JPWO2017221877A1 - 流体制御弁、及び流体制御弁製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)弁座を備える弁本体と、弁座と当接または離間する弁座当接部材とダイアフラム部材とを備えた弁体と、弁体を軸線方向に移動する駆動部とを有する流体制御弁であって、ダイアフラム部材は、第1フッ素系樹脂材料より成り、ダイアフラム膜と、ダイアフラム膜の中央に棒状部を備えること、弁座当接部材は、射出成形可能な第2フッ素系樹脂材料より成り、弁座当接面と、弁座当接面の反対側に凹部を備えること、棒状部の一部は、凹部に嵌合されていること、棒状部の一部の外周には外周凹凸面が形成され、凹部の内周には内周凹凸面が形成され、外周凹凸面と内周凹凸面とは互いに密着して係合面を形成していること、を特徴とする。
図1は、本実施形態に係る流体制御弁1の断面図であって、閉状態を示す。
図2は、図1に示すダイアフラム弁体4の断面図である。
流体制御弁1は、ウエハに薬液を供給しない待機状態のときには、操作ポート33bに操作流体が供給されない。この場合、第1圧縮バネ36の付勢力がピストン35を介してダイアフラム弁体4に作用し、ダイアフラム弁体4の環状シール面414が弁座24の弁座面24aに密着してシールされる。このとき、弁部2は、第1ポート21aと第2ポート21bの間を遮断し、第2ポート21bから反応室へ薬液を供給しない。
3 駆動部
4 ダイアフラム弁体(弁体の一例)
24 弁座
41 弁座当接部材
413 凹部
414 環状シール面
415 環状凹溝
418 小径凹部(内周凹凸面の一例)
42 ダイアフラム部材
422 ダイアフラム膜
423 棒状部
424 環状凹部(外周凹凸面の一例)
425 下端外周部
Claims (9)
- 弁座を備える弁本体と、前記弁座と当接または離間する弁座当接部材とダイアフラム部材とを備えた弁体と、前記弁体を軸線方向に移動する駆動部とを有する流体制御弁であって、
前記ダイアフラム部材は、第1フッ素系樹脂材料より成り、ダイアフラム膜と、前記ダイアフラム膜の中央に棒状部を備えること、
前記弁座当接部材は、射出成形可能な第2フッ素系樹脂材料より成り、弁座当接面と、前記弁座当接面の反対側に凹部を備えること、
前記棒状部の一部は、前記凹部に嵌合されていること、
前記棒状部の一部の外周には外周凹凸面が形成され、前記凹部の内周には内周凹凸面が形成され、前記外周凹凸面と前記内周凹凸面とは互いに密着して係合面を形成していること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1に記載する流体制御弁において、
前記係合面は、その一部に、外周に近づくほど前記ダイアフラム膜から遠ざかる傾斜面を備えていること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1または請求項2に記載する流体制御弁において、
前記係合面は、径方向の水平面に対し、角度5度以上15度以下で傾斜していること、を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1乃至請求項3に記載するいずれか一つの流体制御弁において、
前記凹部は、前記棒状部の前記外周凹凸面よりも前記ダイアフラム部材側に延びて形成されていること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1乃至請求項4に記載するいずれか1つの流体制御弁において、
前記棒状部及び前記凹部には、回り止め部が形成されていること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1乃至請求項5に記載するいずれか1つの流体制御弁において、
前記第1フッ素系樹脂材料はPTFEであり、前記第2フッ素系樹脂材料はPFAであること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1乃至請求項6に記載するいずれか1つの流体制御弁において、
前記駆動部は、前記弁体を前記弁座に当接する方向に付勢する当接バネと、操作流体により前記弁体を前記弁座から離間する方向に付勢するピストンとを備え、
前記弁体が前記離間の方向に付勢する離間バネを備え、前記離間バネは、前記弁体が当接の方向に移動する途中でばね定数が変化して大きくなること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1乃至請求項7に記載するいずれか1つの流体制御弁において、
軸方向中央にオリフィスを設けた雄ネジ部材が前記ピストンの下室ポートに設置されていること、
を特徴とする流体制御弁。 - 弁座を備える弁本体と、前記弁座と当接または離間する弁座当接部材とダイアフラム部材とを備えた弁体と、前記弁体を軸線方向に移動する駆動部とを有する流体制御弁を製造する流体制御弁製造方法において、
前記ダイアフラム部材は、第1フッ素系樹脂材料より成り、ダイアフラム膜と、前記ダイアフラム膜の中央に棒状部を備えること、
前記弁座当接部材は、射出成形可能な第2フッ素系樹脂材料より成り、弁座当接面と、前記弁座当接面の反対側に凹部を備えること、
前記棒状部の一部は、前記凹部に嵌合されていること、
前記棒状部の一部の外周には外周凹凸面が形成され、前記凹部の内周には内周凹凸面が形成されていること、
第1丸棒をインサートした状態で、第2丸棒を射出成形するインサート成形工程の後、前記第1丸棒を前記ダイアフラム部材の形状に、前記第2丸棒を前記弁座当接部材の形状に切削加工すること、
を特徴とする流体制御弁製造方法。
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