意味する。また、本実施形態において、「樹脂固形分」又は「樹脂組成物中の樹脂固形分」とは、特に断りのない限り、樹脂組成物における、溶剤及び充填材を除いた成分をいい、「樹脂固形分100質量部」とは、樹脂組成物における、溶剤及び充填材を除いた成分の合計が100質量部であることをいうものとする。 In the present specification, "(meth) acryloyl group" means both "acryloyl group" and "methacryloyl group" corresponding thereto, and "(meth) acrylate" means "acrylate" and corresponding methacrylate The term "(meth) acrylic acid" means both "acrylic acid" and the corresponding "methacrylic acid". Further, in the present embodiment, “resin solid content” or “resin solid content in resin composition” means components in the resin composition excluding the solvent and the filler, unless otherwise specified. The solid content of 100 parts by mass means that the total of components excluding the solvent and the filler in the resin composition is 100 parts by mass.
本実施形態の樹脂組成物は、前記式(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、光硬化開始剤(B)、前記式(2)で表される化合物(C)及び(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)を含有する。以下、各成分について説明する。 The resin composition of the present embodiment includes the biphenyl aralkyl type epoxy resin (A) represented by the formula (1), the photo-curing initiator (B), and the compound (C) represented by the formula (2) Compound (D) having an ethylenically unsaturated group other than the component C) is contained. Each component will be described below.
<式(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)>
本実施形態に用いるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)(成分(A)とも称す)は、前記式(1)の構造を有する、ビフェニルアラルキル骨格を有する化合物である。該樹脂(A)を含んで得られる硬化物は、高い銅めっき密着性を有しつつ、優れた現像性を有する保護膜、及び層間絶縁層を好適に形成することができる。<Biphenyl Aralkyl Type Epoxy Resin (A) Represented by Formula (1)>
The biphenyl aralkyl type epoxy resin (A) (also referred to as component (A)) used in the present embodiment is a compound having a biphenyl aralkyl skeleton having a structure of the above formula (1). The hardened | cured material obtained by containing this resin (A) can form suitably the protective film which has the outstanding developability, and an interlayer insulation layer, having high copper plating adhesiveness.
式(1)中、nは0〜15の整数を示す。好ましくは、現像性の点から、0〜5の整数である。 In Formula (1), n shows the integer of 0-15. Preferably, it is an integer of 0 to 5 from the viewpoint of developability.
本実施形態の樹脂組成物において、成分(A)の含有量は特に限定されないが、銅めっき密着性を向上させるという観点から、成分(A)、成分(C)及び成分(D)の合計含有量100質量部に対し、3質量部以上とすることが好ましく、4質量部以上とすることがより好ましく、5質量部以上とすることが更に好ましい。また、十分に硬化させ、耐熱性を向上させるという観点から90質量部以下とすることが好ましく、89質量部以下とすることがより好ましく、88質量部以下とすることが更に好ましい。 Although the content of the component (A) is not particularly limited in the resin composition of the present embodiment, the total content of the component (A), the component (C) and the component (D) is from the viewpoint of improving the copper plating adhesion. The amount is preferably 3 parts by mass or more, more preferably 4 parts by mass or more, and still more preferably 5 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass. Further, the amount is preferably 90 parts by mass or less, more preferably 89 parts by mass or less, and still more preferably 88 parts by mass or less from the viewpoint of sufficiently curing and improving heat resistance.
本実施形態の樹脂組成物における成分(A)の含有量は、特に限定されないが、銅めっき密着性及び現像性を向上させるという観点から、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、3質量部以上とすることが好ましく、5質量部以上とすることがより好ましく、10質量部以上とすることが更に好ましく、15質量部以上とすることが更により好ましい。また、十分に硬化させ、耐熱性を向上させるという観点から、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、50質量部以下とすることが好ましく、40質量部以下とすることがより好ましく、30質量部以下とすることが更に好ましく、28質量部以下とすることが更により好ましい。 The content of the component (A) in the resin composition of the present embodiment is not particularly limited, but from the viewpoint of improving copper plating adhesion and developability, relative to 100 parts by mass of resin solid content in the resin composition The amount is preferably 3 parts by mass or more, more preferably 5 parts by mass or more, still more preferably 10 parts by mass or more, and still more preferably 15 parts by mass or more. Further, from the viewpoint of sufficiently curing and improving the heat resistance, it is preferably 50 parts by mass or less, more preferably 40 parts by mass or less, with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. Preferably, 30 parts by mass or less is more preferable, and 28 parts by mass or less is still more preferable.
樹脂(A)は、市販品を利用することもでき、例えば、NC3000FH(式(1)中のn=8〜10)、NC3000H(式(1)中のn=2〜5)、NC3000L(式(1)中のn=1〜3)、NC3000(式(1)中のn=1〜3)、CER3000L(式(1)中のn=0〜2)(以上、商品名、日本化薬(株)製)などが挙げられる。
これらは、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。A commercial item can also be utilized for resin (A), for example, NC3000FH (n = 8-10 in Formula (1), NC3000H (n = 2-5 in Formula (1)), NC3000L (Formula (N = 1 to 3 in (1), NC 3000 (n = 1 to 3 in formula (1), CER 3000 L (n = 0 to 2 in formula (1)) (all are trade names, Nippon Kayaku) And the like.
These may be used alone or in combination of two or more.
<光硬化開始剤(B)>
本実施形態に用いる光硬化開始剤(B)(成分(B)とも称す)は、特に限定されないが、一般に光硬化性樹脂組成物で用いられる分野で公知のものを使用することができる。<Photo-curing initiator (B)>
The photo-curing initiator (B) (also referred to as component (B)) used in the present embodiment is not particularly limited, but generally known ones in the field used in the photo-curable resin composition can be used.
例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン類、過酸化ベンゾイル、ラウロイルパーオキサイド、アセチルパーオキサイド、パラクロロベンゾイルパーオキサイド、ジ−tert−ブチル−ジ−パーフタレート等で例示される有機過酸化物、アシルフォスフィンオキサイド類、アセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−フェニルプロパン−1−オン、ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシンクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1等のアセトフェノン類、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、2−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン等のアントラキノン類、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等のチオキサントン類、アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類、ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、4,4’−ビスメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド等のホスフィンオキサイド類、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]等のオキシムエステル類等のラジカル型光硬化開始剤や、p−メトキシフェニルジアゾニウムフロロホスホネート、N,N−ジエチルアミノフェニルジアゾニウムヘキサフロロホスホネート等のルイス酸のジアゾニウム塩、ジフェニルヨードニウムヘキサフロロホスホネート、ジフェニルヨードニウムヘキサフロロアンチモネート等のルイス酸のヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウムヘキサフロロホスホネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフロロアンチモネート等のルイス酸のスルホニウム塩、トリフェニルホスホニウムヘキサフロロアンチモネート等のルイス酸のホスホニウム塩、その他のハロゲン化物、トリアジン系開始剤、ボーレート系開始剤、及びその他の光酸発生剤等のカチオン系光重合開始剤が挙げられる。 For example, benzoins such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, acetyl peroxide, parachlorobenzoyl peroxide, di-tert-butyl-di- Organic peroxides, acyl phosphine oxides, acetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, etc. -Hydroxy-2-methyl-phenylpropan-1-one, diethoxyacetophenone, 1-hydroxychlorohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] Acetophenones such as 2-morpholino-propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-ethyl anthraquinone, 2-t-butyl anthraquinone, 2 -Anthraquinones such as chloroanthraquinone and 2-amyl anthraquinone, thioxanthones such as 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropyl thioxanthone and 2-chlorothioxanthone, ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal, benzophenone, 4- Benzophenones such as benzoyl-4'-methyl diphenyl sulfide, 4,4'-bismethylamino benzophenone, 2,4,6-trimethyl benzoyl diphenyl phosphine oxide, bis (2,4,6-tol Radical type photocuring of phosphine oxides such as methyl benzoyl) -phenyl phosphine oxide, and oxime esters such as 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)] Initiators, diazonium salts of Lewis acids such as p-methoxyphenyl diazonium fluorophosphonates, N, N-diethylaminophenyl diazonium hexafluorophosphonates, etc., iodonium salts of Lewis acids such as diphenyliodonium hexafluorophosphonates, diphenyliodonium hexafluoroantimonates, Sulfonium salts of Lewis acids such as triphenylsulfonium hexafluorophosphonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, etc., triphenylphosphonium hexafluoroantemone Cationic photopolymerization initiators such as phosphonium salts of Lewis acids such as H. et al., Other halides, triazine initiators, baud rate initiators, and other photoacid generators.
アシルフォスフィンオキサイド類としては、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイドなど下記式(6)で表されるホスフィンオキサイド化合物、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドなどが挙げられる。特に、下記式(6)で表されるホスフィンオキサイド化合物は、長波長のUV吸収率が高く、樹脂内部までUV光を到達させることに優れている。そのため、本実施形態にかかる、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、化合物(C)及び化合物(D)などを好適に反応させることができ、耐熱性により優れる樹脂シート及び多層プリント配線板の製造が可能となる。 Acyl phosphine oxides include phosphine oxide compounds represented by the following formula (6) such as bis (2,4,6-trimethyl benzoyl) -phenyl phosphine oxide, 2,4,6-trimethyl benzoyl-diphenyl-phos Fin oxide etc. are mentioned. In particular, the phosphine oxide compound represented by the following formula (6) has a high UV absorptivity at a long wavelength, and is excellent in causing the UV light to reach the inside of the resin. Therefore, the biphenyl aralkyl type epoxy resin (A), the compound (C), the compound (D) and the like according to the present embodiment can be suitably reacted, and the resin sheet and the multilayer printed wiring board are excellent in heat resistance. It becomes possible.
式(6)中、R5〜R10は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を示し、R11は、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数6〜20のアリール基を示す。In formula (6), R 5 to R 10 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and R 11 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or 6 to 20 carbon atoms Indicates an aryl group.
炭素数1〜4のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基などの直鎖状または分岐状のアルキル基が挙げられる。 Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms include linear or linear groups such as methyl group, ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group and t-butyl group A branched alkyl group is mentioned.
炭素数1〜20のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、ネオペンチル基、1,1−ジメチルプロピル基、1,1−ジエチルプロピル基、1−エチル−1−メチルプロピル基、1,1,2,2−テトラメチルプロピル基、1,1−ジメチルブチル基、1,1,3−トリメチルブチル基などの直鎖状または分岐状のアルキル基が挙げられる。 As a C1-C20 alkyl group, a methyl group, an ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, isopropyl group, an isobutyl group, sec-butyl group, for example, t-Butyl group, neopentyl group, 1,1-dimethylpropyl group, 1,1-diethylpropyl group, 1-ethyl-1-methylpropyl group, 1,1,2,2-tetramethylpropyl group, 1,1 -Linear or branched alkyl groups such as dimethylbutyl group and 1,1,3-trimethylbutyl group can be mentioned.
炭素数6〜20のアリール基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、ターフェニル基、フェナントリル基、アントラセニル基などの非置換アリール基;トリル基、ジメチルフェニル基、イソプロピルフェニル基、t−ブチルフェニル基、ジ−t−ブチルフェニル基などのアルキル基置換アリール基が挙げられる。 Examples of the aryl group having 6 to 20 carbon atoms include unsubstituted aryl groups such as phenyl group, naphthyl group, biphenyl group, terphenyl group, phenanthryl group and anthracenyl group; tolyl group, dimethylphenyl group, isopropylphenyl group, t-butyl Examples thereof include alkyl-substituted aryl groups such as phenyl group and di-t-butylphenyl group.
その中でも、多層プリント配線板用途に適した反応性があり、金属導体に対する信頼性が高いという観点から、アシルフォスフィンオキサイド類、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1等のアセトフェノン類のラジカル型光硬化開始剤が好ましく、前述のとおり、より耐熱性が得られることから、前記式(6)で表されるホスフィンオキサイド化合物がより好ましく、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイドが更に好ましい。 Among them, acylphosphine oxides, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) from the viewpoint of having reactivity suitable for multilayer printed wiring board applications and high reliability to metal conductors. ) -Butanone-1 etc. is preferably a radical type photo-curing initiator of acetophenones, and as described above, a phosphine oxide compound represented by the above formula (6) is more preferred, as it is more heat resistant, bis (bis (bis) More preferred is 2,4,6-trimethyl benzoyl) -phenyl phosphine oxide.
これらの光硬化開始剤(B)は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能であり、ラジカル系とカチオン系の双方の開始剤を併せて用いても良い。 These photo-curing initiators (B) can be used singly or in combination of two or more kinds as appropriate. Both radical type and cationic type initiators may be used in combination.
また、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド及び2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドは市販品を使用することもでき、それぞれIrgacure(登録商標)369(BASFジャパン(株)製)、Irgacure(登録商標)819(BASFジャパン(株)製)及びIrgacure(登録商標)TPO(BASFジャパン(株)製)が好適に使用される。 Also, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide and 2,4,6-trimethylbenzoyl -A diphenyl- phosphine oxide can also use a commercial item, Irgacure (trademark) 369 (BASF Japan KK made), Irgacure (trademark) 819 (BASF Japan KK) and Irgacure (Registration respectively) Trademark TPO (manufactured by BASF Japan Ltd.) is preferably used.
本実施形態の樹脂組成物における光硬化開始剤(B)の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物を活性エネルギー線で十分に硬化させ、耐熱性を向上させるという観点から、樹脂組成物中の成分(A)、成分(C)及び成分(D)の合計含有量100質量部に対し、0.1質量部以上とすることが好ましく、0.2質量部以上とすることがより好ましく、0.3質量部以上とすることが更に好ましい。また、光硬化後の熱硬化を阻害し耐熱性を低下させるという観点から、30質量部以下とすることが好ましく、25質量部以下とすることがより好ましく、20質量部以下とすることが更に好ましい。 The content of the photo-curing initiator (B) in the resin composition of the present embodiment is not particularly limited, but from the viewpoint of sufficiently curing the resin composition with active energy rays and improving the heat resistance, the resin composition The total content of component (A), component (C) and component (D) is preferably 0.1 parts by mass or more, and more preferably 0.2 parts by mass or more. And 0.3 parts by mass or more. In addition, from the viewpoint of inhibiting heat curing after photocuring and reducing heat resistance, it is preferably 30 parts by mass or less, more preferably 25 parts by mass or less, and further preferably 20 parts by mass or less. preferable.
本実施形態の樹脂組成物における光硬化開始剤(B)の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、0.1質量部以上とすることが好ましく、0.2質量部以上とすることがより好ましく、0.3質量部以上とすることが更に好ましく、1質量部以上とすることが更により好ましく、1.8質量部以上とすることが更により好ましい。また、光硬化後の熱硬化を阻害し耐熱性を低下させるという観点から、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、30質量部以下とすることが好ましく、25質量部以下とすることがより好ましく、20質量部以下とすることが更に好ましく、10質量部以下とすることが更により好ましい。 The content of the photo-curing initiator (B) in the resin composition of the present embodiment is not particularly limited, but may be 0.1 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. Preferably, 0.2 parts by mass or more is more preferable, 0.3 parts by mass or more is further preferable, 1 part by mass or more is further more preferable, and 1.8 parts by mass or more Even more preferred. Further, from the viewpoint of inhibiting heat curing after photo curing and reducing heat resistance, it is preferably 30 parts by mass or less, and 25 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of resin solid content in the resin composition. It is more preferable to do, to be 20 mass parts or less is still more preferable, and it is still more preferable to be 10 mass parts or less.
<化合物(C)>
本実施形態に用いる化合物(C)(成分(C)とも称す)は、前記式(2)で表される化合物である。化合物(C)は、1種単独で用いてもよく、構造異性体および立体異性体などの異性体を含んでいてもよく、互いに構造が異なる化合物を2種以上適宜組み合わせて用いてもよい。<Compound (C)>
The compound (C) (also referred to as component (C)) used in the present embodiment is a compound represented by the formula (2). The compound (C) may be used alone, may contain isomers such as a structural isomer and a stereoisomer, and two or more kinds of compounds having different structures may be used in combination as appropriate.
前記式(2)中、複数のR1は、各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。その中でも、光硬化反応の反応性を向上させる観点から水素原子を含むことが好ましく、より好ましくはR1の全てが水素原子である。In Formula (2), each R 1 independently represents a hydrogen atom or a methyl group. Among them, it is preferable to contain a hydrogen atom from the viewpoint of improving the reactivity of the light curing reaction, and more preferably, all of R 1 are hydrogen atoms.
複数のR2は、各々独立に、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数1〜22の炭化水素基を表す。The plurality of R 2 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms which may have a substituent.
炭化水素基としては、炭素原子数1〜22、好ましくは1〜14、さらに好ましくは1〜10の直鎖状または分岐状の脂肪族炭化水素基;炭素原子数3〜22、好ましくは3〜14、さらに好ましくは3〜10の脂環族炭化水素基;炭素原子数6〜22、好ましくは6〜14、さらに好ましくは6〜10の芳香族炭化水素基が挙げられる。
脂肪族炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、ネオペンチル基、1,1−ジメチルプロピル基、1,1−ジエチルプロピル基、1−エチル−1−メチルプロピル基、1,1,2,2−テトラメチルプロピル基、1,1−ジメチルブチル基、1,1,3−トリメチルブチル基などの直鎖状または分岐状のアルキル基;ビニル基、アリル基、イソプロペニル基などの直鎖状または分岐状のアルケニル基;エチニル基、プロパルギル基などの直鎖状または分岐状のアルキニル基が挙げられる。
脂環族炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、1−メチル−1−シクロヘキシル基、アダマンチル基などの環状飽和炭化水素基;シクロペンタジエニル基、インデニル基、フルオレニル基などの環状不飽和炭化水素基が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、ターフェニル基、フェナントリル基、アントラセニル基などの非置換アリール基;トリル基、ジメチルフェニル基、イソプロピルフェニル基、t−ブチルフェニル基、ジ−t−ブチルフェニル基などのアルキル基置換アリール基;などのアリール基が挙げられる。
これら炭化水素基は、少なくとも一つの水素原子が他の炭化水素基で置換されていてもよい。少なくとも一つの水素原子が他の炭化水素基で置換された炭化水素基としては、例えば、ベンジル基、クミル基などのアリール基置換アルキル基、シクロヘキシルメチル基などの環状飽和炭化水素基置換アルキル基が挙げられる。The hydrocarbon group is a linear or branched aliphatic hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, preferably 1 to 14 carbon atoms, more preferably 1 to 10 carbon atoms; 3 to 22 carbon atoms, preferably 3 to 3 carbon atoms 14, more preferably 3 to 10 alicyclic hydrocarbon groups; and aromatic hydrocarbon groups having 6 to 22 carbon atoms, preferably 6 to 14 carbon atoms, and more preferably 6 to 10 carbon atoms.
As an aliphatic hydrocarbon group, for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, t-butyl group Group, neopentyl group, 1,1-dimethylpropyl group, 1,1-diethylpropyl group, 1-ethyl-1-methylpropyl group, 1,1,2,2-tetramethylpropyl group, 1,1-dimethylbutyl Groups, linear or branched alkyl groups such as 1,1,3-trimethylbutyl group; linear or branched alkenyl groups such as vinyl group, allyl group, isopropenyl group; ethynyl group, propargyl group, etc. And a straight or branched alkynyl group of
The alicyclic hydrocarbon group is, for example, a cyclic saturated hydrocarbon group such as cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, 1-methyl-1-cyclohexyl group, adamantyl group and the like; cyclopentadienyl group, indenyl group And a cyclic unsaturated hydrocarbon group such as a fluorenyl group.
Examples of the aromatic hydrocarbon group include unsubstituted aryl groups such as phenyl group, naphthyl group, biphenyl group, terphenyl group, phenanthryl group and anthracenyl group; tolyl group, dimethylphenyl group, isopropylphenyl group, t-butylphenyl And aryl groups such as alkyl group-substituted aryl groups such as di-t-butylphenyl group; and the like.
In these hydrocarbon groups, at least one hydrogen atom may be substituted with another hydrocarbon group. As a hydrocarbon group in which at least one hydrogen atom is substituted by another hydrocarbon group, for example, aryl group-substituted alkyl group such as benzyl group and cumyl group, cyclic saturated hydrocarbon group-substituted alkyl group such as cyclohexylmethyl group It can be mentioned.
置換基を有していてもよい炭素数1〜22の炭化水素基としては、直鎖状または分岐状のアルキル基が好ましい。
複数のR2は、硬化物の耐熱性を向上させる観点からメチル基を含むことが好ましく、より好ましくはR2の全てがメチル基である。
複数のR3は、各々独立に、前記式(3)で表される置換基、前記式(4)で表される置換基又はヒドロキシ基を表す。その中でも、耐熱性を向上させる観点から、ヒドロキシル基を含むことが好ましい。また、本実施形態では、複数のR3のうち、前記式(3)で表される置換基を含む化合物(C)を用いることも、現像性を向上させる観点から、好ましい。本実施形態では、複数のR3のうち、前記式(4)で表される置換基を含む化合物(C)を用いることも、耐熱性を向上させる観点から、好ましい。前記式(4)中、R4は水素原子又はメチル基を表す。その中でも、光硬化反応の反応性を向上させる観点から、水素原子であることが好ましい。As a C1-C22 hydrocarbon group which may have a substituent, a linear or branched alkyl group is preferable.
The plurality of R 2 preferably contain a methyl group from the viewpoint of improving the heat resistance of the cured product, and more preferably all of R 2 are methyl groups.
Each R 3 independently represents a substituent represented by Formula (3), a substituent represented by Formula (4), or a hydroxy group. Among these, from the viewpoint of improving heat resistance, it is preferable to contain a hydroxyl group. Further, in the present embodiment, it is also preferable to use the compound (C) containing a substituent represented by the formula (3) among a plurality of R 3 from the viewpoint of improving the developability. In the present embodiment, it is also preferable to use the compound (C) containing a substituent represented by the above-mentioned formula (4) among a plurality of R 3 from the viewpoint of improving the heat resistance. In the formula (4), R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group. Among them, a hydrogen atom is preferable from the viewpoint of improving the reactivity of the light curing reaction.
複数のR3は、現像性を向上させる観点から、全てのR3の置換基のうち、前記式(3)で表される置換基の比率が20%以上98%以下の範囲、前記式(4)で表される置換基の比率が5%以上98%以下の範囲、ヒドロキシ基の比率が10%以上98%以下の範囲(これら置換基の比率の和が100%である)となることが好ましい。その中でも、現像性を向上させる観点から複数のR3のうち少なくとも一つが前記式(3)で表される置換基となることが特に好ましい。From the viewpoint of improving developability, the plurality of R 3 groups have a ratio of a substituent represented by the formula (3) to a range of 20% to 98% among the substituents of all R 3 ; The ratio of the substituent represented by 4) is in the range of 5% to 98% and the ratio of the hydroxy group is in the range of 10% to 98% (the sum of the ratio of these substituents is 100%) Is preferred. Among them, it is particularly preferable that at least one of the plurality of R 3 be a substituent represented by the above formula (3) from the viewpoint of improving the developability.
化合物(C)としては、以下の化合物(C1)〜(C5)のいずれか一種以上を含むことが、光硬化反応の反応性、硬化物の耐熱性および現像性を向上させることができるため好ましく、少なくとも化合物(C1)を含むことがより好ましく、(C1)〜(C5)のいずれか2種以上を含むこともより好ましく、化合物(C1)および化合物(C2)〜(C5)のいずれか1種以上を含むことがさらに好ましい。化合物(C)としては、少なくとも化合物(C2)及び(C3)を含むことも好ましい。 It is preferable that the compound (C) contains any one or more of the following compounds (C1) to (C5) because the reactivity of the photocuring reaction and the heat resistance and the developability of the cured product can be improved. And more preferably at least the compound (C1), and more preferably any two or more of (C1) to (C5), and any one of the compound (C1) and the compounds (C2) to (C5) It is further preferred to include species or more. The compound (C) preferably contains at least the compounds (C2) and (C3).
このような化合物は市販品を利用することもでき、例えば、KAYARAD(登録商標)ZCR−6001H、KAYARAD(登録商標)ZCR−6002H、KAYARAD(登録商標)ZCR−6006H、KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、KAYARAD(登録商標)ZCR−601H(以上、商品名、日本化薬(株)製)などが挙げられる。 Such compounds may be commercially available products, for example, KAYARAD (registered trademark) ZCR-6001H, KAYARAD (registered trademark) ZCR-6002H, KAYARAD (registered trademark) ZCR-6006H, KAYARAD (registered trademark) ZCR- 6007H, KAYARAD (registered trademark) ZCR-601H (trade names, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like.
本実施形態の樹脂組成物において、化合物(C)の酸価は、現像性を向上させる観点から30mgKOH/g以上とすることが好ましく、より現像性が向上することから、50mgKOH/g以上であることがさらに好ましい。また、活性エネルギー線で硬化させた後に現像液による溶解を防止する観点から、化合物(A)の酸価は、120mgKOH/g以下とすることが好ましく、より溶解を防止できることから、110mgKOH/g以下であることがさらに好ましい。なお、本実施形態における「酸価」は、JISK 0070:1992に準じた方法で測定される値を示す。 In the resin composition of the present embodiment, the acid value of the compound (C) is preferably 30 mg KOH / g or more from the viewpoint of improving the developability, and is 50 mg KOH / g or more because the developability is further improved. Is more preferred. Further, from the viewpoint of preventing dissolution by the developer after curing with active energy rays, the acid value of the compound (A) is preferably 120 mg KOH / g or less, and from the viewpoint of preventing dissolution, 110 mg KOH / g or less It is further preferred that In addition, the "acid value" in this embodiment shows the value measured by the method according to JISK 0070: 1992.
本実施形態の樹脂組成物において、化合物(C)の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物を活性エネルギー線で硬化させるという観点から、樹脂組成物中の成分(A)、成分(C)及び成分(D)の合計含有量100質量部に対し、1質量部以上とすることが好ましく、2質量部以上とすることがより好ましく、3質量部以上とすることが更に好ましい。また、活性エネルギー線で十分に硬化させ、耐熱性を向上させるという観点から、99質量部以下とすることが好ましく、98質量部以下とすることがより好ましく、97質量部以下とすることが更に好ましい。 In the resin composition of the present embodiment, the content of the compound (C) is not particularly limited, but from the viewpoint of curing the resin composition with active energy rays, component (A) in the resin composition, component (C) 1 part by mass or more, preferably 2 parts by mass or more, and more preferably 3 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the total content of the component (D) and the component (D). Further, from the viewpoint of sufficient curing with active energy rays and improvement of heat resistance, it is preferably 99 parts by mass or less, more preferably 98 parts by mass or less, and further preferably 97 parts by mass or less preferable.
本実施形態の樹脂組成物において、化合物(C)の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物を活性エネルギー線で硬化させるという観点から、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、1質量部以上とすることが好ましく、2質量部以上とすることがより好ましく、3質量部以上とすることが更に好ましく、10質量部以上とすることが更により好ましく、25質量部以上とすることが更により好ましく、30質量部以上とすることが最も好ましい。また、活性エネルギー線で十分に硬化させ、耐熱性を向上させるという観点から、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、99質量部以下とすることが好ましく、98質量部以下とすることがより好ましく、97質量部以下とすることが更に好ましく、90質量部以下とすることが更により好ましく、75質量部以下とすることが更により好ましく、72質量部以下とすることが最も好ましい。 In the resin composition of the present embodiment, the content of the compound (C) is not particularly limited, but from the viewpoint of curing the resin composition with an active energy ray, 100 parts by mass of resin solid content in the resin composition 1 part by mass or more, more preferably 2 parts by mass or more, still more preferably 3 parts by mass or more, still more preferably 10 parts by mass or more, 25 parts by mass or more It is further more preferable to use it, and it is most preferable to use 30 parts by mass or more. Further, from the viewpoint of sufficient curing with active energy rays and improvement of heat resistance, it is preferably 99 parts by mass or less, and 98 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. It is more preferable to use 97 parts by mass or less, still more preferably 90 parts by mass or less, still more preferably 75 parts by mass or less, and most preferably 72 parts by mass or less preferable.
<(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)>
本実施形態の樹脂組成物は、活性エネルギー線(例えば、紫外線)に対する反応性を高め、耐熱性を向上させるために、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)(成分(D)とも称す)を含有する。本実施形態に用いるエチレン性不飽和基を有する化合物(D)は、前記式(2)で表される化合物(C)以外であり、1分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物であれば、特に限定されないが、例えば、(メタ)アクリロイル基、ビニル基等を有する化合物が挙げられる。これらは、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。<Compound (D) having an ethylenically unsaturated group other than the component (C)>
The resin composition of the present embodiment is a compound (D) having an ethylenically unsaturated group other than the component (C) in order to enhance the reactivity to active energy rays (for example, ultraviolet light) and improve the heat resistance. (D) is also contained. The compound (D) having an ethylenically unsaturated group used in the present embodiment is other than the compound (C) represented by the formula (2), and has one or more ethylenically unsaturated groups in one molecule. Although it will not be specifically limited if it is a compound, For example, the compound which has a (meth) acryloyl group, a vinyl group, etc. is mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.
(メタ)アクリロイル基を有する化合物としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(メタ)アクリレートモノメチルエーテル、フェニルエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、グリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレンジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリス(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアヌレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、アジピン酸エポキシジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールエチレンオキサイドジ(メタ)アクリレート、水素化ビスフェノールエチレンオキサイド(メタ)アクリレート、ビスフェノールジ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性ヒドロキシピバリン酸ネオペングリコールジ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリエチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、及びそのエチレンオキサイド付加物、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、及びそのエチレンオキサイド付加物、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、及びそのエチレンオキサイド付加物等が挙げられる。 As a compound having a (meth) acryloyl group, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, polyethylene glycol (meth) acrylate, polyethylene glycol (meth) acrylate monomethyl ether , Phenylethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, butanediol di (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, Neopentyl glycol di (meth) acrylate, nonanediol di (meth) acrylate, glycol di (meth) acrylate, diethylene di (meth) acrylate , Polyethylene glycol di (meth) acrylate, tris (meth) acryloyloxyethyl isocyanurate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, adipic acid epoxy di (meth) acrylate, bisphenol ethylene oxide di (meth) acrylate, hydrogenated bisphenol ethylene oxide (Meth) acrylate, bisphenol di (meth) acrylate, ε-caprolactone modified hydroxypivalate neopenglycol di (meth) acrylate, ε-caprolactone modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ε-caprolactone modified dipentaerythritol poly ( Meta) acrylate, dipentaerythritol poly (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate , Triethylolpropane tri (meth) acrylate, and its ethylene oxide adduct, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and its ethylene oxide adduct, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, And ethylene oxide adducts thereof and the like.
この他にも、(メタ)アクリロイル基とウレタン結合を同一分子内に併せ持つウレタン(メタ)アクリレート類、同様に(メタ)アクリロイル基とエステル結合を同一分子内に併せ持つポリエステル(メタ)アクリレート、エポキシ樹脂から誘導され、(メタ)アクリロイル基を併せ持つエポキシ(メタ)アクリレート類、これらの結合が複合的に用いられている反応性オリゴマー等も挙げられる。 Besides these, urethane (meth) acrylates having a (meth) acryloyl group and a urethane bond in the same molecule, polyester (meth) acrylates having a (meth) acryloyl group and an ester bond in the same molecule, and epoxy resin And epoxy (meth) acrylates having a (meth) acryloyl group in combination, and reactive oligomers in which these bonds are used in combination.
上記ウレタン(メタ)アクリレート類とは、水酸基含有(メタ)アクリレートとポリイソシアネート、必要に応じて用いられるその他アルコール類との反応物である。例えば、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート等のグリセリン(メタ)アクリレート類、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の糖アルコール(メタ)アクリレート類と、トルエンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、水添キシレンジイソシアネート、ジシクロヘキサンメチレンジイソシアネート、及びそれらのイソシアヌレート、ビュレット反応物等のポリイソシアネート等を反応させ、ウレタン(メタ)アクリレート類となる。 The above urethane (meth) acrylates are a reaction product of a hydroxyl group-containing (meth) acrylate and a polyisocyanate, and other alcohols used as needed. For example, hydroxyalkyl (meth) acrylates such as hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, glycerin mono (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate etc ) Sugar alcohols (meth) acrylates such as acrylates, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and toluene diisocyanate Hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, norbornene diisocyanate, Down diisocyanate, hydrogenated xylene diisocyanate, dicyclohexane diisocyanate, and their isocyanurate, by reacting polyisocyanates such as buret reactants, the urethane (meth) acrylates.
上記ポリエステル(メタ)アクリレート類とは、例えば、カプロラクトン変性2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド及び/又はプロピレンオキサイド変性フタル酸(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド変性コハク酸(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート等の単官能(ポリ)エステル(メタ)アクリレート類;ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、エピクロルヒドリン変性フタル酸ジ(メタ)アクリレート等のジ(ポリ)エステル(メタ)アクリレート類;トリメチロールプロパン又はグリセリン1モルに1モル以上のε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等の環状ラクトン化合物を付加して得たトリオールのモノ、ジ又はトリ(メタ)アクリレートが挙げられる。 The above polyester (meth) acrylates are, for example, caprolactone modified 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, ethylene oxide and / or propylene oxide modified phthalic acid (meth) acrylate, ethylene oxide modified succinic acid (meth) acrylate, caprolactone modified Monofunctional (poly) ester (meth) acrylates such as tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate; hydroxypivalic acid ester neopentyl glycol di (meth) acrylate, caprolactone modified hydroxypivalic acid ester neopentyl glycol di (meth) acrylate, epichlorohydrin Di (poly) ester (meth) acrylates such as modified phthalic acid di (meth) acrylate; 1 to 1 mol of trimethylol propane or glycerin Le more ε- caprolactone, .gamma.-butyrolactone, a triol obtained by adding a cyclic lactone compound such as δ- valerolactone mono- include di- or tri (meth) acrylate.
更には、ペンタエリスリトール又はジトリメチロールプロパン1モルに1モル以上のε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等の環状ラクトン化合物を付加して得たトリオールのモノ、ジ、トリ又はテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトール1モルに1モル以上のε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等の環状ラクトン化合物を付加して得たトリオールのモノ、又はポリ(メタ)アクリレートのトリオール、テトラオール、ペンタオール又はヘキサオール等の多価アルコールのモノ(メタ)アクリレート又はポリ(メタ)アクリレートが挙げられる。 Furthermore, mono-, di-, tri- or tetra- (triol) of triol obtained by adding 1 mol or more of a cyclic lactone compound such as ε-caprolactone, γ-butyrolactone, δ-valerolactone to 1 mol of pentaerythritol or ditrimethylolpropane. ) Triol mono or poly (meth) acrylate triol obtained by adding a cyclic lactone compound such as 1 mol or more of ε-caprolactone, γ-butyrolactone, δ-valerolactone to 1 mol of acrylate or dipentaerythritol And mono (meth) acrylates or poly (meth) acrylates of polyhydric alcohols such as ol, pentaol or hexaol.
そしてまた更には、(ポリ)エチレングリコール、(ポリ)プロピレングリコール、(ポリ)テトラメチレングリコール、(ポリ)ブチレングリコール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、ヘキサンジオール等のジオール成分とマレイン酸、フマル酸、コハク酸、アジピン酸、フタル酸、イソフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ダイマー酸、セバチン酸、アゼライン酸、5−ナトリウムスルホイソフタル酸等の多塩基酸、及びこれらの無水物との反応物であるポリエステルポリオールの(メタ)アクリレート;前記ジオール成分と多塩基酸及びこれらの無水物とε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等からなる環状ラクトン変性ポリエステルジオールの(メタ)アクリレート等の多官能(ポリ)エステル(メタ)アクリレート類等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。 And furthermore, a diol component such as (poly) ethylene glycol, (poly) propylene glycol, (poly) tetramethylene glycol, (poly) butylene glycol, 3-methyl-1,5-pentanediol, hexanediol and maleic acid , Fumaric acid, succinic acid, adipic acid, phthalic acid, isophthalic acid, hexahydrophthalic acid, tetrahydrophthalic acid, dimer acid, sebacic acid, azelaic acid, polybasic acids such as 5-sodium sulfoisophthalic acid, and anhydrides thereof (Meth) acrylates of polyester polyols which are the reaction products of products; cyclic lactone-modified polyester diols composed of the above-mentioned diol component, polybasic acid and anhydrides thereof, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, δ-valerolactone etc. Polyfunctional such as meta) acrylate May be mentioned poly) ester (meth) acrylates such as, but not limited thereto.
上記エポキシ(メタ)アクリレート類とは、エポキシ基を有する化合物と(メタ)アクリル酸とのカルボキシレート化合物である。例えば、フェノールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールA型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールF型エポキシ(メタ)アクリレート、ビフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、ナフタレン骨格含有エポキシ(メタ)アクリレート、グリオキサール型エポキシ(メタ)アクリレート、複素環式エポキシ(メタ)アクリレート等、及びこれらの酸無水物変性エポキシアクリレート等が挙げられる。 The epoxy (meth) acrylates are carboxylate compounds of a compound having an epoxy group and (meth) acrylic acid. For example, phenol novolac epoxy (meth) acrylate, cresol novolac epoxy (meth) acrylate, trishydroxyphenylmethane epoxy (meth) acrylate, dicyclopentadiene phenol epoxy (meth) acrylate, bisphenol A epoxy (meth) acrylate Bisphenol F type epoxy (meth) acrylate, biphenol type epoxy (meth) acrylate, bisphenol A novolac type epoxy (meth) acrylate, naphthalene skeleton-containing epoxy (meth) acrylate, glyoxal type epoxy (meth) acrylate, heterocyclic epoxy ( Examples thereof include meta) acrylates and the like, and acid anhydride-modified epoxy acrylates thereof.
ビニル基を有する化合物としては、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル等のビニルエーテル類が挙げられる。スチレン類としては、スチレン、メチルスチレン、エチルスチレン、ジビニルベンゼン等が挙げられる。その他ビニル化合物としてはトリアリルイソシアヌレート、トリメタアリルイソシアヌレート、ビスアリルナジイミド等が挙げられる。 Examples of the compound having a vinyl group include vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether and ethylene glycol divinyl ether. Styrenes include styrene, methylstyrene, ethylstyrene, divinylbenzene and the like. Other vinyl compounds include triallyl isocyanurate, trimethallyl isocyanurate, bisallylnadiimide and the like.
これらの中でも、耐熱性の点から、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールA型エポキシ(メタ)アクリレート、ナフタレン骨格含有エポキシ(メタ)アクリレート、ビスアリルナジイミドからなる群より選択される一種以上であることが好ましく、より耐熱性が向上する点から、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートであることがより好ましい。このような種類のエチレン性不飽和基を有する化合物を含むことにより、得られる硬化物の耐熱性がより向上する傾向にある。 Among these, from the viewpoint of heat resistance, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, cresol novolac epoxy (meth) acrylate, bisphenol A epoxy (meth) acrylate, naphthalene skeleton-containing epoxy ( It is preferably at least one selected from the group consisting of meta) acrylates and bisallynadiimides, and from the viewpoint of further improving the heat resistance, dipentaerythritol hexa (meth) acrylates are more preferred. By including a compound having such a type of ethylenically unsaturated group, the heat resistance of the resulting cured product tends to be further improved.
本実施形態の樹脂組成物において、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)の含有量は、特に限定されないが、現像性を良好にするという観点から、樹脂組成物中の成分(A)、成分(C)及び成分(D)の合計含有量100質量部に対し、0.5質量部以上とすることが好ましく、1.0質量部以上とすることがより好ましく、1.5質量部以上とすることが更に好ましい。また、硬化物の耐熱性を良好にするという観点から、90質量部以下とすることが好ましく、70質量部以下とすることがより好ましく、50質量部以下とすることが更に好ましい。 In the resin composition of the present embodiment, the content of the compound (D) having an ethylenically unsaturated group other than the component (C) is not particularly limited, but from the viewpoint of making the developability good, in the resin composition The total content of component (A), component (C) and component (D) is preferably 0.5 parts by mass or more, more preferably 1.0 parts by mass or more, with respect to 100 parts by mass. More preferably, it is 1.5 parts by mass or more. Further, from the viewpoint of improving the heat resistance of the cured product, it is preferably 90 parts by mass or less, more preferably 70 parts by mass or less, and still more preferably 50 parts by mass or less.
本実施形態の樹脂組成物において、化合物(D)の含有量は、特に限定されないが、現像性を良好にするという観点から、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、0.5質量部以上とすることが好ましく、1.0質量部以上とすることがより好ましく、1.5質量部以上とすることが更に好ましく、5.0質量部以上とすることが更により好ましく、10質量部以上とすることが最も好ましい。また、硬化物の耐熱性を良好にするという観点から、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、90質量部以下とすることが好ましく、70質量部以下とすることがより好ましく、50質量部以下とすることが更に好ましく、25質量部以下とすることが更により好ましく、20質量部以下とすることが最も好ましい。 In the resin composition of the present embodiment, the content of the compound (D) is not particularly limited, but from the viewpoint of improving the developability, the content of the compound (D) relative to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition is 0. The content is preferably 5 parts by mass or more, more preferably 1.0 parts by mass or more, still more preferably 1.5 parts by mass or more, and still more preferably 5.0 parts by mass or more, Most preferably, it is 10 parts by mass or more. Further, from the viewpoint of improving the heat resistance of the cured product, it is preferably 90 parts by mass or less, and more preferably 70 parts by mass or less, with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. It is more preferable that the amount be 50 parts by mass or less, still more preferably 25 parts by mass or less, and most preferably 20 parts by mass or less.
<マレイミド化合物(E)>
本実施形態の樹脂組成物においては、マレイミド化合物(E)(成分(E)とも称す)を用いることができる。以下にマレイミド化合物(E)について詳細に述べる。<Maleimide compound (E)>
The maleimide compound (E) (also referred to as component (E)) can be used in the resin composition of the present embodiment. The maleimide compound (E) will be described in detail below.
本実施形態に用いるマレイミド化合物(E)は、分子中に一個以上のマレイミド基を有する化合物であれば、特に限定されるものではない。その具体例としては、例えば、N−フェニルマレイミド、N−ヒドロキシフェニルマレイミド、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、2,2−ビス{4−(4−マレイミドフェノキシ)−フェニル}プロパン、4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、ビス(3,5−ジメチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3,5−ジエチル−4−マレイミドフェニル)メタン、フェニルメタンマレイミド、o−フェニレンビスマレイミド、m−フェニレンビスマレイミド、p−フェニレンビスマレイミド、o−フェニレンビスシトラコンイミド、m−フェニレンビスシトラコンイミド、p−フェニレンビスシトラコンイミド、2,2−ビス(4−(4−マレイミドフェノキシ)−フェニル)プロパン、3,3−ジメチル−5,5−ジエチル−4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド、1,6−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン、4,4−ジフェニルエーテルビスマレイミド、4,4−ジフェニルスルフォンビスマレイミド、1,3−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−マレイミドフェノキシ)ベンゼン、4,4−ジフェニルメタンビスシトラコンイミド、2,2−ビス[4−(4−シトラコンイミドフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス(3,5−ジメチル−4−シトラコンイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−シトラコンイミドフェニル)メタン、ビス(3,5−ジエチル−4−シトラコンイミドフェニル)メタン、ポリフェニルメタンマレイミド、ノボラック型マレイミド化合物、ビフェニルアラルキル型マレイミド化合物、下記式(7)で表されるマレイミド化合物、下記式(8)で表されるマレイミド化合物、及びこれらマレイミド化合物のプレポリマー、又はマレイミド化合物とアミン化合物のプレポリマー等が挙げられる。 The maleimide compound (E) used in the present embodiment is not particularly limited as long as it is a compound having one or more maleimide groups in the molecule. Specific examples thereof include, for example, N-phenylmaleimide, N-hydroxyphenylmaleimide, bis (4-maleimidophenyl) methane, 2,2-bis {4- (4-maleimidophenoxy) -phenyl} propane, 4,4. -Diphenylmethane bismaleimide, bis (3,5-dimethyl-4-maleimidophenyl) methane, bis (3-ethyl-5-methyl-4-maleimidophenyl) methane, bis (3,5-diethyl-4-maleimidophenyl) Methane, phenylmethane maleimide, o-phenylene bismaleimide, m-phenylene bis maleimide, p-phenylene bis maleimide, o-phenylene bis citraconic imide, m-phenylene bis citraconic imide, p-phenylene bis citraconic imide, 2, 2-bis (4- (4-maleimidophov) Noxy) -phenyl) propane, 3,3-dimethyl-5,5-diethyl-4,4-diphenylmethane bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylenebismaleimide, 1,6-bismaleimide- (2,2 , 4-trimethyl) hexane, 4,4-diphenyletherbismaleimide, 4,4-diphenylsulfone bismaleimide, 1,3-bis (3-maleimidophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-maleimidophenoxy) benzene, 4,4-Diphenylmethane biscitraconimide, 2,2-bis [4- (4-citraconimidophenoxy) phenyl] propane, bis (3,5-dimethyl-4-citraconimidophenyl) methane, bis (3-ethyl-) 5-Methyl-4-citraconimidophenyl) methane, bis (3,5-die) 4-Cytraconimidophenyl) methane, polyphenylmethane maleimide, novolak maleimide compound, biphenylaralkyl maleimide compound, maleimide compound represented by the following formula (7), maleimide compound represented by the following formula (8), And prepolymers of these maleimide compounds, or prepolymers of maleimide compounds and amine compounds.
この中でも、ノボラック型マレイミド化合物、ビフェニルアラルキル型マレイミド化合物が特に好ましい。また、良好な塗膜性が得られ、耐熱性に優れるという観点から、下記式(7)で表されるマレイミド化合物、下記式(8)で表されるマレイミド化合物が好ましく、下記式(7)で表されるマレイミド化合物がより好ましい。下記式(7)で表されるマレイミド化合物としては、市販品を利用することもでき、例えば、BMI−2300(大和化成工業(株)社製)が挙げられる。下記式(8)で表されるマレイミド化合物としては、市販品を利用することもでき、例えば、MIR−3000(日本化薬(株)社製)が挙げられる。
これらのマレイミド化合物(C)は1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。Among these, novolak type maleimide compounds and biphenylaralkyl type maleimide compounds are particularly preferable. Further, from the viewpoint of obtaining good coating properties and excellent heat resistance, maleimide compounds represented by the following formula (7) and maleimide compounds represented by the following formula (8) are preferable, and the following formula (7) The maleimide compound represented by is more preferable. A commercial item can also be utilized as a maleimide compound represented by following formula (7), for example, BMI-2300 (made by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) is mentioned. A commercial item can also be utilized as a maleimide compound represented by following formula (8), for example, MIR-3000 (made by Nippon Kayaku Co., Ltd.) is mentioned.
These maleimide compounds (C) can be used alone or in combination of two or more.
(式(7)中、複数のR5は、各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。n1は、1以上の整数を表し、好ましくは1〜10の整数を表し、より好ましくは1〜5の整数を表す。)。(In formula (7), a plurality of R 5 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group. N 1 represents an integer of 1 or more, preferably represents an integer of 1 to 10, more preferably 1 Represents an integer of -5).
(式(8)中、複数のR6は、各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。n2は、1以上の整数を表し、好ましくは1〜5の整数を表す。)。
これらのマレイミド化合物(E)は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。(In formula (8), each R 6 independently represents a hydrogen atom or a methyl group. N 2 represents an integer of 1 or more, preferably an integer of 1 to 5).
These maleimide compounds (E) can be used alone or in combination of two or more.
本実施形態の樹脂組成物におけるマレイミド化合物(E)の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物を十分に硬化させ、耐熱性を向上させるという観点から、樹脂組成物中の成分(A)、成分(C)及び成分(D)の合計含有量100質量部に対し、0.01質量部以上とすることが好ましく、0.02質量部以上とすることがより好ましく、0.03質量部以上とすることが更に好ましい。また、現像性を良好にするという観点から、50質量部以下とすることが好ましく、45質量部以下とすることがより好ましく、40質量部以下とすることが更に好ましい。 The content of the maleimide compound (E) in the resin composition of the present embodiment is not particularly limited, but from the viewpoint of sufficiently curing the resin composition and improving the heat resistance, the component (A) in the resin composition And 0.01 parts by mass or more, preferably 0.02 parts by mass or more, and more preferably 0.03 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total content of the component (C) and the component (D). It is more preferable to set it as the above. Further, from the viewpoint of improving the developability, the amount is preferably 50 parts by mass or less, more preferably 45 parts by mass or less, and still more preferably 40 parts by mass or less.
本実施形態の樹脂組成物において、マレイミド化合物の含有量(E)は、特に制限されず、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.01質量部〜50質量部であり、より好ましくは0.02質量部〜45質量部であり、更に好ましくは0.03質量部〜20質量部であり、更により好ましくは0.1質量部〜10質量部であり、最も好ましくは1質量部〜7質量部である。マレイミド化合物の含有量が上記範囲内であることにより、硬化物の耐熱性がより向上する傾向にある。 In the resin composition of the present embodiment, the content (E) of the maleimide compound is not particularly limited, and is preferably 0.01 parts by mass to 50 parts by mass, and more preferably 100 parts by mass of the resin solid content. Is 0.02 to 45 parts by mass, more preferably 0.03 to 20 parts by mass, still more preferably 0.1 to 10 parts by mass, and most preferably 1 part by mass 7 parts by mass. When the content of the maleimide compound is in the above range, the heat resistance of the cured product tends to be further improved.
<充填材(F)>
本実施形態の樹脂組成物には、塗膜性や耐熱性等の諸特性を向上させるために、充填材(F)(成分(F)とも称す)を併用することも可能である。本実施形態に用いる充填材(F)は、絶縁性を有するものであれば、特に限定されないが、例えば、シリカ(例えば天然シリカ、溶融シリカ、アモルファスシリカ、中空シリカ等)、アルミニウム化合物(例えばベーマイト、水酸化アルミニウム、アルミナ等)、マグネシウム化合物(例えば酸化マグネシウム、水酸化マグネシウム等)、カルシウム化合物(例えば炭酸カルシウム等)、モリブデン化合物(例えば酸化モリブデン、モリブデン酸亜鉛等)、バリウム化合物(例えば硫酸バリウム、ケイ酸バリウム等)、タルク(例えば天然タルク、焼成タルク等)、マイカ(雲母)、ガラス(例えば短繊維状ガラス、球状ガラス、微粉末ガラス(例えばEガラス、Tガラス、Dガラス等)等)、シリコーンパウダー、フッ素樹脂系充填材、ウレタン樹脂系充填材、アクリル樹脂系充填材、ポリエチレン系充填材、スチレン・ブタジエンゴム及びシリコーンゴムなどが挙げられる。
その中でも、シリカ、ベーマイト、硫酸バリウム、シリコーンパウダー、フッ素樹脂系充填材、ウレタン樹脂系充填材、アクリル樹脂系充填材、ポリエチレン系充填材、スチレン・ブタジエンゴム及びシリコーンゴムからなる群から選択される一種以上であることが好ましい。
これらの充填材(F)は、後述のシランカップリング剤などで表面処理されていてもよい。<Filler (F)>
In the resin composition of the present embodiment, a filler (F) (also referred to as component (F)) can be used in combination to improve various properties such as coating properties and heat resistance. The filler (F) used in the present embodiment is not particularly limited as long as it has an insulating property, and, for example, silica (eg, natural silica, fused silica, amorphous silica, hollow silica, etc.), aluminum compound (eg, boehmite) , Aluminum hydroxide, alumina etc., magnesium compounds (eg magnesium oxide, magnesium hydroxide etc.), calcium compounds (eg calcium carbonate etc.), molybdenum compounds (eg molybdenum oxide, zinc molybdate etc.), barium compounds (eg barium sulfate) , Barium silicate etc., talc (eg natural talc, calcined talc etc.), mica (mica), glass (eg short fiber glass, spherical glass, fine powder glass (eg E glass, T glass, D glass etc) etc. ), Silicone powder, fluorocarbon resin filler, c) Tan resin filler, an acrylic resin-based filler, polyethylene fillers, such as styrene-butadiene rubber and silicone rubber.
Among them, it is selected from the group consisting of silica, boehmite, barium sulfate, silicone powder, fluorocarbon resin filler, urethane resin filler, acrylic resin filler, polyethylene filler, styrene butadiene rubber and silicone rubber. Preferably, it is one or more.
These fillers (F) may be surface-treated with a silane coupling agent or the like described later.
特に、硬化物の耐熱性を向上させ、また良好な塗膜性が得られるという観点から、シリカが好ましく、溶融シリカがとりわけ好ましい。シリカの具体例としては、デンカ(株)製のSFP−130MC等、(株)アドマテックス製のSC2050―MB、SC1050−MLE、YA010C−MFN、YA050C−MJA等が挙げられる。
これらの充填材(F)は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。In particular, from the viewpoint of improving the heat resistance of the cured product and obtaining a good coating property, silica is preferable, and fused silica is particularly preferable. Specific examples of the silica include SFP-130MC manufactured by Denka Co., Ltd., SC2050-MB manufactured by Admatex Co., Ltd., SC1050-MLE, YA010C-MFN, YA050C-MJA, and the like.
These fillers (F) may be used alone or in combination of two or more.
本実施形態の樹脂組成物において、充填材(F)の含有量は、特に限定されないが、硬化物の耐熱性を向上させるという観点から、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、5質量部以上とすることが好ましく、10質量部以上とすることがより好ましく、20質量部以上とすることが更に好ましい。また、樹脂組成物の現像性を良好にするという観点から、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、400質量部以下とすることが好ましく、350質量部以下とすることがより好ましく、300質量部以下とすることが更に好ましく、200質量部以下とすることが更により好ましく、100質量部以下とすることが最も好ましい。 In the resin composition of the present embodiment, the content of the filler (F) is not particularly limited, but from the viewpoint of improving the heat resistance of the cured product, 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition The amount is preferably 5 parts by mass or more, more preferably 10 parts by mass or more, and still more preferably 20 parts by mass or more. Further, from the viewpoint of improving the developability of the resin composition, the amount is preferably 400 parts by mass or less, more preferably 350 parts by mass or less, with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. The amount is preferably 300 parts by mass or less, more preferably 200 parts by mass or less, and most preferably 100 parts by mass or less.
<シランカップリング剤及び湿潤分散剤>
本実施形態の樹脂組成物には、充填材の分散性、ポリマー及び/又は樹脂と、充填材との接着強度を向上させるために、シランカップリング剤及び/又は湿潤分散剤を併用することも可能である。
これらのシランカップリング剤としては、一般に無機物の表面処理に使用されているシランカップリング剤であれば、特に限定されるものではない。具体例としては、例えば、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン系;γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のエポキシシラン系;γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリルシラン系;N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩等のカチオニックシラン系;フェニルシラン系のシランカップリング剤が挙げられる。これらのシランカップリング剤は、1種単独又は2種以上を適宜組み合わせて使用することも可能である。<Silane coupling agent and wetting and dispersing agent>
In the resin composition of the present embodiment, a silane coupling agent and / or a wetting and dispersing agent may be used in combination to improve filler dispersibility, polymer and / or resin, and adhesive strength between the filler and the filler. It is possible.
It will not specifically limit, if it is a silane coupling agent generally used for the surface treatment of an inorganic substance as these silane coupling agents. Specific examples thereof include aminosilanes such as γ-aminopropyltriethoxysilane and N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane; and epoxysilanes such as γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane Acrylic silanes such as γ-acryloxypropyltrimethoxysilane; Cationic silanes such as N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride; Silane cup of phenylsilanes Ring agents are mentioned. These silane coupling agents may be used alone or in combination of two or more.
本実施形態の樹脂組成物において、シランカップリング剤の含有量は、特に限定されないが、通常、樹脂組成物100質量部に対して、0.1〜10質量部である。
湿潤分散剤としては、塗料用に使用されている分散安定剤であれば、特に限定されるものではない。具体例としては、例えば、ビッグケミー・ジャパン(株)製のDISPERBYK(登録商標)−110、111、118、180、161、BYK(登録商標)−W996、W9010、W903等の湿潤分散剤が挙げられる。これらの湿潤分散剤は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
本実施形態の樹脂組成物において、湿潤分散剤の含有量は、特に限定されないが、通常、樹脂組成物100質量部に対して、0.1〜10質量部である。Although content of a silane coupling agent is not specifically limited in the resin composition of this embodiment, Usually, it is 0.1-10 mass parts with respect to 100 mass parts of resin compositions.
The wetting and dispersing agent is not particularly limited as long as it is a dispersion stabilizer used for paints. Specific examples thereof include wetting and dispersing agents such as DISPERBYK (registered trademark) -110, 111, 118, 180, 161, BYK (registered trademark) -W996, W9010, W903 and the like manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd. . These wetting and dispersing agents may be used alone or in combination of two or more.
In the resin composition of the present embodiment, the content of the wetting and dispersing agent is not particularly limited, but is usually 0.1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin composition.
<シアン酸エステル化合物、フェノール樹脂、オキセタン樹脂、ベンゾオキサジン化合物及び前記(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂からなる群から選択されるいずれか一種以上の化合物(G)>
本実施形態に用いる化合物(G)(成分(G)とも称す)は、成分(A)を用いることにより得られる銅めっき密着性等に加え、樹脂組成物が用いられる分野で求められる、硬化した硬化物の難燃性、耐熱性、熱膨張特性等の特性に応じて、様々な種類のものを用いることができる。例えば、耐熱性を求められる場合には、シアン酸エステル化合物、ベンゾオキサジン化合物等が挙げられ、他にフェノール樹脂、オキセタン樹脂等も用いることができる。ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、光硬化開始剤(B)、化合物(C)及び化合物(D)と共に、シアン酸エステル化合物を用いると、耐熱性(ガラス転移温度)、低熱膨張性、めっき密着性等に優れる樹脂組成物を得ることができる。さらに、シアン酸エステル化合物をマレイミド化合物と併用すると、めっき密着性により優れる樹脂組成物を得ることができるため、好ましい。前記(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)と共に、該エポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂を用いると、特に、現像性及びめっき密着性に優れる樹脂組成物を得ることができる。<One or more compounds selected from the group consisting of a cyanate ester compound, a phenol resin, an oxetane resin, a benzoxazine compound, and an epoxy resin different from the biphenyl aralkyl type epoxy resin (A) represented by (1) G)>
The compound (G) (also referred to as component (G)) used in the present embodiment is required to be cured in the field in which the resin composition is used, in addition to the copper plating adhesion obtained by using the component (A) Various types of materials can be used according to the properties such as the flame retardancy, heat resistance, thermal expansion properties, etc. of the cured product. For example, when heat resistance is required, a cyanate ester compound, a benzoxazine compound, etc. are mentioned, In addition, a phenol resin, an oxetane resin, etc. can also be used. When a cyanate ester compound is used together with a biphenylaralkyl type epoxy resin (A), a photocuring initiator (B), a compound (C) and a compound (D), heat resistance (glass transition temperature), low thermal expansion, plating adhesion It is possible to obtain a resin composition having excellent properties and the like. Furthermore, it is preferable to use a cyanate ester compound in combination with a maleimide compound because a resin composition that is more excellent in plating adhesion can be obtained. When an epoxy resin different from the epoxy resin (A) is used together with the biphenyl aralkyl type epoxy resin (A) represented by the above (1), a resin composition excellent in developability and plating adhesion can be obtained. .
また、これらは、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
以下、これらの化合物及び/又は樹脂(G)の詳細について説明する。Moreover, it is also possible to use these individually by 1 type or in mixture of 2 or more types suitably.
Hereinafter, the detail of these compounds and / or resin (G) is demonstrated.
<シアン酸エステル化合物>
シアン酸エステル化合物としては、シアナト基(シアン酸エステル基)が少なくとも1個置換された芳香族部分を分子内に有する樹脂であれば特に限定されるものではない。<Cyanate ester compound>
The cyanate ester compound is not particularly limited as long as it is a resin having an aromatic moiety in which at least one cyanato group (cyanate group) is substituted in the molecule.
例えば一般式(9)で表されるものが挙げられる。 For example, what is represented by General formula (9) is mentioned.
式(9)中、Ar1は、ベンゼン環、ナフタレン環又は2つのベンゼン環が単結合したものを表す。複数ある場合は互いに同一であっても異なっていても良い。Raは各々独立に水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数1〜4のアルコキシル基、炭素数1〜6のアルキル基と炭素数6〜12のアリール基とが結合された基を示す。Raにおける芳香環は置換基を有していてもよく、Ar1及びRaにおける置換基は任意の位置を選択できる。pはAr1に結合するシアナト基の数を示し、各々独立に1〜3の整数である。qはAr1に結合するRaの数を示し、Ar1がベンゼン環の時は4−p、ナフタレン環の時は6−p、2つのベンゼン環が単結合したものの時は8−pである。tは平均繰り返し数を示し、0〜50の整数であり、シアン酸エステル化合物は、tが異なる化合物の混合物であってもよい。Xは、複数ある場合は各々独立に、単結合、炭素数1〜50の2価の有機基(水素原子がヘテロ原子に置換されていてもよい。)、窒素数1〜10の2価の有機基(例えば−N−R−N−(ここでRは有機基を示す。))、カルボニル基(−CO−)、カルボキシ基(−C(=O)O−)、カルボニルジオキサイド基(−OC(=O)O−)、スルホニル基(−SO2−)、2価の硫黄原子又は2価の酸素原子のいずれかを示す。In formula (9), Ar 1 represents a benzene ring, a naphthalene ring or a single bond of two benzene rings. When there are two or more, they may be the same or different. Ra each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and 6 to 12 carbon atoms A group to which an aryl group is bonded is shown. The aromatic ring in Ra may have a substituent, and the substituent in Ar 1 and Ra can be selected at any position. p represents the number of cyanato groups bonded to Ar 1 and each is independently an integer of 1 to 3. q represents the number of Ra to bind to Ar 1, the 4-p when Ar 1 is a benzene ring, when the naphthalene ring when those 6-p, 2 one benzene ring is a single bond is 8-p . t represents an average repeat number and is an integer of 0 to 50, and the cyanate ester compound may be a mixture of compounds different in t. In the case where there are a plurality of X's, each independently has a single bond, a divalent organic group having 1 to 50 carbon atoms (a hydrogen atom may be substituted with a hetero atom), or a divalent nitrogen having 1 to 10 carbons. Organic group (eg, -N-R-N- (wherein R represents an organic group)), carbonyl group (-CO-), carboxy group (-C (= O) O-), carbonyl dioxide group ( -OC (= O) O-), a sulfonyl group (-SO 2 -), represents any divalent sulfur atom or a divalent oxygen atom.
一般式(9)のRaにおけるアルキル基は、直鎖もしくは分枝の鎖状構造、及び、環状構造(例えばシクロアルキル基等)いずれを有していてもよい。
また、一般式(9)におけるアルキル基及びRaにおけるアリール基中の水素原子は、フッ素原子、塩素原子等のハロゲン原子、メトキシ基、フェノキシ基等のアルコキシル基、又はシアノ基等で置換されていてもよい。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、1−エチルプロピル基、2,2−ジメチルプロピル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、及びトリフルオロメチル基等が挙げられる。
アリール基の具体例としては、フェニル基、キシリル基、メシチル基、ナフチル基、フェノキシフェニル基、エチルフェニル基、o−,m−又はp−フルオロフェニル基、ジクロロフェニル基、ジシアノフェニル基、トリフルオロフェニル基、メトキシフェニル基、及びo−,m−又はp−トリル基等が挙げられる。更にアルコキシル基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、イソブトキシ基、及びtert−ブトキシ基等が挙げられる。The alkyl group at Ra in General Formula (9) may have any of a linear or branched chain structure and a cyclic structure (for example, a cycloalkyl group etc.).
The hydrogen atom in the alkyl group in General Formula (9) and the aryl group in Ra is substituted by a halogen atom such as a fluorine atom or chlorine atom, an alkoxyl group such as a methoxy group or a phenoxy group, or a cyano group It is also good.
Specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, 1-ethylpropyl group and 2,2-dimethylpropyl Groups, cyclopentyl group, hexyl group, cyclohexyl group, trifluoromethyl group and the like.
Specific examples of the aryl group include phenyl group, xylyl group, mesityl group, naphthyl group, phenoxyphenyl group, ethylphenyl group, o-, m- or p-fluorophenyl group, dichlorophenyl group, dicyanophenyl group, trifluorophenyl Groups, methoxyphenyl groups, o-, m- or p-tolyl groups and the like. Furthermore, as an alkoxyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, isopropoxy group, n-butoxy group, isobutoxy group, a tert- butoxy group etc. are mentioned, for example.
一般式(9)のXにおける炭素数1〜50の2価の有機基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、トリメチレン基、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基、トリメチルシクロヘキシレン基、ビフェニルイルメチレン基、ジメチルメチレン−フェニレン−ジメチルメチレン基、フルオレンジイル基、及びフタリドジイル基等が挙げられる。該2価の有機基中の水素原子は、フッ素原子、塩素原子等のハロゲン原子、メトキシ基、フェノキシ基等のアルコキシル基、シアノ基等で置換されていてもよい。
一般式(9)のXにおける窒素数1〜10の2価の有機基としては、イミノ基、ポリイミド基等が挙げられる。Specific examples of the divalent organic group having 1 to 50 carbon atoms in X in General Formula (9) include a methylene group, an ethylene group, a trimethylene group, a cyclopentylene group, a cyclohexylene group, a trimethylcyclohexylene group, and a biphenylyl group. A methylene group, dimethyl methylene- phenylene- dimethyl methylene group, fluorenediyl group, and phthalide diyl group etc. are mentioned. The hydrogen atom in the divalent organic group may be substituted by a halogen atom such as a fluorine atom or a chlorine atom, an alkoxyl group such as a methoxy group or a phenoxy group, a cyano group or the like.
Examples of the divalent organic group having 1 to 10 nitrogen atoms in X in the general formula (9) include an imino group and a polyimide group.
また、一般式(9)中のXの有機基として、例えば、下記一般式(10)又は下記一般式(11)で表される構造であるものが挙げられる。 Moreover, as an organic group of X in General formula (9), what is a structure represented by following General formula (10) or following General formula (11) is mentioned.
式(10)中、Ar2はベンゼンテトライル基、ナフタレンテトライル基又はビフェニルテトライル基を示し、uが2以上の場合、互いに同一であっても異なっていてもよい。Rb、Rc、Rf、及びRgは各々独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、トリフルオロメチル基、又はフェノール性ヒドロキシ基を少なくとも1個有するアリール基を示す。Rd及び、Reは各々独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数1〜4のアルコキシル基、又はヒドロキシ基のいずれか一種から選択される。uは0〜5の整数を示す。In formula (10), Ar 2 represents a benzenetetrayl group, a naphthalenetetrayl group or a biphenyltetrayl group, and when u is 2 or more, they may be identical to or different from each other. Rb, Rc, Rf, and Rg each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, an aryl having at least one trifluoromethyl group, or a phenolic hydroxy group Indicates a group. Rd and Re are each independently selected from any one kind of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms, or a hydroxy group . u shows the integer of 0-5.
式(11)中、Ar3はベンゼンテトライル基、ナフタレンテトライル基又はビフェニルテトライル基を示し、vが2以上の場合、互いに同一であっても異なっていてもよい。Ri、及びRjは各々独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、ベンジル基、炭素数1〜4のアルコキシル基、ヒドロキシ基、トリフルオロメチル基、又はシアナト基が少なくとも1個置換されたアリール基を示す。vは0〜5の整数を示すが、vが異なる化合物の混合物であってもよい。In formula (11), Ar 3 represents a benzenetetrayl group, a naphthalenetetrayl group or a biphenyltetrayl group, and when v is 2 or more, they may be the same as or different from each other. Ri and Rj each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, a benzyl group, an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, a trifluoromethyl group, Or an aryl group in which at least one cyanato group is substituted. Although v shows the integer of 0-5, it may be a mixture of compounds in which v differs.
さらに、一般式(9)中のXとしては、下記式で表される2価の基が挙げられる。 Furthermore, as X in General Formula (9), the bivalent group represented by a following formula is mentioned.
ここで式中、zは4〜7の整数を示す。Rkは各々独立に、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を示す。
一般式(10)のAr2及び一般式(11)のAr3の具体例としては、一般式(10)に示す2個の炭素原子、又は一般式(11)に示す2個の酸素原子が、1,4位又は1,3位に結合するベンゼンテトライル基、上記2個の炭素原子又は2個の酸素原子が4,4’位、2,4’位、2,2’位、2,3’位、3,3’位、又は3,4’位に結合するビフェニルテトライル基、及び、上記2個の炭素原子又は2個の酸素原子が、2,6位、1,5位、1,6位、1,8位、1,3位、1,4位、又は2,7位に結合するナフタレンテトライル基が挙げられる。
一般式(10)のRb、Rc、Rd、Re、Rf及びRg、並びに一般式(11)のRi、Rjにおけるアルキル基及びアリール基は、上記一般式(9)におけるものと同義である。Here, z represents an integer of 4 to 7. Each R k independently represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
Specific examples of Ar 2 in the general formula (10) and Ar 3 in the general formula (11) include two carbon atoms shown in the general formula (10) or two oxygen atoms shown in the general formula (11) A benzenetetrayl group bonded to the 1,4 or 1,3 position, the above two carbon atoms or the two oxygen atoms are 4,4 ', 2,4', 2,2 ', 2 , A 3 'position, a 3, 3' position, or a biphenyl tetrayl group bonded to the 3, 4 'position, and the above two carbon atoms or two oxygen atoms are 2, 6 or 1, 5 positions And a naphthalene tetrayl group bonded to the 1, 6, 1, 8, 1, 3, 1, 4, or 2, 7 positions.
Rb, Rc, Rd, Re, Rf and Rg in General Formula (10), and the alkyl group and aryl group in Ri and Rj in General Formula (11) have the same meanings as those in General Formula (9) above.
上記一般式(9)で表されるシアナト置換芳香族化合物の具体例としては、シアナトベンゼン、1−シアナト−2−,1−シアナト−3−,又は1−シアナト−4−メチルベンゼン、1−シアナト−2−,1−シアナト−3−,又は1−シアナト−4−メトキシベンゼン、1−シアナト−2,3−,1−シアナト−2,4−,1−シアナト−2,5−,1−シアナト−2,6−,1−シアナト−3,4−又は1−シアナト−3,5−ジメチルベンゼン、シアナトエチルベンゼン、シアナトブチルベンゼン、シアナトオクチルベンゼン、シアナトノニルベンゼン、2−(4−シアナフェニル)−2−フェニルプロパン(4−α−クミルフェノールのシアネート)、1−シアナト−4−シクロヘキシルベンゼン、1−シアナト−4−ビニルベンゼン、1−シアナト−2−又は1−シアナト−3−クロロベンゼン、1−シアナト−2,6−ジクロロベンゼン、1−シアナト−2−メチル−3−クロロベンゼン、シアナトニトロベンゼン、1−シアナト−4−ニトロ−2−エチルベンゼン、1−シアナト−2−メトキシ−4−アリルベンゼン(オイゲノールのシアネート)、メチル(4−シアナトフェニル)スルフィド、1−シアナト−3−トリフルオロメチルベンゼン、4−シアナトビフェニル、1−シアナト−2−又は1−シアナト−4−アセチルベンゼン、4−シアナトベンズアルデヒド、4−シアナト安息香酸メチルエステル、4−シアナト安息香酸フェニルエステル、1−シアナト−4−アセトアミノベンゼン、4−シアナトベンゾフェノン、1−シアナト−2,6−ジ−tert−ブチルベンゼン、1,2−ジシアナトベンゼン、1,3−ジシアナトベンゼン、1,4−ジシアナトベンゼン、1,4−ジシアナト−2−tert−ブチルベンゼン、1,4−ジシアナト−2,4−ジメチルベンゼン、1,4−ジシアナト−2,3,4−ジメチルベンゼン、1,3−ジシアナト−2,4,6−トリメチルベンゼン、1,3−ジシアナト−5−メチルベンゼン、1−シアナト又は2−シアナトナフタレン、1−シアナト4−メトキシナフタレン、2−シアナト−6−メチルナフタレン、2−シアナト−7−メトキシナフタレン、2,2’−ジシアナト−1,1’−ビナフチル、1,3−,1,4−,1,5−,1,6−,1,7−,2,3−,2,6−又は2,7−ジシアナトシナフタレン、2,2’−又は4,4’−ジシアナトビフェニル、4,4’−ジシアナトオクタフルオロビフェニル、2,4’−又は4,4’−ジシアナトジフェニルメタン、ビス(4−シアナト−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)エタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−シアナト−3−メチルフェニル)プロパン、2,2−ビス(2−シアナト−5−ビフェニルイル)プロパン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−シアナト−3,5−ジメチルフェニル)プロパン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)ブタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)イソブタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)ペンタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)−3−メチルブタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)−2−メチルブタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)−2,2−ジメチルプロパン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)ブタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)ペンタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)ヘキサン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−3−メチルブタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−4−メチルペンタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−3,3−ジメチルブタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)ヘキサン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)ヘプタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)オクタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2−メチルペンタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2−メチルヘキサン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2,2−ジメチルペンタン、4,4−ビス(4−シアナトフェニル)−3−メチルヘプタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2−メチルヘプタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2,2−ジメチルヘキサン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2,4−ジメチルヘキサン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2,2,4−トリメチルペンタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−シアナトフェニル)フェニルメタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)−1−フェニルエタン、ビス(4−シアナトフェニル)ビフェニルメタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)シクロペンタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)シクロヘキサン、2,2−ビス(4−シアナト−3−イソプロピルフェニル)プロパン、1,1−ビス(3−シクロヘキシル−4−シアナトフェニル)シクロヘキサン、ビス(4−シアナトフェニル)ジフェニルメタン、ビス(4−シアナトフェニル)−2,2−ジクロロエチレン、1,3−ビス[2−(4−シアナトフェニル)−2−プロピル]ベンゼン、1,4−ビス[2−(4−シアナトフェニル)−2−プロピル]ベンゼン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、4−[ビス(4−シアナトフェニル)メチル]ビフェニル、4,4−ジシアナトベンゾフェノン、1,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2−プロペン−1−オン、ビス(4−シアナトフェニル)エーテル、ビス(4−シアナトフェニル)スルフィド、ビス(4−シアナトフェニル)スルホン、4−シアナト安息香酸−4−シアナトフェニルエステル(4−シアナトフェニル−4−シアナトベンゾエート)、ビス−(4−シアナトフェニル)カーボネート、1,3−ビス(4−シアナトフェニル)アダマンタン、1,3−ビス(4−シアナトフェニル)−5,7−ジメチルアダマンタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)イソベンゾフラン−1(3H)−オン(フェノールフタレインのシアネート)、3,3−ビス(4−シアナト−3−メチルフェニル)イソベンゾフラン−1(3H)−オン(o−クレゾールフタレインのシアネート)、9,9’−ビス(4−シアナトフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−シアナト−3−メチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(2−シアナト−5−ビフェニルイル)フルオレン、トリス(4−シアナトフェニル)メタン、1,1,1−トリス(4−シアナトフェニル)エタン、1,1,3−トリス(4−シアナトフェニル)プロパン、α,α,α’−トリス(4−シアナトフェニル)−1−エチル−4−イソプロピルベンゼン、1,1,2,2−テトラキス(4−シアナトフェニル)エタン、テトラキス(4−シアナトフェニル)メタン、2,4,6−トリス(N−メチル−4−シアナトアニリノ)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(N−メチル−4−シアナトアニリノ)−6−(N−メチルアニリノ)−1,3,5−トリアジン、ビス(N−4−シアナト−2−メチルフェニル)−4,4’−オキシジフタルイミド、ビス(N−3−シアナト−4−メチルフェニル)−4,4’−オキシジフタルイミド、ビス(N−4−シアナトフェニル)−4,4’−オキシジフタルイミド、ビス(N−4−シアナト−2−メチルフェニル)−4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタルイミド、トリス(3,5−ジメチル−4−シアナトベンジル)イソシアヌレート、2−フェニル−3,3−ビス(4−シアナトフェニル)フタルイミジン、2−(4−メチルフェニル)−3,3−ビス(4−シアナトフェニル)フタルイミジン、2−フェニル−3,3−ビス(4−シアナト−3−メチルフェニル)フタルイミジン、1−メチル−3,3−ビス(4−シアナトフェニル)インドリン−2−オン、及び、2−フェニル−3,3−ビス(4−シアナトフェニル)インドリン−2−オンが挙げられる。 Specific examples of cyanato-substituted aromatic compounds represented by the above general formula (9) include cyanatobenzene, 1-cyanato-2-, 1-cyanato-3-, or 1-cyanato-4-methylbenzene, 1 -Cyanato-2-, 1-Cyanato-3-, or 1-Cyanato-4-methoxybenzene, 1-Cyanato-2,3-, 1-Cyanato-2,4-, 1-Cyanato-2,5-, 5 1-Cyanato-2,6-, 1-Cyanato-3,4- or 1-Cyanato-3,5-dimethylbenzene, Cyanatoethylbenzene, Cyanatobutylbenzene, Cyanatooctylbenzene, Cyanatononylbenzene, 2-A (4-Cyanaphenyl) -2-phenylpropane (cyanate of 4-α-cumylphenol), 1-cyanato-4-cyclohexylbenzene, 1-cyanato-4-vinylbenzene 1-Cyanato-2- or 1-Cyanato-3-chlorobenzene, 1-Cyanato-2,6-dichlorobenzene, 1-Cyanato-2-methyl-3-chlorobenzene, Cyanatonitrobenzene, 1-Cyanato-4-nitro -2-ethylbenzene, 1-cyanato-2-methoxy-4-allylbenzene (cyanide of eugenol), methyl (4-cyanatophenyl) sulfide, 1-cyanato-3-trifluoromethylbenzene, 4-cyanatobiphenyl, 1-cyanato-2- or 1-cyanato-4-acetylbenzene, 4-cyanatobenzaldehyde, 4-cyanatobenzoic acid methyl ester, 4-cyanatobenzoic acid phenyl ester, 1-cyanato-4-acetoaminobenzene, 4- Cyanatobenzophenone, 1-Cyanato-2,6-di-tert -Butylbenzene, 1,2-dicyanatobenzene, 1,3-dicyanatobenzene, 1,4-dicyanatobenzene, 1,4-dicyanato-2-tert-butylbenzene, 1,4-dicyanato-2,4 -Dimethylbenzene, 1,4-dicyanato-2,3,4-dimethylbenzene, 1,3-dicyanato-2,4,6-trimethylbenzene, 1,3-dicyanato-5-methylbenzene, 1-cyanato or 2 -Cyanatonaphthalene, 1-cyanato 4-methoxynaphthalene, 2-cyanato-6-methylnaphthalene, 2-cyanato-7-methoxynaphthalene, 2,2'-dicyanato-1,1'-binaphthyl, 1,3-, 1,4-, 1, 5-, 1, 6-, 1, 7-, 2, 3-, 2, 6- or 2, 7-disocyanatosocyanate, 2, 2'- or 4, 4'- Zishi Natobiphenyl, 4,4'-dicyanatooctafluorobiphenyl, 2,4'- or 4,4'-dicyanatodiphenylmethane, bis (4-cyanato-3,5-dimethylphenyl) methane, 1,1-bis 4-Cyanatophenyl) ethane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) propane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane, 2,2-bis (4-cyanato-3-methylphenyl) ) Propane, 2,2-bis (2-cyanato-5-biphenylyl) propane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (4-cyanato-3,5-) Dimethylphenyl) propane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) butane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) isobutane, 1,1-bis (4-cyanatofu Nyl) pentane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) -3-methylbutane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) -2-methylbutane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) 2,2-Dimethylpropane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) butane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) pentane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) hexane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) -3-methylbutane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) -4-methylpentane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) -3, 3-dimethylbutane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) hexane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) heptane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) octane, 3,3 -Bis (4-sian) Tophenyl) -2-methylpentane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2-methylhexane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2,2-dimethylpentane, 4,4- Bis (4-cyanatophenyl) -3-methylheptane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2-methylheptane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2,2-dimethyl Hexane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2,4-dimethylhexane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2,2,4-trimethylpentane, 2,2-bis ( 4-Cyanatophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, bis (4-cyanatophenyl) phenylmethane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) -1-phenyl Ethane, bis (4 Cyanatophenyl) biphenylmethane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) cyclopentane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) cyclohexane, 2,2-bis (4-cyanato-3-isopropylphenyl) ) Propane, 1,1-bis (3-cyclohexyl-4-cyanatophenyl) cyclohexane, bis (4-cyanatophenyl) diphenylmethane, bis (4-cyanatophenyl) -2,2-dichloroethylene, 1,3- Bis [2- (4-cyanatophenyl) -2-propyl] benzene, 1,4-bis [2- (4-cyanatophenyl) -2-propyl] benzene, 1,1-bis (4-cyanato) Phenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 4- [bis (4-cyanatophenyl) methyl] biphenyl, 4,4-dicyanatobe Zophenone, 1,3-bis (4-cyanatophenyl) -2-propen-1-one, bis (4-cyanatophenyl) ether, bis (4-cyanatophenyl) sulfide, bis (4-cyanatophenyl) ) Sulfone, 4-cyanatobenzoic acid-4-cyanatophenyl ester (4-cyanatophenyl-4-cyanatobenzoate), bis- (4-cyanatophenyl) carbonate, 1,3-bis (4-cyanato) Phenyl) adamantane, 1,3-bis (4-cyanatophenyl) -5,7-dimethyladamantane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) isobenzofuran-1 (3H) -one (phenolphthalein) Cyanate), 3,3-bis (4-cyanato-3-methylphenyl) isobenzofuran-1 (3H) -one (o-cresol phthale) Cyanate), 9,9'-bis (4-cyanatophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-cyanato-3-methylphenyl) fluorene, 9,9-bis (2-cyanato-5-biphenyl) (I) fluorene, tris (4-cyanatophenyl) methane, 1,1,1-tris (4-cyanatophenyl) ethane, 1,1,3-tris (4-cyanatophenyl) propane, α, α, α, α, α α'-tris (4-cyanatophenyl) -1-ethyl-4-isopropylbenzene, 1,1,2,2-tetrakis (4-cyanatophenyl) ethane, tetrakis (4-cyanatophenyl) methane, 2 , 4,6-Tris (N-methyl-4-cyanatoanilino) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (N-methyl-4-cyanatoanilino) -6- (N-methylanilino) -1,3,5-triazine, bis (N-4-cyanato-2-methylphenyl) -4,4'-oxydiphthalimide, bis (N-3-cyanato-4-methylphenyl) -4,4 ' -Oxydiphthalimide, bis (N-4-cyanatophenyl) -4,4'-oxydiphthalimide, bis (N-4-cyanato-2-methylphenyl) -4,4 '-(hexafluoroisopropylidene) Diphthalimide, tris (3,5-dimethyl-4-cyanatobenzyl) isocyanurate, 2-phenyl-3,3-bis (4-cyanatophenyl) phthalimidine, 2- (4-methylphenyl) -3,3 -Bis (4-cyanatophenyl) phthalimidine, 2-phenyl-3,3-bis (4-cyanato-3-methylphenyl) phthalimidine, 1-methyl-3,3- Scan (4-cyanatophenyl) indolin-2-one, and 2-phenyl-3,3-bis (4-cyanatophenyl) include indolin-2-one.
これらのシアン酸エステル化合物は、1種単独又は2種以上混合して用いることができる。 These cyanate ester compounds can be used singly or in combination of two or more.
また、上記一般式(9)で表されるシアン酸エステル化合物の別の具体例としては、フェノールノボラック樹脂及びクレゾールノボラック樹脂(公知の方法により、フェノール、アルキル置換フェノール又はハロゲン置換フェノールと、ホルマリンやパラホルムアルデヒドなどのホルムアルデヒド化合物とを、酸性溶液中で反応させたもの)、トリスフェノールノボラック樹脂(ヒドロキシベンズアルデヒドとフェノールとを酸性触媒の存在下に反応させたもの)、フルオレンノボラック樹脂(フルオレノン化合物と9,9−ビス(ヒドロキシアリール)フルオレン類とを酸性触媒の存在下に反応させたもの)、フェノールアラルキル樹脂、クレゾールアラルキル樹脂、ナフトールアラルキル樹脂及びビフェニルアラルキル樹脂(公知の方法により、Ar4−(CH2Y)2(Ar4はフェニル基を示し、Yはハロゲン原子を示す。以下、この段落において同様。)で表されるようなビスハロゲノメチル化合物とフェノール化合物とを酸性触媒若しくは無触媒で反応させたもの、Ar4−(CH2OR)2で表されるようなビス(アルコキシメチル)化合物とフェノール化合物とを酸性触媒の存在下に反応させたもの、又は、Ar4−(CH2OH)2で表されるようなビス(ヒドロキシメチル)化合物とフェノール化合物を酸性触媒の存在下に反応させたもの、あるいは、芳香族アルデヒド化合物とアラルキル化合物とフェノール化合物とを重縮合させたもの)、フェノール変性キシレンホルムアルデヒド樹脂(公知の方法により、キシレンホルムアルデヒド樹脂とフェノール化合物とを酸性触媒の存在下に反応させたもの)、変性ナフタレンホルムアルデヒド樹脂(公知の方法により、ナフタレンホルムアルデヒド樹脂とヒドロキシ置換芳香族化合物を酸性触媒の存在下に反応させたもの)、フェノール変性ジシクロペンタジエン樹脂、ポリナフチレンエーテル構造を有するフェノール樹脂(公知の方法により、フェノール性ヒドロキシ基を1分子中に2つ以上有する多価ヒドロキシナフタレン化合物を、塩基性触媒の存在下に脱水縮合させたもの)等のフェノール樹脂を、上述と同様の方法によりシアネート化したもの等、並びにこれらのプレポリマー等が挙げられる。これらは、特に制限されるものではない。これらのシアン酸エステル化合物は、1種単独又は2種以上混合して用いることができる。Further, as another specific example of the cyanate ester compound represented by the above general formula (9), phenol novolac resin and cresol novolac resin (phenol, alkyl substituted phenol or halogen substituted phenol, formalin or the like by a known method) Reaction of formaldehyde compound such as paraformaldehyde in an acidic solution), trisphenol novolak resin (reaction of hydroxybenzaldehyde and phenol in the presence of an acidic catalyst), fluorene novolac resin (fluorenone compound and 9) , 9-bis (hydroxyaryl) fluorenes in the presence of an acidic catalyst), phenol aralkyl resin, cresol aralkyl resin, naphthol aralkyl resin and biphenyl aralkyl resin (known methods) More, Ar 4 - (CH 2 Y ) 2 (. Ar 4 represents a phenyl group, Y represents a halogen atom and the same in this paragraph.) And bishalogenomethyl compounds represented by the phenol compound obtained by reacting an acidic catalyst or no catalyst, Ar 4 - (CH 2 oR) expressed by such bis 2 (alkoxymethyl) that a compound with a phenol compound is reacted in the presence of an acidic catalyst, or, Ar 4 - (CH 2 OH) bis (hydroxymethyl) as represented by two things compound and a phenol compound is reacted in the presence of an acidic catalyst, or an aromatic aldehyde compound and aralkyl compound with a phenol compound Polycondensed), phenol-modified xylene formaldehyde resin (xylene formaldehyde resin and phenol compound by a known method) (In the presence of an acid catalyst), modified naphthalene formaldehyde resin (a reaction of a naphthalene formaldehyde resin and a hydroxy-substituted aromatic compound in the presence of an acid catalyst by a known method), phenol-modified dicyclo Pentadiene resin, phenolic resin having a polynaphthylene ether structure (in which a multivalent hydroxynaphthalene compound having two or more phenolic hydroxy groups in one molecule is dehydrated and condensed by a known method in the presence of a basic catalyst And the like, and those obtained by cyanating such phenolic resins by the same method as described above, and prepolymers of these. These are not particularly limited. These cyanate ester compounds can be used singly or in combination of two or more.
この中でも、フェノールノボラック型シアン酸エステル化合物、ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物、ビフェニルアラルキル型シアン酸エステル化合物、ナフチレンエーテル型シアン酸エステル化合物、キシレン樹脂型シアン酸エステル化合物、アダマンタン骨格型シアン酸エステル化合物が好ましく、ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物が、優れた耐熱性を維持しながら、優れためっき密着性が得られる点から、特に好ましい。 Among these, phenol novolac type cyanate ester compounds, naphthol aralkyl type cyanate ester compounds, biphenylaralkyl type cyanate ester compounds, naphthylene ether type cyanate ester compounds, xylene resin type cyanate ester compounds, adamantane skeleton type cyanate ester The compound is preferable, and a naphthol aralkyl type cyanate ester compound is particularly preferable in that excellent plating adhesion can be obtained while maintaining excellent heat resistance.
これらのシアン酸エステル化合物の製造方法としては、特に限定されず、公知の方法を用いることができる。かかる製法の例としては、所望の骨格を有するヒドロキシ基含有化合物を入手又は合成し、当該ヒドロキシ基を公知の手法により修飾してシアネート化する方法が挙げられる。ヒドロキシ基をシアネート化する手法としては、例えば、Ian Hamerton,“Chemistry and Technology of Cyanate Ester Resins,”Blackie Academic & Professionalに記載の手法が挙げられる。 It does not specifically limit as a manufacturing method of these cyanate ester compounds, A well-known method can be used. As an example of such a preparation method, there is mentioned a method of obtaining or synthesizing a hydroxy group-containing compound having a desired skeleton, and modifying the hydroxy group by a known method to cyanate. Examples of the method for cyanating the hydroxy group include the methods described in Ian Hamerton, "Chemistry and Technology of Cyanate Ester Resins," Blackie Academic & Professional.
これらのシアン酸エステル化合物を用いた樹脂硬化物は、ガラス転移温度、低熱膨張性、めっき密着性等に優れた特性を有する。 A resin cured product using these cyanate ester compounds has excellent properties such as glass transition temperature, low thermal expansion, and plating adhesion.
本実施形態の樹脂組成物において、シアン酸エステル化合物の含有量は、特に限定されないが、より優れためっき密着性及び耐熱性が得られるという観点から、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.01質量部〜50質量部であり、より好ましくは0.05質量部〜40質量部であり、更に好ましくは0.1質量部〜20質量部であり、更により好ましくは0.2質量部〜5質量部である。 In the resin composition of the present embodiment, the content of the cyanate ester compound is not particularly limited, but is preferably 100 parts by mass of the resin solid content from the viewpoint of obtaining more excellent plating adhesion and heat resistance. Is 0.01 to 50 parts by mass, more preferably 0.05 to 40 parts by mass, still more preferably 0.1 to 20 parts by mass, still more preferably 0.2 It is 5 parts by mass by mass.
<フェノール樹脂>
フェノール樹脂としては、1分子中に2個以上のヒドロキシル基を有するフェノール樹脂であれば、一般に公知のものを使用できる。例えば、ビスフェノールA型フェノール樹脂、ビスフェノールE型フェノール樹脂、ビスフェノールF型フェノール樹脂、ビスフェノールS型フェノール樹脂、フェノールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック型フェノール樹脂、グリシジルエステル型フェノール樹脂、アラルキルノボラック型フェノール樹脂、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、クレゾールノボラック型フェノール樹脂、多官能フェノール樹脂、ナフトール樹脂、ナフトールノボラック樹脂、多官能ナフトール樹脂、アントラセン型フェノール樹脂、ナフタレン骨格変性ノボラック型フェノール樹脂、フェノールアラルキル型フェノール樹脂、ナフトールアラルキル型フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、ビフェニル型フェノール樹脂、脂環式フェノール樹脂、ポリオール型フェノール樹脂、リン含有フェノール樹脂、重合性不飽和炭化水素基含有フェノール樹脂及び水酸基含有シリコーン樹脂類等が挙げられるが、特に制限されるものではない。これらのフェノール樹脂の中では、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、ナフトールアラルキル型フェノール樹脂、リン含有フェノール樹脂、水酸基含有シリコーン樹脂が難燃性の点で好ましい。これらのフェノール樹脂は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。<Phenolic resin>
As the phenolic resin, generally known ones can be used as long as they have two or more hydroxyl groups in one molecule. For example, bisphenol A type phenol resin, bisphenol E type phenol resin, bisphenol F type phenol resin, bisphenol S type phenol resin, phenol novolac resin, bisphenol A novolac type phenol resin, glycidyl ester type phenol resin, aralkyl novolac type phenol resin, biphenyl Aralkyl type phenol resin, cresol novolac type phenol resin, polyfunctional phenol resin, naphthol resin, naphthol novolac resin, polyfunctional naphthol resin, anthracene type phenol resin, naphthalene skeleton modified novolac type phenol resin, phenol aralkyl type phenol resin, naphthol aralkyl type Phenolic resin, dicyclopentadiene type phenolic resin, biphenyl type phenolic resin Alicyclic phenolic resins, polyol-type phenolic resin, a phosphorus-containing phenol resin, a polymerizable unsaturated hydrocarbon of the group containing phenolic resin and hydroxyl-containing silicone resins and the like, but is not particularly limited. Among these phenol resins, biphenylaralkyl type phenol resins, naphtholaralkyl type phenol resins, phosphorus-containing phenol resins, and hydroxyl group-containing silicone resins are preferable in view of flame retardancy. These phenolic resins may be used alone or in combination of two or more.
フェノール樹脂の含有量は、特に制限されず、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.1質量部〜50質量部であり、より好ましくは0.2質量部〜45質量部である。フェノール樹脂の含有量が上記範囲内であることにより、耐熱性がより向上する傾向にある。 The content of the phenol resin is not particularly limited, and is preferably 0.1 parts by mass to 50 parts by mass, and more preferably 0.2 parts by mass to 45 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content. . When the content of the phenolic resin is in the above range, the heat resistance tends to be further improved.
<オキセタン樹脂>
オキセタン樹脂としては、一般に公知のものを使用できる。例えば、オキセタン、2−メチルオキセタン、2,2−ジメチルオキセタン、3−メチルオキセタン、3,3−ジメチルオキセタン等のアルキルオキセタン、3−メチル−3−メトキシメチルオキセタン、3,3−ジ(トリフルオロメチル)パーフルオキセタン、2−クロロメチルオキセタン、3,3−ビス(クロロメチル)オキセタン、ビフェニル型オキセタン、OXT−101(東亞合成製、商品名)、OXT−121(東亞合成製、商品名)等が挙げられる、特に制限されるものではない。これらは、1種又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。<Oxetane resin>
As the oxetane resin, those generally known can be used. For example, alkyl oxetanes such as oxetane, 2-methyl oxetane, 2,2-dimethyl oxetane, 3-methyl oxetane, 3, 3-dimethyl oxetane, 3-methyl-3-methoxymethyl oxetane, 3, 3-di (trifluoro) Methyl) perfluoxetane, 2-chloromethyl oxetane, 3, 3-bis (chloromethyl) oxetane, biphenyl type oxetane, OXT-101 (made by Toagosei, trade name), OXT-121 (made by Toagosei, trade name) There is no particular limitation, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
オキセタン樹脂の含有量は、特に制限されず、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.1質量部〜50質量部であり、より好ましくは0.2質量部〜45質量部である。オキセタン樹脂の含有量が上記範囲内であることにより、耐熱性がより向上する傾向にある。 The content of the oxetane resin is not particularly limited, and is preferably 0.1 to 50 parts by mass, and more preferably 0.2 to 45 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content. . When the content of the oxetane resin is in the above range, the heat resistance tends to be further improved.
<ベンゾオキサジン化合物>
ベンゾオキサジン化合物としては、1分子中に2個以上のジヒドロベンゾオキサジン環を有する化合物であれば、一般に公知のものを用いることができる。例えば、ビスフェノールA型ベンゾオキサジンBA−BXZ(小西化学製、商品名)ビスフェノールF型ベンゾオキサジンBF−BXZ(小西化学製、商品名)、ビスフェノールS型ベンゾオキサジンBS−BXZ(小西化学製、商品名)、フェノールフタレイン型ベンゾオキサジン等が挙げられるが、特に制限されるものではない。これらは、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。<Benzoxazine compound>
As the benzoxazine compound, generally known compounds can be used as long as they are compounds having two or more dihydrobenzoxazine rings in one molecule. For example, bisphenol A type benzoxazine BA-BXZ (made by Konishi Chemical, trade name) Bisphenol F type benzoxazine BF-BXZ (made by Konishi Chemical, trade name), bisphenol S type benzoxazine BS-BXZ (made by Konishi Chemical, trade name) And phenolphthalein type benzoxazine etc., but it is not particularly limited. These may be used alone or in combination of two or more.
ベンゾオキサジン化合物の含有量は、特に制限されず、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.1質量部〜50質量部であり、より好ましくは0.2質量部〜45質量部である。ベンゾオキサジン化合物の含有量が上記範囲内であることにより、耐熱性がより向上する傾向にある。 The content of the benzoxazine compound is not particularly limited, and is preferably 0.1 to 50 parts by mass, and more preferably 0.2 to 45 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content. is there. When the content of the benzoxazine compound is in the above range, the heat resistance tends to be further improved.
<エポキシ樹脂>
本実施形態の樹脂組成物には、硬化物の耐熱性を向上させるために、前記(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂を併用することも可能である。
このようなエポキシ樹脂は、前記エポキシ樹脂(A)と異なり、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物であれば、特に限定されない。その具体例としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、キシレンノボラック型エポキシ樹脂、多官能フェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格変性ノボラック型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、3官能フェノール型エポキシ樹脂、4官能フェノール型エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキルノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキルノボラック型エポキシ樹脂、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ポリオール型エポキシ樹脂、リン含有エポキシ樹脂、グリシジルアミン、ブタジエンなどの二重結合をエポキシ化した化合物、水酸基含有シリコーン樹脂類とエピクロルヒドリンとの反応により得られる化合物、及びこれらのハロゲン化物が挙げられる。<Epoxy resin>
In the resin composition of the present embodiment, in order to improve the heat resistance of the cured product, it is possible to use an epoxy resin different from the biphenyl aralkyl type epoxy resin (A) represented by the above (1) in combination.
Such an epoxy resin is not particularly limited as long as it is a compound having two or more epoxy groups in one molecule, unlike the epoxy resin (A). Specific examples thereof include, for example, bisphenol A epoxy resin, bisphenol E epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, bisphenol A novolac epoxy resin, biphenyl epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, Cresol novolac epoxy resin, xylene novolac epoxy resin, polyfunctional phenol epoxy resin, naphthalene epoxy resin, naphthalene skeleton modified novolak epoxy resin, naphthalene ether epoxy resin, phenol aralkyl epoxy resin, anthracene epoxy resin, Trifunctional phenolic epoxy resin, tetrafunctional phenolic epoxy resin, triglycidyl isocyanurate, glycidyl ester epoxy resin, alicyclic Epoxy resin, dicyclopentadiene novolac epoxy resin, biphenyl novolac epoxy resin, phenolaralkyl novolac epoxy resin, naphthol aralkyl novolac epoxy resin, aralkyl novolac epoxy resin, naphthol aralkyl epoxy resin, dicyclopentadiene epoxy resin, Examples thereof include a polyol type epoxy resin, a phosphorus-containing epoxy resin, a compound obtained by epoxidizing a double bond such as glycidyl amine and butadiene, a compound obtained by the reaction of a hydroxyl group-containing silicone resin and epichlorohydrin, and a halide thereof.
その中でも、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、多官能フェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂からなる群より選択される一種以上であることが好ましく、ナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましい。このような種類のエポキシ樹脂を含むことにより、現像性およびめっき密着性がより向上する傾向にある。
ナフタレン型エポキシ樹脂としては、下記式(5)で表される樹脂を用いることが、現像性およびめっき密着性がより向上するため、好ましい。このエポキシ樹脂としては、市販品を利用することができ、DIC(株)社製HP−4710(商品名)が挙げられる。下記式(5)で表されるナフタレン型エポキシ樹脂は、低分子でありかつ多官能であるため、現像液への溶解性に優れる。そのため、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)との併用により、現像性にも優れる樹脂組成物を得ることができると考えられる。Among them, one or more selected from the group consisting of a naphthylene ether type epoxy resin, a polyfunctional phenol type epoxy resin, and a naphthalene type epoxy resin is preferable, and a naphthalene type epoxy resin is more preferable. By including such a type of epoxy resin, developability and plating adhesion tend to be further improved.
It is preferable to use a resin represented by the following formula (5) as the naphthalene type epoxy resin because the developability and the plating adhesion are further improved. As this epoxy resin, a commercial item can be utilized and DIC Corporation HP-4710 (brand name) is mentioned. The naphthalene type epoxy resin represented by the following formula (5) is low in molecular weight and multifunctional and therefore, is excellent in solubility in a developer. Therefore, it is thought that the resin composition which is excellent also in developability can be obtained by combined use with a biphenyl aralkyl type epoxy resin (A).
これらのエポキシ樹脂は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。 These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.
エポキシ樹脂の含有量は、特に制限されないが、現像性をより向上させるという観点から、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、前記エポキシ樹脂(A)とエポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂との合計で、3質量部以上とすることが好ましく、5質量部以上とすることがより好ましく、10質量部以上とすることが更に好ましく、15質量部以上とすることが更により好ましい。また、銅めっき密着性をより向上させるという観点から、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、前記エポキシ樹脂(A)とエポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂との合計で、50質量部以下とすることが好ましく、40質量部以下とすることがより好ましく、30質量部以下とすることが更に好ましく、28質量部以下とすることが更に好ましい。
また、前記エポキシ樹脂(A)とエポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂との比率は、特に制限されないが、めっき密着性の点から、1〜10:1〜3が好ましく、2〜4:1〜2がより好ましい。The content of the epoxy resin is not particularly limited, but from the viewpoint of further improving the developability, the epoxy resin (A) and the epoxy resin (A) with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. The total amount with different epoxy resins is preferably 3 parts by mass or more, more preferably 5 parts by mass or more, still more preferably 10 parts by mass or more, and further preferably 15 parts by mass or more preferable. Further, from the viewpoint of further improving the copper plating adhesion, the total of the epoxy resin (A) and the epoxy resin different from the epoxy resin (A) with respect to 100 parts by mass of resin solid content in the resin composition, The amount is preferably 50 parts by mass or less, more preferably 40 parts by mass or less, still more preferably 30 parts by mass or less, and still more preferably 28 parts by mass or less.
Further, the ratio of the epoxy resin (A) to the epoxy resin different from the epoxy resin (A) is not particularly limited, but from the viewpoint of plating adhesion, 1 to 10: 1 to 3 is preferable, and 2 to 4: 1. -2 is more preferable.
<熱硬化促進剤(H)>
本実施形態の樹脂組成物においては、本実施形態の特性が損なわれない範囲において、熱硬化促進剤(H)(成分(H)とも称す)を用いることも可能である。本実施形態に用いる熱硬化促進剤(H)としては、特に限定されないが、例えば、過酸化ベンゾイル、ラウロイルパーオキサイド、アセチルパーオキサイド、パラクロロベンゾイルパーオキサイド、ジ−tert−ブチル−ジ−パーフタレート等で例示される有機過酸化物;アゾビスニトリル等のアゾ化合物;N,N−ジメチルベンジルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジメチルトルイジン、2−N−エチルアニリノエタノール、トリ−n−ブチルアミン、ピリジン、キノリン、N−メチルモルホリン、トリエタノールアミン、トリエチレンジアミン、テトラメチルブタンジアミン、N−メチルピペリジンなどの第3級アミン類;フェノール、キシレノール、クレゾール、レゾルシン、カテコールなどのフェノール類;ナフテン酸鉛、ステアリン酸鉛、ナフテン酸亜鉛、オクチル酸亜鉛、オレイン酸錫、ジブチル錫マレート、ナフテン酸マンガン、ナフテン酸コバルト、アセチルアセトン鉄などの有機金属塩;これら有機金属塩をフェノール、ビスフェノールなどの水酸基含有化合物に溶解してなるもの;塩化錫、塩化亜鉛、塩化アルミニウムなどの無機金属塩;ジオクチル錫オキサイド、その他のアルキル錫、アルキル錫オキサイドなどの有機錫化合物;2−エチル-4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、トリフェニルイミダゾール(TPIZ)等のイミダゾール化合物などが挙げられる。中でも、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、トリフェニルイミダゾール(TPIZ)等のイミダゾール化合物が、耐熱性の点から、好ましく、2−エチル−4−メチルイミダゾールが、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、化合物(C)及び化合物(D)との反応性が高く、より優れた耐熱性が得られる点から、より好ましい。<Thermosetting accelerator (H)>
In the resin composition of the present embodiment, it is also possible to use a thermosetting accelerator (H) (also referred to as component (H)) as long as the characteristics of the present embodiment are not impaired. The heat curing accelerator (H) used in the present embodiment is not particularly limited. For example, benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, acetyl peroxide, parachlorobenzoyl peroxide, di-tert-butyl-di-perphthalate Organic peroxides such as azobisnitrile; N, N-dimethylbenzylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-dimethyltoluidine, 2-N-ethylanilinoethanol, tri Tertiary amines such as n-butylamine, pyridine, quinoline, N-methylmorpholine, triethanolamine, triethylenediamine, tetramethylbutanediamine, N-methylpiperidine, etc .; phenols such as phenol, xylenol, cresol, resorcine, catechol, etc. Naften Organometallic salts such as lead, lead stearate, zinc naphthenate, zinc octylate, tin oleate, dibutyltin malate, manganese naphthenate, cobalt naphthenate, iron acetylacetonate; these organic metal salts with hydroxyl groups such as phenol and bisphenol Dissolved in a compound; inorganic metal salts such as tin chloride, zinc chloride and aluminum chloride; dioctyl tin oxide, other organic tin compounds such as alkyl tin and alkyl tin oxide; 2-ethyl-4-methylimidazole, 1 And imidazole compounds such as 2-dimethylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole and triphenylimidazole (TPIZ). Among them, imidazole compounds such as 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole and triphenylimidazole (TPIZ) are preferred from the viewpoint of heat resistance, 2-ethyl -4-Methylimidazole is more preferable because it has high reactivity with the biphenyl aralkyl type epoxy resin (A), the compound (C) and the compound (D), and more excellent heat resistance can be obtained.
これら熱硬化促進剤は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
本実施形態の樹脂組成物において、熱硬化促進剤(H)の含有量は、特に限定されないが、通常、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、0.01〜10質量部であり、好ましくは0.05〜5質量部である。These heat curing accelerators can be used alone or in combination of two or more.
In the resin composition of the present embodiment, the content of the thermal curing accelerator (H) is not particularly limited, but generally 0.01 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. And preferably 0.05 to 5 parts by mass.
<有機溶剤>
本実施形態の樹脂組成物には、必要に応じて溶剤を含有していてもよい。例えば、有機溶剤を用いると、樹脂組成物の調製時における粘度を調整することができる。溶剤の種類は、樹脂組成物中の樹脂の一部又は全部を溶解可能なものであれば、特に限定されない。その具体例としては、特に限定されないが、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセルソルブ等のケトン類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド等のアミド類;プロピレングリコールモノメチルエーテル及びそのアセテートが挙げられる。
これら有機溶剤は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。<Organic solvent>
The resin composition of the present embodiment may contain a solvent, if necessary. For example, when an organic solvent is used, the viscosity at the time of preparation of the resin composition can be adjusted. The type of solvent is not particularly limited as long as it can dissolve part or all of the resin in the resin composition. Specific examples thereof include, but are not particularly limited to, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and methyl cellosolve; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; amides such as dimethylformamide; propylene glycol monomethyl ether and acetate thereof Can be mentioned.
These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.
<その他の成分>
本実施形態の樹脂組成物には、本実施形態の特性が損なわれない範囲において、これまでに挙げられていない熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂及びそのオリゴマー、エラストマー類等の種々の高分子化合物;これまでに挙げられていない難燃性の化合物;添加剤等の併用も可能である。これらは一般に使用されているものであれば、特に限定されるものではない。例えば、難燃性の化合物では、メラミンやベンゾグアナミン等の窒素含有化合物、オキサジン環含有化合物、及びリン系化合物のホスフェート化合物、芳香族縮合リン酸エステル、含ハロゲン縮合リン酸エステル等が挙げられる。添加剤としては、紫外線吸収剤、酸化防止剤、蛍光増白剤、光増感剤、染料、顔料、増粘剤、滑剤、消泡剤、表面調整剤、光沢剤、重合禁止剤等が挙げられる。これらの成分は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
本実施形態の樹脂組成物において、その他の成分の含有量は、特に限定されないが、通常、樹脂組成物100質量部に対して、それぞれ0.1〜10質量部である。<Other ingredients>
In the resin composition of the present embodiment, various polymer compounds such as thermosetting resins, thermoplastic resins and their oligomers, elastomers, etc. which have not been mentioned so far, as long as the characteristics of the present embodiment are not impaired. Combination of flame retardant compounds not mentioned so far; additives etc. are also possible. These are not particularly limited as long as they are generally used. For example, as flame retardant compounds, nitrogen-containing compounds such as melamine and benzoguanamine, oxazine ring-containing compounds, phosphate compounds of phosphorus compounds, aromatic condensed phosphate esters, halogen-containing condensed phosphate esters and the like can be mentioned. Additives include UV absorbers, antioxidants, optical brighteners, photosensitizers, dyes, pigments, thickeners, lubricants, antifoaming agents, surface conditioners, brighteners, polymerization inhibitors, etc. Be These components may be used alone or in combination of two or more.
Although content of another component is not specifically limited in the resin composition of this embodiment, Usually, it is 0.1-10 mass parts, respectively with respect to 100 mass parts of resin compositions.
<樹脂組成物の製造方法>
本実施形態の樹脂組成物は、前記式(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、光硬化開始剤(B)、前記式(2)で表される化合物(C)及び(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)と、必要に応じて、マレイミド化合物(E)、充填材(F)や化合物(G)及びその他の成分を適宜混合することにより調製される。本実施形態の樹脂組成物は、後述する本発明の樹脂シートを作製する際のワニスとして、好適に使用することができる。<Method for Producing Resin Composition>
The resin composition of the present embodiment includes the biphenyl aralkyl type epoxy resin (A) represented by the formula (1), the photo-curing initiator (B), and the compound (C) represented by the formula (2) C) Prepared by appropriately mixing the compound (D) having an ethylenically unsaturated group other than the component C, and, if necessary, the maleimide compound (E), the filler (F), the compound (G) and other components Be done. The resin composition of this embodiment can be suitably used as a varnish at the time of producing the resin sheet of this invention mentioned later.
本実施形態の樹脂組成物の製造方法は、特に限定されず、例えば、上述した各成分を順次溶剤に配合し、十分に攪拌する方法が挙げられる。 The manufacturing method of the resin composition of this embodiment is not specifically limited, For example, the method of mix | blending each component mentioned above sequentially with a solvent, and fully stirring is mentioned.
樹脂組成物の製造時には、必要に応じて各成分を均一に溶解又は分散させるための公知の処理(攪拌、混合、混練処理等)を行うことができる。具体的には、適切な攪拌能力を有する攪拌機を付設した攪拌槽を用いて攪拌分散処理を行うことにより、樹脂組成物に対する無機充填材(G)の分散性を向上させることができる。上記の攪拌、混合、混練処理は、例えば、超音波ホモジナイザー等の分散を目的とした攪拌装置、三本ロール、ボールミル、ビーズミル、サンドミル等の混合を目的とした装置、又は、公転又は自転型の混合装置等の公知の装置を用いて適宜行うことができる。また、本実施形態の樹脂組成物の調製時においては、必要に応じて有機溶剤を使用することができる。有機溶剤の種類は、樹脂組成物中の樹脂を溶解可能なものであれば、特に限定されず、その具体例は、上述したとおりである。 At the time of production of the resin composition, known processing (stirring, mixing, kneading treatment, etc.) for uniformly dissolving or dispersing each component can be carried out, if necessary. Specifically, the dispersibility of the inorganic filler (G) in the resin composition can be improved by performing the stirring and dispersing treatment using a stirring tank provided with a stirrer having an appropriate stirring capacity. The above-mentioned stirring, mixing, and kneading treatment may be, for example, a stirring device for the purpose of dispersing ultrasonic homogenizers, a three-roll mill, a device for the mixing of ball mills, bead mills, sand mills, etc., or revolution or rotation type It can carry out suitably using well-known apparatuses, such as a mixing apparatus. Moreover, at the time of preparation of the resin composition of this embodiment, an organic solvent can be used as needed. The type of the organic solvent is not particularly limited as long as the resin in the resin composition can be dissolved, and specific examples thereof are as described above.
<用途>
本実施形態の樹脂組成物は、絶縁性の樹脂組成物が必要とされる用途に使用することができ、特に限定されないが、感光性フィルム、支持体付き感光性フィルム、プリプレグ等の絶縁樹脂シート、回路基板(積層板用途、多層プリント配線板用途等)、ソルダーレジスト、アンダーフィル材、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等の用途に使用することができる。なかでも、多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物やソルダーレジストとして好適に使用することができる。<Use>
The resin composition of the present embodiment can be used for applications where an insulating resin composition is required, and is not particularly limited. However, insulating resin sheets such as photosensitive films, photosensitive films with supports, and prepregs It can be used for applications such as circuit boards (laminated board applications, multilayer printed wiring board applications, etc.), solder resists, underfill materials, die bonding materials, semiconductor sealing materials, hole filling resins, component embedding resins and the like. Especially, it can be used conveniently as a resin composition for insulating layers of a multilayer printed wiring board, and a solder resist.
<樹脂シート>
本実施形態の樹脂シートは、支持体と、該支持体の表面に形成され、本実施形態の樹脂組成物を含む樹脂組成物層とを備える、上述の樹脂組成物を支持体の片面又は両面に塗布した支持体付き樹脂シートである。樹脂シートは、樹脂組成物を支持体上に塗布、及び乾燥して製造することができる。<Resin sheet>
The resin sheet of the present embodiment comprises the support and the resin composition layer formed on the surface of the support and containing the resin composition of the present embodiment, wherein the above-mentioned resin composition is used on one side or both sides of the support. The resin sheet with a support applied to A resin sheet can be manufactured by apply | coating a resin composition on a support body, and drying.
本実施形態の樹脂シートにおいて使用される支持体は、特に限定されないが、公知のものを使用することができ、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムとしては、例えば、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリブチレンテレフタレート(PBT)フィルム、ポリプロピレン(PP)フィルム、ポリエチレン(PE)フィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、トリアセチルアセテートフィルム等の樹脂フィルムが挙げられる。その中でもPETフィルムが好ましい。 The support used in the resin sheet of the present embodiment is not particularly limited, but any known support can be used, and a resin film is preferable. Examples of the resin film include polyimide film, polyamide film, polyester film, polyethylene terephthalate (PET) film, polybutylene terephthalate (PBT) film, polypropylene (PP) film, polyethylene (PE) film, polyethylene naphthalate film, polyvinyl alcohol Examples of the film include a film and a resin film such as a triacetyl acetate film. Among them, PET film is preferable.
上記樹脂フィルムは、樹脂組成物層からの剥離を容易にするため、剥離剤を表面に塗布してあるものが好適に使用できる。樹脂フィルムの厚さは、5μm〜100μmの範囲であることが好ましく、10μm〜50μmの範囲であることがより好ましい。この厚さが5μm未満では、現像前に行う支持体剥離の際に支持体が破れやすくなる傾向があり、厚さが100μmを超えると、支持体上から露光する際の解像度が低下する傾向がある。 As the above-mentioned resin film, in order to facilitate peeling from the resin composition layer, one having a release agent coated on the surface thereof can be suitably used. The thickness of the resin film is preferably in the range of 5 μm to 100 μm, and more preferably in the range of 10 μm to 50 μm. If the thickness is less than 5 μm, the support tends to be easily broken at the time of peeling of the support before development, and if the thickness exceeds 100 μm, the resolution at the time of exposure from the support tends to decrease. is there.
また、紫外線等の活性エネルギー線による露光時の光の散乱を低減するため、樹脂フィルムは透明性に優れるものが好ましい。 Moreover, in order to reduce scattering of the light at the time of exposure by active energy rays, such as an ultraviolet-ray, what is excellent in transparency is preferable.
さらに、本実施形態における樹脂シートにおいて、その樹脂組成物層は、保護フィルムで保護されていてもよい。
樹脂組成物層側を保護フィルムで保護することにより、樹脂組成物層表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。保護フィルムとしては上記の樹脂フィルムと同様の材料により構成されたフィルムを用いることができる。保護フィルムの厚さは特に限定されないが、1μm〜50μmの範囲であることが好ましく、5μm〜40μmの範囲であることがより好ましい。厚さが1μm未満では、保護フィルムの取り扱い性が低下する傾向があり、50μmを超えると廉価性に劣る傾向がある。なお、保護フィルムは、樹脂組成物層と支持体との接着力に対して、樹脂組成物層と保護フィルムとの接着力の方が小さいものが好ましい。Furthermore, in the resin sheet in this embodiment, the resin composition layer may be protected by a protective film.
By protecting the resin composition layer side with a protective film, it is possible to prevent adhesion of dust and the like to the surface of the resin composition layer and scratches. As a protective film, the film comprised with the material similar to said resin film can be used. The thickness of the protective film is not particularly limited, but is preferably in the range of 1 μm to 50 μm, and more preferably in the range of 5 μm to 40 μm. If the thickness is less than 1 μm, the handleability of the protective film tends to decrease, and if it exceeds 50 μm, the price tends to be inferior. The protective film is preferably one in which the adhesive strength between the resin composition layer and the protective film is smaller than the adhesive strength between the resin composition layer and the support.
本実施形態の樹脂シートの製造方法は、特に限定されないが、例えば、本実施形態の樹脂組成物をPETフィルムなどの支持体に塗布して有機溶剤を乾燥により除去することにより、樹脂シートを製造する方法などが挙げられる。
上記塗布は、例えば、ロールコーター、コンマコーター、グラビアコーター、ダイコーター、バーコーター、リップコーター、ナイフコーター、スクイズコーター等を用いた公知の方法で行うことができる。上記乾燥は、例えば、60〜200℃の乾燥機中で、1〜60分加熱させる方法などにより行うことができる。
樹脂組成物層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する観点から、樹脂組成物層の総質量に対して5質量%以下とすることが好ましい。支持体に対する樹脂組成物層の厚みは、取り扱い性を向上させるという観点から、樹脂シートの樹脂組成物層厚で1.0μm以上とすることが好ましい。また、透過率を向上させて現像性を良好にするという観点から、300μm以下とすることが好ましい。Although the manufacturing method of the resin sheet of this embodiment is not specifically limited, For example, the resin composition of this embodiment is apply | coated to support bodies, such as a PET film, and a resin sheet is manufactured by removing an organic solvent by drying. And the like.
The application can be performed by a known method using, for example, a roll coater, a comma coater, a gravure coater, a die coater, a bar coater, a lip coater, a knife coater, a squeeze coater or the like. The drying can be performed, for example, by a method of heating in a dryer at 60 to 200 ° C. for 1 to 60 minutes.
The amount of the residual organic solvent in the resin composition layer is preferably 5% by mass or less based on the total mass of the resin composition layer from the viewpoint of preventing the diffusion of the organic solvent in the subsequent step. The thickness of the resin composition layer relative to the support is preferably 1.0 μm or more in terms of the layer thickness of the resin composition of the resin sheet, from the viewpoint of improving the handleability. Moreover, it is preferable to be 300 micrometers or less from a viewpoint of improving a transmittance | permeability and making developability favorable.
本実施形態の樹脂シートは、多層プリント配線板の層間絶縁層として使用することができる。 The resin sheet of the present embodiment can be used as an interlayer insulating layer of a multilayer printed wiring board.
<多層プリント配線板>
本実施形態の多層プリント配線板は、本実施形態の樹脂組成物を含む層間絶縁層を備え、例えば、上述の樹脂シートを1枚以上重ねて硬化して得ることもできる。具体的には以下の方法により製造することができる。<Multilayer printed wiring board>
The multilayer printed wiring board of the present embodiment includes an interlayer insulating layer containing the resin composition of the present embodiment, and can be obtained, for example, by overlapping and curing one or more of the above-described resin sheets. Specifically, it can be manufactured by the following method.
(ラミネート工程)
本実施形態の樹脂シートの樹脂組成物層側を、真空ラミネーターを用いて回路基板の片面又は両面にラミネートする。回路基板としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、セラミック基板、シリコン基板、半導体封止樹脂基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。なお、ここで回路基板とは、上記のような基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成された基板をいう。また、導体層と絶縁層とを交互に積層してなる多層プリント配線板において、該プリント配線板の最外層の片面又は両面がパターン加工された導体層(回路)となっている基板も、ここでいう回路基板に含まれる。なお導体層表面には、黒化処理、銅エッチング等により予め粗化処理が施されていてもよい。ラミネート工程において、樹脂シートが保護フィルムを有している場合には該保護フィルムを剥離除去した後、必要に応じて樹脂シート及び回路基板をプレヒートし、樹脂組成物層を加圧及び加熱しながら回路基板に圧着する。本実施形態の樹脂シートにおいては、真空ラミネート法により減圧下で回路基板にラミネートする方法が好適に用いられる。(Lamination process)
The resin composition layer side of the resin sheet of the present embodiment is laminated on one side or both sides of the circuit board using a vacuum laminator. Examples of the circuit substrate include a glass epoxy substrate, a metal substrate, a ceramic substrate, a silicon substrate, a semiconductor sealing resin substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, and the like. In addition, a circuit board means the board | substrate in which the conductor layer (circuit) by which pattern processing was carried out on the single side | surface or both surfaces of the above board | substrates here was formed. In addition, in a multilayer printed wiring board in which conductor layers and insulating layers are alternately stacked, a substrate having a conductor layer (circuit) on which one or both surfaces of the outermost layer of the printed wiring board are patterned is also used here. Included in the circuit board. The surface of the conductor layer may be roughened in advance by blackening treatment, copper etching or the like. In the laminating step, when the resin sheet has a protective film, the protective film is peeled off and removed, and if necessary, the resin sheet and the circuit board are preheated to press and heat the resin composition layer. Crimp on the circuit board. In the resin sheet of the present embodiment, a method of laminating on a circuit board under reduced pressure by vacuum lamination is preferably used.
ラミネート工程の条件は、特に限定されるものではないが、例えば、圧着温度(ラミネート温度)を好ましくは50℃〜140℃とし、圧着圧力を好ましくは1kgf/cm2〜15kgf/cm2、圧着時間を好ましくは5秒間〜300秒間とし、空気圧を20mmHg以下とする減圧下でラミネートするのが好ましい。また、ラミネート工程は、バッチ式であってもロールを用いる連続式であってもよい。真空ラミネート法は、市販の真空ラミネーターを使用して行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、ニッコー・マテリアルズ(株)製2ステージビルドアップラミネーター等を挙げることができる。The conditions of the laminating step are not particularly limited, but, for example, the pressing temperature (laminating temperature) is preferably 50 ° C. to 140 ° C., the pressing pressure is preferably 1 kgf / cm 2 to 15 kgf / cm 2 , the pressing time Preferably for 5 seconds to 300 seconds, and laminating under a reduced pressure of 20 mmHg or less. In addition, the laminating process may be a batch system or a continuous system using a roll. The vacuum laminating method can be performed using a commercially available vacuum laminator. As a commercially available vacuum laminator, for example, a 2-stage buildup laminator manufactured by Nikko Materials Co., Ltd. can be mentioned.
(露光工程)
ラミネート工程により、回路基板上に樹脂シートが設けられた後、樹脂組成物層の所定部分に活性エネルギー線を照射し、照射部の樹脂組成物層を硬化させる露光工程を行う。活性エネルギー線の照射は、マスクパターンを通してもよいし、直接活性エネルギー線を照射する直接描画法を用いてもよい。(Exposure process)
After the resin sheet is provided on the circuit board in the laminating step, an active energy ray is irradiated to a predetermined portion of the resin composition layer to perform an exposure step of curing the resin composition layer in the irradiated part. The irradiation of active energy rays may be performed through a mask pattern, or a direct writing method of direct irradiation of active energy rays may be used.
活性エネルギー線としては、例えば、紫外線、可視光線、電子線、X線等が挙げられ、特に紫外線が好ましい。紫外線の照射量はおおむね10mJ/cm2〜1000mJ/cm2である。マスクパターンを通す露光方法にはマスクパターンを多層プリント配線板に密着させて行う接触露光法と、密着させずに平行光線を使用して露光する非接触露光法とがあるが、どちらを用いてもかまわない。また、樹脂組成物層上に支持体が存在している場合は、支持体上から露光してもよいし、支持体を剥離後に露光してもよい。As an active energy ray, an ultraviolet-ray, a visible ray, an electron beam, an X ray etc. are mentioned, for example, Especially an ultraviolet-ray is preferable. Dose of ultraviolet light is approximately 10mJ / cm 2 ~1000mJ / cm 2 . There are a contact exposure method in which the mask pattern is in close contact with the multilayer printed wiring board, and a noncontact exposure method in which the parallel light beam is used for exposure without intimate contact. I don't care. Moreover, when a support body exists on a resin composition layer, you may expose from on a support body and may expose it after peeling a support body.
(現像工程)
露光工程後、樹脂組成物層上に支持体が存在している場合にはその支持体を除去した後、ウエット現像で、光硬化されていない部分(未露光部)を除去して現像することにより、絶縁層のパターンを形成することができる。(Development process)
After the exposure step, if a support is present on the resin composition layer, the support is removed, and then wet development is performed to remove a non-photo-cured portion (unexposed portion) and develop. Thus, the pattern of the insulating layer can be formed.
上記ウエット現像の場合、現像液としては、未露光部分を選択的に溶出するものであれば、特に限定されるものではないが、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の現像液が用いられる。本実施形態においては、特にアルカリ性水溶液による現像工程が好ましい。これらの現像液は単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。また、現像方法としては、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法で行うことができる。 In the case of the above wet development, the developer is not particularly limited as long as it selectively dissolves the unexposed area, but a developer such as an aqueous alkaline solution, an aqueous developer, or an organic solvent may be used. . In the present embodiment, in particular, a developing step with an alkaline aqueous solution is preferable. These developers can be used alone or in combination of two or more. Moreover, as a developing method, it can carry out by well-known methods, such as a spray, rocking | fluctuation immersion, brushing, scraping etc., for example.
現像液として使用されるアルカリ水溶液は、特に限定されるものではないが、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、4−ホウ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等が挙げられる。 The aqueous alkaline solution used as the developing solution is not particularly limited. For example, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, sodium silicate, sodium 4-borate, ammonia And amines.
上記アルカリ水溶液の濃度は、現像液全量に対して0.1質量%〜60質量%であることが好ましい。また、アルカリ水溶液の温度は、現像性にあわせて調節することができる。さらに、これらのアルカリ水溶液は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。 The concentration of the alkaline aqueous solution is preferably 0.1% by mass to 60% by mass with respect to the total amount of the developer. Further, the temperature of the aqueous alkaline solution can be adjusted in accordance with the developability. Furthermore, these alkaline aqueous solutions can be used individually or in combination of 2 or more types.
本実施形態のパターン形成においては、必要に応じて、上記した2種類以上の現像方法を併用して用いてもよい。現像の方式には、ディップ方式、パドル方式、スプレー方式、高圧スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等があり、高圧スプレー方式が解像度向上のためには好適である。スプレー方式を採用する場合のスプレー圧としては、0.02MPa〜0.5MPaが好ましい。 In the pattern formation of the present embodiment, the two or more developing methods described above may be used in combination as needed. The developing method includes a dip method, a paddle method, a spray method, a high pressure spray method, brushing, slapping and the like, and the high pressure spray method is suitable for improving the resolution. As a spray pressure in the case of adopting a spray system, 0.02 MPa-0.5 MPa are preferable.
(ポストベーク工程)
上記現像工程終了後、ポストベーク工程を行い、絶縁層(硬化物)を形成する。ポストベーク工程としては、高圧水銀ランプによる紫外線照射工程やクリーンオーブンを用いた加熱工程等が挙げられ、これらを併用することも可能である。紫外線を照射させる場合は必要に応じてその照射量を調整することができ、例えば0.05J/cm2〜10J/cm2程度の照射量で照射を行うことができる。また加熱の条件は、樹脂組成物中の樹脂成分の種類、含有量などに応じて適宜選択すればよいが、好ましくは150℃〜220℃で20分間〜180分間の範囲、より好ましくは160℃〜200℃で30分間〜150分間の範囲で選択される。(Post-bake process)
After completion of the development step, a post bake step is performed to form an insulating layer (cured product). As a post-baking process, the ultraviolet irradiation process by a high pressure mercury lamp, the heating process using a clean oven, etc. are mentioned, It is also possible to use these together. Case of ultraviolet irradiation can adjust its dose optionally, the irradiation can be carried out, for example 0.05J / cm 2 ~10J / cm 2 approximately dose. The heating conditions may be appropriately selected according to the type and content of the resin component in the resin composition, preferably in the range of 150 ° C. to 220 ° C. for 20 minutes to 180 minutes, more preferably 160 ° C. It is selected in the range of 30 minutes to 150 minutes at -200 ° C.
(めっき工程)
次に、乾式めっき又は湿式めっきにより絶縁層表面に導体層を形成する。乾式めっきとしては、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の公知の方法を使用することができる。蒸着法(真空蒸着法)は、例えば、支持体を真空容器内に入れ、金属を加熱蒸発させることにより絶縁層上に金属膜形成を行うことができる。スパッタリング法も、例えば、支持体を真空容器内に入れ、アルゴン等の不活性ガスを導入し、直流電圧を印加して、イオン化した不活性ガスをターゲット金属に衝突させ、叩き出された金属により絶縁層上に金属膜形成を行うことができる。(Plating process)
Next, a conductor layer is formed on the surface of the insulating layer by dry plating or wet plating. For dry plating, known methods such as vapor deposition, sputtering and ion plating can be used. In the vapor deposition method (vacuum vapor deposition method), for example, the metal film can be formed on the insulating layer by placing the support in a vacuum vessel and heating and evaporating the metal. In the sputtering method, for example, the support is placed in a vacuum vessel, an inert gas such as argon is introduced, a direct current voltage is applied, and the ionized inert gas is caused to collide with the target metal, and the knocked out metal is used. Metal film formation can be performed on the insulating layer.
湿式めっきの場合は、形成された絶縁層の表面に対して、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理及び中和液による中和処理をこの順に行うことによって絶縁層表面を粗化する。膨潤液による膨潤処理は、絶縁層を50℃〜80℃で1分間〜20分間膨潤液に浸漬させることで行われる。膨潤液としてはアルカリ溶液が挙げられ、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液等が挙げられる。市販されている膨潤液としては、例えば、上村工業(株)製のアップデス(登録商標)MDS−37等を挙げることができる。 In the case of wet plating, the surface of the insulating layer is roughened by sequentially performing a swelling treatment with a swelling solution, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralization treatment with a neutralizing solution on the surface of the formed insulating layer. . The swelling treatment with the swelling solution is performed by immersing the insulating layer at 50 ° C. to 80 ° C. for 1 minute to 20 minutes in the swelling solution. As a swelling liquid, an alkaline solution is mentioned, As a alkaline solution, sodium hydroxide solution, potassium hydroxide solution, etc. are mentioned. As a swelling liquid marketed, for example, UPDES® (registered trademark) MDS-37 manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd. can be mentioned.
酸化剤による粗化処理は、絶縁層を60℃〜80℃で5分間〜30分間酸化剤溶液に浸漬させることで行われる。酸化剤としては、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液、重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素/硫酸、硝酸等を挙げることができる。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%〜10質量%とするのが好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、上村工業(株)製アップデス(登録商標)MDE−40、アップデス(登録商標)ELC−SH等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。中和液による中和処理は、30℃〜50℃で1分間〜10分間中和液に浸漬させることで行われる。中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、上村工業(株)製のアップデス(登録商標)MDN−62が挙げられる。 The roughening treatment with an oxidizing agent is performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution at 60 ° C. to 80 ° C. for 5 minutes to 30 minutes. As the oxidizing agent, for example, alkaline permanganate solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide, dichromate, ozone, hydrogen peroxide / sulfuric acid, nitric acid, etc. may be mentioned. it can. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganic acid solutions such as Uedesu Industrial Co., Ltd. product Updes (registered trademark) MDE-40 and Updes (registered trademark) ELC-SH. The neutralization process with a neutralization liquid is performed by immersing in the neutralization liquid at 30 degreeC-50 degreeC for 1 minute-10 minutes. As a neutralization liquid, an acidic aqueous solution is preferable, and UPDES® (registered trademark) MDN-62 manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd. is mentioned as a commercial item.
次いで、無電解めっきと電解めっきとを組み合わせて導体層を形成する。また導体層とは逆パターンのメッキレジストを形成し、無電解めっきのみで導体層を形成することもできる。その後のパターン形成の方法として、例えば、サブトラクティブ法、セミアディティブ法などを用いることができる。 Then, electroless plating and electrolytic plating are combined to form a conductor layer. Alternatively, a plating resist having a pattern reverse to that of the conductor layer may be formed, and the conductor layer may be formed only by electroless plating. As a subsequent pattern formation method, for example, a subtractive method, a semi-additive method or the like can be used.
<半導体装置>
本実施形態の半導体装置は、本実施形態の樹脂組成物を含む層間絶縁層を備え、具体的には以下の方法により製造することができる。本実施形態の多層プリント配線板の導通箇所に、半導体チップを実装することにより半導体装置を製造することができる。ここで、導通箇所とは、多層プリント配線板における電気信号を伝える箇所のことであって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。<Semiconductor device>
The semiconductor device of the present embodiment includes the interlayer insulating layer containing the resin composition of the present embodiment, and can be specifically manufactured by the following method. A semiconductor device can be manufactured by mounting a semiconductor chip in the conduction part of the multilayer printed wiring board of the present embodiment. Here, the conductive portion is a portion which transmits an electric signal in the multilayer printed wiring board, and the portion may be a surface or a portion embedded. The semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.
本実施形態の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえずれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、などが挙げられる。 The method of mounting the semiconductor chip in manufacturing the semiconductor device of the present embodiment is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, but specifically, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, bumps A mounting method using a buildup layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), a mounting method using a nonconductive film (NCF), and the like can be given.
また、本実施形態の樹脂シートを半導体チップにラミネートすることによっても、半導体装置を製造することができる。ラミネート後は前述の多層プリント配線板と同様の方法を用いて製造することができる。 A semiconductor device can also be manufactured by laminating the resin sheet of this embodiment on a semiconductor chip. After lamination, it can be manufactured using the same method as the above-mentioned multilayer printed wiring board.
以下、実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例になんら限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be more specifically described by way of examples, but the present invention is not limited to these examples.
〔合成例1〕
(シアン酸エステル化合物の合成)
1−ナフトールアラルキル樹脂(新日鉄住金化学株式会社製)300g(OH基換算1.28mol)及びトリエチルアミン194.6g(1.92mol)(ヒドロキシ基1molに対して1.5mol)をジクロロメタン1800gに溶解させ、これを溶液1とした。
塩化シアン125.9g(2.05mol)(ヒドロキシ基1molに対して1.6mol)、ジクロロメタン293.8g、36%塩酸194.5g(1.92mol)(ヒドロキシ基1モルに対して1.5モル)、水1205.9gを、撹拌下、液温−2〜−0.5℃に保ちながら、溶液1を30分かけて注下した。溶液1注下終了後、同温度にて30分撹拌した後、トリエチルアミン65g(0.64mol)(ヒドロキシ基1molに対して0.5mol)をジクロロメタン65gに溶解させた溶液(溶液2)を10分かけて注下した。溶液2注下終了後、同温度にて30分撹拌して反応を完結させた。
その後反応液を静置して有機相と水相を分離した。得られた有機相を水1300gで5回洗浄した。水洗5回目の廃水の電気伝導度は5μS/cmであり、水による洗浄により、除けるイオン性化合物は十分に除けられたことを確認した。
水洗後の有機相を減圧下で濃縮し、最終的に90℃で1時間濃縮乾固させて目的とするナフトールアラルキル型のシアン酸エステル化合物(SNCN)(橙色粘性物)を331g得た。得られたSNCNの質量平均分子量Mwは600であった。また、SNCNのIRスペクトルは2250cm-1(シアン酸エステル基)の吸収を示し、且つ、ヒドロキシ基の吸収は示さなかった。Synthesis Example 1
(Synthesis of cyanate ester compound)
Dissolve 300 g (1.28 mol of OH group conversion) of 1-naphthol aralkyl resin (manufactured by Nippon Steel Sumikin Chemical Co., Ltd.) and 194.6 g (1.92 mol) of triethylamine (1.5 mol with respect to 1 mol of hydroxy group) in dichloromethane. This was solution 1.
125.9 g (2.05 mol) of cyanogen chloride (1.6 mol to 1 mol of hydroxy group), 293.8 g of dichloromethane, 194.5 g (1.92 mol) of 36% hydrochloric acid (1.5 mol to 1 mol of hydroxy group) The solution 1 was poured over 30 minutes, keeping 1205.9 g of water under stirring, at a solution temperature of -2 to -0.5 ° C. After completion of 1 injection of solution, after stirring for 30 minutes at the same temperature, 10 minutes of a solution (solution 2) in which 65 g (0.64 mol) of triethylamine (0.5 mol per 1 hydroxyl group) is dissolved in dichloromethane I poured it over. After completion of solution 2 injection, the reaction was completed by stirring for 30 minutes at the same temperature.
Thereafter, the reaction solution was allowed to stand to separate the organic phase and the aqueous phase. The resulting organic phase was washed five times with 1300 g of water. The electric conductivity of the fifth washing with water was 5 μS / cm, and it was confirmed that washing with water sufficiently removed the removable ionic compound.
The organic phase after washing with water was concentrated under reduced pressure and finally concentrated to dryness at 90 ° C. for 1 hour to obtain 331 g of the desired naphthol aralkyl type cyanate ester compound (SNCN) (orange viscous material). The mass average molecular weight Mw of the obtained SNCN was 600. In addition, the IR spectrum of SNCN showed an absorption of 2250 cm -1 (cyanate group) and no absorption of a hydroxy group.
〔実施例1〕
(樹脂組成物及び樹脂シートの作成)
式(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(式(1)中のnは、1〜3である。NC3000L(商品名)、日本化薬(株)製)22.4質量部、光硬化開始剤(B)として、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(Irgacure(登録商標)369、BASFジャパン(株)製)6.5質量部、化合物(C)として、TrisP−PAエポキシアクリレート化合物のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下、PGMEAと略す場合がある)溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)77.5質量部(不揮発分換算で50.4質量部)、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬(株)製)17.4質量部、マレイミド化合物(E)として、マレイミド化合物(BMI−2300(商品名)、大和化成工業(株)製)3.3質量部、充填材(F)として、エポキシシラン処理シリカのメチルエチルケトン(以下、MEKと略す場合がある)スラリー(SC2050MB(商品名)、平均粒径0.5μm、不揮発分70質量%、(株)アドマテックス製)71.4質量部(不揮発分換算で50質量部)を配合し、超音波ホモジナイザーで攪拌してワニス(樹脂組成物の溶液)を得た。これらのワニスを厚さ38μmのPETフィルム(ユニピール(登録商標)TR1−38、ユニチカ(株)製、商品名)上に自動塗工装置(PI−1210、テスター産業(株)製)を用いて塗布し、80℃で7分間加熱乾燥して、PETフィルムを支持体とし樹脂組成物層の厚さが30μmである樹脂シートを得た。Example 1
(Preparation of resin composition and resin sheet)
As a biphenyl aralkyl type epoxy resin (A) represented by Formula (1), n in a biphenyl aralkyl type epoxy resin (Formula (1) is 1 to 3. NC 3000 L (trade name), Nippon Kayaku (stock) 22.4 parts by mass, as a photo-curing initiator (B), 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 (Irgacure (registered trademark) 369, BASF Japan) 6.5 parts by mass, as a compound (C), a solution of TrisP-PA epoxy acrylate compound in propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter sometimes abbreviated as PGMEA) solution (KAYARAD (registered trademark) ZCR-6007H, Nonvolatile matter 65 mass%, acid value: 70 mg KOH / g, Nippon Kayaku Co., Ltd. product 77.5 mass parts (non volatile matter) Dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD (registered trademark) DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) as a compound (D) having an ethylenically unsaturated group other than the component (C) 17) .4 parts by mass, maleimide compound (BMI-2300 (trade name), manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) 3.3 parts by mass as a maleimide compound (E), methyl ethyl ketone of epoxysilane-treated silica as a filler (F) (Hereafter, it may be abbreviated as MEK.) Slurry (SC2050 MB (trade name), average particle diameter 0.5 μm, non volatile matter 70 mass%, manufactured by Admatechs Co., Ltd.) 71.4 parts by mass (in nonvolatile matter conversion 50 mass) Part) was mixed and stirred with an ultrasonic homogenizer to obtain a varnish (a solution of a resin composition). Using an automatic coating apparatus (PI-1210, manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.) on a 38 μm thick PET film (UNIPEL® TR 1-38, manufactured by UNITIKA Co., Ltd., trade name) of these varnishes It apply | coated, and it heat-dried at 80 degreeC for 7 minutes, and used the PET film as a support body, and obtained the resin sheet whose thickness of a resin composition layer is 30 micrometers.
なお、前記KAYARAD(登録商標)ZCR−6007Hは、上記化合物(C1)および上記化合物(C2)〜(C5)のいずれか一種以上を含む混合物である。 The KAYARAD (registered trademark) ZCR-6007H is a mixture containing one or more of the compound (C1) and the compounds (C2) to (C5).
(内層回路基板の作成)
内層回路を形成したガラス布基材BT樹脂両面銅張積層板(銅箔厚さ18μm、厚み0.2mm、三菱ガス化学(株)製CCL(登録商標)−HL832NS)の両面をメック(株)製CZ8100にて銅表面の粗化処理を行い内層回路基板を得た。(Creating inner layer circuit board)
Glass cloth base material BT resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, thickness 0.2 mm, CCL (registered trademark)-HL 832 NS manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.) with inner layer circuit formed by Mec Co., Ltd. Roughening treatment of the copper surface was performed with CZ8100 manufactured by Nippon Steel Co., Ltd. to obtain an inner circuit board.
(評価用積層体の作製)
前記樹脂シートの樹脂面を内層回路基板上に配置し、真空ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ(株)製)を用いて、30秒間真空引き(5.0MPa以下)を行った後、圧力10kgf/cm2、温度70℃で30秒間の積層成形を行った。さらに圧力10kgf/cm2、温度70℃で60秒間の積層成形を行うことで内層回路基板と樹脂組成物層と支持体が積層された積層体を得た。得られた積層体に200mJ/cm2の紫外線を照射する露光工程を施し、支持体をはがし取って、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液で現像し、さらに1000mJ/cm2の紫外線を照射する露光工程を施し、180℃、120分間加熱処理するポストベーク工程を施した後、評価用積層体とした。(Preparation of laminate for evaluation)
The resin surface of the resin sheet is placed on the inner layer circuit board, and after vacuuming (5.0 MPa or less) for 30 seconds using a vacuum laminator (manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.), the pressure is 10 kgf / cm. 2. Lamination was performed for 30 seconds at a temperature of 70 ° C. Furthermore, by performing lamination molding at a pressure of 10 kgf / cm 2 and a temperature of 70 ° C. for 60 seconds, a laminated body in which the inner layer circuit board, the resin composition layer and the support are laminated is obtained. The resulting laminate was subjected to an exposure step of irradiating 200 mJ / cm 2 of ultraviolet light, the support was peeled off, developed with a 1% by mass aqueous solution of sodium carbonate, and further exposed to 1,000 mJ / cm 2 of ultraviolet light. And a post-baking step of heat treatment at 180.degree. C. for 120 minutes to obtain a laminate for evaluation.
(評価用硬化物の作製)
前記樹脂シートに200mJ/cm2の紫外線を照射し、さらに1000mJ/cm2の紫外線を照射する露光工程を施し、180℃、120分間加熱処理するポストベーク工程を施した後、支持体をはがし取って評価用硬化物とした。(Preparation of cured product for evaluation)
The resin sheet is exposed to UV light of 200 mJ / cm 2 , exposed to UV light of 1000 mJ / cm 2 , and subjected to a post-baking step of heat treatment at 180 ° C. for 120 minutes. To give a cured product for evaluation.
〔実施例2〕
成分(A)として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC3000L(商品名)、日本化薬(株)製)21.9質量部、光硬化開始剤(B)として、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(Irgacure(登録商標)369、BASFジャパン(株)製)6.5質量部、化合物(C)として、TrisP−PAエポキシアクリレート化合物のPGMEA溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)77.5質量部(不揮発分換算で50.4質量部)、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬(株)製)17.4質量部、マレイミド化合物(E)として、マレイミド化合物(BMI−2300(商品名)、大和化成工業(株)製)3.3質量部、充填材(F)として、エポキシシラン処理シリカのMEKスラリー(SC2050MB(商品名)、平均粒径0.5μm、不揮発分70質量%、(株)アドマテックス製)71.4質量部(不揮発分換算で50質量部)、化合物(G)として、合成例1で得られたシアン酸エステル化合物SNCN0.5質量部を配合し、超音波ホモジナイザーで攪拌してワニス(樹脂組成物の溶液)を得た。これらのワニスを厚さ38μmのPETフィルム(ユニピール(登録商標)TR1−38、ユニチカ(株)製、商品名)上に自動塗工装置(PI−1210、テスター産業(株)製)を用いて塗布し、80℃で7分間加熱乾燥して、PETフィルムを支持体とし樹脂組成物層の厚さが30μmである樹脂シート得た。これを用いて、実施例1と同様にして、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。Example 2
As component (A), 21.9 parts by mass of biphenylaralkyl type epoxy resin (NC3000L (trade name), manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and as a photocuring initiator (B), 2-benzyl-2-dimethylamino- 6.5 parts by mass of 1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 (Irgacure® 369, manufactured by BASF Japan Ltd.), PGMEA solution of TrisP-PA epoxy acrylate compound as compound (C) ( KAYARAD (registered trademark) ZCR-6007H, nonvolatile content 65% by mass, acid value: 70 mg KOH / g, Nippon Kayaku Co., Ltd. 77.5 parts by mass (50.4 parts by mass in terms of nonvolatile content), (C) Dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD (registered trademark)) as a compound (D) having an ethylenically unsaturated group other than the components PHA, 17.4 parts by mass of Nippon Kayaku Co., Ltd. product, 3.3 parts by mass of maleimide compound (BMI-2300 (trade name), manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) as maleimide compound (E), filler As (F), MEK slurry of epoxysilane-treated silica (SC2050MB (trade name), average particle diameter 0.5 μm, nonvolatile content 70% by mass, manufactured by Admatechs Co., Ltd.) 71.4 parts by mass (50 converted in nonvolatile content) (Mass part), 0.5 mass parts of cyanate ester compound SNCN obtained by the synthesis example 1 were mix | blended as a compound (G), and it stirred by the ultrasonic homogenizer, and obtained the varnish (solution of resin composition). Using an automatic coating apparatus (PI-1210, manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.) on a 38 μm thick PET film (UNIPEL® TR 1-38, manufactured by UNITIKA Co., Ltd., trade name) of these varnishes It apply | coated, and it heat-dried at 80 degreeC for 7 minutes, and made the PET film the support body, and obtained the resin sheet whose thickness of a resin composition layer is 30 micrometers. Using this, in the same manner as in Example 1, a laminate for evaluation and a cured product for evaluation were obtained.
〔実施例3〕
成分(A)として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC3000L(商品名)、日本化薬(株)製)21.9質量部、光硬化開始剤(B)として、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド(Irgacure(登録商標)819、BASFジャパン(株)製)6.5質量部、化合物(C)として、TrisP−PAエポキシアクリレート化合物のPGMEA溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)77.5質量部(不揮発分換算で50.4質量部)、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬(株)製)17.4質量部、マレイミド化合物(E)として、マレイミド化合物(BMI−2300(商品名)、大和化成工業(株)製)3.3質量部、充填材(F)として、エポキシシラン処理シリカのMEKスラリー(SC2050MB(商品名)、平均粒径0.5μm、不揮発分70質量%、(株)アドマテックス製)71.4質量部(不揮発分換算で50質量部)、化合物(G)として、合成例1で得られたシアン酸エステル化合物SNCN0.5質量部を配合し、超音波ホモジナイザーで攪拌してワニス(樹脂組成物の溶液)を得た。これらのワニスを厚さ38μmのPETフィルム(ユニピール(登録商標)TR1−38、ユニチカ(株)製、商品名)上に自動塗工装置(PI−1210、テスター産業(株)製)を用いて塗布し、80℃で7分間加熱乾燥して、PETフィルムを支持体とし樹脂組成物層の厚さが30μmである樹脂シート得た。これを用いて、実施例1と同様にして、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。[Example 3]
As component (A), 21.9 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin (NC3000L (trade name), manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 2,4,6-trimethylbenzoyl- as a photocuring initiator (B) 6.5 parts by mass of diphenyl-phosphine oxide (Irgacure (registered trademark) 819, manufactured by BASF Japan Ltd.), a PGMEA solution of TrisP-PA epoxy acrylate compound as a compound (C) (KAYARAD (registered trademark) ZCR-6007H Non-volatile content 65 mass%, acid value: 70 mg KOH / g, Nippon Kayaku Co., Ltd. 77.5 mass parts (50.4 mass parts in conversion of non-volatile content), Ethylenic unsaturated group other than the (C) component Dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD (registered trademark) DPHA, Japan) as a compound (D) having 17.4 parts by mass of Medicinal Products Co., Ltd., 3.3 parts by mass of maleimide compound (BMI-2300 (trade name), manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) as maleimide compound (E), as filler (F) 71.4 parts by mass (50 parts by mass in terms of nonvolatile content) of MEK slurry of epoxysilane-treated silica (SC2050 MB (trade name), average particle diameter 0.5 μm, nonvolatile content 70 mass%, manufactured by Admatex Co., Ltd.) As a compound (G), 0.5 parts by mass of the cyanate ester compound SNCN obtained in Synthesis Example 1 was blended, and the mixture was stirred by an ultrasonic homogenizer to obtain a varnish (a solution of a resin composition). Using an automatic coating apparatus (PI-1210, manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.) on a 38 μm thick PET film (UNIPEL® TR 1-38, manufactured by UNITIKA Co., Ltd., trade name) of these varnishes It apply | coated, and it heat-dried at 80 degreeC for 7 minutes, and used the PET film as a support body, and obtained the resin sheet whose thickness of a resin composition layer is 30 micrometers. Using this, in the same manner as in Example 1, a laminate for evaluation and a cured product for evaluation were obtained.
〔実施例4〕
成分(A)として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC3000L(商品名)、日本化薬(株)製)15.8質量部、成分(G)として、ナフタレン型エポキシ樹脂(HP−4710(商品名)、DIC(株)社製)6.1質量部、光硬化開始剤(B)として、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド(Irgacure(登録商標)819、BASFジャパン(株)製)6.5質量部、化合物(C)として、TrisP−PAエポキシアクリレート化合物のPGMEA溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)77.5質量部(不揮発分換算で50.4質量部)、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬(株)製)17.4質量部、マレイミド化合物(E)として、マレイミド化合物(BMI−2300(商品名)、大和化成工業(株)製)3.3質量部、充填材(F)として、エポキシシラン処理シリカのMEKスラリー(SC2050MB(商品名)、平均粒径0.5μm、不揮発分70質量%、(株)アドマテックス製)71.4質量部(不揮発分換算で50質量部)、化合物(G)として、合成例1で得られたシアン酸エステル化合物SNCN0.5質量部を配合し、超音波ホモジナイザーで攪拌してワニス(樹脂組成物の溶液)を得た。これらのワニスを厚さ38μmのPETフィルム(ユニピール(登録商標)TR1−38、ユニチカ(株)製、商品名)上に自動塗工装置(PI−1210、テスター産業(株)製)を用いて塗布し、80℃で7分間加熱乾燥して、PETフィルムを支持体とし樹脂組成物層の厚さが30μmである樹脂シート得た。これを用いて、実施例1と同様にして、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。Example 4
As component (A), 15.8 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin (NC3000L (trade name), manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and as component (G), naphthalene type epoxy resin (HP-4710 (trade name) , DIC (manufactured by DIC Corporation), 6.1 parts by mass, as a photocuring initiator (B), 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide (Irgacure (registered trademark) 819, BASF Japan Ltd.) 6.5 parts by weight, as a compound (C), a PGMEA solution of TrisP-PA epoxy acrylate compound (KAYARAD (registered trademark) ZCR-6007H, nonvolatile content 65% by mass, acid value: 70 mg KOH / g, Nippon Kayaku ( 77.5 parts by mass (50.4 parts by mass in terms of non-volatile content), and having an ethylenically unsaturated group other than the component (C) 17.4 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD (registered trademark) DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) as the compound (D), and a maleimide compound (BMI-2300 (trade name) as the maleimide compound (E) ), 3.3 parts by mass of Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., MEK slurry of epoxysilane-treated silica as filler (F) (SC2050MB (trade name), average particle diameter 0.5 μm, nonvolatile content 70% by mass, 71.4 parts by mass (50 parts by mass in terms of nonvolatile content) (manufactured by Admatex Co., Ltd.), 0.5 parts by mass of the cyanate ester compound SNCN obtained in Synthesis Example 1 as a compound (G), and ultrasonicated The mixture was stirred by a homogenizer to obtain a varnish (a solution of a resin composition). Using an automatic coating apparatus (PI-1210, manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.) on a 38 μm thick PET film (UNIPEL® TR 1-38, manufactured by UNITIKA Co., Ltd., trade name) of these varnishes It apply | coated, and it heat-dried at 80 degreeC for 7 minutes, and used the PET film as a support body, and obtained the resin sheet whose thickness of a resin composition layer is 30 micrometers. Using this, in the same manner as in Example 1, a laminate for evaluation and a cured product for evaluation were obtained.
〔実施例5〕
成分(A)として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC3000L(商品名)、日本化薬(株)製)15.8質量部、成分(G)として、ナフタレン型エポキシ樹脂(HP−4710(商品名)、DIC(株)社製)6.1質量部、光硬化開始剤(B)として、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド(Irgacure(登録商標)819、BASFジャパン(株)製)6.5質量部、化合物(C)として、TrisP−PAエポキシアクリレート化合物のPGMEA溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)77.5質量部(不揮発分換算で50.4質量部)、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬(株)製)17.4質量部、マレイミド化合物(E)として、マレイミド化合物(BMI−2300(商品名)、大和化成工業(株)製)3.3質量部、充填材(F)として、エポキシシラン処理シリカのMEKスラリー(SC2050MB(商品名)、平均粒径0.5μm、不揮発分70質量%、(株)アドマテックス製)71.4質量部(不揮発分換算で50質量部)、化合物(G)として、合成例1で得られたシアン酸エステル化合物SNCN0.5質量部、熱硬化促進剤(H)として、2−エチル-4−メチルイミダゾール(2E4MZ(商品名)、四国化成(株)製)0.2質量部を配合し、超音波ホモジナイザーで攪拌してワニス(樹脂組成物の溶液)を得た。これらのワニスを厚さ38μmのPETフィルム(ユニピール(登録商標)TR1−38、ユニチカ(株)製、商品名)上に自動塗工装置(PI−1210、テスター産業(株)製)を用いて塗布し、80℃で7分間加熱乾燥して、PETフィルムを支持体とし樹脂組成物層の厚さが30μmである樹脂シート得た。これを用いて、実施例1と同様にして、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。[Example 5]
As component (A), 15.8 parts by mass of biphenyl aralkyl type epoxy resin (NC3000L (trade name), manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and as component (G), naphthalene type epoxy resin (HP-4710 (trade name) , DIC (manufactured by DIC Corporation), 6.1 parts by mass, as a photocuring initiator (B), 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide (Irgacure (registered trademark) 819, BASF Japan Ltd.) 6.5 parts by weight, as a compound (C), a PGMEA solution of TrisP-PA epoxy acrylate compound (KAYARAD (registered trademark) ZCR-6007H, nonvolatile content 65% by mass, acid value: 70 mg KOH / g, Nippon Kayaku ( 77.5 parts by mass (50.4 parts by mass in terms of non-volatile content), and having an ethylenically unsaturated group other than the component (C) 17.4 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD (registered trademark) DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) as the compound (D), and a maleimide compound (BMI-2300 (trade name) as the maleimide compound (E) ), 3.3 parts by mass of Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., MEK slurry of epoxysilane-treated silica as filler (F) (SC2050MB (trade name), average particle diameter 0.5 μm, nonvolatile content 70% by mass, 71.4 parts by mass (50 parts by mass in terms of nonvolatile content) (manufactured by Admatex Co., Ltd.), 0.5 parts by mass of the cyanate ester compound SNCN obtained in Synthesis Example 1 as a compound (G), heat curing accelerator ( H) 0.2 parts by mass of 2-ethyl-4-methylimidazole (2E4MZ (trade name), manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) is blended, and the mixture is subjected to ultrasonic homogenizer The mixture was stirred to obtain a varnish (a solution of the resin composition). Using an automatic coating apparatus (PI-1210, manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.) on a 38 μm thick PET film (UNIPEL® TR 1-38, manufactured by UNITIKA Co., Ltd., trade name) of these varnishes It apply | coated, and it heat-dried at 80 degreeC for 7 minutes, and used the PET film as a support body, and obtained the resin sheet whose thickness of a resin composition layer is 30 micrometers. Using this, in the same manner as in Example 1, a laminate for evaluation and a cured product for evaluation were obtained.
〔比較例1〕
化合物(C)の代わりに、ビスフェノールF型エポキシアクリレート(KAYARAD(登録商標)ZFR−1553H、不揮発分68質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)74.1質量部(不揮発分換算で50.4質量部)を用いた以外は実施例1と同様にしてワニスを調製し、樹脂シート、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。Comparative Example 1
Bisphenol F-type epoxy acrylate (KAYARAD (registered trademark) ZFR-1553H, nonvolatile content 68 mass%, acid value: 70 mg KOH / g, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 74.1 mass parts instead of compound (C) A varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except that 50.4 parts by mass in terms of nonvolatile content was used, to obtain a resin sheet, a laminate for evaluation, and a cured product for evaluation.
なお、KAYARAD(登録商標)ZFR−1553Hは、前記式(2)で表される構造を有さない。 KAYARAD (registered trademark) ZFR-1553H does not have a structure represented by the above formula (2).
〔比較例2〕
成分(A)の代わりに、ナフタレン型エポキシ樹脂(HP−4710(商品名)、DIC(株)製)22.4質量部を用いた以外は実施例1と同様にしてワニスを調製し、樹脂シート、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。Comparative Example 2
A varnish is prepared in the same manner as in Example 1 except that 22.4 parts by mass of a naphthalene type epoxy resin (HP-4710 (trade name), manufactured by DIC Corporation) is used instead of the component (A) to prepare a resin A sheet, a laminate for evaluation and a cured product for evaluation were obtained.
〔比較例3〕
成分(A)の代わりに、多官能型エポキシ樹脂(1031S(商品名)、三菱化学(株)製)22.4質量部を用いた以外は実施例1と同様にしてワニスを調製し、樹脂シート、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。Comparative Example 3
A varnish is prepared in the same manner as in Example 1 except that 22.4 parts by mass of multifunctional epoxy resin (1031S (trade name), manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) is used instead of the component (A), and a resin is prepared. A sheet, a laminate for evaluation and a cured product for evaluation were obtained.
なお、前記多官能型エポキシ樹脂(1031S(商品名)、三菱化学(株)製)は、以下の構造式(12)を有する。 The polyfunctional epoxy resin (1031S (trade name), manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) has the following structural formula (12).
〔物性測定評価〕
樹脂シート、評価用積層体及び評価用硬化物を、以下の方法により測定し、評価した。それらの結果を表1に示す。[Measurement of physical properties]
The resin sheet, the laminate for evaluation and the cured product for evaluation were measured and evaluated by the following method. The results are shown in Table 1.
<塗膜性>
A4サイズの各支持体付き樹脂シートの樹脂表面端部に指を軽く押し付け、指に対する張り付き程度を以下の基準で評価した。
○:指に対する張り付きがほとんど認められない。支持体付き樹脂シートの端部が指に張り付くが、高さ30mm未満で指から剥がれて落下する。
×:指に対する張り付きが認められる。支持体付き樹脂シートの端部が指に張り付き、高さ30mm以上浮き上がる。<Coating property>
A finger was lightly pressed against the resin surface end of each A4-sized resin sheet with a support, and the degree of sticking to the finger was evaluated based on the following criteria.
○: Almost no sticking to the finger is observed. The end of the resin sheet with support sticks to the finger, but it peels off from the finger and falls at a height of less than 30 mm.
X: Sticking to a finger is recognized. The end of the resin sheet with support is stuck to the finger and floats 30 mm or more in height.
<耐熱性(ガラス転移温度)>
評価用硬化物をDMA装置(TAインスツルメント社製動的粘弾性測定装置DMAQ800(商品名))を用いて10℃/分で昇温し、LossModulusのピーク位置をガラス転移温度(Tg、℃)とした。<Heat resistance (glass transition temperature)>
The temperature of the cured product for evaluation was raised at 10 ° C./min using a DMA device (Dynamic Viscoelasticity Measurement Device DMAQ800 (trade name) manufactured by TA Instruments Co., Ltd.), and the peak position of LossModulus was determined as the glass transition temperature ).
<現像性>
評価用積層体の現像面を、現像工程が開始してから目視で残渣が無くなるまでの時間を測定した後、SEM(走査電子顕微鏡)にて観察(倍率1000倍)し、残渣の有無を下記基準で評価した。
◎:目視での現像残渣がなくなるまでの時間が50sec以下であり、SEM観察後も30mm角の範囲に現像残渣はなく、現像性が非常に優れている。
○:目視での現像残渣がなくなるまでの時間が50secを超えるが、SEM観察後も30mm角の範囲に現像残渣はなく、現像性が優れている。
×:30mm角の範囲に現像残渣があり、現像性が劣っている。<Developability>
After measuring the time from the start of the developing step to the disappearance of the residue by visual observation, the development surface of the laminate for evaluation is observed with a scanning electron microscope (SEM) (magnification: 1000 times) to check the presence or absence of the residue It evaluated by the standard.
◎: The time until the visual development residue disappears is 50 sec or less, there is no development residue in the range of 30 mm square even after SEM observation, and the developability is very excellent.
Good: The time until the visual development residue disappears exceeds 50 sec, but there is no development residue in the range of 30 mm square after SEM observation, and the developability is excellent.
X: There is a development residue in the range of 30 mm square, and the developability is inferior.
評価用硬化物の湿式粗化処理と導体層めっき:
実施例1〜5及び比較例1〜3で得られた多層プリント配線板を、上村工業製の無電解銅めっきプロセス(使用薬液名:MCD−PL、MDP−2、MAT−SP、MAB−4−C、MEL−3−APEA
ver.2)にて、約0.8μmの無電解銅めっきを施し、130℃で1時間の乾燥を行った。続いて、電解銅めっきをめっき銅の厚みが18μmになるように施し、180℃で1時間の乾燥を行った。こうして、絶縁層上に厚さ18μmの導体層(めっき銅)が形成されたサンプルを作製し、以下の評価に供した。Wet roughening treatment and conductor layer plating of cured products for evaluation:
A multilayer printed wiring board obtained in Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3 was subjected to electroless copper plating process (used chemical name: MCD-PL, MDP-2, MAT-SP, MAB-4, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.). -C, MEL-3-APEA
ver. In 2), about 0.8 μm of electroless copper plating was applied, and drying was performed at 130 ° C. for 1 hour. Subsequently, electrolytic copper plating was applied such that the thickness of the plated copper became 18 μm, and drying was performed at 180 ° C. for one hour. Thus, a sample in which a conductor layer (plated copper) having a thickness of 18 μm was formed on the insulating layer was produced and subjected to the following evaluation.
<めっき密着性(kN/m)>
上記手順により作製されたサンプルを用い、めっき銅の接着力をJIS
C6481に準じて3回測定し、平均値を求めた。電解銅めっき後の乾燥で膨れたサンプルに関しては、膨れていない部分を用いて評価を行った。<Plating adhesion (kN / m)>
The adhesion of plated copper is measured using the sample prepared by the above procedure.
It measured 3 times according to C6481, and calculated | required the average value. With respect to the dried and swollen sample after electrolytic copper plating, the evaluation was performed using the non-blown part.
表1から明らかなように、実施例1〜5はめっき密着性が優れている。その中でも、実施例2〜5は耐熱性及びめっき密着性が良好であり、特に、実施例3〜5は、耐熱性及びめっき密着性が顕著に優れている。さらに、実施例4及び5は、現像性にも優れている。これに対し、比較例1〜3はめっき密着性が不十分である。従って、本発明によれば、めっき密着性に優れ、耐熱性及び現像性にも優れた樹脂組成物、それを用いた樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置が得られる。 As apparent from Table 1, Examples 1 to 5 have excellent plating adhesion. Among them, Examples 2 to 5 are excellent in heat resistance and plating adhesion, and Examples 3 to 5 are particularly excellent in heat resistance and plating adhesion. Furthermore, Examples 4 and 5 are also excellent in developability. On the other hand, in Comparative Examples 1 to 3, the plating adhesion is insufficient. Therefore, according to the present invention, a resin composition excellent in plating adhesion and excellent in heat resistance and developability, a resin sheet using the same, a multilayer printed wiring board and a semiconductor device can be obtained.
Claims (14)
The semiconductor device which has a resin composition as described in any one of Claims 1-11.
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